JP6988920B2 - プローブピン、検査治具、検査ユニットおよび検査装置 - Google Patents

Description

本開示は、プローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置に関する。

カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板と接続するためのＦＰＣ接触電極、あるいは、実装された基板対基板コネクタ等の電極部と検査装置とを接続することにより行われる。

このようなプローブピンとしては、例えば、特許文献１に記載されたものがある。このプローブピンは、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対してそれぞれ接触可能な一対のコンタクトと、一対のコンタクト間に介在して一対のコンタクトを接続する蛇行部とを備えている。前記プローブピンでは、蛇行部により、各コンタクトと電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子との間の接圧を確保して、電子部品の電極端子および被接続電子部品の電極端子に対する接触信頼性を高めている。

特開２００２−１３４２０２号公報

近年、検査対象物の多様化等に伴って、例えば、検査対象物の破損等を防ぐために、検査対象物および検査装置に対してそれぞれ異なる接触荷重で接触することがプローブピンに求められる場合がある。

特許文献１のプローブピンでは、各コンタクトが、全体で１つの弾性部を構成する蛇行部の両端部にそれぞれ接続されているので、電子部品および被接続電子部品に対して、異なる接触荷重で接触することができない場合がある。

本開示は、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピン、このプローブピンを備えた検査治具、この検査治具を備えた検査ユニット、および、この検査ユニットを備えた検査装置を提供することを目的とする。

本開示の一例のプローブピンは、
板状の第１接触部および板状の第２接触部と、
前記第１接触部および前記第２接触部の間に配置された中間部と、
前記第１接触部および前記中間部に接続され、前記第１接触部および前記第２接触部を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部と、
前記中間部および前記第２接触部に接続され、前記配列方向に沿って伸縮する第２弾性部と
を備え、
前記第１弾性部のばね常数が、前記第２弾性部のばね常数よりも小さくなるように構成されている。

また、本開示の一例の検査治具は、
前記プローブピンと、
前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
を備え、
前記ソケットが、
前記収容部に収容された前記プローブピンの前記中間部のその延在方向の両端部を、前記配列方向に沿って前記第２接触部から前記第１接触部に向かう方向において係止する係止部を有している。

また、本開示の一例の検査ユニットは、
前記検査治具を少なくとも１つ備えた。

また、本開示の一例の検査装置は、
前記検査ユニットを少なくとも１つ備えた。

前記プローブピンによれば、第１接触部および中間部に接続されかつ第１接触部および第２接触部を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部のばね常数が、中間部および第２接触部に接続されかつ第１接触部および第２接触部を結んだ配列方向に沿って伸縮する第２弾性部のばね常数よりも小さくなるように構成されている。これにより、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピンを実現できる。

また、前記検査治具によれば、前記プローブピンにより、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査治具を実現できる。

また、前記検査ユニットによれば、前記検査治具により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査ユニットを実現できる。

また、前記検査装置によれば、前記検査ユニットにより、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査装置を実現できる。

本開示の一実施形態の検査ユニットを示す斜視図。 本開示の一実施形態の検査治具を示す斜視図。 図２のIII-III線に沿った断面図。 本開示の一実施形態のプローブピンを示す斜視図。 図４のプローブピンの平面図。 図４のプローブピンの第１弾性部、第２弾性部および中間部の拡大平面図。 図４のプローブピンの第１の変形例を示す斜視図。 図７のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第２の変形例を示す斜視図。 図９のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第３の変形例を示す斜視図。 図１１のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第４の変形例を示す斜視図。 図１３のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第５の変形例を示す斜視図。 図１５のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第６の変形例を示す斜視図。 図１７のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第７の変形例を示す斜視図。 図１９のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図４のプローブピンの第８の変形例を示す斜視図。 図２１のプローブピンを収容した検査治具の図２のIII-III線に沿った断面図。 図２１のプローブピンを収容した検査治具の図２２のXXIII-XXIII線に沿った断面図。

以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

本開示の一実施形態のプローブピン１０は、導電性を有し、例えば、図１および図２に示すように、ソケット３に収容された状態で使用され、ソケット３と共に検査治具２を構成する。この検査治具２には、一例として、複数の細長い薄板状のプローブピン１０が収容されている。

また、検査治具２は、検査ユニット１の一部を構成している。検査ユニット１は、図１に示すように、少なくとも１つの検査治具２が組み込まれた略直方体状のベースハウジング４を備えている。このベースハウジング４は、略矩形板状の第１ハウジング５と、この第１ハウジング５の板厚方向に積み重ねられた第２ハウジング６とで構成されている。

ソケット３は、図３に示すように、第１開口面５１と、第１開口面５１に対向する第２開口面５２と、第１開口面５１および第２開口面５２に直交する方向にそれぞれ延びる複数の収容部７とを有する、略直方体状のハウジング５０を備えている。すなわち、第１開口面５１および第２開口面５２は、それぞれ略直方体状のハウジング５０の一面を構成している。

