JP7308035B2

JP7308035B2 - 静電チャック

Info

Publication number: JP7308035B2
Application number: JP2019001552A
Authority: JP
Inventors: 翔太齊藤
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: Niterra Co Ltd
Priority date: 2019-01-09
Filing date: 2019-01-09
Publication date: 2023-07-13
Anticipated expiration: 2039-01-09
Also published as: JP2020113588A

Description

本明細書に開示される技術は、静電チャックに関する。

例えば半導体を製造する際にウェハを保持するために、静電チャックが用いられる。静電チャックは、所定の方向（以下、「第１の方向」という）に略垂直な略平面状の表面（以下、「吸着面」という）を有する板状部材と、ベース部材と、板状部材とベース部材とを接合する接合部と、板状部材の内部に設けられたチャック電極とを備えている。静電チャックは、チャック電極に電圧が印加されることにより発生する静電引力を利用して、板状部材の吸着面にウェハを吸着して保持する。

静電チャックの吸着面に保持されたウェハの温度分布が不均一になると、ウェハに対する各処理（成膜、エッチング等）の精度が低下するおそれがあるため、静電チャックにはウェハの温度分布をできるだけ均一にする性能が求められる。そのため、ベース部材には、側面（板状部材に対向する表面における外縁と、当該面とは反対側の表面における外縁とを繋ぐ表面）に開口する供給口および排出口と、供給口と排出口との間を結ぶ冷媒流路とが形成されており、冷媒流路に冷媒を供給することによって板状部材の吸着面の温度制御が行われる（例えば、特許文献１参照）。

特開２００８－２５１６８１号公報

冷媒流路内の冷媒の温度は、冷媒が供給される供給口において最も低い。また、ベース部材に形成された供給口から供給される冷媒は、その供給口付近において乱流が発生しやすい。このため、従来の静電チャックでは、上記第１の方向視で板状部材の吸着面における供給口付近に重なる位置が低温の温度特異点となりやすく、吸着面の温度分布の均一性を十分に向上させることができない、という課題がある。

本明細書では、上述した課題を解決することが可能な技術を開示する。

本明細書に開示される技術は、例えば、以下の形態として実現することが可能である。

（１）本明細書に開示される静電チャックは、第１の方向に略直交する第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する板状部材と、第３の表面を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面に対向するように配置されたベース部材と、前記板状部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置され、前記板状部材と前記ベース部材とを接合する接合部と、を備え、前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する静電チャックにおいて、前記ベース部材には、前記ベース部材の側面に開口する供給口と、前記供給口に連通する冷媒流路と、が形成されており、前記第１の方向視で、前記供給口の全体は、前記板状部材の前記第１の表面の外周縁より外側に配置されている。ここで、ベース部材に形成された冷媒流路内の冷媒の温度は、冷媒が供給される供給口において最も低い。また、ベース部材に形成された供給口から供給される冷媒は、その供給口付近において乱流が発生しやすい。また、供給口がベース部材の下面に形成されている構成では、第１の方向視で、冷媒流路の内の供給口付近において、冷媒の滞留時間が比較的長くなる。このため、板状部材の第１の表面において、第１の方向視で供給口に重なる領域は低温の温度特異点になりやすい。本静電チャックでは、ベース部材の側面に供給口が開口しており、かつ、供給口に連通する冷媒流路がベース部材に形成されている。また、第１の方向視で、供給口の全体が、板状部材の第１の表面の外周縁より外側に配置されている。このため、本静電チャックによれば、供給口の存在に起因して板状部材の第１の表面に低温の温度特異点が発生することを抑制することができ、その結果、板状部材の第１の表面における温度分布の均一性を向上させることができる。

（２）上記静電チャックにおいて、前記供給口から、前記冷媒流路の延伸方向における前記冷媒流路の全長の３分の１までの部分は、前記第１の方向視で、変曲点を含まない形状である構成としてもよい。このような構成の静電チャックでは、冷媒流路の内、冷媒の温度が比較的低い供給口付近の部分においても、乱流の発生を抑止することができる。従って、本静電チャックによれば、供給口付近の冷媒の乱流に起因して板状部材第１の表面に低温の温度特異点が発生することを抑制することができ、その結果、板状部材の第１の表面における温度分布の均一性を更に効果的に向上させることができる。

