JP6899099B2 - 機械制御システム、機械制御装置、及び制振指令生成方法 - Google Patents

Description

開示の実施形態は、機械制御システム、機械制御装置、及び制振指令生成方法に関する。

例えば特許文献１には、モータによる機械の位置決め制御時に発生する振動のオーバーシュートを打ち消すために、当該モータのトルク指令に上記振動と逆の位相の振動に対応する補償トルク指令を加算する振動抑制手法が記載されている。

特開２０１７−１３８８２１号公報

一方、複数のモータでそれぞれ個別に駆動する複数の可動要素を連結して備えた機械設備が多くあり、いずれかの可動要素の駆動によって他の可動要素を振動させる場合がある。これに対して上記従来技術の振動抑制手法を適用しても、振動の原因が他軸の可動要素の駆動であるため制振効果が得られない。

本発明はこのような問題点に鑑みてなされたものであり、複数の駆動軸制御系の間における相互的な制振機能を向上できる機械制御システム、機械制御装置、及び制振指令生成方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の一の観点によれば、複数のモータでそれぞれ個別に駆動される複数の可動要素を備えた駆動機械と、第１のモータを駆動制御するための第１の制御指令における加加速度に基づいて、第２のモータを駆動制御するための第２の制御指令を生成する機械制御装置と、を有する機械制御システムが適用される。

また、本発明の別の観点によれば、第１のモータを駆動制御するための第１の制御指令における加加速度に基づいて、第２のモータを駆動制御するための第２の制御指令を生成する機械制御装置が適用される。

また、本発明の別の観点によれば、複数のモータをそれぞれ個別に駆動制御する機械制御装置が備える演算装置が実行する制振指令生成方法であって、第１のモータを駆動制御するための第１の制御指令における加加速度に基づいて、第２のモータを駆動制御するための第２の制御指令のうちの通常制御指令に付加する制振指令を生成すること、を実行する制振指令生成方法が適用される。

本発明によれば、複数の駆動軸制御系の間における相互的な制振機能を向上できる。

本実施形態に係る機械制御システムの全体構成の一例を示す説明図である。 制振指令の生成手法を説明するタイムチャートである。 サーボアンプの制御処理ループを表す図である。 制振指令の具体的形態を説明するタイムチャートである。 加加速度の大きさが変化する速度制御シーケンスの例を表すタイムチャートである。 制振指令波形の波形振幅の算出について説明するタイムチャートである。 制振力波形が重複する速度制御シーケンスの例を表すタイムチャートである。 制振指令の重畳を説明するタイムチャートである。 加加速度が頻発する速度制御シーケンスの例を表すタイムチャートである。 有効最小加速度未満の微小な加加速度が発生する速度制御シーケンスの例を表すタイムチャートである。 駆動軸制御系を３軸備えた場合の変形例に係る機械制御システムの全体構成の一例を示す説明図である。 コントローラのハードウェア構成の一例を表すブロック図である。

以下、一実施の形態について図面を参照しつつ説明する。

＜１．機械制御システムの全体構成＞
まず、図１を参照しつつ、本実施形態に係る機械制御システムの構成の一例について説明する。図１は本実施形態に係る機械制御システムの全体構成の一例を示している。図示する本実施形態の例では、駆動機械の駆動源であるモータとして２つのリニアモータを使用した場合について説明する。

図１において、機械制御システム１００は、コントローラ１と、２つのサーボアンプ２Ａ，２Ｂと、２つのリニアモータ３Ａ，３Ｂと、駆動機械４とを有している。

コントローラ１は、ＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭなどのメモリなどを備えたコンピュータ（図１２参照）、ＰＬＣ（Ｐｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅ Ｌｏｇｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）、又はＭＣ（Ｍｏｔｉｏｎ Ｃｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）等で構成され、駆動機械４に所望の経時的動作を行わせるよう制御する上位制御装置である。この動作制御機能の形態として具体的には、駆動機械４の動力源である後述のリニアモータ３Ａ，３Ｂに対して所望のモーション動作をリアルタイムかつ高精度に指示するモーション制御指令を、後述の通信制御周期で周期的にサーボアンプ２Ａ，２Ｂへ出力する。

サーボアンプ２Ａ，２Ｂは、ＣＰＵやＲＯＭ、ＲＡＭなどのメモリなどを備えたコンピュータ（図１２参照）で構成され、上記コントローラ１から入力したモーション制御指令についてリアルタイムかつ高精度に追従するよう後述のリニアモータ３Ａ，３Ｂに駆動電力を給電し駆動制御するモータ制御装置である。なお、このサーボアンプ２Ａ，２Ｂの制御構成については、後の図３で詳述する。

リニアモータ３Ａ，３Ｂは、直動型のモータであり、上記サーボアンプ２Ａ，２Ｂから給電された駆動電力により駆動機械４を駆動するための直進推力を発生する。リニアモータ３Ａ，３Ｂは、一方向に長い矩形平板形状の固定子３１と、この固定子３１上で長手方向に往復動可能な可動子３２Ａ，３２Ｂとの組み合わせで構成されている。この例では、固定子３１側において長手方向に対し磁極を交互に配置された多数の永久磁石（図示省略）が設けられ、可動子３２Ａ，３２Ｂ側において上記サーボアンプ２Ａ，２Ｂからの駆動電力により直進磁界を発生可能な電機子（図示省略）が設けられている。なお、この例におけるリニアモータ３Ａ，３Ｂには、それぞれの可動子３２Ａ，３２Ｂの出力位置を検出する特に図示しないリニアスケールが個別に設けられている。

駆動機械４は、上記リニアモータ３Ａ，３Ｂの可動子３２Ａ，３２Ｂに連結してその駆動力（この例では推力）により機械的に駆動される機械構造物である。なお、図中においては、可動子３２Ａ，３２Ｂ上にそれぞれ固定されたウェイトＷ１，Ｗ２でこの駆動機械１を模式的に略記している。

