JP7310323B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、複数の個別流路と共通流路とを備えた液体吐出ヘッドに関する。

特許文献１（図３）には、ノズル開口（ノズル）と圧力発生室（圧力室）とノズル連通路（接続流路）とをそれぞれ含む複数の個別流路と、複数の個別流路に連通するマニホールド（共通流路）とを備えた液体噴射ヘッドが示されている。連通板に、ノズル連通路を構成する穴と、マニホールドを構成する穴とが形成されている。連通板の下方には、ノズル連通路に対向するノズルプレート、及び、マニホールドに対向する封止膜が配置されている。

特開２０１８－２７７１１号公報

共通流路の抵抗が大きいと、特に液体の粘度が高い場合に、共通流路から個別流路への液体の供給不足が生じ得る。特許文献１において、マニホールド（共通流路）の抵抗を下げるため、マニホールドを構成する穴が形成された連通板の厚みを大きくし、マニホールドの断面積を大きくすることが考えられる。しかしながら、連通板の厚みが大きくなると、ノズル連通路（接続流路）の長さが長くなってしまう。この場合、圧力室からノズルまでの圧力波の伝播周期が長くなることで、記録周期が長くなり、記録速度が低下し得る。

本発明の目的は、圧力室からノズルまでの流路長が長くなることを抑制しつつ、共通流路の抵抗を低減できる、液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、第１方向に配列された複数の個別流路と、前記第１方向に延びる共通流路と、を備え、前記複数の個別流路は、それぞれ、ノズルと、前記ノズルに対して前記共通流路の高さ方向である第２方向の一方に配置された圧力室と、前記第２方向において前記ノズルと前記圧力室との間に配置され、前記ノズルと前記圧力室とを互いに接続する接続流路と、を含み、前記接続流路を構成する第１穴と前記共通流路を構成する第２穴とが形成された第１部材と、前記第１部材に対して前記第２方向の他方に配置され、前記共通流路を構成しかつ前記接続流路を構成しない第３穴が形成された第２部材と、を備えたことを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の平面図である。 ヘッド１の平面図である。 図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったヘッド１の断面図である。 ヘッド１の流路基板１１を構成するプレート１１ｄの平面図である。 ヘッド１の流路基板１１を構成するプレート１１ｆの平面図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１の図３に対応する断面図である。 本発明の第３実施形態に係るヘッド３０１の図３に対応する断面図である。

＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。

プリンタ１００は、４つのヘッド１を含むヘッドユニット１ｘ、プラテン３、搬送機構４及び制御部５を備えている。

プラテン３の上面に、用紙９が載置される。

搬送機構４は、搬送方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４ａ，４ｂを有する。制御部５の制御により搬送モータ（図示略）が駆動されると、ローラ対４ａ，４ｂが用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９が搬送方向に搬送される。

ヘッドユニット１ｘは、紙幅方向（搬送方向及び鉛直方向の双方と直交する方向）に長尺であり、位置が固定された状態でノズル２１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１は、それぞれ紙幅方向に長尺であり、紙幅方向に千鳥状に配列されている。

制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１のドライバＩＣ１９（図３参照）及び搬送モータ（図示略）を制御し、用紙９上に画像を記録する。

次いで、図２～図５を参照し、ヘッド１の構成について説明する。

ヘッド１は、図３に示すように、流路基板１１、アクチュエータ基板１２、保護基板１３及び配線基板１８を有する。

流路基板１１は、リザーバ部材１１ａと、６枚のプレート１１ｂ～１１ｇと、２枚のダンパ膜１１ｈとで構成されている。

６枚のプレート１１ｂ～１１ｇは、鉛直方向に積層されかつ互いに接着されている。６枚のプレート１１ｂ～１１ｇのうち、最上層のプレート１１ｂは、上から２番目に配置されたプレート１１ｃよりも幅が小さい。リザーバ部材１１ａは、例えば樹脂の射出成型で形成され、プレート１１ｃの上面におけるプレート１１ｂが接着されていない部分に接着されている。各ダンパ膜１１ｈは、プレート１１ｆとプレート１１ｇとの間に挟まれている。