図２に示すように、第１開口面５１および第２開口面５２は、その長手方向に沿って一列に並んでかつ等間隔で配置された複数の開口部５３、５４をそれぞれ有している（図２には、第１開口面５１の開口部５３のみ示す）。各収容部７には、それぞれ第１開口面５１の開口部５３および第２開口面５２の開口部５４が１組ずつ接続されている。

各収容部７は、スリット状を有し、各プローブピン１０を相互に電気的に独立して収容可能かつ保持可能であると共に、収容したプローブピン１０の板面同士が相互に対向するように並んで隣接して配置されている。図３に示すように、各収容部７には、第１開口面５１の開口部５３を介して、後述する第１接点部１１１がソケット３の外部に露出し、第２開口面５２の開口部５４を介して、後述する第３接点部１２１がソケット３の外部に露出するように、各プローブピン１０が収容されている。

図３に示すように、各収容部７の配列方向（すなわち、図３の紙面貫通方向）から見て、各収容部７を構成するハウジング５０の内面のうちの第１開口面５１および第２開口面５２に直交する一対の内側面に、それぞれ段部５５（係止部の一例）が設けられている。各段部５５は、第１開口面５１および第２開口面５２の中間部に相互に対向するように配置されている。なお、段部５５を境界にして、各収容部７の第１開口面５１側の幅（すなわち、各収容部７の配列方向から見て、各収容部７における第１開口面５１および第２開口面５２に平行な方向の長さ）Ｗ１が、第２開口面５２側の幅Ｗ２よりも小さくなっている。

各プローブピン１０は、図４に示すように、板状の第１接触部１１および板状の第２接触部１２と、第１接触部１１および第２接触部１２の間に配置された板状の中間部１３と、第１接触部１１および中間部１３に接続された第１弾性部１４と、中間部１３および第２接触部１２に接続された第２弾性部１５とを備えている。このプローブピン１０では、例えば、電鋳法で形成され、第１接触部１１、第２接触部１２、中間部１３、第１弾性部１４および第２弾性部１５が一体に構成されている。

第１接触部１１および第２接触部１２は、図５に示すように、プローブピン１０の長手方向に延びる仮想直線Ｌ３に沿って相互に直列的に配置されている。

第１接触部１１は、図５に示すように、直線Ｌ３に沿って延びており、その延在方向の一端部（すなわち、第１接触部１１の延在方向における中間部１３から遠い方の端部）に第１接点部１１１が設けられ、その延在方向の他端部（すなわち、第１接触部１１の延在方向における中間部に近い方の端部）に第１弾性部１４が接続されている。

第２接触部１２は、図５に示すように、直線Ｌ３に沿って延びており、その延在方向の一端部（すなわち、第２接触部１２の延在方向における中間部１３から遠い方の端部）に第２接点部１２１が設けられている。

なお、各収容部７に収容された状態では、各プローブピン１０の第１接点部１１１および第２接点部１２１は、図２に示すように、各収容部７の配列方向に平行な仮想直線Ｌ１、Ｌ２上にそれぞれ配置されている。

中間部１３は、図５に示すように、第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向（すなわち、直線Ｌ３の延在方向）に交差する方向（例えば、直交方向）に延びる略矩形板状を有している。この中間部１３は、その長手方向の長さＷ３が、プローブピン１０の幅（すなわち、プローブピン１０の板厚方向（すなわち、図５の紙面貫通方向）から見て直線Ｌ３の延在方向に直交する方向の長さ）の最大値となるように、構成されている。

第１弾性部１４は、図５に示すように、細長い帯状を有し、第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向に伸縮するように構成されている。

詳しくは、図６に示すように、第１弾性部１４は、複数の直線帯部１６１および複数の湾曲帯部１６２（この実施形態では、一例として、５つの直線帯部１６１および６つの湾曲帯部１６２）が直線Ｌ３の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状を有している。各直線帯部１６１は、直線Ｌ３の延在方向に直交する方向に延びていると共に、少なくともその延在方向の端部の一方が湾曲帯部１６２に接続されている。各湾曲帯部１６２は、直線Ｌ３の延在方向に直交する方向に沿って直線Ｌ３から離れる方向に突出した円弧状に延びていると共に、少なくともその延在方向の端部の一方が直線帯部１６１に接続されている。また、各湾曲帯部１６２は、その突出方向が直線Ｌ３の延在方向に沿って交互に反転するように配置されている。

直線Ｌ３の延在方向において中間部１３から最も離れて配置された湾曲帯部１６２のその延在方向の一端部（すなわち、直線帯部１６１の延在方向における湾曲帯部１６２が接続されている端部の反対側の端部）が、第１接触部１１に接続されている。また、直線Ｌ３の延在方向において中間部１３に最も接近して配置された湾曲帯部１６２の一端部（すなわち、湾曲帯部１６２の延在方向における直線帯部１６１が接続されている端部の反対側の端部）が、中間部１３の延在方向における一端側（すなわち、図６の右側）で中間部１３に接続されている。

