JP7318297B2 - プローブピン、検査治具および検査ユニット - Google Patents

Description

本開示は、プローブピン、検査治具および検査ユニットに関する。

カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板に接続するための端子と、検査装置の端子とを接続することにより行われる。

このようなプローブピンとしては、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトと、一対のコンタクト間に介在して一対のコンタクトを接続する蛇行部とを備えている。

特開２００２－１３４２０２号公報

前記プローブピンでは、各コンタクトが、電極端子に対して１点で接触するように構成されているため、例えば、各コンタクトの先端に不導体の異物が付着した場合、この異物により、前記プローブピンと電極端子との間で導通不良が発生し、接触信頼性が低下する場合がある。

本開示は、接触信頼性の高いプローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、および、この検査治具を備えた検査ユニットを提供することを目的とする。

本開示の一例のプローブピンは、
第１方向に沿って弾性変形可能な弾性部と、
前記弾性部の前記第１方向の一端に設けられた第１接触部と、
前記弾性部の前記第１方向の他端に設けられた第２接触部と
を備え、
前記第１接触部が、
前記弾性部の前記第１方向に交差する第２方向の中心を通りかつ前記第１方向に延びる中心線から離れて配置され、かつ、前記第２方向に沿って間隔を空けてそれぞれ配置された複数の接点部を有し、
前記複数の接点部の各々が、前記第２方向において前記中心線から離れるに従って、前記第１方向において前記弾性部から離れるようにそれぞれ配置されている。

また、本開示の一例の検査治具は、
前記プローブピンと、
前記プローブピンが内部に収容されたハウジングと
を備え、
前記プローブピンが、
前記第１接触部および第２接触部が前記第１方向において接近するように前記弾性部が弾性変形され、前記第２方向に延びる検査対象物または検査装置の接続端子に対して前記複数の接点部の各々が同時に接触可能な状態で収容されている。

また、本開示の一例の検査ユニットは、
前記検査治具を少なくとも１つ備える。

前記プローブピンによれば、第１方向に沿って弾性変形可能な弾性部と、弾性部の第１方向の一端に設けられた第１接触部と、弾性部の第１方向の他端に設けられた第２接触部とを備える。第１接触部が、弾性部の第１方向に交差する第２方向の中心を通りかつ第１方向に延びる中心線から離れ、かつ、第２方向に沿って間隔を空けてそれぞれ配置された複数の接点部を有する。各接点部が、第２方向において中心線から離れるに従って、第１方向において弾性部から離れるようにそれぞれ配置されている。このような構成により、例えば、第１接触部および第２接触部が第１方向に接近するようにプローブピンを圧縮させたときに、接触対象物（例えば、検査対象物または検査装置）に対して各接点部を同時に接触させることができる。すなわち、複数の接点部のいずれかに不導体の異物が付着したとしても、プローブピンと接触対象物との間で導通不良が発生するのを回避することができる。その結果、接触信頼性の高いプローブピンを実現できる。

前記検査治具によれば、前記プローブピンにより、接触信頼性の高い検査治具を実現できる。

前記検査ユニットによれば、前記検査治具により、接触信頼性の高い検査ユニットを実現できる。

本開示の一実施形態のプローブピンを示す斜視図。 図１のプローブピンを備えた検査治具の断面図。 図１のプローブピンの第１接触部を示す拡大平面図。 図１のプローブピンの動作を説明するための図２の検査治具の断面図。 図１のプローブピンの第１の変形例を示す平面図。 図１のプローブピンの第２の変形例を示す平面図。 図１のプローブピンの第３の変形例を示す平面図。 図１のプローブピンの第４の変形例を示す平面図。 図１のプローブピンの第５の変形例を示す平面図。 図１のプローブピンの第６の変形例を示す平面図。

以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

本開示の一実施形態のプローブピンは、一例として、図１に示すように、細長い薄板状で導電性を有し、図２に示すように、絶縁性のハウジング１００に収容された状態で使用され、ハウジング１００と共に検査治具２を構成する。検査治具２には、一例として、複数のプローブピン１０が収容されている。

また、検査治具２は、検査ユニット１の一部を構成することができる。例えば、図２に示すように、一対の検査治具２で検査ユニット１を構成した場合、各検査治具２は、後述するプローブピン１０の各接点部が、プローブピン１０が延びている第１方向Ｘに交差（例えば、直交）する第２方向Ｙに隣接するように配置される。