各プレート１１ｂ～１１ｇは、樹脂（例えばＬＣＰ：液晶ポリマー）や金属（例えばＳＵＳ：ステンレス鋼）で構成されてよい。各ダンパ膜１１ｈは、樹脂（例えばＰＰＳ：ポリフェニレンサルファイド）や金属（例えばＳＵＳ：ステンレス鋼）で構成されてよい。

リザーバ部材１１ａには、２つの共通流路３０Ａ，３０Ｂの上流部が形成されている。プレート１１ｂ～１１ｆには、流路（２つの共通流路３０Ａ，３０Ｂの下流部と、複数の個別流路２０とを含む流路）を構成する貫通孔が形成されている。

複数の個別流路２０は、図２に示すように、紙幅方向（第１方向）に千鳥状に配列され、第１個別流路群２０Ａ及び第２個別流路群２０Ｂを構成している。各個別流路群２０Ａ，２０Ｂは、第１方向に並ぶ複数の個別流路２０で構成されている。第１個別流路群２０Ａと第２個別流路群２０Ｂとは、鉛直方向（第２方向：共通流路３０Ａ，３０Ｂの高さ方向であり、第１方向と直交する方向）において同一の高さに配置され、搬送方向と平行な方向（第３方向：共通流路３０Ａ，３０Ｂの幅方向であり、第１方向及び第２方向の双方と直交する方向）に並んでいる。

２つの共通流路３０Ａ，３０Ｂは、それぞれ第１方向に延び、かつ、第３方向に並んでいる。

２つの共通流路３０Ａ，３０Ｂは、サブタンク（図示略）に連通している。サブタンクは、インクを貯留するメインタンクに連通し、メインタンクから供給されたインクを貯留する。サブタンク内のインクは、制御部５の制御によりポンプ（図示略）が駆動されることで、２つの共通流路３０Ａ，３０Ｂのそれぞれに流入する。共通流路３０Ａに流入したインクは、共通流路３０Ａ内を第１方向の一端から他端に向かって移動しつつ、第１個別流路群２０Ａの各個別流路２０に供給される。共通流路３０Ｂに流入したインクは、共通流路３０Ｂ内を第１方向の一端から他端に向かって移動しつつ、第２個別流路群２０Ｂの各個別流路２０に供給される。

各個別流路２０は、図３に示すように、ノズル２１と、圧力室２２と、接続流路２３と、流入流路２４とを含む。

ノズル２１は、図３に示すように、プレート１１ｅに形成された貫通孔で構成され、流路基板１１の下面に開口している。

圧力室２２は、図３に示すように、プレート１１ｂに形成された貫通孔で構成され、プレート１１ｂの上面に開口している。圧力室２２は、ノズル２１に対して上方（第２方向の一方）に配置されている。

圧力室２２は、図２に示すように、第１方向と第３方向とに平行な面（第２方向と直交する面）において、第３方向に長尺な略矩形状である。圧力室２２に対し、第３方向の一端に流入流路２４を介して共通流路３０Ａ又は共通流路３０Ｂが連通し、第３方向の他端に接続流路２３が連通している。

接続流路２３は、図３に示すように、プレート１１ｃに形成された貫通孔１１ｃｘと、プレート１１ｄに形成された貫通孔１１ｄｘとで構成され、第２方向に延びている。接続流路２３は、第２方向においてノズル２１と圧力室２２との間に配置され、ノズル２１と圧力室２２とを互いに接続している。

流入流路２４は、図３に示すように、プレート１１ｃに形成された貫通孔で構成され、第２方向に延びている。流入流路２４は、圧力室２２の第３方向の一端（接続流路２３が接続する端部とは反対側の端部）に接続する上端と、共通流路３０Ａ又は共通流路３０Ｂに接続する下端とを有する。