第２弾性部１５は、図５に示すように、相互に隙間１５３を空けて配置された複数の帯状弾性片（この実施形態では、２つの帯状弾性片）１５１、１５２を有し、第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向に伸縮するように構成されている。

図６に示すように、各帯状弾性片１５１、１５２は、細長い帯状を有し、複数の直線帯部１７１および複数の湾曲帯部１７２（この実施形態では、一例として、３つの直線帯部１７１および３つの湾曲帯部１７２）が直線Ｌ３の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状を有している。各直線帯部１７１は、第１弾性部１４の直線帯部１６１と同様に、直線Ｌ３の延在方向に直交する方向に延びていると共に、少なくともその延在方向の端部の一方が湾曲帯部１７２に接続されている。各湾曲帯部１７２は、第１弾性部１４の湾曲帯部１６２と同様に、直線Ｌ３の延在方向に直交する方向に沿って直線Ｌ３から離れる方向に突出した円弧状に延びていると共に、少なくともその延在方向の端部の一方が直線帯部１７１に接続されている。また、各湾曲帯部１７２は、その突出方向が直線Ｌ３の延在方向に沿って交互に反転するように配置されている。

直線Ｌ３の延在方向において中間部１３から最も離れて配置された直線帯部１７１の延在方向の他端部（すなわち、直線帯部１７１の延在方向における湾曲帯部１７２が接続されている端部の反対側の端部）が、第２接触部１２に接続されている。また、直線Ｌ３の延在方向において中間部１３に最も接近して配置された湾曲帯部１７２の他端部（すなわち、湾曲帯部１７２の延在方向における直線帯部１７１が接続されている端部の反対側の端部）が、中間部１３の延在方向における一端側で中間部１３に接続されている。

すなわち、前記プローブピン１０では、第１弾性部１４の中間部１３および第１接触部１１間の第１経路６１の長さ（すなわち、各直線帯部１６１および各湾曲帯部１６２のその延在方向の長さの合計）と、第２弾性部１５の中間部１３および第２接触部１２間の第２経路６２の長さ（すなわち、各直線帯部１７１および各湾曲帯部１７２のその延在方向の長さの合計の平均）とが異なっている。

また、第２弾性部１５の各帯状弾性片１５１、１５２は、その幅（すなわち、各帯状弾性片１５１、１５２の第２接触部１２および中間部１３間の経路の延在方向に直交する幅方向の長さ）Ｗ５、Ｗ６の合計が、第１弾性部１４の幅（すなわち、第１弾性部１４の第１接触部１１および中間部１３間の経路の延在方向に直交する幅方向の長さ）Ｗ４よりも大きくなるように構成されている。

すなわち、前記プローブピン１０では、第１経路６１の幅（すなわち、第１弾性部１４の幅Ｗ４）と、第２経路６２の幅（すなわち、各帯状弾性片１５１、１５２の幅Ｗ５、Ｗ６の合計）とが異なっている。

その結果、第１弾性部１４のばね常数と、第２弾性部１５のばね常数とが異なっている。具体的には、第１弾性部１４のばね常数が、第２弾性部１５のばね常数よりも小さくなるように構成されている。これにより、第１接点部１１１の検査対象物または検査装置に対する接圧を第２接点部１２１の検査対象物または検査装置に対する接圧よりも小さくすることができる。すなわち、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピン１０を実現できる。

なお、前記プローブピン１０では、各弾性部１４、１５の蛇行形状の折り返しの数（すなわち、湾曲帯部１６２、１７２の数）を異ならせることにより第１弾性部１４の第１経路６１の長さと第２弾性部１５の第２経路６２の長さとを異ならせ、さらに、第１経路６１の幅と第２経路６２の幅とを異ならせて、第１弾性部１４のばね常数と第２弾性部１５のばね常数とを異ならせているが、これに限らない。第１弾性部１４のばね常数と第２弾性部１５のばね常数とが異なる構成であれば、任意の構成を採用することができる。例えば、プローブピン１０が同一の導電性の材料で構成されている場合、経路６１、６２の長さ、経路６１、６２の幅、経路６１、６２の板厚、および、各弾性部１４、１５の湾曲帯部１６２、１７２の数の少なくともいずれか１つが異なるように、第１弾性部１４および第２弾性部１５を構成してもよい。すなわち、設計の自由度が高いプローブピン１０を実現できる。

また、前記プローブピン１０によれば、第１弾性部１４および第２弾性部１５の各々が、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向に交差する直線帯部１６１、１７１と、直線帯部１６１、１７１に接続された湾曲帯部１６２、１７２とが交互に連続する蛇行形状を有している。これにより、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピン１０を容易に実現できる。

