JP7309519B2 - 半導体光素子 - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施形態に係る半導体光素子の平面図である。図2は、図1に示す半導体光素子のII-II線断面図である。半導体光素子100は、リッジ導波路型の半導体レーザである。
図3は、図2に示す半導体光素子の第2の実施形態の断面図である。この変形例では、隣接層222は、上面に凹部238を有する。凹部238は、コンタクト層216及びクラッド層214が削られて形成される。凹部238の内面は、パッシベーション膜224に覆われている。樹脂層226は、凹部238に配置され、凹部238でもパッシベーション膜224の上にある。
図4は、図1に示す半導体光素子の第3の実施形態の平面図である。図5は、図4に示す半導体光素子のV-V線断面図である。この変形例では、無機絶縁膜336は、樹脂層326の表面の全体を覆うようになっている。
図6は、第4の実施形態に係る半導体光素子の平面図である。図7は、図6に示す半導体光素子のVII-VII線断面図である。図8は、図6に示す半導体光素子のVIII-VIII線断面図である。
Claims (12)
- 半導体基板と、
前記半導体基板の上で第1方向にストライプ状に延び、最上層にコンタクト層を有するメサストライプ構造と、
前記メサストライプ構造に、前記第1方向に直交する第2方向に隣り合って、前記半導体基板の上にある隣接層と、
前記隣接層の少なくとも一部を覆うパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上にある樹脂層と、
前記コンタクト層に導通し、前記コンタクト層から連続的に前記樹脂層に至るように延びる電極と、
前記電極の下で前記樹脂層から連続的に前記パッシベーション膜に至るように延び、前記電極と前記樹脂層の間に完全に介在する無機絶縁膜と、
を有し、
前記無機絶縁膜は、互いに反対側にある第1端部および第2端部を含み、
前記第1端部は、前記第2端部と前記メサストライプ構造の間で、前記第1方向に延び、
前記パッシベーション膜は、前記樹脂層に隣接する部分で前記無機絶縁膜に覆われ、前記メサストライプ構造に近づく方向に前記樹脂層から離れた部分で、前記無機絶縁膜から露出することを特徴とする半導体光素子。 - 請求項1に記載の半導体光素子であって、
前記半導体基板に複数層が積層され、
前記複数層は、前記第1方向に延びる一対の溝を有し、
前記メサストライプ構造は、前記一対の溝の間にあって、前記複数層のそれぞれの一部の積層体から構成され、
前記隣接層は、前記メサストライプ構造とは反対で、前記一対の溝の一方に隣接し、前記複数層のそれぞれの他の一部の積層体から構成されていることを特徴とする半導体光素子。 - 請求項2に記載の半導体光素子であって、
前記パッシベーション膜は、前記隣接層から前記一対の溝を通って前記メサストライプ構造の側面に至るように延びることを特徴とする半導体光素子。 - 請求項1に記載の半導体光素子であって、
前記隣接層は、前記メサストライプ構造に隣接して、埋め込みヘテロ構造を構成することを特徴とする半導体光素子。 - 半導体基板と、
前記半導体基板の上で第1方向にストライプ状に延び、最上層にコンタクト層を有するメサストライプ構造と、
前記メサストライプ構造に、前記第1方向に直交する第2方向に隣り合って、前記半導体基板の上にある隣接層と、
前記隣接層の少なくとも一部を覆うパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上にある樹脂層と、
前記コンタクト層に導通し、前記コンタクト層から連続的に前記樹脂層に至るように延びる電極と、
前記電極の下で前記樹脂層から連続的に前記パッシベーション膜に至るように延び、前記電極と前記樹脂層の間に完全に介在する無機絶縁膜と、
を有し、
前記無機絶縁膜は、互いに反対側にある第1端部および第2端部を含み、
前記第1端部は、前記第2端部と前記メサストライプ構造の間で、前記第1方向に延び、
前記隣接層は、前記メサストライプ構造に隣接して、埋め込みヘテロ構造を構成し、
前記隣接層は、前記メサストライプ構造から離れる方向に上り勾配となる傾斜面を有し、
前記パッシベーション膜は、前記傾斜面との重複を避けていることを特徴とする半導体光素子。 - 請求項1に記載の半導体光素子であって、
前記無機絶縁膜は、前記樹脂層の表面の一部のみを覆うことを特徴とする半導体光素子。 - 請求項6に記載の半導体光素子であって、
前記樹脂層は、側面と、前記側面に囲まれる上面と、を含み、
前記無機絶縁膜は、前記側面の一部との重なりを避けていることを特徴とする半導体光素子。 - 半導体基板と、
前記半導体基板の上で第1方向にストライプ状に延び、最上層にコンタクト層を有するメサストライプ構造と、
前記メサストライプ構造に、前記第1方向に直交する第2方向に隣り合って、前記半導体基板の上にある隣接層と、
前記隣接層の少なくとも一部を覆うパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜の上にある樹脂層と、
前記コンタクト層に導通し、前記コンタクト層から連続的に前記樹脂層に至るように延びる電極と、
前記電極の下で前記樹脂層から連続的に前記パッシベーション膜に至るように延び、前記電極と前記樹脂層の間に完全に介在する無機絶縁膜と、
を有し、
前記無機絶縁膜は、互いに反対側にある第1端部および第2端部を含み、
前記第1端部は、前記第2端部と前記メサストライプ構造の間で、前記第1方向に延び、
前記無機絶縁膜は、前記樹脂層の表面の一部のみを覆い、
前記樹脂層は、側面と、前記側面に囲まれる上面と、を含み、
前記無機絶縁膜は、前記側面の一部との重なりを避けており、
前記樹脂層の前記側面は、前記メサストライプ構造の隣の第1領域と、前記メサストライプ構造とは反対の第2領域と、を有し、
前記無機絶縁膜は、前記第2領域と重なりを避けて、前記第1領域を覆うことを特徴とする半導体光素子。 - 請求項8に記載の半導体光素子であって、
前記樹脂層の前記側面は、前記第1領域と前記第2領域の間にある第3領域をさらに有し、
前記無機絶縁膜は、前記第3領域との重なりを避けていることを特徴とする半導体光素子。 - 請求項7に記載の半導体光素子であって、