流入流路２４は、圧力室２２の幅（第１方向の長さ）よりも小さい幅を有し、絞りとして機能する。

図２に示すように、第１個別流路群２０Ａに属する各圧力室２２は、共通流路３０Ａと第２方向に重なる部分と、共通流路３０Ａと第２方向に重ならず、第３方向において共通流路３０Ａと共通流路３０Ｂとの間に位置する部分とを有する。第２個別流路群２０Ｂに属する各圧力室２２は、共通流路３０Ｂと第２方向に重なる部分と、共通流路３０Ｂと第２方向に重ならず、第３方向において共通流路３０Ａと共通流路３０Ｂとの間に位置する部分とを有する。

第１個別流路群２０Ａに属する接続流路２３及びノズル２１は、共通流路３０Ａに対して第３方向の一方に位置する。第２個別流路群２０Ｂに属する接続流路２３及びノズル２１は、共通流路３０Ｂに対して第３方向の他方に位置する。

アクチュエータ基板１２は、図３に示すように、下から順に、振動板１２ａ、共通電極１２ｂ、複数の圧電体１２ｃ及び複数の個別電極１２ｄを含む。

振動板１２ａ及び共通電極１２ｂは、プレート１１ｂの上面に配置され、プレート１１ｂに形成された全ての圧力室２２を覆っている。一方、圧電体１２ｃ及び個別電極１２ｄは、圧力室２２毎に設けられており、圧力室２２のそれぞれと第２方向に重なっている。

アクチュエータ基板１２は、さらに、絶縁膜１２ｉ及び複数の個別配線１２ｅを含む。

絶縁膜１２ｉは、二酸化シリコン（ＳｉＯ₂）等からなり、共通電極１２ｂの上面において圧電体１２ｃが設けられていない部分、圧電体１２ｃの側面、及び、個別電極１２ｄの上面を覆っている。絶縁膜１２ｉにおいて、個別電極１２ｄと第２方向に重なる部分には、貫通孔が設けられている。

複数の個別配線１２ｅは、絶縁膜１２ｉ上に形成されている。複数の個別配線１２ｅは、絶縁膜１２ｉの上記貫通孔に先端が入り込むことで、複数の個別電極１２ｄのそれぞれと電気的に接続されている。複数の個別配線１２ｅは、それぞれ、アクチュエータ基板１２の第３方向の中央まで、第３方向に延びている。

アクチュエータ基板１２における第３方向の中央の上面には、配線基板１８の一端が配置されている。配線基板１８の他端は、制御部５に接続されている。配線基板１８の一端と他端との間には、ドライバＩＣ１９が実装されている。

配線基板１８は、ＣＯＦ（Chip On Film）等からなり、アクチュエータ基板１２の上面において、第１方向に延びている（図２参照）。配線基板１８は、複数の個別配線１２ｅのそれぞれと電気的に接続される複数の個別配線１８ｅ（図３参照）と、共通配線（図示略）とを有する。共通配線は、絶縁膜１２ｉに設けられた貫通孔を介して、共通電極１２ｂと電気的に接続されている。

ドライバＩＣ１９は、複数の個別配線１８ｅを介して複数の個別電極１２ｄのそれぞれと電気的に接続され、かつ、共通配線を介して共通電極１２ｂと電気的に接続されている。ドライバＩＣ１９は、共通電極１２ｂの電位をグランド電位に維持する一方、個別電極１２ｄの電位を変化させる。具体的には、ドライバＩＣ１９は、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極１２ｄに付与する。これにより、個別電極１２ｄの電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。このとき、振動板１２ａ及び圧電体１２ｃにおいて個別電極１２ｄと圧力室２２とで挟まれた部分（アクチュエータ１２ｘ）が、圧力室２２に向かって凸となるように変形することにより、圧力室２２の容積が変化し、圧力室２２内のインクに圧力が付与され、ノズル２１からインクが吐出される。

ノズル２１からインクが吐出される際、インクは、共通流路３０Ａ，３０Ｂから各個別流路２０に供給される。具体的には、図３に示すように、共通流路３０Ａ，３０Ｂ内のインクは、流入流路２４を通って上方に移動し、圧力室２２の第３方向の一端に流入する。当該インクは、圧力室２２内を第３方向の一端から他端へと略水平に移動し、接続流路２３を通って下方に移動して、ノズル２１から吐出される。