本実施形態の機械制御システム１００の例においては、駆動機械４の駆動源であるリニアモータ３Ａ，３Ｂが、共通する１つの固定子３１上に２つの可動子３２Ａ，３２Ｂを個別に往復動させる構成となっており、つまり固定子３１を共通化した２つのリニアモータ３Ａ，３Ｂを備えている。ここで、一方の可動子（図示する例では図中右手前側の可動子３２Ａ）を備えたリニアモータを第１モータ３Ａとし、他方の可動子（図示する例では図中左奥側の可動子３２Ｂ）を備えたリニアモータを第２モータ３Ｂとする。そして、第１モータ３Ａは第１サーボアンプ２Ａから、第２モータ３Ｂは第２サーボアンプ２Ｂからそれぞれ個別に駆動電力が給電されて独自に駆動制御される。コントローラ１は、第１サーボアンプ２Ａと第２サーボアンプ２Ｂにそれぞれ適宜の制御指令を出力することで、２つのリニアモータ３Ａ，３Ｂを協調制御して駆動機械４全体を所定のシーケンスで駆動制御できる。

コントローラ１と各サーボアンプ２Ａ，２Ｂとの間で送受される制御指令は、対応するリニアモータ３Ａ，３Ｂの可動子３２Ａ，３２Ｂの動作について直接的に指令する通常制御指令と、可動子３２Ａ，３２Ｂの振動を抑制するための制振指令とを含んでいる。例えば図示する例のように、コントローラ１が第１モータ３Ａに対して出力した通常制御指令において加加速度が発生する場合には、その影響を受けて振動の発生が予測される第２モータ３Ｂに対して対応する通常制御指令と共に上記第１モータ３Ａでの加加速度に基づいた制振指令が出力される。このようなコントローラ１と各サーボアンプ２Ａ，２Ｂとの間における制御指令の送受に関しては、駆動機械４におけるモーション制御のリアルタイム性を確保するために後述する同期通信により行われる。

なお、以下においては、対応するリニアモータ３Ａ，３Ｂとサーボアンプ２Ａ，２Ｂの組合せをまとめて駆動軸制御系という。また、以上においてリニアモータ３Ａ，３Ｂの可動子３２Ａ，３２Ｂとそれに連結して動作する駆動機械４の可動部分が各請求項記載の可動要素に相当し、サーボアンプ２Ａ，２Ｂが各請求項記載のモータ制御装置に相当し、コントローラ１が各請求項記載の上位制御装置に相当し、コントローラ１と複数のサーボアンプ２Ａ，２Ｂをまとめた全体が各請求項記載の機械制御装置に相当し、この例の第１サーボアンプ２Ａへ向けてコントローラ１が出力する制御指令が各請求項記載の第１の制御指令に相当し、この例の第２サーボアンプ２Ｂへ向けてコントローラ１が出力する制御指令が各請求項記載の第２の制御指令に相当する。

なお、上述したコントローラ１、第１サーボアンプ２Ａ、第２サーボアンプ２Ｂ等における処理等は、これらの処理の分担の例に限定されるものではなく、例えば、更に少ない数の制御装置（例えば１つの機械制御装置）で処理されてもよく、また、更に分化された制御装置により処理されてもよい。また、コントローラ１（またはサーボアンプ２Ａ，２Ｂ）の処理は、後述するＣＰＵ９０１（演算装置；図１２参照）が実行するプログラムにより実装されてもよいし、その一部又は全部がＡＳＩＣやＦＰＧＡ等の専用集積回路、その他の電気回路等の実際の装置により実装されてもよい。

＜２．本実施形態の特徴＞
産業機械などを含めた一般的な機械設備には、本実施形態にあるように複数のモータ３Ａ，３Ｂでそれぞれ個別に駆動される複数の可動要素を備えた構成のものが多くある。そして、複数のモータ３Ａ，３Ｂは複数のサーボアンプ２Ａ，２Ｂでそれぞれ個別に駆動制御され、それら複数のサーボアンプ２Ａ，２Ｂはそれぞれ上位のコントローラ１から出力される制御指令に基づいて協調制御される。

そのような機械制御システム１００においていずれかの可動要素がモータ３Ａ，３Ｂの駆動により動作した際には、その反力が伝播して他の可動要素を振動させる原因となる。これまでは、そのような機械系で発生する振動に対して、サーボアンプ２Ａ，２Ｂが備える外乱抑制機能（オブザーバ利用など）により各駆動軸制御系のそれぞれで独自に制振制御を行う構成となっていた。

しかし、例えば近年の半導体製造装置等で行われるような精密機器の製造作業等ではμｍオーダーまでの非常に高い動作精度が要求されている。これに対して上述したように各駆動軸制御系が独自に外乱抑制機能によって制振制御を実行するだけでは、実際に振動を受けてからの対応となるため応答に遅れが生じ、また加加速度のような微小な振動の発生要因に対応した高い制振精度が得られないなどの理由から十分な制振効果が得られない恐れがあった。

これに対して本実施形態では、コントローラ１が、第１モータ３Ａを駆動制御するための第１制御指令における加加速度に基づいて、第２モータ３Ｂを駆動制御するための第２制御指令を生成する。

つまり、各駆動軸制御系に実行させる制御指令を全て監視しているコントローラ１においては、いずれの駆動軸制御系及び可動要素がどのタイミングでどのような加加速度を生じ、これが他の駆動軸制御系の可動要素に対する振動の発生要因となるかまで把握できる。従ってこのようなコントローラ１が、上記他の駆動軸制御系である第２モータ３Ｂに対し、上記第１モータ３Ａに発生する加加速度の発生タイミングや発生内容（大きさ、位相など）に適切に対応した制振制御を実行するよう指令する第２制御指令を生成できる。以下、このような制振制御を行うための手法について詳細に説明する。

＜３．制振指令の生成手法＞
上記図１に示した例における加加速度の発生と、それに対応した制振指令の生成手法について図２のタイムチャートを参照しつつ説明する。この図２においては４つのタイムチャートが示されており、最上段から順に、加加速度を発生させる側（図１の例の第１モータ３Ａの側；以下、加振側という）の駆動軸制御系における速度波形の一例と、その加速度波形と、その加加速度波形とが示されており、また最下段には上記加振側で発生した加加速度により振動を受ける側（図１の例の第２モータ３Ｂの側；以下、被振側という）の駆動軸制御系において生じる振動波形とそれに対応して生成すべき制振力の波形とが重ねて示されている。