各ハウジング１００は、図２に示すように、その内部に複数の収容部１０１（図２には、１つのみ示す）を有している。各収容部１０１は、スリット状を有し、それぞれ１つのプローブピン１０を電気的に独立して収容可能かつ保持可能に構成されている。また、各収容部１０１は、第１方向Ｘおよび第２方向Ｙに交差する方向（すなわち、図２の紙面貫通方向）に沿って一列に並んでかつ等間隔に配置されている。

各プローブピン１０は、図１および図２に示すように、第１方向Ｘに沿って弾性変形可能な弾性部２０と、この弾性部２０の第１方向Ｘの両端にそれぞれ設けられた第１接触部３０および第２接触部５０とを備えている。各プローブピン１０は、一例として、電鋳法で形成され、弾性部２０、第１接触部３０および第２接触部５０が、第１方向Ｘに沿って直列的に配置されかつ一体に構成されている。

弾性部２０は、図２に示すように、一例として、相互に隙間２３を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、２つの帯状弾性片）２１、２２で構成されている。各帯状弾性片２１、２２は、第２方向Ｙにそれぞれ延びた第１横帯部２４および第２横帯部２６と、各帯部２４、２６に接続された１つの湾曲帯部２５とで構成されている。

第１横帯部２４および第２横帯部２６の各々は、第１方向Ｘにおいて隙間２７を空けて配置されている。第１横帯部２４は、その延在方向の一端が第１接触部３０に接続され、その延在方向の他端が湾曲帯部２５に接続されている。第２横帯部２６は、その延在方向の一端が第２接触部５０に接続され、その延在方向の他端が湾曲帯部２５に接続されている。各帯状弾性片２１、２２のうち、最も外側の帯状弾性片（すなわち、第１横帯部２４と第２横帯部２６との間の第１方向Ｘにおける距離が最も離れている帯状弾性片２１）の第２横帯部２６には、第２方向Ｙに延びる接触面２１１が設けられている。この接触面２１１は、プローブピン１０をハウジング１００の収容部１０１に収容したときに、収容部１０１を構成するハウジング１００の内面に対して接触するように構成されている。各帯部２４、２６は、第１接触部３０および第２接触部５０の各々に対して第２方向Ｙの同じ側に配置されている。

湾曲帯部２５は、図２に示すように、弾性部２０の第２方向Ｙの中心を通りかつ第１方向Ｘに延びる中心線ＣＬに対する第１接触部３０の本体部３１の反対側で、第１横帯部２４および第２横帯部２６に接続されている。なお、この実施形態では、第１横帯部２４と湾曲帯部２５とを合わせた部分の第２方向Ｙにおける最大距離Ｌ１の中心を弾性部２０の第２方向Ｙの中心としている。

第１接触部３０は、図２に示すように、第２方向Ｙにおいて弾性部２０の中心線ＣＬから離れて配置され、かつ、第２方向Ｙに沿って間隔を空けてそれぞれ配置された複数の接点部４１、４２を有している。

詳しくは、第１接触部３０は、図３に示すように、本体部３１と、本体部３１から第１方向Ｘでかつ本体部３１から離れる方向に延びる複数の突起部（この実施形態では、２つの突起部３２、３３）とを有している。

本体部３１は、中心線ＣＬから離れて配置され、その板厚方向（すなわち、図３の紙面貫通方向）から見て、第１方向Ｘに対向する一対の側面３１１、３１２と、第２方向Ｙに対向する一対の側面３１３、３１４とを有している。本体部３１の第２方向Ｙに対向する一対の側面３１３、３１４のうち、中心線ＣＬに近い側面３１３に、弾性部２０の第１横帯部２４のその延在方向の一端が接続されている。