保護基板１３は、アクチュエータ基板１２の上面に接着されている。保護基板１３には、２つの凹部１３ｘと、貫通孔１３ｙとが形成されている。

２つの凹部１３ｘは、それぞれ第１方向に延びている。２つの凹部１３ｘの一方には、第１個別流路群２０Ａに対応する複数のアクチュエータ１２ｘが収容されている。２つの凹部１３ｘの他方には、第２個別流路群２０Ｂに対応する複数のアクチュエータ１２ｘが収容されている。

貫通孔１３ｙは、保護基板１３の第３方向の中央において、第１方向に延びている。保護基板１３の上面に配置されたリザーバ部材１１ａに、貫通孔１３ｙと第２方向に重なる貫通孔１１ａｙが形成されている。配線基板１８は、貫通孔１３ｙと貫通孔１１ａｙとを通って、上方へ延びている。

次いで、図３～図５を参照し、共通流路３０Ａ，３０Ｂの構成についてより詳細に説明する。

プレート１１ｄには、図３及び図４に示すように、複数の個別流路２０の接続流路２３をそれぞれ構成する複数の貫通孔１１ｄｘと、共通流路３０Ａ，３０Ｂを構成する２つの貫通孔１１ｄｙとが形成されている。図４に示すように、２つの貫通孔１１ｄｙは、それぞれ、第１方向に長尺な矩形状である。第３方向において２つの貫通孔１１ｄｙの間に、複数の貫通孔１１ｄｘが配置されている。

図３に示すように、各個別流路２０の流入流路２４は、貫通孔１１ｄｙの直上に位置する。流入流路２４は、貫通孔１１ｄｙに連通し、貫通孔１１ｄｙと第２方向に重なっている。

プレート１１ｅ，１１ｆは、図３に示すように、プレート１１ｄに対して下方（第２方向の他方）に配置され、プレート１１ｄの下面に接着されている。

プレート１１ｆには、図３及び図５に示すように、プレート１１ｅを収容する貫通孔１１ｆｘと、共通流路３０Ａ，３０Ｂを構成する２つの貫通孔１１ｆｙと、各貫通孔１１ｆｙを区画する枠１１ｆｚとが形成されている。図５に示すように、貫通孔１１ｆｘは、プレート１１ｆの第３方向の中央において、第１方向に延びている。第３方向において２つの貫通孔１１ｆｙの間に、貫通孔１１ｆｘが設けられている。貫通孔１１ｆｘ，１１ｆｙは、それぞれ、貫通孔１１ｄｙと同様、第１方向に長尺な矩形状である。各貫通孔１１ｆｙに対し、３つの枠１１ｆｚが設けられている。各貫通孔１１ｆｙに対して設けられた３つの枠１１ｆｚは、第１方向に等間隔で配置され、それぞれ第３方向に延びて当該貫通孔１１ｆｙを区画している。

２つの貫通孔１１ｆｙは、図３から明らかなように、接続流路２３を構成しない。２つの貫通孔１１ｆｙは、２つの貫通孔１１ｄｙのそれぞれに連通し、２つの貫通孔１１ｄｙのそれぞれと第２方向に重なっている。

各貫通孔１１ｆｙは、第１方向及び第３方向のそれぞれにおいて、各貫通孔１１ｄｙよりも一回り大きなサイズを有する（図４及び図５参照）。各貫通孔１１ｆｙの開口端は、各貫通孔１１ｄｙの開口端の外側に位置し、各貫通孔１１ｄｙの全周を囲っている（図３参照）。

圧力室２２と第２方向に重なる領域において、各貫通孔１１ｆｙの開口端と各貫通孔１１ｄｙとの間隔Ｄ１（例えば、４００～５００μｍ）は、各貫通孔１１ｆｙの開口端とノズル２１との間隔Ｄ２（例えば、３００～４００μｍ）よりも大きい（図３参照）。

プレート１１ｅは、プレート１１ｄの下面における第１方向及び第３方向の中央に配置され、貫通孔１１ｆｘ内に収容されている。プレート１１ｅは、第１方向と第３方向とに平行な面（第２方向と直交する面）において、貫通孔１１ｆｘよりも一回り小さいサイズを有する。