この図２に示す例では、まず加振側の駆動軸制御系が、位置制御または速度制御によって最上段のタイムチャートに示すような略台形の波形形状でモータ速度が制御される。このとき、コントローラ１とサーボアンプ２Ａは、十分短い同一周期（以下、通信制御周期Ｔという）で同期して制御指令を逐次送受する。これによりコントローラ１から送信する制御指令の内容が経時的に変動する場合でも、サーボアンプ２Ａは十分なリアルタイム性をもってその制御指令の変動に対応した追従制御を行える。つまり、図示する加振側速度波形のタイムチャート中において、通信制御周期Ｔ単位で分割して（標本化されて）示している各矩形グラフの高さは、各周期時期での加振側のサーボアンプ２Ａにおける速度指令の瞬時値に相当する。

このような速度波形に対応して、上から２段目のタイムチャートに示すように、モータ速度が加速している期間では正値側（図示する上方側）に延びた矩形波形でモータ加速度が生じ、モータ速度が減速している期間では負値側（図示する下方側）に延びた矩形波形でモータ加速度が生じ、それら以外でモータ速度が停止または一定速度にある期間ではモータ加速度は生じない。

そして、このような加速度波形に対応して、上から３段目のタイムチャートに示すように、モータ加速度が立ち上がる際には正値側に延びた矩形波形でモータ加加速度が生じ、モータ加速度が切り下がる際には負値側に延びた矩形波形でモータ加加速度が生じ、それら以外でモータ加速度が０または一定にある期間ではモータ加加速度は生じない。この加加速度の大きさは速度指令の２階時間微分値、言い換えると移動位置の指令単位での変化量を、通信制御周期Ｔの周期期間の２乗値で除した値に相当する。なお、上記のモータ加速度及びモータ加加速度のいずれも通信制御周期Ｔの周期単位で標本化されており、特にモータ加速度が矩形波形で生じることから各モータ加加速度は一周期分のパルス波形（符号付きの瞬時値）で示している。

このように加振側の駆動軸制御系で発生した加加速度に対する反力は、例えば上記図１の構成における共通の固定子３１を伝播して被振側の駆動軸制御系を振動させる加振力となる。そして、最下段のタイムチャートに示すように、被振側では、加振側での加加速度の発生後に対応するタイミングで上記加振力により略正弦波形（図中の破線波形参照）の位置振動が生じる。これに対して本実施形態では、被振側の駆動軸制御系（この例の第２モータ３Ｂ）に対して、上記位置振動の略正弦波形と逆位相波形（図中の実線波形参照）で生成した制振力を付加するよう制振制御することで、被振側の振動を相殺させることができる。

ここで、コントローラ１は、当該機械制御システム１００が備える全ての駆動軸制御系に対し、それぞれどの周期時期でどのような制御指令を出力するかの制御スケジュールを管理している。このため、コントローラ１は、いずれの駆動軸制御系の可動要素がどの周期時期でどのような加加速度を生じて加振側となり、その加加速度が他の被振側となる駆動軸制御系の可動要素に対する振動の発生要因となるまで把握できる。従ってコントローラ１は、被振側の第２モータ３Ｂに対し、加振側の第１モータ３Ａに発生する加加速度の発生タイミングや発生内容（大きさ、位相など）に適切に対応した制振指令を生成して出力すればよい。

＜４．制振指令の具体的形態＞
以上の手法によりコントローラ１が生成する制振指令の具体的形態として、本実施形態の例では、リニアモータ３Ｂに任意の制振力を付加できるようサーボアンプ２Ｂに入力する推力フィードフォワード指令の形態で制振指令を生成する。

例えば、サーボアンプ２Ｂにおいて実行される一般的な位置制御処理を伝達関数形式で表現すると、図３に示すような位置制御フィードバックループと速度制御フィードバックループの二重ループ処理となる。二重ループ処理では、コントローラ１から位置指令とモータ３Ｂの位置検出値との偏差を位置偏差として求め、この位置偏差に基づいて位置制御部５１が速度指令を生成する。さらに、この速度指令とモータ３Ｂの速度検出値（微分演算子５３による位置検出値の１階時間微分値）との偏差を速度偏差として求め、この速度偏差に基づいて速度制御部５２が推力指令を生成する。そして、この推力指令を電力指令として、対応する駆動電力を給電することによりモータ３Ｂを駆動する。なお、速度制御処理を行う場合には、位置制御部５１を省略した一重ループ処理で、コントローラ１から速度指令を入力してもよい。このようなループ処理において推力指令に直接加算する指令が推力フィードフォワード指令であり、コントローラ１はこのような推力フィードフォワード指令の形態で制振指令を生成する。

図４は、上記推力フィードフォワード指令の形態で生成された制振指令の一例をタイムチャートで示している。上述したように被振側の駆動軸制御系における位置振動は略正弦波形で生じるため、これを相殺するための制振力はその逆位相の略正弦波形にできるだけ近づけて付加することが望ましく、その制振力を制御するための推力フィードフォワード指令もまたそのような逆位相の正弦波形に近づけて生成することが望ましい。なお、駆動機械４における基準座標系の設定態様や加振側と被振側の各駆動軸制御系どうしの間の配置関係によっては、同じ加加速度であっても被振側に生じる振動波形の位相が加加速度と同位相と逆位相の両方に成り得る。このため、加加速度を基準とするのではなく、被振側の可動要素の振動波形を基準とした逆位相波形の推力フィードフォワード指令で制振指令を生成するとよい。

また、被振側に振動が発生してから十分に減衰するまで通信制御周期Ｔの複数周期分に相当する時間が必要な場合は、サーボアンプ２Ｂは当該複数周期の間（以下、出力周期という）にわたって継続的に制振制御のための推力フィードフォワード指令をトルク指令に加算し続ける必要がある。したがってコントローラ１は、上記制振力の略正弦波形を通信制御周期Ｔで標本化した値で推力フィードフォワード指令を時系列的に生成し、それを適宜設定した出力周期の間で継続的に制振指令として出力する。