本体部３１の第１方向Ｘに対向する一対の側面３１１、３１２のうち、第２横帯部２６に対向する側面３１１は、第２方向Ｙにおいて中心線ＣＬから離れるに従って、第１方向Ｘでかつ第２横帯部２６から離れる方向に傾斜している。すなわち、本体部３１は、第１方向Ｘにおいて第２横帯部２６に対向すると共に、第２方向Ｙにおいて中心線ＣＬから離れるに従って、第１方向Ｘでかつ第２横帯部２６から離れる方向に傾斜する傾斜面３１１を有している。この傾斜面３１１は、第１接触部３０および第２接触部５０が第１方向Ｘにおいて接近するように弾性部２０を弾性変形したとき（すなわち、弾性部２０を第１方向Ｘにおいて圧縮したとき）に、本体部３１と、弾性部２０の第２横帯部２６および第２接触部５０とが接触しないように構成されている。

本体部３１の第１方向Ｘに対向する一対の側面３１１、３１２のうち、傾斜面３１１の反対側の側面３１２の第２方向Ｙの略中央に、各突起部３２、３３が設けられている。側面３１２の各突起部３２、３３まわりの縁部は、図２に示すように、プローブピン１０をハウジング１００の収容部１０１に収容したときに、収容部１０１を構成するハウジング１００の内面に対して接触するように構成されている。

各突起部３２、３３は、第２方向Ｙに隙間３６を空けてそれぞれ配置され、第１方向Ｘにおける本体部３１からの突出量が相互に異なっている。第２方向Ｙにおいて、弾性部２０の中心線ＣＬから遠い突起部３２を第１突起部３２とし、第１突起部３２よりも中心線ＣＬに近い突起部３３を第２突起部３３とする。各突起部３２、３３の第１方向Ｘでかつ本体部３１から遠い方の端部を先端部とすると、各突起部３２、３３の先端部は、それぞれ湾曲しており、本体部３１から第１突起部３２の先端部までの第１方向Ｘの最大距離Ｌ２は、本体部３１から第２突起部３３の先端部までの最大距離Ｌ３よりも大きくなっている。

各突起部３２、３３の先端部が、各接点部４１、４２を構成している。すなわち、各接点部４１、４２は、第２方向Ｙにおいて中心線ＣＬから離れるに従って、第１方向Ｘにおいて弾性部２０から離れるようにそれぞれ配置されている。

第２接触部５０は、図２に示すように、第１方向Ｘに延びる略矩形状を有している。第２接触部５０の第１方向Ｘでかつ弾性部２０から遠い方の先端部は、湾曲した先細り状で、接点部５１を構成している。

検査治具２のプローブピン１０の動作について、図２～図４を参照して説明する。

図２に示すように、ハウジング１００の収容部１０１に収容されたプローブピン１０の第１方向Ｘの両端に、第２方向Ｙに延びる接触面１１３、１１４をそれぞれ有する接触対象物（例えば、検査対象物または検査装置）の接続端子１１１、１１２を配置する。図２に示す弾性部２０が圧縮される前の状態では、第１接触部３０の第１突起部３２の接点部４１のみが接続端子１１１に接触している。この状態から、第１接触部３０側に配置された接続端子１１１を第２接触部５０側の接続端子１１２に接近させていくと、第１接触部３０が、収容部１０１内に押し込まれて湾曲帯部２５まわりに回転し、第２突起部３３の接点部４２が接続端子１１１に次第に接近していく。このとき、図３に示すように、第１突起部３２の先端部は、接続端子１１１の接触面１１３をワイピングしながら回転する。さらに、第１接触部３０側に配置された接続端子１１１を第２接触部５０側の接続端子１１２に接近させていくと、図４に示すように、各接点部４１、４２が、接続端子１１１に対して同時に接触する。

このように、プローブピン１０では、第１方向Ｘに沿って弾性変形可能な弾性部２０と、弾性部２０の第１方向Ｘの一端に設けられた第１接触部３０と、弾性部２０の第１方向Ｘの他端に設けられた第２接触部５０とを備える。第１接触部３０が、弾性部２０の第１方向Ｘに交差する第２方向Ｙの中心を通りかつ第１方向Ｘに延びる中心線ＣＬから離れ、かつ、第２方向Ｙに沿って間隔を空けてそれぞれ配置された複数の接点部４１、４２を有する。各接点部４１、４２が、第２方向Ｙにおいて中心線ＣＬから離れるに従って、第１方向Ｘにおいて弾性部２０から離れるようにそれぞれ配置されている。このような構成により、例えば、第１接触部３０および第２接触部５０が第１方向Ｘに接近するようにプローブピン１０を圧縮させたときに、接触対象物に対して各接点部４１、４２を同時に接触させることができる。すなわち、複数の接点部４１、４２のいずれかに不導体の異物が付着したとしても、プローブピン１０と接触対象物との間で導通不良が発生するのを回避することができる。その結果、接触信頼性の高いプローブピン１０を実現できる。