プレート１１ｆの厚み（例えば、１００～２００μｍ）は、プレート１１ｅの厚み（例えば、７５μｍ）よりも大きい。

２枚のダンパ膜１１ｈは、プレート１１ｆに対して下方（第２方向の他方）に配置され、プレート１１ｆの下面における２つの貫通孔１１ｆｙの周縁にそれぞれ接着されており、２つの貫通孔１１ｆｙのそれぞれを塞いでいる。各ダンパ膜１１ｈは、厚みが小さく（例えば２０μｍ以下であり）、各共通流路３０Ａ，３０Ｂ内のインクの圧力変動を減衰させる機能を有する。

プレート１１ｇは、２枚のダンパ膜１１ｈを挟んでプレート１１ｆに対して下方（第２方向の他方）に配置されており、２枚のダンパ膜１１ｈの周縁をプレート１１ｆとで第２方向に挟んでいる。

プレート１１ｇは、プレート１１ｆと同じ材料（樹脂（例えばＬＣＰ：低膨張プラスティック）や金属（例えばＳＵＳ）等）からなり、かつ、プレート１１ｆと同じサイズ及び形状を有する。

なお、プレート１１ｆは、プレート１１ｄとの接着時に作用する圧力に耐えられるよう、硬質で割れ難い材料で構成されることが好ましい。また、プレート１１ｆとプレート１１ｄとの良好な接着を実現するため、プレート１１ｆの線膨張係数とプレート１１ｄの線膨張係数との差が小さいことが好ましい。

プレート１１ｄが本発明の「第１部材」に該当し、貫通孔１１ｄｘが本発明の「第１穴」に該当し、貫通孔１１ｄｙが本発明の「第２穴」に該当する。プレート１１ｆが本発明の「第２部材」に該当し、貫通孔１１ｆｙが本発明の「第３穴」に該当する。プレート１１ｅは、本発明の「ノズルプレート」に該当する。プレート１１ｇは、本発明の「第３部材」に該当する。

流路基板１１の製造工程では、例えば、流路基板１１のうち２枚のプレート１１ｆ，１１ｇと２枚のダンパ膜１１ｈとを除く第１部品と、２枚のプレート１１ｆ，１１ｇに２枚のダンパ膜１１ｈを挟持させた第２部品とを、別々に作製する。その後、第２部品を第１部品に接着する（具体的には、第１部品におけるプレート１１ｄの下面に、第２部品におけるプレート１１ｆの上面を接着する）。この場合、プレート１１ｄの下面にプレート１１ｆを接着し、その後プレート１１ｆの下面に２枚のダンパ膜を接着し、さらにその後２枚のダンパ膜をプレート１１ｆとで挟むようにプレート１１ｇをプレート１１ｆの下面に接着する場合に比べ、接着回数が低減される。接着のたびにプレート１１ｄに加圧力が加わるが、接着回数が低減されることで、プレート１１ｄの破損を抑制できる。また、プレート１１ｆは貫通孔１１ｆｘ，１１ｆｙを有し、プレート１１ｇはプレート１１ｆの貫通孔１１ｆｘ，１１ｆｙに対応する貫通孔を有するため、プレート１１ｆ，１１ｇの接着領域は小さく、接着のたびにプレート１１ｆ，１１ｇに局所的な力が加わることになるが、上記のように接着回数が低減されることで、プレート１１ｆ，１１ｇの破損をも抑制できる。

以上に述べたように、本実施形態によれば、接続流路２３を構成する貫通孔１１ｄｘと共通流路３０Ａ，３０Ｂを構成する貫通孔１１ｄｙとが形成されたプレート１１ｄの下方（第２方向の他方）に、共通流路３０Ａを構成しかつ接続流路２３を構成しない貫通孔１１ｆｙが形成されたプレート１１ｆが設けられている（図３参照）。この場合、プレート１１ｄの厚みを大きくしなくとも、共通流路３０Ａ，３０Ｂの断面積を大きくできる。したがって、圧力室２２からノズル２１までの流路長が長くなることを抑制しつつ、共通流路３０Ａ，３０Ｂの抵抗を低減できる。