また、前記検査治具２によれば、プローブピン１０により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査治具２を実現できる。

なお、図３に示すように、前記検査治具２では、プローブピン１０は、中間部１３のその延在方向に両端部が、ソケット３のハウジング５０の内側面に設けられた段部５５に接触した状態で、収容部７に収容されている。すなわち、プローブピン１０は、係止部の一例の段部５５によって、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向に沿って、ばね定数が大きい第２弾性部１５に接続された第２接触部１２から、ばね定数が小さい第１弾性部１４に接続された第１接触部１１に向かう方向において、支持されつつ係止されている。これにより、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査治具２を確実に実現できる。

また、前記検査ユニット１によれば、前記検査治具２により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査ユニット１を実現できる。

なお、前記検査ユニット１は、検査装置の一部を構成することができる。このような検査装置によれば、検査ユニット１により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査装置を実現できる。

また、検査治具２に収容されたプローブピン１０は、第１弾性部１４の第１接触部１１に最も近い位置に配置された直線帯部１６１が、収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３に当接し、第２弾性部１５の第２接触部１２に最も近い位置に配置された直線帯部１７１が、ベースハウジング４の第１ハウジング５に当接している。すなわち、前記検査ユニット１では、プローブピン１０は、第１弾性部１４の直線帯部１６１および第２弾性部１５の直線帯部１７１がソケット３およびベースハウジング４に支持されて、収容部７に保持されている。

第１接触部１１および第２接触部１２は、プローブピン１０の設計等に応じて、その形状等を適宜変更できる。例えば、第１接点部１１１および第２接点部１２１の各々は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、形状および位置などを適宜変更することができる。

各弾性部１４、１５は、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向に伸縮し、かつ、ばね常数が相互に異なるように構成されていればよい。

例えば、図７〜図１０に示すように、第１弾性部１４を相互に隙間を空けて配置された複数の帯状弾性片で構成してもよいし、第２弾性部１５を単一の帯状弾性片で構成してもよい。

詳しくは、図７および図８に示すプローブピン１０は、第２弾性部１５が単一の帯状弾性片１５４で構成されている。図７および図８のプローブピン１０の第２弾性部１５の帯状弾性片１５４は、３つの直線帯部１７１および３つの湾曲帯部１７２がプローブピン１０の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状を有し、その幅Ｗ７が、図６に示す各帯状弾性片１５１、１５２の幅Ｗ５、Ｗ６よりも大きくなるように構成されている。

図９および図１０に示すプローブピン１０は、第１弾性部１４が、相互に隙間１４３を空けて配置された２つの帯状弾性片１４１、１４２で構成され、第２弾性部１５が、単一の帯状弾性片１５４で構成されている。図９および図１０のプローブピン１０の第１弾性部１４の各帯状弾性片１４１、１４２は、３つの直線帯部１６１と、４つの湾曲帯部１６２がプローブピン１０の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状をそれぞれ有している。また、図９および図１０のプローブピン１０の第２弾性部１５の帯状弾性片１５４は、４つの直線帯部１７１と、４つの湾曲帯部１７２がプローブピン１０の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状を有し、その幅Ｗ８が、図７および図８のプローブピン１０における第２弾性部１５の帯状弾性片１５４の幅Ｗ７よりも大きくなるように構成されている。

図９および図１０に示すプローブピン１０の中間部１３には、中間部１３の延在方向の両端部から、中間部１３の延在方向に沿って相互に反対方向に突出する突起部１９０がそれぞれ設けられている。図９および図１０に示すプローブピン１０は、中間部１３の突起部１９０を介して、ソケット３のハウジング５０の内側面５０１を押圧した状態で、収容部７に収容されている。また、図１０に示すように、プローブピン１０がハウジング５０の収容部７に収容された状態において、第１弾性部１４の第１接触部１１に最も近い位置に配置された帯状弾性片１４１の直線帯部１６１が、収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３に当接している。すなわち、プローブピン１０は、係止部の一例のハウジング５０の内側面５０１および第２開口面５２に対向する内面５０３によって、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向に沿って、ばね定数が大きい第２弾性部１５に接続された第２接触部１２から、ばね定数が小さい第１弾性部１４に接続された第１接触部１１に向かう方向において、係止されている。

なお、図１０に示すソケット３のハウジング５０には、ハウジング５０の内側面５０１および第２開口面５２に対向する内面５０３によってプローブピン１０が係止されているため、段部５５を設けていないが、段部５５を有するハウジング５０を用いても構わない。

また、例えば、図１１および図１２に示すように、第２弾性部１５をプローブピン１０の延在方向沿いに直列的に連結された２つの弾性ユニット１５５で構成してもよい。

詳しくは、図１２に示すように、各弾性ユニット１５５は、プローブピン１０の延在方向に延びている連結帯部１８０と、プローブピン１０の延在方向に直交する幅方向に延びると共にプローブピン１０の延在方向に隙間を空けて配置された一対の直線帯部１８１と、各直線帯部１８１の連結帯部１８０に対して同じ側に配置された端部をそれぞれ接続する湾曲帯部１８２とで構成されている。湾曲帯部１８２は、プローブピン１０の延在方向の直交方向でかつ連結帯部１８０から離れる方向に突出した円弧状に延びている。