また、第１接触部３０が、中心線ＣＬから離れて配置されて、弾性部２０の一端が接続された本体部３１と、第２方向Ｙに隙間３６を空けてそれぞれ配置され、本体部３１から第１方向Ｘでかつ本体部３１から離れる方向に延びる複数の突起部３２、３３とを有している。複数の突起部３２、３３における第１方向Ｘでかつ本体部３１から離れた先端部が、複数の接点部４１、４２の各々を構成している。このような構成により、接触信頼性の高いプローブピン１０をより簡単に実現できる。

また、弾性部２０が、第１接触部３０の本体部３１から第２方向Ｙに延びる第１横帯部２４と、第１横帯部２４に対して第１方向Ｘに隙間２７を空けて配置された第２横帯部２６と、中心線ＣＬに対する本体部３１の反対側で、第１横帯部２４および第２横帯部２６に接続された湾曲帯部２５とを有する。本体部３１が、第１方向Ｘにおいて第２横帯部２６に対向し、かつ、第２方向Ｙにおいて中心線ＣＬから離れるに従って、第１方向Ｘにおいて第２横帯部２６から離れる方向に傾斜する傾斜面３１１を有している。このような構成により、弾性部２０を第１方向Ｘにおいて圧縮したときに、本体部３１と、弾性部２０の第２横帯部２６および第２接触部５０との接触を回避することができる。

このようなプローブピン１０により、接触信頼性の高い検査治具２を実現できる。また、このようなプローブピン１０を備えた検査治具２により、接触信頼性の高い検査ユニット１を実現できる。

なお、第１接触部３０の接点部は、２つの接点部４１、４２で構成されている場合に限らない。第１接触部３０の接点部は、例えば、図５に示すように、３つの接点部４１、４２、４３で構成してもよいし、図６に示すように、４つの接点部４１、４２、４３、４４で構成してもよい。

図５のプローブピン１０では、第１接触部３０は、本体部３１から第１方向Ｘでかつ本体部３１から離れる方向に延びる３つの突起部３２、３３、３４を有し、各突起部３２、３３、３４の先端部が、それぞれ接点部４１、４２、４３を構成している。各接点部４１、４２、４３は、第２方向Ｙにおいて中心線ＣＬから離れるに従って、第１方向Ｘにおいて弾性部２０から離れるようにそれぞれ配置されている。

図６のプローブピン１０では、第１接触部３０は、本体部３１から第１方向Ｘでかつ本体部３１から離れる方向に延びる４つの突起部３２、３３、３４、３５を有し、各突起部３２、３３、３４、３５の先端部が、それぞれ接点部４１、４２、４３、４４を構成している。各接点部４１、４２、４３、４４は、第２方向Ｙにおいて中心線ＣＬから離れるに従って、第１方向Ｘにおいて弾性部２０から離れるようにそれぞれ配置されている。

各突起部３２、３３の先端部は、それぞれ湾曲している場合に限らない。例えば、図６に示すように、各突起部３２、３３、３４、３５のそれぞれの先端部が、三角状であっていてもよいし、図７に示すように、各突起部３２，３３のいずれかの先端部が、四角状であってもよい。すなわち、第１接触部３０の複数の突起部の先端部は、接触対象物の接続端子に対して同時に接触可能な複数の接点部を構成することが可能な任意の形状を採用できる。

第２接触部５０の接点部は、１つの接点部５１で構成されている場合に限らない。第２接触部５０の接点部は、例えば、図８に示すように、２つの接点部５１、５２で構成してもよい。図８のプローブピン１０では、第２接触部５０は、第１方向Ｘ沿いを先端部から弾性部２０に向かって延びる溝５３を有している。第２接触部５０の溝５３で仕切られた第２方向Ｙの両側の先端部が、それぞれ接点部５１、５２を構成している。また、第２接触部５０の接点部、第１接触部３０の接点部（例えば、図２、図５および図６に示す接点部４１、４２、４３、４４）と同様に構成してもよい。