また、被振側で実際に受ける具体的な振動波形の内容は、その要因となる加振側の加加速度の発生内容（例えば振幅、位相など）そのものだけではなく、それら加振側と被振側の駆動軸制御系どうしの間で連結する機械要素の剛性や連結構成、各可動要素の質量比、駆動軸制御系の軸間配置関係（方向、距離）などの多様な要素の影響を受ける。そのため、推力フィードフォワード指令の具体的な生成内容は、加振側の駆動軸制御系と被振側の駆動軸制御系との間の機械的関係性に対応した内容で生成することが望ましい。

ここで、一般的に正弦波形は振幅、周波数、及び位相の３つの波形パラメータで一義的に定義できるが、被振側で発生する略正弦波形の振動はその位相（正負符号）も含めた振幅が加振側の加加速度の振幅に比例し、また周波数は加振側と被振側の間の機械的関係性に依存し、また経時的に減衰する。このため、被振側で有効な推力フィードフォワード指令を生成する際には、加振側で発生する加加速度の振幅（通常制御指令に応じて増減変化する値）に対してあらかじめ適切に設定された振幅比を乗算した振幅で、また加振側と被振側との組合せに対応してあらかじめ適切に設定した周波数と出力周期で定義される正弦波形で推力フィードフォワード指令を生成するのが望ましい。本実施形態の例では、これら振幅比、周波数、及び出力周期の各波形パラメータを例えば手動調整作業によりあらかじめ適切に設定しておき、制振指令を生成するコントローラ１に記憶させておく。

なお、図４に示す例の制振力波形では、加加速度の振幅に対する振幅比が＋１（つまり加加速度と制振力が同位相→加加速度と振動が逆位相）であり、波形周期が通信制御周期Ｔの単位で１９周期分であり、出力周期が正弦波形の周期単位で２周期分（Ｔ単位で３８周期分）であると設定した場合を示している。また、上記の波形周期について言い換えると、通信制御周期Ｔの単位では１／１９周期分の周波数にあると言える。時間に関係する周波数と出力周期の波形パラメータについては、通信制御周期Ｔの尺度を基準として設定することが機能上望ましいが、他にも制振力の正弦波形周期の尺度や実時間の尺度のいずれかを基準として設定してもよい。なお、振幅比の設定については別途後述する。

また、一般的なモーション制御通信においては、コントローラ１が指令を出力してからサーボアンプ２Ｂがその指令を実際に実行するまでに通信制御周期Ｔの所定周期分に相当する時間を必要とする場合がある。また、加振側と被振側の間の機械的関係性によっては、それらの間における機械的な振動の伝播にも所定周期分に相当する時間が必要な場合がある。これに対して、コントローラ１が制振指令を出力する際に、加加速度が発生する周期時期Ａからあらかじめ適切に設定された周期数（図示する例では−２Ｔ）でオフセットされた周期時期に制振指令を出力する。この出力オフセット周期は、コントローラ１とサーボアンプ２Ｂの間の通信制御機能や加振側と被振側の間の機械的関係性等に依存するため、このパラメータについても例えば手動調整作業によりあらかじめ適切に設定しておき、コントローラ１に記憶させておく。

なお、制振力の逆位相波形は、振動波形と振幅、周波数、及び出力周期ができるだけ一致していることが望ましいが、少なくとも所定周期時期における振動波形の瞬時値と正負が逆の制振力を通信制御周期Ｔの１周期分で出力するだけでも一定の制振効果が得られる。

＜５．制振指令波形の波形振幅の算出について＞
例えば図５のタイムチャートで示すように、加振側で実行する速度制御のシーケンスによっては発生する加加速度の大きさ（符号、絶対値）が変化する場合がある。コントローラ１は、上述したように全ての駆動軸制御系に対する全ての制御指令の出力スケジュールと内容を管理していることから、全ての加加速度の発生周期時期とその大きさを予め算出して対応する制振指令を適切な大きさ（位相、振幅）で生成して適切な周期時期に出力できる。

コントローラ１は、上述したように制御指令で発生する加加速度の大きさに対して、あらかじめ適宜設定しておいた振幅比を乗算して制振指令波形の波形振幅を算出する。そして本実施形態の例では、さらに最大振幅を正規化した比率に基づいて実際の制振指令となる制振力波形の波形振幅を算出する。例えば図６に示す例では、図中の左側のタイムチャート列で示すように、加振側の速度波形が最短加速時間で最高速度に到達する場合、つまり加速度が最大となる場合（上段参照）に、その加速度に対応する加加速度（中段参照）の大きさに対してあらかじめ手動調整などで設定した振幅比を乗算することで被振側の制振力波形の波形振幅（下段参照）を算出できる。この振幅が当該被振側において付加し得る制振力波形の最大振幅となり、これを１００％として正規化する。

これにより、例えば制御指令で加速度５０％である場合に対応して被振側に付加すべき制振力波形の振幅は上記最大振幅の５０％で算出すればよく（図中、中央のタイムチャート列参照）、また制御指令で加速度２５％である場合に対応して被振側に付加すべき制振力波形の振幅は上記最大振幅の２５％で算出すればよい（図中、右側のタイムチャート列参照）。そしてこのように算出した波形振幅の値に対して、波形周波数に応じた角速度と経過周期での正弦関数を乗算することで、各周期時期に出力すべき制振指令の推力フィードフォワード指令の瞬時値を算出すればよい。

＜６．制振指令波形の重畳について＞
例えば図７のタイムチャートで示すように、加振側で実行する速度制御のシーケンスによっては加加速度が短い時間間隔（図示する例では連続した周期時期）で発生する場合がある。この場合には、先の加加速度に対応して発生する振動が減衰する前に後の加加速度に対応して発生する振動が重畳するよう合成されて被振側の可動要素に伝搬する。これに対して本実施形態では、コントローラ１は各加加速度にそれぞれ対応した制振力の略正弦波形（それぞれ出力周期で時間長さが限定）を個別に生成した上で、それらを図８に示す例のように重畳してその合成波形の瞬時値から各周期時期における制振指令の推力フィードフォワード指令を生成する。