前記無機絶縁膜は、前記上面の全体を覆うことを特徴とする半導体光素子。 - 請求項1に記載の半導体光素子であって、
前記無機絶縁膜は、前記樹脂層の表面の全体を覆うことを特徴とする半導体光素子。 - 請求項1に記載の半導体光素子であって、
前記隣接層は、凹部を有し、
前記パッシベーション膜は、前記凹部に至るように配置され、
前記樹脂層は、前記凹部にあることを特徴とする半導体光素子。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019148456A JP7309519B2 (ja) | 2019-08-13 | 2019-08-13 | 半導体光素子 |
US16/588,167 US11283242B2 (en) | 2019-08-13 | 2019-09-30 | Semiconductor optical device |
CN202010614651.5A CN112397994A (zh) | 2019-08-13 | 2020-06-30 | 半导体光学器件 |
US17/654,841 US11710940B2 (en) | 2019-08-13 | 2022-03-15 | Semiconductor optical device |
JP2023110426A JP2023118868A (ja) | 2019-08-13 | 2023-07-05 | 半導体光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019148456A JP7309519B2 (ja) | 2019-08-13 | 2019-08-13 | 半導体光素子 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023110426A Division JP2023118868A (ja) | 2019-08-13 | 2023-07-05 | 半導体光素子 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021034388A JP2021034388A (ja) | 2021-03-01 |
JP2021034388A5 JP2021034388A5 (ja) | 2022-07-28 |
JP7309519B2 true JP7309519B2 (ja) | 2023-07-18 |
Family
ID=74567910
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019148456A Active JP7309519B2 (ja) | 2019-08-13 | 2019-08-13 | 半導体光素子 |
JP2023110426A Pending JP2023118868A (ja) | 2019-08-13 | 2023-07-05 | 半導体光素子 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023110426A Pending JP2023118868A (ja) | 2019-08-13 | 2023-07-05 | 半導体光素子 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11283242B2 (ja) |
JP (2) | JP7309519B2 (ja) |
CN (1) | CN112397994A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7309519B2 (ja) | 2019-08-13 | 2023-07-18 | 日本ルメンタム株式会社 | 半導体光素子 |
US20240154390A1 (en) * | 2021-07-09 | 2024-05-09 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor optical element |
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JP2018170308A (ja) | 2017-03-29 | 2018-11-01 | 日本オクラロ株式会社 | 半導体光素子、光送信モジュール、光モジュール、及び光伝送装置、並びにそれらの製造方法 |
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JP7309519B2 (ja) | 2019-08-13 | 2023-07-18 | 日本ルメンタム株式会社 | 半導体光素子 |
-
2019
- 2019-08-13 JP JP2019148456A patent/JP7309519B2/ja active Active
- 2019-09-30 US US16/588,167 patent/US11283242B2/en active Active
-
2020
- 2020-06-30 CN CN202010614651.5A patent/CN112397994A/zh active Pending
-
2022
- 2022-03-15 US US17/654,841 patent/US11710940B2/en active Active
-
2023
- 2023-07-05 JP JP2023110426A patent/JP2023118868A/ja active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210050713A1 (en) | 2021-02-18 |
US11283242B2 (en) | 2022-03-22 |
US20220200243A1 (en) | 2022-06-23 |
JP2023118868A (ja) | 2023-08-25 |
CN112397994A (zh) | 2021-02-23 |
JP2021034388A (ja) | 2021-03-01 |
US11710940B2 (en) | 2023-07-25 |
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