JP7308458B2 - 制振装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態における制振装置の全体構成を示す概略図である。
2 駆動側固定子
3 駆動側可動子
4 駆動側アクチュエータ
5 制振側固定子
6 制振側可動子
7 制振側アクチュエータ
8 第1信号演算部
9 第2信号演算部
21 第1速度制御演算部
22 第1推力制御演算部
23 フィルタ処理部
24 第2速度制御演算部
25 第2推力制御演算部
31 バンドパスフィルタ
32 ゲイン
41 第1フィルタ処理部
42、42a、42b 第2フィルタ処理部
43 加減算処理部
51 むだ時間要素
52 バンドストップフィルタ
53 ローパスフィルタ
54 移動平均処理
Claims (12)
- 筺体と、
駆動側固定子と駆動側可動子とを有し前記筺体と接続された駆動側アクチュエータと、
制振側固定子と制振側可動子とを有し前記筺体と接続された制振側アクチュエータと、
制御指令に基づいて駆動側アクチュエータの駆動信号を生成する第1信号演算部と、
前記制振側アクチュエータの駆動信号を生成する制振部制御指令を算出する第2信号演算部と、
を備える制振装置において、
前記第1信号演算部は、
前記制御指令に基づき、前記駆動側アクチュエータの駆動信号を生成するための駆動部制御指令を算出し、
前記第2信号演算部は、
前記制振装置の機械的定数に基づく第1フィルタ処理部および少なくとも1つのむだ時間要素で構成された第2フィルタ処理部で構成されるフィルタ処理部を備え、
前記制御指令を前記第1フィルタ処理部に通すことにより、前記駆動側アクチュエータの駆動により生じる前記筺体の固有振動成分を、前記制振側アクチュエータの駆動により生じる前記筺体の振動成分で低減または相殺する振動抑制指令を算出し、
前記振動抑制指令を前記第2フィルタ処理部に通すことにより、前記制振側可動子の変位を抑制する変位抑制指令を算出し、
前記振動抑制指令から前記変位抑制指令を減算して得られた信号に基づいて前記制振部制御指令を算出する、
制振装置。 - 前記制振側可動子は前記駆動側可動子の質量以下である
ことを特徴とする請求項1に記載の制振装置。 - 前記制御指令は位置指令または速度指令である
ことを特徴とする請求項1または2に記載の制振装置。 - 前記第1フィルタ処理部は、少なくとも1つのバンドパスフィルタで構成される
ことを特徴とする請求項1に記載の制振装置。 - 前記第1フィルタ処理部は、前記バンドパスフィルタの通過周波数を前記筺体の共振周波数とする
ことを特徴とする請求項4に記載の制振装置。 - 前記第2フィルタ処理部は、少なくとも1つのバンドストップフィルタで構成される
ことを特徴とする請求項1に記載の制振装置。 - 前記第2フィルタ処理部は、前記バンドストップフィルタの遮断周波数を前記筺体の共振周波数とする
ことを特徴とする請求項6に記載の制振装置。 - 前記第2フィルタ処理部は、少なくとも1つのローパスフィルタで構成される
ことを特徴とする請求項1に記載の制振装置。 - 前記第2フィルタ処理部は、前記ローパスフィルタのカットオフ周波数を前記筺体の共振周波数以下とする
ことを特徴とする請求項8に記載の制振装置。 - 前記第2フィルタ処理部は、少なくとも1つの移動平均処理で構成される
ことを特徴とする請求項1に記載の制振装置。 - 前記第2フィルタ処理部は、前記移動平均処理のカットオフ周波数を前記筺体の共振周波数以下とする
ことを特徴とする請求項10に記載の制振装置。 - 前記フィルタ処理部は、前記駆動側可動子の質量を前記制振側可動子の質量で除して得られる質量比以下であるゲインKvを掛ける
ことを特徴とする請求項1に記載の制振装置。
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