JP2022135106A - プローブピン、検査治具および検査治具ユニット - Google Patents

Abstract

【課題】弾性部が伸縮する際の隣接する直線部間の干渉を抑制可能なプローブピンを提供すること。【解決手段】プローブピンが、弾性部と、弾性部の一端に配置された第１接触部と、弾性部の他端に配置された第２接触部とを備える。弾性部が、第１弾性片および第２弾性片と、第１弾性片および第２弾性片の間に設けられた貫通孔とを有する。第１弾性片および第２弾性片の各々が、複数の直線部と、隣接する直線部の各々の両端のいずれかに接続された湾曲部とを有する。第１接触部の最も近くに配置された第１直線部が、第１接触部に対して第２方向の一端側から接続され、第２接触部の最も近くに配置された第２直線部が、第２接触部に対して第１接触部と同一側から接続されている。第１弾性片の湾曲部および第２弾性片の湾曲部のうち、弾性部の中心線から離れて配置された外側湾曲部の中間部が、外側湾曲部が接続された直線部の幅よりも大きい幅を有している。【選択図】図３

Description

本開示は、プローブピン、検査治具および検査治具ユニットに関する。

カメラあるいは液晶パネル等の電子部品モジュールでは、一般に、その製造工程において、導通検査および動作特性検査等が行われる。これらの検査は、プローブピンを用いて、電子部品モジュールに設置されている本体基板に接続するための端子と、検査装置の端子とを接続することにより行われる。

このようなプローブピンとしては、特許文献１に記載されたものがある。特許文献１のプローブピンは、貫通孔が設けられた弾性部と、弾性部の長手方向の一端に配置された第１接触部と、弾性部の長手方向の他端に配置された第２接触部とを備えている。前記プローブピンの弾性部は、直線部および湾曲部が交互に連続する蛇行形状を有している。

特開２０１７－２２３６２８号公報

前記プローブピンは、弾性部が伸縮する際の隣接する直線部間の干渉を抑制する点において、改善の余地がある。

本開示は、弾性部が伸縮する際の隣接する直線部間の干渉を抑制可能なプローブピンを提供することを目的とする。

本開示の一態様のプローブピンは、
第１方向に沿って伸縮する弾性部と、
前記弾性部の前記第１方向の一端に配置された第１接触部と、
前記弾性部の前記第１方向の他端に配置された第２接触部と
を備え、
前記弾性部が、
第１弾性片および第２弾性片と、
前記第１弾性片および前記第２弾性片の間に設けられた貫通孔と
を有し、
前記第１弾性片および前記第２弾性片の各々が、
前記第１方向に交差する第２方向に沿って延びる複数の直線部と、
隣接する前記直線部の各々における前記第２方向の両端のいずれかに接続された湾曲部と
を有し、
前記直線部および前記湾曲部が前記第１方向に沿って交互に配置され、
前記第１方向において前記第１接触部の最も近くに配置された前記直線部である第１直線部が、前記第１接触部に対して前記第２方向の一端側から接続され、
前記第１方向において前記第２接触部の最も近くに配置された前記直線部である第２直線部が、前記第２接触部に対して前記第２方向において前記第１接触部と同一側から接続され、
前記第１弾性片の前記湾曲部および前記第２弾性片の前記湾曲部のうち、前記弾性部の前記第２方向の中心を通る中心線から前記第２方向に離れて配置された外側湾曲部の中間部が、前記外側湾曲部が接続された前記直線部の幅よりも大きい幅を有している。

本開示の一態様の検査治具は、
前記態様のプローブピンと、
前記第１接触部の一部および前記第２接触部の一部が外部に露出した状態で前記プローブピンを収容する収容部を内部に有するハウジングと
を備え、
前記プローブピンが、
前記第１接触部および前記第１直線部を接続する接続部を有し、
前記第１直線部および前記接続部が、前記収容部を構成する前記ハウジングの内面に前記第１方向において接触した状態で、前記収容部に収容されている。

本開示の一態様の検査治具ユニットは、
前記態様の検査治具を複数備える。

前記プローブピンによれば、弾性部が伸縮する際の隣接する直線部間の干渉を抑制可能なプローブピンを実現できる。

前記検査治具によれば、前記プローブピンが伸縮する際の弾性部の隣接する直線部間の干渉を抑制可能な検査治具を実現できる。

前記検査治具ユニットによれば、前記検査治具により、プローブピンが伸縮する際の弾性部の隣接する直線部間の干渉を抑制可能な検査治具ユニットを実現できる。

本開示の一実施形態の検査治具を示す斜視図。 図１のII-II線に沿った断面図。 図１の検査治具に収容されているプローブピンの第１の部分平面図。 図１の検査治具に収容されているプローブピンの第２の部分平面図。 図１の検査治具を備えた検査治具ユニットの平面図。 図１の検査治具に収容されているプローブピンの変形例を示す部分平面図。