（３）上記静電チャックにおいて、前記ベース部材には、前記冷媒流路に連通し、かつ、前記ベース部材の側面に開口する排出口、が形成されており、前記第１の方向視で、前記排出口の全体は、前記板状部材の前記第１の表面の外周縁より外側に配置されている、ことを特徴とする構成としてもよい。ここで、ベース部材の冷媒流路に供給された冷媒は、その排出口においても乱流が発生しやすい。このため、板状部材の第１の表面において、第１の方向視で排出口に重なる領域は低温の温度特異点となりやすい。上記構成の静電チャックでは、上述の通り、第１の方向視において、排出口の全体が、板状部材の第１の表面の外周縁より外側に配置されている。このため、本実施形態の静電チャックによれば、排出口の存在に起因して板状部材の第１の表面に低温の温度特異点が発生することを抑制することができ、その結果、板状部材の第１の表面における温度分布の均一性を更に効果的に向上させることができる。

なお、本明細書に開示される技術は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、保持装置、静電チャック、真空チャック、それらの製造方法等の形態で実現することが可能である。

第１実施形態における静電チャック１００の外観構成を概略的に示す斜視図である。第１実施形態における静電チャック１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。第１実施形態における静電チャック１００のＸＹ断面構成を概略的に示す説明図である。第１実施形態における静電チャック１００の一部分の断面構成を概略的に示す説明図である。第１実施形態における静電チャック１００の一部分の断面構成を概略的に示す説明図である。第２実施形態の静電チャック１００ａの構成を概略的に示す説明図である。

Ａ．第１実施形態：
Ａ－１．静電チャック１００の構成：
図１は、第１実施形態における静電チャック１００の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図２は、第１実施形態における静電チャック１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図であり、図３は、第１実施形態における静電チャック１００のＸＹ断面構成を概略的に示す説明図である。図２には、図３のＩＩ－ＩＩの位置における静電チャック１００のＸＺ断面構成が示されており、図３には、図２のＩＩＩ－ＩＩＩの位置における静電チャック１００のＸＹ断面構成が示されている。また、図４および図５は、第１実施形態における静電チャック１００の一部分の断面構成を概略的に示す説明図である。図４には、図３のＩＶ－ＩＶの位置における静電チャック１００の一部分のＺ軸に平行な断面構成が示されており、図５には、図３のＶ－Ｖの位置における静電チャック１００の一部分のＺ軸に平行な断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するＸＹＺ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Ｚ軸正方向を上方向といい、Ｚ軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック１００は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。上下方向は、特許請求の範囲における第１の方向に相当する。

静電チャック１００は、対象物（例えば半導体ウェハＷ）を静電引力により吸着して保持する装置であり、例えば半導体製造装置の真空チャンバ内で半導体ウェハＷ（以下、「ウェハＷ」という）を固定するために使用される。静電チャック１００は、所定の配列方向（本実施形態では上下方向（Ｚ軸方向））に並べて配置された板状部材１０およびベース部材２０を備える。板状部材１０とベース部材２０とは、板状部材１０の下面Ｓ２（図２参照）とベース部材２０の上面Ｓ３とが、後述する接合部３０を挟んで上記配列方向に対向するように配置される。すなわち、ベース部材２０は、ベース部材２０の上面Ｓ３が板状部材１０の下面Ｓ２側に位置するように配置される。

板状部材１０は、上述した配列方向（Ｚ軸方向）に略直交する略円形平面状の上面（以下、「吸着面」という）Ｓ１を有する部材であり、例えばセラミックスにより形成されている。セラミックスとしては、強度や耐摩耗性、耐プラズマ性等の観点から、例えば、酸化アルミニウム（アルミナ、Ａｌ_２Ｏ_３）または窒化アルミニウム（ＡｌＮ）を主成分とするセラミックスを用いることが好ましい。なお、ここでいう主成分とは、含有割合（重量割合）の最も多い成分を意味する。板状部材１０の直径は例えば５０ｍｍ～５００ｍｍ程度（通常は２００ｍｍ～３５０ｍｍ程度）であり、板状部材１０の厚さは例えば１ｍｍ～１０ｍｍ程度である。なお、板状部材１０の吸着面Ｓ１は、特許請求の範囲における第１の表面に相当し、板状部材１０の下面Ｓ２は、特許請求の範囲における第２の表面に相当し、Ｚ軸方向は、特許請求の範囲における第１の方向に相当する。また、本明細書では、Ｚ軸方向に直交する方向を「面方向」という。

図２に示すように、板状部材１０の内部には、導電性材料（例えば、タングステン、モリブデン、白金等）により形成されたチャック電極４０が配置されている。Ｚ軸方向視でのチャック電極４０の形状は、例えば略円形である。チャック電極４０に電源（図示せず）から電圧が印加されると、静電引力が発生し、この静電引力によってウェハＷが板状部材１０の吸着面Ｓ１に吸着固定される。