プレート１１ｆに対して下方（第２方向の他方）に、貫通孔１１ｆｙを塞ぐダンパ膜１１ｈが設けられている（図３参照）。この場合、ダンパ膜１１ｈにより減衰効果が得られ、共通流路３０Ａ，３０Ｂから個別流路２０への安定した液体供給を実現できる。

貫通孔１１ｆｙの開口端は、貫通孔１１ｄｙの開口端の外側に位置している（図３参照）。この場合、貫通孔１１ｆｙの開口端が貫通孔１１ｄｙの開口端と一致する場合や貫通孔１１ｄｙの開口端の内側に位置する場合に比べ、ダンパ膜１１ｈの可動領域が広がり、減衰効果が向上する。

貫通孔１１ｆｙの開口端は、貫通孔１１ｄｙの全周を囲っている（図３参照）。この場合、貫通孔１１ｄｙの周囲の一部のみにおいて貫通孔１１ｆｙの開口端が貫通孔１１ｄｙの開口端の外側に位置する場合に比べ、より確実に、ダンパ膜１１ｈの可動領域が広がり、減衰効果が向上する。

貫通孔１１ｆｙは、貫通孔１１ｄｙと同じ形状（具体的には、矩形状）である（図４及び図５参照）。この場合、貫通孔１１ｆｙの開口端が貫通孔１１ｄｙの全周を囲う構成を、容易に実現できる。

圧力室２２と第２方向に重なる領域において、各貫通孔１１ｆｙの開口端と各貫通孔１１ｄｙとの間隔Ｄ１は、各貫通孔１１ｆｙの開口端とノズル２１との間隔Ｄ２よりも大きい（図３参照）。この場合、より実効的に、ダンパ膜の可動領域を広げ、減衰効果の向上を実現できる。

ダンパ膜１１ｈの周縁をプレート１１ｆとで第２方向に挟む、プレート１１ｇが設けられている（図３参照）。この場合、プレート１１ｇによって、ダンパ膜１１ｈのプレート１１ｆからの剥離を防止できる。

プレート１１ｇは、プレート１１ｆと同じ材料からなる。この場合、材料の管理が容易であり、ひいては製造コストを低減できる。

プレート１１ｇは、プレート１１ｆと同じサイズ及び形状を有する。この場合、プレート１１ｇとプレート１１ｆとで異なる型を用意する必要がなく、製造が容易である。

プレート１１ｆの厚みは、プレート１１ｅの厚みよりも大きい（図３参照）。この場合、プレート１１ｆの厚みがプレート１１ｅの厚み以下の場合に比べ、貫通孔１１ｆｙの第２方向の長さが長くなり、共通流路３０Ａ，３０Ｂの断面積を大きくできる。また、プレート１１ｆによるノズル２１の保護効果（用紙９等がノズル２１に接触することの抑制効果）も得られる。（ただし、プレート１１ｆの厚みが大き過ぎると、プレート１１ｅ下面を払拭するワイパ（図示略）がプレート１１ｆに接触し、プレート１１ｅを十分に払拭できない場合があり得るため、プレート１１ｆの厚みは１００～２００μｍ程度が好ましい。）

プレート１１ｆは、貫通孔１１ｆｙを区画する枠１１ｆｚをさらに有する（図５参照）。この場合、枠１１ｆｚがない場合に比べ、プレート１１ｆの強度が大きくなり、プレート１１ｆの破損を抑制できる。

＜第２実施形態＞
続いて、図６を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッド２０１について説明する。

第１実施形態（図３）では、プレート１１ｇが、プレート１１ｆと同じサイズ及び形状を有するが、本実施形態（図６）では、プレート２１１ｇが、プレート１１ｆと同じ形状（矩形状）であるが、プレート１１ｆよりも一回り小さいサイズを有する。

プレート２１１ｇは、プレート１１ｆにおける貫通孔１１ｆｙを画定する第１壁２１１と第２方向に重なる第２壁２１２を有する。第１壁２１１の幅（第３方向の長さ）Ｗ１（例えば、１００～１５０μｍ）は、第２壁２１２の幅Ｗ２（例えば、５０～１００μｍ）よりも大きい。