以下、本開示の一例を添付図面に従って説明する。なお、以下の説明では、必要に応じて特定の方向あるいは位置を示す用語（例えば、「上」、「下」、「右」、「左」を含む用語）を用いるが、それらの用語の使用は図面を参照した本開示の理解を容易にするためであって、それらの用語の意味によって本開示の技術的範囲が限定されるものではない。また、以下の説明は、本質的に例示に過ぎず、本開示、その適用物、あるいは、その用途を制限することを意図するものではない。さらに、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは必ずしも合致していない。

本開示の一実施形態の検査治具１０は、図１に示すように、ハウジング２０と、ハウジング２０の内部に収容されたプローブピン３０とを有している。本実施形態では、検査治具１０は、プローブピン３０を複数有している。各プローブピン３０は、例えば、導電性の材料を用いて電鋳法で形成された細長い薄板状で、第１方向（例えば、Ｙ方向）に沿って伸縮する。各プローブピン３０は、板厚方向（例えば、Ｚ方向）に間隔を空けて並んで配置され、相互に電気的に独立した状態で、ハウジング２０に収容されている。

ハウジング２０は、一例として、絶縁性の略直方体形状で、図１に示すように、ハウジング本体２１と、蓋部２２とを有している。

ハウジング本体２１は、図２に示すように、その内部に設けられプローブピン３０を収容する凹状の収容部２３と、第１方向Ｙの一端に設けられた第１開口部２４と、第１方向Ｙの他端に設けられた第２開口部２５とを有している。本実施形態では、ハウジング本体２１は、複数の収容部２３を有している。各収容部２３は、収容されているプローブピン３０の板厚方向Ｚに沿って見た場合に、その長手方向に延びる略矩形状を有し、第１開口部２４および第２開口部２５に接続されている。

第１開口部２４は、後述するプローブピン３０の第１接触部３２のみを第１方向Ｙから挿入可能に構成されている。第１開口部２４は、収容部２３の底面２３１を構成するハウジング本体２１の壁部２１１を第１方向Ｙに貫通する貫通孔２１２に接続されている。貫通孔２１２の第１方向Ｙに交差する第２方向（例えば、Ｘ方向）の一端は、収容部２３の一方の側面２３２に接続されている。貫通孔２１２の第２方向Ｘの他端は、収容部２３の底面２３１に接続されている。貫通孔２１２および収容部２３の底面２３１が接続された角部２３３は、Ｃ面取りされている。これにより、プローブピン３０が伸縮する際にハウジング本体２１に接触して損傷するのを防止している。

第２開口部２５は、プローブピン３０全体を第１方向Ｙから挿入可能に構成されている。第２開口部２５の第２方向Ｘの一端は、収容部２３の第２方向Ｘにおける一方の側面２３２に接続され、第２開口部２５の第２方向Ｘの他端は、収容部２３の第２方向Ｘにおける他方の側面２３４に接続されている。

蓋部２２は、ハウジング本体２１の第２開口部２５側の端面に取り付けられて、第２開口部２５を覆っている。蓋部２２は、第２接触部３３のみを収容可能な貫通孔２６を有している。貫通孔２６は、蓋部２２がハウジング本体２１に取り付けられた状態で、第１開口部２４を通り第１方向Ｙに沿って延びる仮想直線Ｌ１上に配置されている。言い換えると、ハウジング本体２１の貫通孔２１２と、蓋部２２の貫通孔２６とは、仮想直線Ｌ１を軸とする同軸上に配置されている。本実施形態では、仮想直線Ｌ１は、第１接触部３２の本体部３２１の第２方向Ｘの中心と、第２接触部３３の第３接点部３３２とを通る。貫通孔２６の第２方向Ｘの一端は、収容部２３の第２方向Ｘにおける一方の側面２３２に接続されている。