弾性部２０は、２つの帯状弾性片２１、２２で構成されている場合に限らない。例えば、図９に示すように、１つの帯状弾性片１２１で構成してもよいし、図１０に示すように、３つの帯状弾性片１２１、１２２、１２３で構成してもよい。

また、弾性部２０は、第１横帯部２４、第２横帯部２６および湾曲帯部２５で構成されている場合に限らない。例えば、弾性部２０は、図１０に示すように、６つの帯部２４、２６、１２４、１２５、１２６、１２７と、５つの湾曲帯部２５とが、第１方向Ｘに沿って交互に接続された蛇行形状であってもよい。図１０のプローブピン１０においても、第１接触部３０に接続された第１横帯部２４と湾曲帯部２５とを合わせた部分の第２方向Ｙにおける最大距離Ｌ１の中心を通り、かつ、第１方向Ｘに延びる直線を弾性部２０の中心線ＣＬとしている。

なお、図１０のプローブピン１０では、第１接触部３０の本体部３１は、傾斜面３１１を有していない（すなわち、傾斜面３１１は、省略することができる）。また、図１０のプローブピン１０は、ハウジング１００の収容部１０１に収容された場合、最も外側の帯状弾性片１２３の第１接触部３０に接続されている第１横帯部２４および第２接触部５０に接続されている帯部１２７が、ハウジング１００の内面に接触するように構成されている。

以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。

本開示の第１態様のプローブピン１０は、
第１方向Ｘに沿って弾性変形可能な弾性部２０と、
前記弾性部２０の前記第１方向Ｘの一端に設けられた第１接触部３０と、
前記弾性部２０の前記第１方向Ｘの他端に設けられた第２接触部５０と
を備え、
前記第１接触部３０が、
前記弾性部２０の前記第１方向Ｘに交差する第２方向Ｙの中心を通りかつ前記第１方向Ｘに延びる中心線ＣＬから離れて配置され、かつ、前記第２方向Ｙに沿って間隔を空けてそれぞれ配置された複数の接点部４１、４２を有し、
前記複数の接点部４１、４２の各々が、前記第２方向Ｙにおいて前記弾性部２０から離れるに従って、前記第１方向Ｘにおいて前記弾性部２０から離れるようにそれぞれ配置されている。

第１態様のプローブピン１０によれば、例えば、第１接触部３０および第２接触部５０が第１方向Ｘに接近するようにプローブピン１０を圧縮させたときに、接触対象物に対して各接点部４１、４２を同時に接触させることができる。すなわち、複数の接点部４１、４２のいずれかに不導体の異物が付着したとしても、プローブピン１０と接触対象物との間で導通不良が発生するのを回避することができる。その結果、接触信頼性の高いプローブピン１０を実現できる。

本開示の第２態様のプローブピン１０は、
前記第１接触部３０が、
前記中心線ＣＬから離れて配置されて、前記弾性部２０の前記一端が接続された本体部３１と、
前記第２方向Ｙに隙間３６を空けてそれぞれ配置され、前記本体部３１から前記第１方向Ｘでかつ前記本体部３１から離れる方向に延びる複数の突起部３２、３３と
を有し、
前記複数の突起部３２、３３の前記第１方向Ｘでかつ前記本体部３１から離れた先端部が、前記複数の接点部４１、４２の各々を構成している。

第２態様のプローブピン１０によれば、接触信頼性の高いプローブピン１０をより簡単に実現できる。

本開示の第３態様のプローブピン１０は、
前記弾性部２０が、
前記第１接触部３０の前記本体部３１から前記第２方向Ｙに延びる第１横帯部２４と、
前記第１横帯部２４に対して前記第１方向Ｘに隙間２７を空けて配置された第２横帯部２６と、
前記中心線ＣＬに対する前記本体部３１の反対側で、前記第１横帯部２４および前記第２横帯部２６に接続された湾曲帯部２５と
を有し、
前記本体部３１が、
前記第１方向Ｘにおいて前記第２横帯部２６に対向すると共に、前記第２方向Ｙにおいて前記中心線ＣＬから離れるに従って、前記第１方向Ｘでかつ前記第２横帯部２６から離れる方向に傾斜する傾斜面３１１を有している。

第３態様のプローブピン１０によれば、弾性部２０を第１方向Ｘにおいて圧縮したときに、本体部３１と、弾性部２０の第２横帯部２６および第２接触部５０との接触を回避することができる。