本実施形態によれば、第１実施形態と第３部材（プレート１１ｇ，２１１ｇ）の構成が異なるものの、第１実施形態と同様の要件を満たすことで、第１実施形態と同様の効果が得られる。

さらに、本実施形態では、第１壁２１１の幅Ｗ１が第２壁２１２の幅Ｗ２よりも大きいため、プレート２１１ｇをプレート１１ｆに接着するときに第３方向の位置ズレが生じたとしても、第２壁２１２を第１壁２１１に確実に接着できる。

＜第３実施形態＞
続いて、図７を参照し、本発明の第３実施形態に係るヘッド３０１について説明する。

第１実施形態（図３）では、ノズルプレート（プレート１１ｅ）とは別に、プレート１１ｆが設けられているが、本実施形態（図７）では、プレート１１ｆが省略され、ノズルプレート（プレート３１１ｅ）に、共通流路３３０Ａ，３３０Ｂを構成しかつ接続流路２３を構成しない貫通孔３１１ｅｙが形成されている。本実施形態では、ノズルプレート（プレート３１１ｅ）が本発明の「第２部材」に該当し、貫通孔３１１ｅｙが本発明の「第３穴」に該当する。

本実施形態において、流路基板３１１は、リザーバ部材１１ａと、５枚のプレート１１ｂ～１１ｄ，３１１ｅ，３１１ｇと、２枚のダンパ膜１１ｈとで構成されている。

第１実施形態（図３）では、貫通孔１１ｆｙの開口端が貫通孔１１ｄｙの開口端の外側に位置するが、本実施形態（図７）では、貫通孔３１１ｅｙの開口端が貫通孔１１ｄｙの開口端と一致している。したがって、本実施形態では、ダンパ膜１１ｈの可動領域が第１実施形態よりも狭くなっている。

本実施形態によれば、第１実施形態と第２部材（プレート１１ｆ，３１１ｅ）の構成が異なるものの、第１実施形態と同様の要件を満たすことで、第１実施形態と同様の効果が得られる。

さらに、本実施形態では、第２部材としてノズルプレート（プレート３１１ｅ）を利用している。この場合、ノズルプレートとは別の部材をさらに用意する必要がないため、部品点数が削減され、製造が容易である。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

第１～第３部材の材料は、特に限定されない。第３部材は、第２部材と異なる材料からなってもよい。

第２部材は、枠を有さなくてもよい。

第１～第３穴は、上述の実施形態では貫通孔１１ｄｘ，１１ｄｙ，１１ｆｙ；３１１ｅｙであるが、凹部であってもよい。第３穴（上述の実施形態の貫通孔１１ｆｙ；３１１ｅｙ）は、第２穴（上述の実施形態の貫通孔１１ｄｙ）と同じ形状でなくてもよい。

第３穴の開口端が第２穴の全周を囲うことに限定されず、第２穴の周囲の一部のみにおいて、第３穴の開口端が第２穴の開口端の外側に位置してもよい。

第１実施形態（図３）において、間隔Ｄ１が間隔Ｄ２以下であってもよい。

第１実施形態（図３）において、プレート１１ｆの厚みがプレート１１ｅの厚み以下であってもよい。

共通流路の数は、上述の実施形態では２つであるが、これに限定されず、１又は３以上であってもよい。

共通流路に対し、ダンパ膜を設けなくてもよい。例えば、第１実施形態（図３）において、ダンパ膜１１ｈ及びプレート１１ｇを省略し、プレート１１ｆの下面に、貫通孔１１ｆｙを塞ぐプレートを接着してよい。

１つの共通流路に連通する複数の個別流路が、第１方向に千鳥状に配列されてもよい。

各個別流路に属するノズル、圧力室及び接続流路の数は、上述の実施形態では１つであるが、２つ以上であってもよい。

液体吐出ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式（紙幅方向と平行な走査方向に移動しつつノズルから吐出対象に対して液体を吐出する方式）であってもよい。