板状部材１０の内部には、また、導電性材料（例えば、タングステン、モリブデン、白金等）を含む抵抗発熱体により構成されたヒータ電極５０が配置されている。ヒータ電極５０に電源（図示せず）から電圧が印加されると、ヒータ電極５０が発熱することによって板状部材１０が温められ、板状部材１０の吸着面Ｓ１に保持されたウェハＷが温められる。これにより、ウェハＷの温度分布の制御が実現される。

ベース部材２０は、例えば板状部材１０と同径の、または、板状部材１０より径が大きい円形平面の板状部材であり、例えば金属（アルミニウムやアルミニウム合金等）により形成されている。ベース部材２０の直径は例えば２２０ｍｍ～５５０ｍｍ程度（通常は２２０ｍｍ～３５０ｍｍ）であり、ベース部材２０の厚さは例えば２０ｍｍ～４０ｍｍ程度である。なお、ベース部材２０の上面Ｓ３は、特許請求の範囲における第３の表面に相当する。

ベース部材２０は、板状部材１０の下面Ｓ２とベース部材２０の上面Ｓ３との間に配置された接合部３０によって、板状部材１０に接合されている。接合部３０は、例えばシリコーン系樹脂やアクリル系樹脂、エポキシ系樹脂等の樹脂材料（接着材料）により構成されている。接合部３０の厚さは、例えば０．１ｍｍ～１ｍｍ程度である。なお、接合部３０は、板状部材１０の下面Ｓ２の全面に配置されていてもよく、または、下面Ｓ２の一部のみに配置されていてもよい。

ベース部材２０の内部には冷媒流路２００が形成されている。冷媒流路２００に冷媒（例えば、フッ素系不活性液体や水等）が流されると、ベース部材２０が冷却され、接合部３０を介したベース部材２０と板状部材１０との間の伝熱（熱引き）により板状部材１０が冷却され、板状部材１０の吸着面Ｓ１に保持されたウェハＷが冷却される。これにより、ウェハＷの温度分布の制御が実現される。

ベース部材２０の冷媒流路２００に関する構成について、さらに詳細に説明する。図３に示すように、ベース部材２０の側面Ｓ５には、供給口２０１と排出口２０２とが開口している。より詳細には、供給口２０１と排出口２０２とは、Ｚ軸方向視で、その全体が、板状部材１０の吸着面Ｓ１の外周縁より外側に配置されている。なお、ベース部材２０の側面Ｓ５とは、ベース部材２０の上面Ｓ３における外縁と下面Ｓ４における外縁とを繋ぐ面である。

冷媒流路２００は、供給口２０１と排出口２０２とを結ぶように形成されている。より詳細には、冷媒流路２００は、主流路２２０と、供給側流路２１１と、排出側流路２１２とを有している。主流路２２０は、ベース部材２０の上面Ｓ３に略平行な方向に延び、供給側流路２１１と排出側流路２１２との間を結ぶように形成されている。本実施形態の静電チャック１００では、主流路２２０は、Ｚ軸方向視において、ベース部材２０の中心付近で折り返された螺旋形状に形成されている。また、供給側流路２１１は、Ｚ軸方向視において、主流路２２０の内の供給側流路２１１に接続する周辺部分における延伸方向Ｄ（以下、「供給側周辺延伸方向Ｄｆ」という）に延び、Ｙ軸方向視において、供給口２０１からベース部材２０の上面Ｓ３に略平行な方向（本実施形態ではＸ軸方向）に形成されている。より詳細には、供給側流路２１１は、Ｚ軸方向視において、供給側流路２１１の長手方向に沿った直線Ｌ１と、ベース部材２０の接線Ｌ２とのなす角θｉが４５°以下となるよう形成されている。また、排出側流路２１２は、Ｚ軸方向視において、主流路２２０の内の排出側流路２１２に接続する周辺部分における延伸方向Ｄ（以下、「排出側周辺延伸方向Ｄｅ」という）に延び、Ｙ軸方向視において、排出口２０２からベース部材２０の上面Ｓ３に略平行な方向（本実施形態ではＸ軸方向）に形成されている。すなわち、供給側流路２１１および排出側流路２１２は、Ｚ軸方向視およびＹ軸方向視において、変曲点を含まない形状である。

また、図３に示すように、Ｚ軸方向視で、主流路２２０の一部分は、板状部材１０の吸着面Ｓ１の外周縁より外側に配置されている。具体的には、供給口２０１から延びる供給側流路２１１に隣接する（つながる）主流路２２０の一部分（図３のＸ１部）と、排出口２０２から延びる排出側流路２１２に隣接する（つながる）主流路２２０の一部分（図３のＸ２部）とが、板状部材１０の吸着面Ｓ１の外周縁より外側に配置されている。なお、本実施形態では、供給側流路２１１と主流路２２０との接続箇所、および、排出側流路２１２と主流路２２０との接続箇所も、板状部材１０の吸着面Ｓ１の外周縁より外側に配置されている。