プローブピン１０の延在方向における第１接触部１１側の弾性ユニット１５５（以下、第１弾性ユニット１５５という）の連結帯部１８０は、中間部１３のその延在方向の略中央部と、第１弾性ユニット１５５の第１接触部１１側の直線帯部１８１の略中央部とに接続されている。また、プローブピン１０の延在方向における第２接触部１２側の弾性ユニット１５５（以下、第２弾性ユニット１５５という）の連結帯部１８０は、第１弾性ユニット１５５の第２接触部１２側の直線帯部１８１の略中央部と、第２弾性ユニット１５５の第１接触部１１側の直線帯部１８１とに接続されている。また、第２弾性ユニット１５５の第２接触部１２側の直線帯部１８１の略中央部には、第２接触部１２が接続されている。

すなわち、各弾性部１４、１５は、直線帯部１６１、１７１および湾曲帯部１６２、１７２で構成された蛇行形状に限らず、各接点部１１１、１２１と検査装置あるいは検査対象物との間の接圧を確保可能な他の構成を採用することもできる。

なお、第２弾性部１５は、２つの弾性ユニット１５５を連結して構成する場合に限らず、１つ弾性ユニット１５５のみで構成してもよいし、３つ以上の弾性ユニット１５５を連結して構成してもよい。また、第１弾性部１４を複数の弾性ユニット１５５で構成してもよい。

また、例えば、図１３および図１４に示すように、プローブピン１０の板厚方向から見て、プローブピン１０の延在方向に直交する方向において第２接触部１２が直線Ｌ３から離れて配置されるように（すなわち、第１接点部１１１および第２接点部１２１がオフセットするように）、第２弾性部１５を構成してもよい。

詳しくは、図１３および図１４のプローブピン１０は、第２接触部１２が単一の帯状弾性片１５６で構成されている。図１３および図１４のプローブピン１０の第２弾性部１５の帯状弾性片１５６は、２つの直線帯部１７１および３つの湾曲帯部１７２がプローブピン１０の延在方向に沿って交互に接続された蛇行形状で、第１弾性部１４の幅Ｗ４と略同一の幅を有している。

図１３および図１４のプローブピン１０を収容するソケット３は、直線Ｌ３に直交する方向において直線Ｌ３から遠い方のハウジング５０の側壁５０２に開口部５６が設けられている。この開口部５６は、直線Ｌ３の延在方向において、段部５５から第２開口面５２まで延びて、収容部７および第２開口面５２の開口部５４に接続されている。図１３および図１４に示すプローブピン１０は、第２接触部１２が、第２開口面５２の開口部５４およびハウジング５０の側壁５０２の開口部５６からハウジング５０の外部に露出した状態で、収容部７に収容されている。

なお、第２弾性部１５に代えて、第１弾性部１４を第１接点部１１１および第２接点部１２１がオフセットするように構成してもよい。

中間部１３は、第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向に交差する方向に延びる板状である場合に限らない。例えば、図１５および図１６に示すように、中間部１３は、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向の直交方向に延びる板状の本体部１３０と、本体部１３０のその延在方向の両端部にそれぞれ設けられた第１腕部１３１および第２腕部１３２とで構成することができる。第１腕部１３１は、中間部１３のその延在方向の一端部（すなわち、図１６の右端部）における第１接触部１１側の面からプローブピン１０の延在方向に沿って第１接触部１１に向かって延びている。また、第２腕部１３２は、中間部のその延在方向の他端部（すなわち、図１６の左端部）における第２接触部１２側の面からプローブピン１０の延在方向に沿って第２接触部１２に向かって延びている。

図１６に示すように、プローブピン１０がハウジング５０の収容部７に収容された状態において、第１腕部１３１の先端部１３３は、ハウジング５０の収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３に当接し、第２腕部１３２の先端部１３４は、ベースハウジング４の第１ハウジング５に当接する。すなわち、ハウジング５０の収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３が、収容部７に収容されたプローブピン１０の中間部１３を配列方向に沿って第２接触部１２から第１接触部１１に向かう方向において係止する係止部を構成している。また、図１５および図１６に示すプローブピン１０は、中間部１３の第１腕部１３１および第２腕部１３２がソケット３およびベースハウジング４に支持されて、収容部７に保持されるように構成されている。

なお、図１６に示すソケット３のハウジング５０には、ハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３によってプローブピン１０が係止されているため、段部５５を設けていないが、段部５５を有するハウジング５０を用いても構わない。

