JP7313664B2 - 電解研磨方法 - Google Patents
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Description
本発明は、30質量%~90質量%のグリコール酸にフッ化アンモニウムを外掛けで、2質量%~10質量%添加した電解液を、金属(ニオブ、チタン、タンタル)の電解研磨に使用する。
本発明は、グリコール酸にフッ化アンモニウムを添加した電解液を、金属(ニオブ、チタン、タンタル)の電解研磨に使用する。ここでフッ化アンモニウムの量の影響を調べる目的で、70質量%のグリコール酸(300ml)に、粉末のフッ化アンモニウムの量を10g、15g、20gと変えて添加したサンプル液を用意した。グリコール酸100mlは123.2gであるので、粉末のフッ化アンモニウムの量10g、15g、20gは、それぞれ、外掛けで2.7質量%、4.0質量%、5.4質量%となる
更に、フッ化アンモニウム添加量10g、15g、20gについて各2種[(1)(2)] [(3)(4)] [(5)(6)]のサンプルを用意し、ニオブについて、電極間距離6cmで電解研磨をした。尚、陽極は当然研磨対象となるニオブ、陰極もこの場合にオブを使用したが、白金等電解液で表面状態が変わらない物質であれば、特にこだわらない。
ごとくになる。
次いで、グリコール酸とフッ化アンモニウムの濃度を一定(グリコール酸(300ml)、フッ化アンモニウム(15g))にし、温度を変えることによって、研磨レートの温度依存性を調べる実験をし、同時に同じ温度で電圧を変えることも行った。従って、サンプル(1) 室温、15V、サンプル(2) 室温25V、サンプル(3) 50℃近辺15V、サンプル(4) 50℃近辺25V、サンプル(5) 5℃近辺15V、サンプル(6)5℃近辺25Vの6種の実験をおこなった。
グリコール酸の70重量%の溶液(300ml)に対して、更に粉末グリコール酸を10g添加し濃度を高め、フッ化アンモニウム(15g)を更に添加したサンプル液を用意する。この溶液に対してサンプル(1)、室温、15V、1時間、サンプル(2)、室温、25V、1時間、サンプル(3)、50℃、25V、20分で電解研磨をした。それぞれ実験2のサンプル(1)、サンプル(2)、サンプル(4)に相当する。
Claims (1)
- 30~90質量%のグリコール酸溶液に外掛けで2~10質量%のフッ化アンモニウムの正塩のみを溶解させた電解液中で、ニオブ、チタン、タンタルの少なくとも1種を、室温から50℃の範囲で、電極間距離を6cmとしたとき、電圧を25V以下で30分以上実行、
することを特徴とする電解研磨方法。
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JP2009108405A (ja) | 2007-10-10 | 2009-05-21 | Ebara Corp | 基板を電解研磨する方法及び電解研磨装置 |
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