収容部２３の収容されたプローブピン３０は、後述するプローブピン３０の弾性部３１を構成する第１直線部４１が、収容部２３の底面２３１を構成するハウジング本体２１の内面に接触している。第１開口部２４を介して、第１接触部３２の一部がハウジング２０の外部に露出している。また、収容部２３に収容されたプローブピン３０は、後述するプローブピン３０の弾性部３１を構成する第２直線部４５および接続部７０が、収容部２３を構成する蓋部２２のハウジング本体２１に対向する面２２１に接触している。第２開口部２５を介して、後述するプローブピン３０の第２接触部３３がハウジング２０の外部に露出している。

プローブピン３０は、例えば、図２に示すように、第１方向Ｙに沿って伸縮する弾性部３１と、弾性部３１の第１方向Ｙの一端に配置された第１接触部３２と、弾性部３１の第１方向Ｙの他端に配置された第２接触部３３とを備えている。

弾性部３１は、一例として、図２に示すように、全体として蛇行形状を有している。弾性部３１は、図３および図４に示すように、第１弾性片４０および第２弾性片５０と、第１弾性片４０および第２弾性片５０の間に設けられた貫通孔６０とを有している。

第１弾性片４０および第２弾性片５０の各々は、複数の直線部と、少なくとも１つの湾曲部とを有し、直線部および湾曲部が第１方向Ｙに沿って交互に配置されている。各直線部は、第２方向Ｘに沿って延びている。湾曲部は、隣接する直線部の各々における第２方向Ｘの両端のいずれかに接続されている。

複数の直線部は、第１直線部４１と、第２直線部４５と、第３直線部４２、５１とを含む。第１直線部４１は、第１方向Ｙにおいて第１接触部３２の最も近くに配置されている。第２直線部４５は、第１方向Ｙにおいて第２接触部３３の最も近くに配置されている。第３直線部４２は、第１方向Ｙにおいて第１直線部４１および第２直線部４５の間に配置されている。本実施形態では、第１直線部４１および第２直線部４５は、いずれも第１弾性片４０の一部を構成している。第１直線部４１、第２直線部４５および第３直線部４２、５１は、略同一の幅Ｗ１（言い換えると、第１方向Ｙの長さ）を有している。

図３に示すように、第１直線部４１は、第１接触部３２に対して第２方向Ｘの一端側（例えば、図３の左側）から接続されている。

図４に示すように、第２直線部４５は、第２接触部３３に対して第２方向Ｘにおいて第１接触部３２と同一側（例えば、図４の左側）から接続されている。本実施形態では、第２直線部４５は、接続部７０を介して第２接触部３３に接続されている。接続部７０は、第１方向Ｙにおける第１弾性片４０の直線部の外端から第２弾性片５０の外端までの長さと略同一の幅（言い換えると、第１方向Ｙの長さ）を有し、貫通孔６０が設けられていない。

湾曲部は、外側湾曲部４３、５２と、内側湾曲部４４、５３とを含む。外側湾曲部４３、５２は、第１弾性片４０の湾曲部および第２弾性片５０の湾曲部のうち、弾性部３１の第２方向の中心を通る中心線ＣＬから第２方向Ｘに離れて配置された湾曲部を構成している。内側湾曲部４４、５３は、第１弾性片４０の湾曲部および第２弾性片５０の湾曲部のうち、第２方向Ｘにおいて中心線ＣＬの近くに配置された湾曲部を構成している。本実施形態では、内側湾曲部４４、５３の直線部が接続された両端部分を除く中間部は、外側湾曲部４３、５２の中間部の幅Ｗ２よりも小さい幅Ｗ３を有している。

図３に示すように、外側湾曲部４３、５２の中間部４３２、５２２は、外側湾曲部４３、５２が接続された直線部の幅Ｗ１よりも大きい幅Ｗ２（言い換えると、外側湾曲部４３、５２の曲率中心に対する径方向の長さ）を有している。つまり、外側湾曲部４３、５２は、中間部４３２、５２２の幅が、直線部が接続された端部４３１、５２１の幅よりも大きくなっている。本実施形態では、外側湾曲部４３、５２の幅Ｗ２は、中間部４３２、５２２のうち、第２方向Ｘにおいて中心線ＣＬから最も離れた部分の幅Ｗ２１が最も大きく、この部分から中心線ＣＬに接近するに従って次第に小さくなっている。

図４に示すように、内側湾曲部４４、５３の中間部４４２、５３２は、内側湾曲部４４、５３が接続された直線部の幅Ｗ１よりも大きい幅Ｗ３（言い換えると、内側湾曲部４４、５３の曲率中心に対する径方向の長さ）を有している。つまり、内側湾曲部４４、５３は、中間部４４２、５３２の幅が、直線部が接続された端部４４１、５３１の幅よりも大きくなっている。本実施形態では、内側湾曲部４４、５３の幅Ｗ３も外側湾曲部４３、５２と同様に、中間部４４２、５３２のうち、第２方向Ｘにおいて中心線ＣＬから最も離れた部分の幅Ｗ３１が最も大きく、この部分から中心線ＣＬに接近するに従って次第に小さくなっている。