また、例えば、図１７および図１８に示すように、中間部１３は、第１接触部１１および第２接触部１２の配列方向の直交方向に延びる板状の本体部１３０と、本体部１３０のその延在方向の一端部に設けられ、プローブピン１０の延在方向に沿って中間部１３に対して反対方向に延びる第３腕部１３５および第４腕部１３６とで構成することができる。第３腕部１３５は、中間部１３のその延在方向の一端部（すなわち、図１８の右端部）における第１接触部１１側からプローブピン１０の延在方向に沿って第１接触部１１に向かって延びている。また、第３腕部１３５の先端部には、第３腕部１３５から第１接触部１１に向かって本体部１３０と略平行に延びる当接部１３７が設けられている。また、第４腕部１３６は、中間部１３のその延在方向の一端部（すなわち、図１８の右端部）における第２接触部１２側からプローブピン１０の延在方向に沿って第２接触部１２に向かって延びている。また、第４腕部１３６の先端部には、第４腕部１３６から第２接触部１２に向かって本体部１３０と略平行に延びる当接部１３８が設けられている。なお、第１弾性部１４および第２弾性部１５と中間部１３とは、本体部１３０のその延在方向の他端部（すなわち、図１８の左端部）で接続されている。

図１８に示すように、プローブピン１０がハウジング５０の収容部７に収容された状態において、第３腕部１３５の当接部１３７は、ハウジング５０の収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３に当接し、第４腕部１３６の当接部１３８は、ベースハウジング４の第１ハウジング５に当接する。すなわち、ハウジング５０の収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３が、収容部７に収容されたプローブピン１０の中間部１３を配列方向に沿って第２接触部１２から第１接触部１１に向かう方向において係止する係止部を構成している。また、図１７および図１８に示すプローブピン１０は、中間部１３の第３腕部１３５の当接部１３７および第４腕部１３６の当接部１３８がソケット３およびベースハウジング４に支持されて、収容部７に保持されるように構成されている。

なお、図１８に示すソケット３のハウジング５０には、ハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３によってプローブピン１０が係止されているため、段部５５を設けていないが、段部５５を有するハウジング５０を用いても構わない。

また、第２弾性部１５は、２つの帯状弾性片１５１、１５２で構成されている場合に限らず、例えば、図１９および図２０に示すように、４つの帯状弾性片１９１、１９２、１９３、１９４で構成してもよい。なお、第２弾性部１５は、単一の帯状弾性片で構成してもよいし、３つの帯状弾性片で構成してもよいし、５以上の帯状弾性片で構成してもよい。

また、例えば、図２１および図２２に示すように、中間部１３に、その板厚方向に貫通する貫通孔部１３９を設けてもよい。図２１および図２２に示すプローブピン１０では、中間部１３は、略矩形状を有し、その中央部に略円形状の貫通孔部１３９が設けられている。なお、図２２に示すように、中間部１３のプローブピン１０の延在方向における第１接触部１１側の面でかつプローブピン１０の延在方向の直交方向における一端部（すなわち、図２２の右端部）に、第１弾性部１４が接続され、中間部１３のプローブピン１０の延在方向の直交方向における一端部側の面でかつプローブピン１０の延在方向における第２接触部１２側に、第２弾性部１５が接続されている。

図２２に示すように、プローブピン１０がハウジング５０の収容部７に収容された状態において、第１弾性部１４の第１接触部１１に最も近い位置に配置された直線帯部１６１が、収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３に当接し、第２弾性部１５の直線帯部１７１が、ベースハウジング４の第１ハウジング５に当接している。すなわち、図２１および図２２に示すプローブピン１０は、第１弾性部１４の直線帯部１６１および第２弾性部１５の直線帯部１７１がソケット３およびベースハウジング４に支持されて、収容部７に保持されるように構成されている。

図２１および図２２に示すプローブピン１０を収容するソケット３のハウジング５０は、図１４に示すソケット３と同様に、プローブピン１０の板厚方向から見て、直線Ｌ３に直交する方向において直線Ｌ３から遠い方のハウジング５０の側壁５０２に開口部５６が設けられている。このソケット３のハウジング５０には、各収容部７の配列方向（すなわち、図２２の紙面貫通方向）に延びて、各収容部７を連通する連結用孔部５０４が設けられている。

また、図２３に示すように、ハウジング５０の各収容部７の配列方向の両端部には、第２開口面５２から第１開口面５１に向かって収容部７の配列方向の幅が狭くなる段部５７が設けられている。各プローブピン１０は、中間部１３の貫通孔部１３９に配置された略円柱形状の連結棒部５８によって一体化され、対応する収容部７に収容される。連結棒部５８は、連結用孔部５０４に配置され、その延在方向の両端部がハウジング５０の段部５７により係止されている。すなわち、ハウジング５０の収容部７を構成するハウジング５０の第２開口面５２に対向する内面５０３と、連結棒部５８を係止する段部５７とが、収容部７に収容されたプローブピン１０の中間部１３を配列方向に沿って第２接触部１２から第１接触部１１に向かう方向において係止する係止部を構成している。