また、図９に示すタイムチャートのように加加速度が短い時間間隔で頻発するような場合がある。この頻度がさらに高い場合、または各制振力波形の出力周期が長い場合には、３つ以上の制振指令を重畳させる場合もあり得る。これに対してコントローラ１は、過去直近で発生した所定数の加加速度を履歴として記憶しておき、それぞれの加加速度に対応した制振力波形（逆位相波形）の重畳波形で推力フィードフォワード指令の制振指令を生成すればよい。なお、先の加加速度と後の加加速度の間の発生時間間隔が十分に長い場合であっても、それぞれ対応する制振力波形には出力周期で時間長さが限定されている（つまり出力周期後は瞬時値が０となる）ため不要な重畳処理は回避できる。また、加加速度を記憶する数は出力周期の長さや記憶装置の記憶容量に応じて適宜設定すればよい。

＜７．有効最小加加速度について＞
例えばコントローラ１が補間動作のような制御指令を出力した場合には、図１０のタイムチャートで示すように、可動要素の移動速度に十分小さなバラツキが生じ、微小な加加速度が発生する場合がある。しかし、このような加振側に生じる微小な加加速度では被振側の駆動軸制御系に対してほとんど影響を与えることがなく（振動が無視できる程度しか発生せず）、逆に加振側で頻繁に発生する微小な加加速度の全てに対応して制振指令を出力した場合には被振側の駆動軸制御系を発振させてしまう可能性がある。これに対して本実施形態では、適切に設定した閾値としての有効最小加加速度以上にある加加速度に対応してのみ制振指令を生成する。言い換えると、発生した加加速度が有効最小加加速度未満である場合には、制振制御を実行しない。このときの有効最小加加速度は絶対値で設定し、正負それぞれの加加速度の絶対値と比較して制振指令を生成するか否かを判定する。

＜８．本実施形態の効果＞
以上説明したように、本実施形態の機械制御システム１００によれば、当該機械制御システム１００の駆動を制御する機械制御装置（この例では複数のサーボアンプ２Ａ，２Ｂとコントローラ１をまとめた総称）が、第１モータ３Ａを駆動制御するための第１制御指令における加加速度に基づいて、第２モータ３Ｂを駆動制御するための第２制御指令を生成する。これにより、被振側の駆動軸制御系の第２モータ３Ｂに対し、加振側の第１モータ３Ａに発生する加加速度の発生タイミングや発生内容（大きさ、位相など）に適切に対応した制振制御を実行するよう指令する第２制御指令を生成できる。この結果、複数の駆動軸制御系の間における相互的な制振機能を向上できる。

また、本実施形態では特に、機械制御装置は、第２モータ３Ｂを駆動制御する通常制御指令に、第１制御指令における加加速度に基づく制振指令を付加した第２の制御指令を生成する。これにより、第２モータ３Ｂに対して通常制御指令により実行される位置制御や速度制御の通常制御とともに、外部で発生した加加速度により受ける反力（推力等）に適切に対応した制振指令での制振制御を併せて実行できる。

また、本実施形態では特に、機械制御装置は、複数のモータ３Ａ，３Ｂをそれぞれ個別に駆動制御する複数のサーボアンプ２Ａ，２Ｂと、それら複数のサーボアンプ２Ａ，２Ｂへの第１制御指令および第２制御指令を生成するコントローラ１と、を有し、コントローラ１は、第２制御指令における制振指令を、第２モータ３Ｂを駆動制御する通常制御の推力指令に推力フィードフォワード指令として加算し、コントローラ１は、第１制御指令における加加速度に基づいて、推力フィードフォワード指令を生成する。

このように、機械制御装置が、各モータ３Ａ，３Ｂそれぞれの駆動を制御する複数のサーボアンプ２Ａ，２Ｂと、それら複数のサーボアンプ２Ａ，２Ｂを統合的に制御するコントローラ１で構成していることにより、当該機械制御システム１００全体の機械制御処理を各装置で機能的に分担できる。そして、コントローラ１が推力フィードフォワード指令の形態で制振指令を生成し、サーボアンプ２Ｂが制振指令として入力された推力フィードフォワード指令を推力指令に加算することで、当該サーボアンプ２Ｂで別途実行される位置制御や速度制御の通常制御に対して影響を与えることなく、かつ、外部で発生した加加速度により受ける反力（推力）に適切に対応した推力で制振制御を実行できる。

また、加振側と被振側の各駆動軸制御系への制御指令及び制振指令を監視するコントローラ１は、それら２つの駆動軸制御系の機械的関係性に対応した内容での推力フィードフォワード指令の生成が容易であり、それ自体を制振指令として被振側のサーボアンプ２Ｂへ出力できる。そして、このような制振指令を入力したサーボアンプ２Ｂにおいては、推力フィードフォワード指令の形態である制振指令をそのまま推力指令に加算するだけでよいため、当該サーボアンプ２Ｂの処理負担を軽減できる。

なお、特に図示しないが、サーボアンプ２Ｂが推力フィードフォワード指令を生成してもよい。この場合には、あらかじめサーボアンプ２Ｂが制振力の正弦波形を定義する波形パラメータ（振幅比、周波数、及び出力周期）を記憶しておき、コントローラ１は加振側に発生した加加速度の大きさ（符号、振幅）に相当する情報を制振指令として適切な周期時期に出力する。そして、サーボアンプ２Ｂが波形パラメータと制振指令に基づいて各周期時期ごとに対応する推力フィードフォワード指令を生成して推力指令に加算すればよい。

また、本実施形態では特に、制振指令が、コントローラ１とサーボアンプ２Ｂとの間の通信制御周期Ｔで標本化した値で時系列的に生成される。これにより、通信制御周期Ｔごとにモーション制御処理を行うサーボアンプ２Ｂであっても、複数の通信制御周期Ｔにわたる制振力波形での制振制御が可能となる。

また、本実施形態では特に、制振指令が、通信制御周期Ｔにおいて加加速度の発生周期時期から所定周期数でオフセットした周期時期に出力される。これにより、実際に被振側の可動要素が振動を開始するタイミングに適切に対応してサーボアンプ２Ｂに制振制御の実行を開始させることができる。