吐出対象は、用紙に限定されず、例えば布、基板等であってもよい。

ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

１；２０１；３０１ ヘッド（液体吐出ヘッド）
１１ｄ プレート（第１部材）
１１ｄｘ 貫通孔（第１穴）
１１ｄｙ 貫通孔（第２穴）
１１ｅ プレート（ノズルプレート）
１１ｆ プレート（第２部材）
１１ｆｙ 貫通孔（第３穴）
１１ｆｚ 枠
１１ｇ；２１１ｇ；３１１ｇ プレート（第３部材）
１１ｈ ダンパ膜
２０ 個別流路
２１ ノズル
２２ 圧力室
２３ 接続流路
３０Ａ，３０Ｂ；３３０Ａ，３３０Ｂ 共通流路
１００ プリンタ
２１１ 第１壁
２１２ 第２壁
３１１ｅ プレート（第２部材）
３１１ｅｙ 貫通孔（第３穴）

Claims (12)

1. 第１方向に配列された複数の個別流路と、
   前記第１方向に延びる共通流路と、を備え、
   前記複数の個別流路は、それぞれ、ノズルと、前記ノズルに対して前記共通流路の高さ方向である第２方向の一方に配置された圧力室と、前記第２方向において前記ノズルと前記圧力室との間に配置され、前記ノズルと前記圧力室とを互いに接続する接続流路と、を含み、
   前記接続流路を構成する第１穴と前記共通流路を構成する第２穴とが形成された第１部材と、
   前記第１部材に対して前記第２方向の他方に配置され、前記接続流路を構成する穴が形成されずかつ前記共通流路を構成する第３穴が形成された第２部材と、
   前記第１部材に対して前記第２方向の他方に配置され、前記ノズルが形成されたノズルプレートと、を備え、
   前記第２部材の厚みは、前記ノズルプレートの厚みよりも大きいことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
2. 第１方向に配列された複数の個別流路と、
   前記第１方向に延びる共通流路と、を備え、
   前記複数の個別流路は、それぞれ、ノズルと、前記ノズルに対して前記共通流路の高さ方向である第２方向の一方に配置された圧力室と、前記第２方向において前記ノズルと前記圧力室との間に配置され、前記ノズルと前記圧力室とを互いに接続する接続流路と、を含み、
   前記接続流路を構成する第１穴と前記共通流路を構成する第２穴とが形成された第１部材と、
   前記第１部材に対して前記第２方向の他方に配置され、前記接続流路を構成する穴が形成されずかつ前記共通流路を構成する第３穴が形成された第２部材と、を備え、
   前記第２部材に、前記ノズルが形成されたことを特徴とする、液体吐出ヘッド。
3. 前記第２部材に対して前記第２方向の他方に配置され、前記第３穴を塞ぐダンパ膜を備えたことを特徴とする、請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記第３穴の開口端は、前記第２穴の開口端の外側に位置することを特徴とする、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記第３穴の開口端は、前記第２穴の全周を囲うことを特徴とする、請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第３穴は、前記第２穴と同じ形状であることを特徴とする、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記共通流路の幅方向である第３方向において、前記圧力室の一端に前記共通流路が連通し、前記圧力室の他端に前記接続流路が連通し、
   前記圧力室と前記第２方向に重なる領域において、前記第３穴の開口端と前記第２穴の開口端との間隔は、前記第３穴の開口端と前記ノズルとの間隔よりも大きいことを特徴とする、請求項４～６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
8. 前記ダンパ膜の周縁を前記第２部材とで前記第２方向に挟む第３部材をさらに備えたことを特徴とする、請求項３～７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第３部材は、前記第２部材と同じ材料からなることを特徴とする、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第３部材は、前記第２部材と同じサイズ及び形状を有することを特徴とする、請求項８又は９に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第２部材は、前記第３穴を画定する第１壁を有し、
    前記第３部材は、前記第１壁と前記第２方向に重なる第２壁を有し、
    前記第１壁の幅は、前記第２壁の幅よりも大きいことを特徴とする、請求項８又は９に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記第２部材は、前記第３穴を区画する枠をさらに有することを特徴とする、請求項１～１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

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