本開示の第４態様の検査治具２は、
前記プローブピン１０と、
前記プローブピン１０が内部に収容されたハウジング１００と
を備え、
前記プローブピン１０が、
前記第１接触部３０および第２接触部５０が前記第１方向Ｘにおいて接近するように前記弾性部２０が弾性変形され、前記第２方向Ｙに延びる検査対象物または検査装置の接続端子１１１に対して前記複数の接点部４１、４２の各々が同時に接触可能な状態で収容されている。

第４態様の検査治具２によれば、前記プローブピン１０により、接触信頼性の高い検査治具２を実現できる。

本開示の第５態様の検査ユニット１は、
前記検査治具２を少なくとも１つ備える。

第５態様の検査ユニット１によれば、前記検査治具２により、接触信頼性の高い検査ユニット１を実現できる。

なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本開示のプローブピンは、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、ＨＤＭＩデバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いる検査治具に適用できる。

本開示の検査治具は、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、ＨＤＭＩデバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いる検査ユニットに適用できる。

本開示の検査ユニットは、例えば、カメラデバイス、ＵＳＢデバイス、ＨＤＭＩデバイス、あるいは、ＱＦＮデバイスおよびＳＯＮデバイスなどの半導体の検査に用いる検査装置に適用できる。

１ 検査ユニット
２ 検査治具
１０ プローブピン
２０ 弾性部
２１、２２、１２１、１２２、１２３ 帯状弾性片
２３ 隙間
２４ 第１横帯部
２５ 湾曲帯部
２６ 第２横帯部
２７ 隙間
１２４、１２５、１２６、１２７ 帯部
３０ 第１接触部
３１ 本体部
３１１ 傾斜面
３１２、３１３、３１４ 側面
３２、３３、３４、３５ 突起部
３６ 隙間
４１、４２、４３、４４ 接点部
５０ 第２接触部
５１、５２ 接点部
５３ 溝
１００ ハウジング
１０１ 収容部
１１１、１１２ 接続端子
１１３、１１４ 接触面

Claims (3)

1. 第１方向に沿って弾性変形可能な弾性部と、
   前記弾性部の前記第１方向の一端に設けられた第１接触部と、
   前記弾性部の前記第１方向の他端に設けられた第２接触部と
   を備え、
   前記第１接触部が、
   前記弾性部の前記第１方向に交差する第２方向の中心を通りかつ前記第１方向に延びる中心線から離れて配置され、かつ、前記第２方向に沿って間隔を空けてそれぞれ配置された複数の接点部を有し、
   前記複数の接点部の各々が、前記第２方向において前記弾性部から離れるに従って、前記第１方向において前記弾性部から離れるようにそれぞれ配置され、
   前記第１接触部が、
   前記中心線から離れて配置されて、前記弾性部の前記一端が接続された本体部と、
   前記第２方向に隙間を空けてそれぞれ配置され、前記本体部から前記第１方向でかつ前記本体部から離れる方向に延びる複数の突起部と
   を有し、
   前記複数の突起部の前記第１方向でかつ前記本体部から離れた先端部が、前記複数の接点部の各々を構成し、
   前記弾性部が、
   前記第１接触部の前記本体部から前記第２方向に延びる第１横帯部と、
   前記第１横帯部に対して前記第１方向に隙間を空けて配置された第２横帯部と、
   前記中心線に対する前記本体部の反対側で、前記第１横帯部および前記第２横帯部に接続された湾曲帯部と
   を有し、
   前記本体部が、
   前記第１方向において前記第２横帯部に対向すると共に、前記第２方向において前記中心線から離れるに従って、前記第１方向でかつ前記第２横帯部から離れる方向に傾斜する傾斜面を有している、プローブピン。
2. 請求項１のプローブピンと、
   前記プローブピンが内部に収容されたハウジングと
   を備え、
   前記プローブピンが、
   前記第１接触部および前記第２接触部が前記第１方向において接近するように前記弾性部が弾性変形され、前記第２方向に延びる検査対象物または検査装置の接続端子に対して前記複数の接点部の各々が同時に接触可能な状態で収容されている、検査治具。
3. 請求項２の検査治具を少なくとも１つ備える、検査ユニット。

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