貫通孔６０は、図２に示すように、弾性部３１の形状に沿って、弾性部３１が延びる方向における一端から他端まで連続して延びている。つまり、第１弾性片４０の直線部および第２弾性片５０の直線部の間の貫通孔６０と、第１弾性片４０の湾曲部および第２弾性片５０の湾曲部の間の貫通孔６０とは、相互に接続されている。本実施形態では、湾曲部における貫通孔６０が、直線部における貫通孔６０の幅Ｗ４以下の幅Ｗ５を有している。貫通孔６０の幅Ｗ４、Ｗ５は、例えば、第１弾性片４０および第２弾性片５０間の直線距離の長さである。

第１接触部３２は、図２に示すように、弾性部３１の第１直線部４１が接続された本体部３２１と、本体部３２１から第１方向Ｙに沿って第１直線部４１から離れる方向にそれぞれ延びる第１脚部３２２および第２脚部３２３を有している。第１脚部３２２および第２脚部３２３は、第２方向Ｘに隙間３２４を空けてそれぞれ配置されている。

第１脚部３２２は、第１方向Ｙにおける本体部３２１から遠い端に設けられ、第２方向Ｘにおいて間隔を空けて配置された一対の第１接点部３２５を有している。第１脚部３２２の第１方向Ｙにおける本体部３２１から遠い端には、第２方向Ｘにおいて第２脚部３２３に接近する方向に突出する突出部３２６が設けられている。各第１接点部３２５は、突出部３２６の第２方向Ｘの両端にそれぞれ配置されている。突出部３２６の一対の第１接点部３２５の間の部分は、第１方向Ｙに沿って本体部３２１に向かう方向に窪んでいる。

第２脚部３２３は、第１方向Ｙにおける本体部３２１から遠い端に設けられ、第２方向Ｘにおいて間隔を空けて配置された一対の第２接点部３２７を有している。第２脚部３２３の第１方向Ｙにおける本体部３２１から遠い端には、第２方向Ｘにおいて第１脚部３２２に接近する方向に突出する突出部３２８が設けられている。各第２接点部３２７は、突出部３２８の第２方向Ｘの両端にそれぞれ配置されている。突出部３２８の一対の第２接点部３２７の間の部分は、第１方向Ｙに沿って本体部３２１に向かう方向に窪んでいる。

本実施形態では、一対の第１接点部３２５および一対の第２接点部３２７は、同一の第２方向Ｘに沿って延びる仮想直線Ｌ２上に配置されている。第１脚部３２２および第２脚部３２３間の隙間３２４は、突出部３２６、３２８が設けられている部分が、第２方向Ｘにおいて最も小さくなっている。

第２接触部３３は、図２に示すように、接続部７０が接続された本体部３３１と、本体部３３１に設けられた第３接点部３３２とを有している。本体部３３１は、例えば、第１方向Ｙに沿って延びる略矩形状を有している。第３接点部３３２は、本体部３３１の第１方向Ｙにおける弾性部３１から遠い端に設けられ、第１方向Ｙに沿って前記弾性部３１から離れる方向に突出する湾曲形状を有している。本体部３３１の第１方向Ｙにおける弾性部３１に近い端には、切欠３３３が設けられている。切欠３３３は、第２方向Ｘにおいて本体部３３１の接続部７０が接続されている端とは反対側の端に設けられている。