また、本実施形態では特に、制振指令が、加加速度により可動要素に生じる振動波形の逆位相波形（少なくとも正負が逆であればよい）で生成される。このように加加速度を基準とするのではなく、被振側の可動要素の振動波形を基準とした逆位相波形の推力フィードフォワード指令で制振指令を生成することで、当該可動要素に発生する振動を相殺するよう制振できる。

また、本実施形態では特に、被振側の振動波形の逆位相波形（制振力波形）が、加加速度との振幅比、周波数、出力周期の少なくとも１つの波形パラメータで定義される略正弦波形で生成される。これにより、振幅比、周波数、及び出力周期の波形パラメータを例えば手動調整作業によりあらかじめ適切に設定しておき、発生する加加速度の振幅が特定できれば制振機能上有効な正弦波形の推力フィードフォワード指令を生成できる。

また、本実施形態では特に、制振指令が、過去直近で発生した所定数の加加速度にそれぞれ対応した逆位相波形の重畳波形で生成される。これにより、短い時間間隔で発生した複数の加加速度により合成された振動波形に対しても、サーボアンプ２Ｂは通信制御周期Ｔごとに入力される一つの制振指令（推力フィードフォワード指令）で機能的に相殺して制振制御できる。

また、本実施形態では特に、制振指令が、有効最小加加速度の閾値以上にある加加速度に対応して生成される。これにより、例えば加振側に微小な加加速度が頻発するような速度制御が実行された場合であっても、被振側において十分な制振機能を維持しつつ駆動軸制御系の制御安定性を向上できる。

なお、本実施形態の例では一方の第１モータ３Ａを加振側として他方の第２モータ３Ｂを被振側とした関係を前提として説明したが、逆に第２モータ３Ｂが加振側となり第１モータ３Ａが被振側と成り得るように相互に振動の因果関係を有する場合が多くあり、いずれの関係においてもコントローラ１は加振側の加加速度に基づいて被振側への制御指令を生成すればよい。なお、可動要素の振動波形に影響を与える機械的関係性で対称性がない場合、つまり加振側と被振側が逆転した場合で振動波形（波形パラメータ、オフセット周期数）が変化する場合には、コントローラ１は加振側と被振側の方向関係の組合せ（この例では２通り）ごとに波形パラメータやオフセット周期数を記憶して対応する内容の制振指令を生成する。

また、制振指令である推力フィードフォワード指令は、被振側の駆動軸制御系が停止中と動作中（可動要素が移動中）のいずれにかかわらず任意の周期時期に入力してよく、サーボアンプ２Ｂは制振指令の推力フィードフォワード指令を加算した推力指令にリアルタイムに応答して制御すればよい。

また、上記実施形態では、加振側への第１制御指令（通常制御指令）に加加速度が発生する際に対応する制振指令を生成し、これを被振側への通常制御指令だけに付加して第２制御指令として出力すると説明したが、これに限られない。例えば、コントローラ１がいずれの駆動軸制御系に出力する制御指令においても常に通常制御指令に制振指令を付加する形態で出力してもよい。この場合は、一方の駆動軸制御系側で加加速度が発生していない間は他方の駆動軸制御系側の制振指令（推力フィードフォワード指令）を０値で生成すればよい。

また、本実施形態の制振手法は、加振側と被振側の機械的な配置関係が上記図１で示した例のような同一直線上の配置関係に限られず、例えば平行な配置関係や所定角度（直交も含む）を成す配置関係、空間的なねじれ配置関係なども含めて加加速度が伝播して機械的影響を及ぼし得る多様な配置関係に適用できる。例えば、平行に配置した複数のモータで同一の可動要素を駆動するいわゆるガントリ機構をさらに複数設けた駆動機械の場合には、加振側のガントリ機構での加加速度に対応した制振指令を被振側のガントリ機構の全てのサーボアンプにそれぞれ入力することで制振機能が得られる（図示省略）。

また、駆動軸制御系で使用するモータは直動型のリニアモータに限られず、回転型のモータを使用した場合にも本実施形態の制振手法を適用できる。この場合、上記図３に示すループ処理における推力指令はトルク指令となり、制振指令の推力フィードフォワード指令はトルクフィードフォワード指令となる。また、可動要素はボールねじやピニオン・ラックの機構を介した直動機械要素などが想定され、被振側の振動は回転型モータの出力軸の回転位置における振動や上記の直動機械要素における振動などが想定される。また、直動型モータと回転型モータを組合せて備えた場合でも、本実施形態の制振手法が適用可能である。

＜９．変形例＞
なお、開示の実施形態は、上記に限られるものではなく、その趣旨及び技術的思想を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。以下、そのような変形例を説明する。

＜駆動軸制御系を３軸以上備える場合＞
上記実施形態では、駆動軸制御系を２軸備えた機械制御システムについて説明したが、上記図１に対応する図１１に示すように駆動軸制御系を３軸備えた機械制御システム２００に対しても上記実施形態と同等の制振手法を適用できる。なお、図示する例では、各駆動軸制御系の第１〜第３モータ２０３Ａ，２０３Ｂ，２０３Ｃが回転型であり、第１モータ２０３Ａだけ他の第２、第３モータ２０３Ｂ，２０３Ｃと出力軸の先端方向（つまり回転方向）が逆であり、またそれぞれボールねじなどのネジ送り機構を介して異なる質量のウェイトＷ１，Ｗ２，Ｗ３を往復動させる駆動機械２０４を備える場合を示している。

このように３軸以上の駆動軸制御系を備えた場合、コントローラ２０１は、いずれか１つの駆動軸制御系において制御指令に加加速度が生じて加振側となる際に、他の全ての駆動軸制御系を被振側としてそれぞれに制振指令を出力すればよい。