また、図４に示すように、Ｚ軸方向に平行であり、供給口２０１の中心を通り、かつ、供給口２０１から延びる供給側流路２１１に隣接する（つながる）主流路２２０の一部分を通る断面（例えば、図４に示す断面）において、供給側流路２１１は、Ｚ軸方向において、主流路２２０の高さ方向の略中央において主流路２２０に接続されている。同様に、図５に示すように、Ｚ軸方向に平行であり、排出口２０２の中心を通り、かつ、排出口２０２から延びる排出側流路２１２に隣接する（つながる）主流路２２０の一部分を通る断面（例えば、図５に示す断面）において、排出側流路２１２は、Ｚ軸方向において、主流路２２０の高さ方向の略中央において主流路２２０に接続されている。このため、供給口２０１から供給される冷媒は、供給側流路２１１、主流路２２０、排出側流路２１２におけるそれぞれの内部において、吸着面Ｓ１に略平行な面方向に流れ、排出口２０２から排出される。また、図３に示すように、供給側流路２１１および排出側流路２１２は、Ｚ軸方向視において、主流路２２０の幅方向の略中央においてそれぞれ主流路２２０に接続されている。

上述のように、本実施形態の静電チャック１００において、主流路２２０は、Ｚ軸方向視において、螺旋形状に形成されており、その螺旋形状はベース部材２０の中心付近に変曲点ＩＰを含んでいる。本実施形態において、上記螺旋形状の曲率半径は、好ましくは、１０ｍｍ以上であり、より好ましくは、２０ｍｍ以上である。また、本実施形態において、冷媒流路２００の全長Ｌｔ（すなわち、Ｚ軸方向視において、供給口２０１から排出口２０２までの延伸方向における長さ）において、供給口２０１から変曲点ＩＰまでの長さＬｆは、排出口２０２から変曲点ＩＰまでの長さＬｅより長いことが好ましい。換言すれば、長さＬｆは全長Ｌｔの２分の１以上であることが好ましく、より好ましくは全長Ｌｔの３分の１以上である。すなわち、供給口２０１から、冷媒流路２００の延伸方向における冷媒流路２００の全長Ｌｔの好ましくは２分の１（より好ましくは３分の１）までの部分は、Ｚ軸方向視で、変曲点ＩＰを含まない形状である。

本実施形態において、主流路２２０の寸法は、Ｚ軸方向視における延伸方向に略直交する方向における幅が、１０ｍｍ以上、３０ｍｍ以下であることが好ましく、Ｚ軸方向における高さが、１０ｍｍ以上、３０ｍｍ以下であることが好ましく、Ｚ軸方向視における、主流路２２０の延伸方向に沿った長さが、２０００ｍｍ以上、６０００ｍｍ以下であることが好ましい。また、供給側流路２１１および排出側流路２１２の寸法は、Ｚ軸方向視における延伸方向に略直交する方向における幅が、１０ｍｍ以上、２５ｍｍ以下であることが好ましく、Ｚ軸方向における高さが、１０ｍｍ以上、２５ｍｍ以下であることが好ましく、Ｚ軸方向視における、供給側流路２１１および排出側流路２１２の延伸方向に沿った長さが、１５ｍｍ以上、５０ｍｍ以下であることが好ましい。

このような構成のベース部材２０は、例えば、一の金属部材（例えば、アルミニウム部材）に、主流路２２０、供給側流路２１１、排出側流路２１２に対応する形状の溝を形成し、当該金属部材と、いずれの孔も形成されていない他の金属部材（例えば、アルミニウム部材）とを例えば溶接により接合することにより、作製することができる。

Ａ－２．第１実施形態の効果：
以上説明したように、本実施形態の静電チャック１００は、Ｚ軸方向に略直交する吸着面Ｓ１と、吸着面Ｓ１とは反対側の下面Ｓ２と、を有する板状部材１０と、上面Ｓ３を有し、上面Ｓ３が板状部材１０の下面Ｓ２に対向するように配置されたベース部材２０と、板状部材１０の下面Ｓ２とベース部材２０の上面Ｓ３との間に配置され、板状部材１０とベース部材２０とを接合する接合部３０とを備え、板状部材１０の吸着面Ｓ１上に対象物（例えばウェハＷ）を保持する静電チャック１００である。また、本実施形態の静電チャック１００では、ベース部材２０には、ベース部材２０の側面Ｓ５に開口する供給口２０１と、供給口２０１に連通する冷媒流路２００とが形成されており、Ｚ軸方向視で、供給口２０１の全体は、板状部材１０の吸着面Ｓ１の外周縁より外側に配置されている。