プローブピン３０は、次のような効果を発揮できる。

プローブピン３０が、第１方向に沿って伸縮する弾性部３１と、弾性部３１の第１方向の一端に配置された第１接触部３２と、弾性部３１の第１方向の他端に配置された第２接触部３３とを備える。弾性部３１が、第１弾性片４０および第２弾性片５０と、第１弾性片４０および第２弾性片５０の間に設けられた貫通孔６０とを有する。第１弾性片４０および第２弾性片５０の各々が、第２方向に沿って延びる複数の直線部と、隣接する直線部の各々における第２方向の両端のいずれかに接続された湾曲部とを有する。直線部および湾曲部が第１方向に沿って交互に配置されている。第１方向において第１接触部３２の最も近くに配置された第１直線部４１が、第１接触部３２に対して第２方向の一端側から接続されている。第１方向において第２接触部３３の最も近くに配置された第２直線部４５が、第２接触部３３に対して第２方向において第１接触部３２と同一側から接続されている。第１弾性片４０の湾曲部および第２弾性片５０の湾曲部のうち、中心線ＣＬから第２方向に離れて配置された外側湾曲部４３、５２の中間部４３２、５２２が、外側湾曲部４３、５２が接続された直線部の幅Ｗ１よりも大きい幅Ｗ２を有している。このような構成により、プローブピン３０が第１方向に沿って伸縮する際に、弾性部３１の隣接する直線部間の接触を回避することができる。その結果、弾性部３１が伸縮する際の隣接する直線部間の干渉を抑制可能なプローブピン３０を実現できる。また、プローブピン３０を圧縮した場合に弾性部３１に加えられる応力を全体として湾曲部から直線部に分散させて、プローブピン３０の耐久性を向上させることができる。

湾曲部における貫通孔６０が、直線部における貫通孔６０の幅Ｗ４以下の幅Ｗ５を有している。このような構成により、プローブピン３０が第１方向に沿って伸縮する際に、弾性部３１の隣接する直線部間の接触をより確実に回避することができる。また、プローブピン３０を圧縮した場合に弾性部３１に加えられる応力をより確実に分散させることができる。

第１弾性片４０の湾曲部および第２弾性片５０の湾曲部のうち、第２方向において中心線ＣＬの近くに配置された内側湾曲部４４、５３の中間部４４２、５３２が、外側湾曲部４３、５２の中間部４３２、５２２の幅Ｗ２よりも小さい幅Ｗ３を有している。このような構成により、プローブピン３０を圧縮した場合に弾性部３１に加えられる応力をより確実に分散させることができる。

第１弾性片４０の湾曲部および第２弾性片５０の湾曲部のうち、第２方向において中心線ＣＬの近くに配置された内側湾曲部４４、５３の中間部４４２、５３２が、内側湾曲部４４、５３が接続された直線部の幅Ｗ１よりも大きい幅Ｗ３を有している。このような構成により、プローブピン３０を圧縮した場合に弾性部３１に加えられる応力をより確実に分散させることができる。

第１接触部３２が、第１直線部４１が接続された本体部３２１と、本体部３２１から第１方向に沿って第１直線部４１から離れる方向にそれぞれ延びると共に、第２方向に隙間３２４を空けてそれぞれ配置された第１脚部３２２および第２脚部３２３とを有する。第１脚部３２２が、第１方向における本体部３２１から遠い端に設けられ、第２方向において間隔を空けて配置された一対の第１接点部３２５を有する。第２脚部３２３が、第１方向における本体部３２１から遠い端に設けられ、第２方向において間隔を空けて配置された一対の第２接点部３２７を有する。このような構成により、一対の第１接点部３２５および一対の第２接点部３２７が、検査対象物または検査装置に対して第２方向に滑りながら接触（ワイピング）して、検査対象物または検査装置に付着した異物を取り除くことができる。また、ワイピングにより取り除かれた異物を第１脚部３２２および第２脚部３２３の隙間３２４から排出することができる。その結果、プローブピン３０の接触信頼性を高めることができる。

検査治具１０は、次のような効果を発揮できる。

検査治具１０が、プローブピン３０と、第１接触部３２の一部および第２接触部３３の一部が外部に露出した状態でプローブピン３０を収容する収容部２３を内部に有するハウジング２０とを備える。プローブピン３０が、第２接触部３３および第２直線部４５を接続する接続部７０を有し、第２直線部４５および接続部７０が、収容部２３を構成するハウジング２０の内面に第１方向において接触した状態で、収容部２３に収容されている。プローブピン３０が伸縮する際の弾性部３１の隣接する直線部間の干渉を抑制可能な検査治具１０を実現できる。また、弾性部３１のばね性を確保しつつ、プローブピン３０が第１接触部３２から第２接触部３３に向かって押圧された場合の検査治具１０の強度を確保することができる。

収容されているプローブピン３０の外側湾曲部が、湾曲部の第２方向において中心線ＣＬから遠い外面から中心線ＣＬに接近する方向に延びる幅を有している。このような構成により、収容部２３のスペースに制約がある場合であっても、プローブピン３０を正常に動作させることができる。

検査治具１０およびプローブピン３０は、次のように構成することもできる。

図５に示すように、複数の検査治具１０で検査治具ユニット１を構成することができる。検査治具ユニット１は、複数の検査治具１０を収容して位置決めするハウジングを備えていてもよい。