しかしながら、多くの場合は加振側と被振側の関係にある２つの駆動軸制御系の組合せごとにそれらの間の機械的関係性が相違することになる。図示する例では、第２モータ２０３Ｂの駆動軸制御系が加振側となって他の第１モータ２０３Ａ、第３モータ２０３Ｃそれぞれの駆動軸制御系が被振側となる場合を示しており、上述した各ウェイトＷ１，Ｗ２，Ｗ３の質量差やモータ軸方向の相違があることで、第２モータ２０３Ｂと第１モータ２０３Ａの組合せにおける機械的関係性と第２モータ２０３Ｂと第３モータ２０３Ｃの組合せにおける機械的関係性が相違している。また、特に図示しないが、例えば第１モータ２０３Ａが加振側である場合には、軸間設置距離の差から第１モータ２０３Ａと第２モータ２０３Ｂの組合せと、第１モータ２０３Ａと第３モータ２０３Ｃの組合せの間でも機械的関係性が相違する。

そして上述したように、制振指令の基準となる制振力波形の波形形状（振幅比、周波数、出力周期）や、制振指令を出力する周期時期（オフセット周期数）は、加振側と被振側の間の方向性も含めた機械的関係性に依存する。このため、被振側の複数の駆動軸制御系にそれぞれ出力する制振指令は、駆動軸制御系ごとで個別に、加振側となる駆動軸制御系との軸組合せとその方向関係に対応した内容で生成するのが望ましい。図示する例では、被振側である第１モータ２０３Ａに対して第２モータ２０３Ｂが加振側で当該第１モータ２０３Ａが被振側である軸組合せと方向関係に対応した内容の制振指令を生成し、同じく被振側である第３モータ２０３Ｃに対して第２モータ２０３Ｂが加振側で当該第３モータ２０３Ｃが被振側である軸組合せと方向関係に対応した内容の制振指令を生成する。このため、コントローラ２０１は、複数ある駆動軸制御系のうちで対となる軸組合せ数と方向関係数の全て（この例では３組合せ×２方向＝６通り）でそれぞれ波形パラメータやオフセット周期数を記憶して対応する内容の制振指令を生成する。

また、短い時間間隔で２つの駆動軸制御系が加振側となる場合には、他の被振側に対してそれらの重畳波形に対応した制振指令を生成する。また、サーボアンプ２０２Ａ，２０２Ｃでトルクフィードフォワード指令を生成する場合には、コントローラ２０１がいずれの駆動軸制御系が加振側であるかの情報と加加速度の大きさを併せた制振指令を生成してサーボアンプ２０２Ａ，２０２Ｂに出力する。なお、特に図示しないが、４軸以上の駆動軸制御系を備えた場合でも、同様の制振手法を適用できる。

＜１０．コントローラのハードウェア構成例＞
次に、図１２を参照しつつ、上記で説明したＣＰＵ９０１が実行するプログラムにより処理を実現するコントローラ１，２０１のハードウェア構成の一例について説明する。なお、サーボアンプ２Ａ，２Ｂ，２０２Ａ，２０２Ｂ，２０２Ｃが同様のハードウェア構成を有してもよい。

図１２に示すように、コントローラ１，２０１（サーボアンプ２，２０２）は、例えば、ＣＰＵ９０１と、ＲＯＭ９０３と、ＲＡＭ９０５と、ＡＳＩＣ又はＦＰＧＡ等の特定の用途向けに構築された専用集積回路９０７と、入力装置９１３と、出力装置９１５と、記録装置９１７と、ドライブ９１９と、接続ポート９２１と、通信装置９２３とを有する。これらの構成は、バス９０９や入出力インターフェース９１１を介し相互に信号を伝達可能に接続されている。

プログラムは、例えば、ＲＯＭ９０３やＲＡＭ９０５、記録装置９１７等に記録しておくことができる。

また、プログラムは、例えば、フレキシブルディスクなどの磁気ディスク、各種のＣＤ・ＭＯディスク・ＤＶＤ等の光ディスク、半導体メモリ等のリムーバブルな記録媒体９２５に、一時的又は永続的（非一時的）に記録しておくこともできる。このような記録媒体９２５は、いわゆるパッケージソフトウエアとして提供することもできる。この場合、これらの記録媒体９２５に記録されたプログラムは、ドライブ９１９により読み出されて、入出力インターフェース９１１やバス９０９等を介し上記記録装置９１７に記録されてもよい。

また、プログラムは、例えば、ダウンロードサイト、他のコンピュータ、他の記録装置等（図示せず）に記録しておくこともできる。この場合、プログラムは、ＬＡＮやインターネット等のネットワークＮＷを介し転送され、通信装置９２３がこのプログラムを受信する。そして、通信装置９２３が受信したプログラムは、入出力インターフェース９１１やバス９０９等を介し上記記録装置９１７に記録されてもよい。

また、プログラムは、例えば、適宜の外部接続機器９２７に記録しておくこともできる。この場合、プログラムは、適宜の接続ポート９２１を介し転送され、入出力インターフェース９１１やバス９０９等を介し上記記録装置９１７に記録されてもよい。

そして、ＣＰＵ９０１が、上記記録装置９１７に記録されたプログラムに従い各種の処理を実行することにより、上記のコントローラ１，２０１（またはサーボアンプ２，２０２）による制御処理が実現される。この際、ＣＰＵ９０１は、例えば、上記記録装置９１７からプログラムを直接読み出して実行してもよく、ＲＡＭ９０５に一旦ロードした上で実行してもよい。更にＣＰＵ９０１は、例えば、プログラムを通信装置９２３やドライブ９１９、接続ポート９２１を介し受信する場合、受信したプログラムを記録装置９１７に記録せずに直接実行してもよい。

また、ＣＰＵ９０１は、必要に応じて、例えばマウス・キーボード・マイク（図示せず）等の入力装置９１３から入力する信号や情報に基づいて各種の処理を行ってもよい。

そして、ＣＰＵ９０１は、上記の処理を実行した結果を、例えば表示装置や音声出力装置等の出力装置９１５から出力する。さらにＣＰＵ９０１は、必要に応じてこの処理結果を通信装置９２３や接続ポート９２１を介し送信してもよく、上記記録装置９１７や記録媒体９２５に記録させてもよい。

なお、以上の説明において、「垂直」「平行」「平面」等の記載がある場合には、当該記載は厳密な意味ではない。すなわち、それら「垂直」「平行」「平面」とは、設計上、製造上の公差、誤差が許容され、「実質的に垂直」「実質的に平行」「実質的に平面」という意味である。