検査治具２およびベースハウジング４は、検査装置あるいは検査対象物の様々な態様に応じて、その構成を適宜変更することができる。すなわち、検査治具２およびベースハウジング４を汎用化して、検査ユニット１（ひいては検査装置）の生産性を向上させることができる。

以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。

本開示の第１態様のプローブピン１０は、
板状の第１接触部１１および板状の第２接触部１２と、
前記第１接触部１１および前記第２接触部１２の間に配置された中間部１３と、
前記第１接触部１１および前記中間部１３に接続され、前記第１接触部１１および前記第２接触部１２を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部１４と、
前記中間部１３および前記第２接触部１２に接続され、前記配列方向に沿って伸縮する第２弾性部１５と
を備え、
前記第１弾性部１４のばね常数が、前記第２弾性部１５のばね常数よりも小さくなるように構成されている。

第１態様のプローブピン１０によれば、第１接触部１１および中間部１３に接続されかつ第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部１４のばね常数が、中間部１３および第２接触部１２に接続されかつ第１接触部１１および第２接触部１２を結んだ配列方向に沿って伸縮する第２弾性部１５のばね常数よりも小さくなるように構成されている。これにより、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピン１０を実現できる。

本開示の第２態様のプローブピン１０は、
前記第１弾性部１４の前記中間部１３および前記第１接触部１１間の第１経路６１の長さと、前記第２弾性部１５の前記中間部１３および前記第２接触部１２間の第２経路６２の長さとが異なっているか、あるいは、前記第１経路６１のその延在方向に直交する幅方向の長さである第１幅と、前記第２経路６２のその延在方向に直交する幅方向の長さである第２幅とが異なっているか、あるいは、前記第１経路６１の長さと前記第２経路６２の長さが異なっておりかつ前記第１幅と前記第２幅とが異なっている。

第２態様のプローブピン１０によれば、設計の自由度が高いプローブピン１０を実現できる。

本開示の第３態様のプローブピン１０は、
前記第１弾性部１４および前記第２弾性部１５の各々が、前記配列方向に交差する直線帯部１６１、１７１と、前記直線帯部１６１、１７１に接続された湾曲帯部１６２、１７２とが交互に連続する蛇行形状を有している。

第３態様のプローブピン１０によれば、検査対象物および検査装置に対して異なる接触荷重で接触可能なプローブピン１０を容易に実現できる。

本開示の第４態様のプローブピン１０は、
前記第１弾性部１４の前記湾曲帯部１６２の数が、前記第２弾性部１５の前記湾曲帯部１７２の数よりも多くなるように構成されている。

第４態様のプローブピン１０によれば、設計の自由度が高いプローブピン１０を実現できる。

本開示の第５態様の検査治具２は、
請求項１から４のいずれか１つプローブピン１０と、
前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケット３と
を備え、
前記ソケット３が、
前記収容部７に収容された前記プローブピン１０の前記中間部１３を、前記配列方向に沿って前記第２接触部１２から前記第１接触部１１に向かう方向において係止する係止部５５、５０１、５０３、５７を有している。

第５態様の検査治具２によれば、プローブピン１０により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査治具２を実現できる。

本開示の第６態様の検査ユニット１は、
前記検査治具を少なくとも１つ備えた。

第６態様の検査ユニット１によれば、検査治具２により、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査ユニット１を実現できる。

本開示の第７態様の検査装置は、
前記検査ユニット１を少なくとも１つ備えた。

第７態様の検査装置によれば、要求される接触荷重が異なる検査対象物および検査装置に接触可能な検査装置を実現できる。

なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本開示のプローブピンは、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査治具に適用できる。

本開示の検査治具は、例えば、液晶パネルの検査に用いる検査ユニットに適用できる。

本開示の検査ユニットは、例えば、液晶パネルの検査装置に適用できる。

本開示の検査装置は、例えば、液晶パネルの検査に用いることができる。

１ 検査ユニット
２ 検査治具
３ ソケット
４ ベースハウジング
５ 第１ハウジング
６ 第２ハウジング
７ 収容部
１０ プローブピン
１１ 第１接触部
１１１ 第１接点部
１２ 第２接触部
１２１ 第２接点部
１３ 中間部
１３０ 本体部
１３１、１３２、１３５、１３６ 腕部
１３３、１３４ 先端部
１３７、１３８ 当接部
１３９ 貫通孔部
１４ 第１弾性部
１４１、１４２ 帯状弾性片
１４３ 隙間
１５ 第２弾性部
１５１、１５２、１５４、１５６、１９１、１９２、１９３、１９４ 帯状弾性片
１５３ 隙間
１５５ 弾性ユニット
１６１、１７１、１８１ 直線帯部
１６２、１７２、１８２ 湾曲帯部
１８０ 連結帯部
１９０ 突起部
５０ ハウジング
５０１ 内側面
５０２ 側壁
５０３ 内面
５０４ 連結用孔部
５１ 第１開口面
５２ 第２開口面
５３、５４、５６ 開口部
５５、５７ 段部
５８ 連結棒部
６１ 第１経路
６２ 第２経路
Ｌ１〜Ｌ３ 直線
Ｗ１〜Ｗ８ 幅