前記実施形態では、プローブピン３０は、仮想直線Ｌ１の近くに配置された外側湾曲部（例えば、湾曲部５２）と、仮想直線Ｌ１から離れて配置されている外側湾曲部（例えば、湾曲部４３）とが略同一の形状し、第２方向Ｘにおいて中心線ＣＬから最も離れた部分の幅Ｗ２１が略同一の弾性部３１を備えているが、これに限らない。図６に示すように、プローブピン３０は、仮想直線Ｌ１の近くに配置された外側湾曲部（例えば、湾曲部５２）と、仮想直線Ｌ１から離れて配置されている外側湾曲部（例えば、湾曲部４３）とが異なる形状を有する弾性部３１を備えてもよい。図６のプローブピン３０では、湾曲部５２の第２方向Ｘにおいて中心線ＣＬから最も離れた部分の幅Ｗ２２が、湾曲部４３の第２方向Ｘにおいて中心線ＣＬから最も離れた部分の幅Ｗ２３よりも大きくなっている。湾曲部４３の中間部４３２の幅Ｗ２は、湾曲部４３が接続された直線部の幅Ｗ１よりも僅かに大きい幅Ｗ２を有している。このように構成することで、弾性部３１の伸縮を直線化して、第１接触部３２および第２接触部３３の横滑り（つまり、第２方向Ｘへの移動）を防止することができる。

弾性部３１の直線部は、複数設けられていればよい。弾性部３１の湾曲部は、少なくとも１つ設けられていればよい。

第１接触部３２および第２接触部３３は、プローブピン３０の設計等に応じて任意の構成を採用できる。例えば、検査対象物または検査装置に応じて、任意の形状および構成の接点を第１接触部３２および第２接触部３３に設けることができる。つまり、第１接触部３２が、第１脚部３２２および第２脚部３２３を有する場合に限らず、第２接触部３３が、第１脚部３２２および第２脚部３２３を有していてもよい。第１接触部３２および第２接触部３３の両方が、第１脚部３２２および第２脚部３２３を有していてもよい。

ハウジング２０は、少なくとも１つのプローブピン３０を収容可能な任意の構成を採用できる。

接続部７０は、第２直線部４５側ではなく、第１直線部４１側に設けてもよい。つまり、プローブピン３０は、第１直線部４１および接続部７０が、収容部２３を構成するハウジング２０の底面２３１に第１方向Ｙにおいて接触した状態で、収容部２３に収容されていてもよい。

以上、図面を参照して本開示における種々の実施形態を詳細に説明したが、最後に、本開示の種々の態様について説明する。なお、以下の説明では、一例として、参照符号も添えて記載する。

本開示の第１態様のプローブピン３０は、
第１方向に沿って伸縮する弾性部３１と、
前記弾性部３１の前記第１方向の一端に配置された第１接触部３２と、
前記弾性部３１の前記第１方向の他端に配置された第２接触部３３と
を備え、
前記弾性部３１が、
第１弾性片４０および第２弾性片５０と、
前記第１弾性片４０および前記第２弾性片５０の間に設けられた貫通孔６０と
を有し、
前記第１弾性片４０および前記第２弾性片５０の各々が、
前記第１方向に交差する第２方向に沿って延びる複数の直線部と、
隣接する前記直線部の各々における前記第２方向の両端のいずれかに接続された湾曲部と
を有し、
前記直線部および前記湾曲部が前記第１方向に沿って交互に配置され、
前記第１方向において前記第１接触部３２の最も近くに配置された前記直線部である第１直線部４１が、前記第１接触部３２に対して前記第２方向の一端側から接続され、
前記第１方向において前記第２接触部の最も近くに配置された前記直線部である第２直線部４５が、前記第２接触部３３に対して前記第２方向において前記第１接触部３２と同一側から接続され、
前記第１弾性片４０の前記湾曲部および前記第２弾性片５０の前記湾曲部のうち、前記弾性部３１の前記第２方向の中心を通る中心線ＣＬから前記第２方向に離れて配置された外側湾曲部の中間部が、前記外側湾曲部が接続された前記直線部の幅Ｗ１よりも大きい幅Ｗ２を有している。

本開示の第２態様のプローブピン３０は、
前記湾曲部における前記貫通孔６０が、前記直線部における前記貫通孔６０の幅Ｗ４以下の幅Ｗ５を有している。

本開示の第３態様のプローブピン３０は、
前記第１弾性片４０の前記湾曲部および前記第２弾性片５０の前記湾曲部のうち、前記第２方向において前記中心線ＣＬの近くに配置された内側湾曲部の中間部が、前記外側湾曲部の幅Ｗ２よりも小さい幅Ｗ３を有している。