また、以上の説明において、外観上の寸法や大きさ、形状、位置等が「同一」「同じ」「等しい」「異なる」等の記載がある場合は、当該記載は厳密な意味ではない。すなわち、それら「同一」「等しい」「異なる」とは、設計上、製造上の公差、誤差が許容され、「実質的に同一」「実質的に同じ」「実質的に等しい」「実質的に異なる」という意味である。

また、以上既に述べた以外にも、上記実施形態や各変形例による手法を適宜組み合わせて利用しても良い。その他、一々例示はしないが、上記実施形態や各変形例は、その趣旨を逸脱しない範囲内において、種々の変更が加えられて実施されるものである。

１ コントローラ（上位制御装置）
２Ａ，２Ｂ サーボアンプ（モータ制御装置）
３Ａ，３Ｂ リニアモータ（第１のモータ、第２のモータ）
４ 駆動機械（可動要素）
３１ 固定子
３２Ａ 可動子（可動要素）
，３２Ｂ
２０１ コントローラ（上位制御装置）
２０２Ａ サーボアンプ（モータ制御装置）
，２０２Ｂ
，２０２Ｃ
２０３Ａ モータ（第１のモータ、第２のモータ）
，２０３Ｂ
，２０３Ｃ
２０４ 駆動機械（可動要素）
１００ 機械制御システム
，２００

Claims (5)

1. 複数のモータでそれぞれ個別に駆動される複数の可動要素を備えた駆動機械と、
   第１のモータを駆動制御するための第１の制御指令における加加速度に基づいて、第２のモータを駆動制御するための第２の制御指令を生成する機械制御装置と、
   を有し、
   前記機械制御装置は、
   前記複数のモータをそれぞれ個別に駆動制御する複数のモータ制御装置と、
   前記複数のモータ制御装置への前記第１の制御指令および前記第２の制御指令を生成する上位制御装置と、を有し、前記第２のモータを駆動制御する通常制御指令に、前記第１の制御指令における加加速度に基づく制振指令を付加した前記第２の制御指令を生成し、
   前記制振指令は、
   前記加加速度により前記第２のモータの前記可動要素に生じる振動波形の逆位相波形であって、前記第１のモータ側で発生する加加速度の振幅に対してあらかじめ設定された振幅比を乗算した振幅でかつ前記第１のモータ側と前記第２のモータ側との組合せに対応してあらかじめ設定した周波数と出力周期で定義される正弦波形により、前記上位制御装置と前記モータ制御装置との間の通信制御周期で標本化した値で時系列的に生成されるとともに、過去直近で発生した所定閾値以上にある所定数の加加速度にそれぞれ対応した前記逆位相波形の重畳波形として生成される
   ことを特徴とする機械制御システム。
2. 前記モータ制御装置は、
   前記第２の制御指令における前記制振指令を、前記第２のモータを駆動制御する通常制御のトルク指令にトルクフィードフォワード指令として加算し、
   前記上位制御装置は、
   前記第１の制御指令における加加速度に基づいて、前記トルクフィードフォワード指令を生成する
   ことを特徴とする請求項１記載の機械制御システム。
3. 前記制振指令は、
   前記通信制御周期において前記加加速度の発生周期時期から所定周期数でオフセットした周期時期に出力される
   ことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の機械制御システム。
4. 複数のモータをそれぞれ個別に駆動制御する複数のモータ制御装置と、
   第１のモータを駆動制御するための第１の制御指令および第２のモータを駆動制御するための第２の制御指令を生成する上位制御装置と、を有し、前記複数のモータでそれぞれ個別に駆動される複数の可動要素を備えた駆動機械を制御する機械制御装置であって、
   前記第１の制御指令における加加速度に基づいて、前記第２の制御指令を生成し、
   前記第２の制御指令を、前記第２のモータを駆動制御する通常制御指令に、前記第１の制御指令における加加速度に基づく制振指令を付加して生成し、
   前記制振指令を、前記加加速度により前記第２のモータの前記可動要素に生じる振動波形の逆位相波形であって、前記第１のモータ側で発生する加加速度の振幅に対してあらかじめ設定された振幅比を乗算した振幅でかつ前記第１のモータ側と前記第２のモータ側との組合せに対応してあらかじめ設定した周波数と出力周期で定義される正弦波形により、前記上位制御装置と前記モータ制御装置との間の通信制御周期で標本化した値で時系列的に生成するとともに、過去直近で発生した所定閾値以上にある所定数の加加速度にそれぞれ対応した前記逆位相波形の重畳波形として生成する
   ことを特徴とする機械制御装置。
5. 複数のモータでそれぞれ個別に駆動される複数の可動要素を備えた駆動機械を制御する機械制御装置であって、複数のモータをそれぞれ個別に駆動制御する複数のモータ制御装置と、第１のモータを駆動制御するための第１の制御指令および第２のモータを駆動制御するための第２の制御指令を生成する上位制御装置と、を有する機械制御装置が備える演算装置が実行する制振指令生成方法であって、
   前記第１の制御指令における加加速度に基づいて、前記第２の制御指令を生成すること、
   を実行し、
   前記第２の制御指令を生成することは、
   前記第２の制御指令を、前記第２のモータを駆動制御する通常制御指令に、前記第１の制御指令における加加速度に基づく制振指令を付加して生成することと、
   前記制振指令を、前記加加速度により前記第２のモータの前記可動要素に生じる振動波形の逆位相波形あって、前記第１のモータ側で発生する加加速度の振幅に対してあらかじめ設定された振幅比を乗算した振幅でかつ前記第１のモータ側と前記第２のモータ側との組合せに対応してあらかじめ設定した周波数と出力周期で定義される正弦波形により、前記上位制御装置と前記モータ制御装置との間の通信制御周期で標本化した値で時系列的に生成するとともに、過去直近で発生した所定閾値以上にある所定数の加加速度にそれぞれ対応した前記逆位相波形の重畳波形として生成することと、
   を有することを特徴とする制振指令生成方法。

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