Claims (9)

1. 第１接触部および第２接触部と、前記第１接触部および前記第２接触部の間に配置された中間部と、前記第１接触部および前記中間部に接続され、前記第１接触部および前記第２接触部を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部と、前記中間部および前記第２接触部に接続され、前記配列方向に沿って伸縮する第２弾性部とを含み、前記第１接触部が、前記配列方向に沿って延びる板状で、前記配列方向における前記中間部から遠い方の端部に設けられた第１接点部を有し、前記第２接触部が、前記配列方向に沿って延びる板状で、前記配列方向における前記中間部から遠い方の端部に設けられた第２接点部を有し、前記第１弾性部のばね常数が、前記第２弾性部のばね常数よりも小さくなるように構成されている、プローブピンと、
   前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
   を備え、
   前記ソケットが、
   前記収容部に収容された前記プローブピンの前記中間部を、前記配列方向に沿って前記第２接触部から前記第１接触部に向かう方向において係止する係止部を有している、検査治具。
2. 前記第１弾性部の前記中間部および前記第１接触部間の第１経路の長さと、前記第２弾性部の前記中間部および前記第２接触部間の第２経路の長さとが異なっているか、あるいは、前記第１経路のその延在方向に直交する幅方向の長さである第１幅と、前記第２経路のその延在方向に直交する幅方向の長さである第２幅とが異なっているか、あるいは、前記第１経路の長さと前記第２経路の長さが異なっておりかつ前記第１幅と前記第２幅とが異なっている、請求項１の検査治具。
3. 前記第１弾性部および前記第２弾性部の各々が、前記配列方向に交差する直線帯部と、前記直線帯部に接続された湾曲帯部とが交互に連続する蛇行形状を有している、請求項１または２の検査治具。
4. 前記第１弾性部の前記湾曲帯部の数が、前記第２弾性部の前記湾曲帯部の数よりも多くなるように構成されている、請求項３の検査治具。
5. 板状の第１接触部および板状の第２接触部と、前記第１接触部および前記第２接触部の間に配置された中間部と、前記第１接触部および前記中間部に接続され、前記第１接触部および前記第２接触部を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部と、前記中間部および前記第２接触部に接続され、前記配列方向に沿って伸縮する第２弾性部とを含み、前記第１弾性部のばね常数が、前記第２弾性部のばね常数よりも小さくなるように構成され、前記第１弾性部および前記第２弾性部の各々が、前記配列方向に交差する直線帯部と前記直線帯部に接続された湾曲帯部とが交互に連続する蛇行形状を有し、前記第１弾性部の前記湾曲帯部の数が、前記第２弾性部の前記湾曲帯部の数よりも多くなるように構成されている、プローブピンと、
   前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
   を備え、
   前記ソケットが、
   前記収容部に収容された前記プローブピンの前記中間部を、前記配列方向に沿って前記第２接触部から前記第１接触部に向かう方向において係止する係止部を有している、検査治具。
6. 前記第１弾性部の前記中間部および前記第１接触部間の第１経路の長さと、前記第２弾性部の前記中間部および前記第２接触部間の第２経路の長さとが異なっているか、あるいは、前記第１経路のその延在方向に直交する幅方向の長さである第１幅と、前記第２経路のその延在方向に直交する幅方向の長さである第２幅とが異なっているか、あるいは、前記第１経路の長さと前記第２経路の長さが異なっておりかつ前記第１幅と前記第２幅とが異なっている、請求項５の検査治具。
7. 板状の第１接触部および板状の第２接触部と、前記第１接触部および前記第２接触部の間に配置された中間部と、前記第１接触部および前記中間部に接続され、前記第１接触部および前記第２接触部を結んだ配列方向に沿って伸縮する第１弾性部と、前記中間部および前記第２接触部に接続され、前記配列方向に沿って伸縮する第２弾性部とを備え、前記第１弾性部のばね常数が、前記第２弾性部のばね常数よりも小さくなるように構成されている、プローブピンと、
   前記プローブピンを収容可能な収容部を有するソケットと
   を備え、
   前記ソケットが、
   前記収容部に収容された前記プローブピンの前記中間部を、前記配列方向に沿って前記第２接触部から前記第１接触部に向かう方向において係止する係止部を有している、検査治具。
8. 請求項１から７のいずれか１つの検査治具を少なくとも１つ備えた、検査ユニット。
9. 請求項８の検査ユニットを少なくとも１つ備えた検査装置。

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