本開示の第４態様のプローブピン３０は、
前記弾性部３１が、複数の前記外側湾曲部を有し、
複数の前記外側湾曲部のうち、前記第１接触部および前記第２接触部を通り前記第１方向に沿って延びる仮想直線Ｌ１の近くに配置された前記外側湾曲部の中間部が、前記仮想直線から離れて配置されている前記外側湾曲部の幅Ｗ２３よりも大きい幅Ｗ２２を有している。

本開示の第５態様のプローブピン３０は、
前記第１弾性片４０の前記湾曲部および前記第２弾性片５０の前記湾曲部のうち、前記第２方向において前記中心線ＣＬの近くに配置された内側湾曲部の中間部が、前記内側湾曲部が接続された前記直線部の幅Ｗ１よりも大きい幅Ｗ３を有している。

本開示の第６態様のプローブピン３０は、
前記第１接触部３２および前記第２接触部３３の少なくともいずれかが、
前記直線部が接続された本体部３２１と、
前記本体部３２１から前記第１方向に沿って前記直線部から離れる方向にそれぞれ延びると共に、前記第２方向に隙間３２４を空けてそれぞれ配置された第１脚部３２２および第２脚部３２３と
を有し、
前記第１脚部３２２が、前記第１方向における前記本体部３２１から遠い端に設けられ、前記第２方向において間隔を空けて配置された一対の第１接点部３２５を有し、
前記第２脚部３２３が、前記第１方向における前記本体部３２１から遠い端に設けられ、前記第２方向において間隔を空けて配置された一対の第２接点部３２７を有する。

本開示の第７態様の検査治具１０は、
前記態様のプローブピン３０と、
前記第１接触部３２の一部および前記第２接触部３３の一部が外部に露出した状態で前記プローブピン３０を収容する収容部２３を内部に有するハウジング２０と
を備え、
前記プローブピン３０が、
前記第１接触部３２および前記第１直線部４１または前記第２接触部３３および前記第２直線部４５を接続する接続部７０を有し、
前記第１直線部４１および前記接続部７０または前記第２直線部４５および前記接続部７０が、前記収容部２３を構成する前記ハウジング２０の内面に前記第１方向において接触した状態で、前記収容部２３に収容されている。

本開示の第８態様の検査治具１０は、
前記外側湾曲部が、前記湾曲部の前記第２方向において前記中心線ＣＬから遠い外面から前記中心線ＣＬに接近する方向に延びる幅を有している。

本開示の第９態様の検査治具ユニット１は、
前記態様の検査治具１０を複数備える。

なお、前記様々な実施形態または変形例のうちの任意の実施形態または変形例を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。また、実施形態同士の組み合わせまたは実施例同士の組み合わせまたは実施形態と実施例との組み合わせが可能であると共に、異なる実施形態または実施例の中の特徴同士の組み合わせも可能である。

本開示は、添付図面を参照しながら好ましい実施形態に関連して充分に記載されているが、この技術の熟練した人々にとっては種々の変形や修正は明白である。そのような変形や修正は、添付した請求の範囲による本開示の範囲から外れない限りにおいて、その中に含まれると理解されるべきである。

本開示のソケットは、例えば、カメラモジュールなどのＢｔｏＢ（Business-to-Business）コネクタを接続媒体として備えるモジュール、および、ＳＯＰ（Small Outline Package）、ＱＦＰ（Quad Flat Package）、ＢＧＡ（Ball grid array）などの半導体パッケージの検査に用いる検査治具に適用できる。

１ 検査治具ユニット
１０ 検査治具
２０ ハウジング
２１ ハウジング本体
２１１ 壁部
２１２ 貫通孔
２２ 蓋部
２２１ 面
２３ 収容部
２３１ 底面
２３２、２３４ 側面
２３３ 角部
２４ 第１開口部
２５ 第２開口部
２６ 貫通孔
３０ プローブピン
３１ 弾性部
３２ 第１接触部
３２１ 本体部
３２２ 第１脚部
３２３ 第２脚部
３２４ 隙間
３２５ 第１接点部
３２６、３２８ 突出部
３２７ 第２接点部
３３ 第２接触部
３３１ 本体部
３３２ 第３接点部
３３３ 切欠
４０ 第１弾性片
４１ 第１直線部
４２ 第３直線部
４３ 外側湾曲部
４３１ 端部
４３２ 中間部
４４ 内側湾曲部
４４１ 端部
４４２ 中間部
４５ 第２直線部
５０ 第２弾性片
５１ 第３直線部
５２ 外側湾曲部
５２１ 端部
５２２ 中間部
５３ 内側湾曲部
５３１ 端部
５３２ 中間部
６０ 貫通孔
７０ 接続部

Claims (9)

1. 第１方向に沿って伸縮する弾性部と、
   前記弾性部の前記第１方向の一端に配置された第１接触部と、
   前記弾性部の前記第１方向の他端に配置された第２接触部と
   を備え、
   前記弾性部が、
   第１弾性片および第２弾性片と、
   前記第１弾性片および前記第２弾性片の間に設けられた貫通孔と
   を有し、
   前記第１弾性片および前記第２弾性片の各々が、
   前記第１方向に交差する第２方向に沿って延びる複数の直線部と、
   隣接する前記直線部の各々における前記第２方向の両端のいずれかに接続された湾曲部と
   を有し、
   前記直線部および前記湾曲部が前記第１方向に沿って交互に配置され、
   前記第１方向において前記第１接触部の最も近くに配置された前記直線部である第１直線部が、前記第１接触部に対して前記第２方向の一端側から接続され、
   前記第１方向において前記第２接触部の最も近くに配置された前記直線部である第２直線部が、前記第２接触部に対して前記第２方向において前記第１接触部と同一側から接続され、
   前記第１弾性片の前記湾曲部および前記第２弾性片の前記湾曲部のうち、前記弾性部の前記第２方向の中心を通る中心線から前記第２方向に離れて配置された外側湾曲部の中間部が、前記外側湾曲部が接続された前記直線部の幅よりも大きい幅を有している、プローブピン。
2. 前記湾曲部における前記貫通孔が、前記直線部における前記貫通孔の幅以下の幅を有している、請求項１のプローブピン。
3. 前記第１弾性片の前記湾曲部および前記第２弾性片の前記湾曲部のうち、前記第２方向において前記中心線の近くに配置された内側湾曲部の中間部が、前記外側湾曲部の中間部の幅よりも小さい幅を有している、請求項１または２のプローブピン。
4. 前記弾性部が、複数の前記外側湾曲部を有し、
   複数の前記外側湾曲部のうち、前記第１接触部および前記第２接触部を通り前記第１方向に沿って延びる仮想直線の近くに配置された前記外側湾曲部の中間部が、前記仮想直線から離れて配置されている前記外側湾曲部の幅よりも大きい幅を有している、請求項１から３のいずれか１つのプローブピン。
5. 前記第１弾性片の前記湾曲部および前記第２弾性片の前記湾曲部のうち、前記第２方向において前記中心線の近くに配置された内側湾曲部の中間部が、前記内側湾曲部が接続された前記直線部の幅よりも大きい幅を有している、請求項１から４のいずれか１つのプローブピン。
6. 前記第１接触部および前記第２接触部の少なくともいずれかが、
   前記直線部が接続された本体部と、
   前記本体部から前記第１方向に沿って前記直線部から離れる方向にそれぞれ延びると共に、前記第２方向に隙間を空けてそれぞれ配置された第１脚部および第２脚部と
   を有し、
   前記第１脚部が、前記第１方向における前記本体部から遠い端に設けられ、前記第２方向において間隔を空けて配置された一対の第１接点部を有し、
   前記第２脚部が、前記第１方向における前記本体部から遠い端に設けられ、前記第２方向において間隔を空けて配置された一対の第２接点部を有する、請求項１から５のいずれか１つのプローブピン。
7. 請求項１から６のいずれか１つのプローブピンと、
   前記第１接触部の一部および前記第２接触部の一部が外部に露出した状態で前記プローブピンを収容する収容部を内部に有するハウジングと
   を備え、
   前記プローブピンが、
   前記第１接触部および前記第１直線部または前記第２接触部および前記第２直線部を接続する接続部を有し、
   前記第１直線部および前記接続部または前記第２直線部および前記接続部が、前記収容部を構成する前記ハウジングの内面に前記第１方向において接触した状態で、前記収容部に収容されている、検査治具。
8. 前記外側湾曲部が、前記湾曲部の前記第２方向において前記中心線から遠い外面から前記中心線に接近する方向に延びる幅を有している、請求項７の検査治具。
9. 請求項７または８の検査治具を複数備える、検査治具ユニット。

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