ここで、ベース部材２０に形成された冷媒流路２００内の冷媒の温度は、冷媒が供給される供給口２０１付近において最も低い。また、ベース部材２０に形成された供給口２０１から供給される冷媒は、その供給口２０１付近において乱流が発生しやすい。また、供給口２０１がベース部材２０の下面Ｓ４に形成されている構成では、Ｚ軸方向視で、冷媒流路２００の内の供給口２０１付近において、冷媒の滞留時間が比較的長くなる。このため、板状部材１０の吸着面Ｓ１において、Ｚ軸方向視で供給口２０１に重なる領域は低温の温度特異点になりやすい。本実施形態の静電チャック１００では、ベース部材２０の側面Ｓ５に供給口２０１が開口しており、かつ、供給口２０１に連通する冷媒流路２００がベース部材２０に形成されている。また、Ｚ軸方向視で、供給口２０１の全体が、板状部材１０の吸着面Ｓ１の外周縁より外側に配置されている。従って、本実施形態の静電チャック１００によれば、供給口２０１の存在に起因して板状部材１０の吸着面Ｓ１に低温の温度特異点が発生することを抑制することができ、その結果、板状部材１０の吸着面Ｓ１における温度分布の均一性を向上させることができる。

また、本実施形態の静電チャック１００では、供給口２０１から、冷媒流路２００の延伸方向Ｄにおける冷媒流路２００の全長Ｌｔの３分の１までの部分は、Ｚ軸方向視で、変曲点ＩＰを含まない形状である。このため、冷媒流路２００の内、冷媒の温度が比較的低い供給口２０１付近の部分においても、乱流の発生を抑止することができる。従って、本実施形態の静電チャック１００によれば、供給口２０１付近の冷媒の乱流に起因して板状部材１０の吸着面Ｓ１に低温の温度特異点が発生することを抑制することができ、その結果、板状部材１０の吸着面Ｓ１における温度分布の均一性を更に効果的に向上させることができる。

また、本実施形態の静電チャック１００では、ベース部材２０には、冷媒流路２００に連通し、かつ、ベース部材２０の側面Ｓ５に開口する排出口２０２が形成されており、Ｚ軸方向視で、排出口２０２の全体は、板状部材１０の吸着面Ｓ１の外周縁より外側に配置されている。ここで、ベース部材２０の冷媒流路２００に供給された冷媒は、その排出口２０２においても乱流が発生しやすい。このため、板状部材１０の吸着面Ｓ１において、Ｚ軸方向視で排出口２０２に重なる領域は低温の温度特異点となりやすい。本実施形態の静電チャック１００では、上述の通り、Ｚ軸方向視において、排出口２０２の全体が、板状部材１０の吸着面Ｓ１の外周縁より外側に配置されている。このため、本実施形態の静電チャック１００によれば、排出口２０２の存在に起因して板状部材１０の吸着面Ｓ１に低温の温度特異点が発生することを抑制することができ、その結果、板状部材１０の吸着面Ｓ１における温度分布の均一性を更に効果的に向上させることができる。

Ｂ．第２実施形態：
図６は、第２実施形態の静電チャック１００ａの構成を概略的に示す説明図である。図６には、上述した図３の断面に対応する第２実施形態の静電チャック１００ａのＸＹ断面構成が示されている。以下では、第２実施形態の静電チャック１００ａの構成の内、上述した第１実施形態の静電チャック１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。

図６に示すように、第２実施形態の静電チャック１００ａの構成は、上述した第１実施形態の静電チャック１００の構成と比較して、Ｚ軸方向視におけるベース部材２０の形状が異なっている。具体的には、第２実施形態の静電チャック１００ａでは、Ｚ軸方向視において、ベース部材２０には、その外周の一部において部分的に欠損している。なお、Ｚ軸方向視において、当該欠損している部分（以下、「欠損部分」という）は、板状部材１０における吸着面Ｓ１の外側に位置しており、当該欠損部分は吸着面Ｓ１に重ならない。

ベース部材２０に形成された供給口２０１は、ベース部材２０の側面Ｓ５の内、上記欠損部分に対向する領域に開口している。また、本実施形態の静電チャック１００ａでは、側面Ｓ５の内の供給口２０１が開口している領域と、冷媒流路２００（具体的には、供給側流路２１１）の延伸方向に略直交する断面とは、略平行である。なお、供給口２０１および排出口２０２については、第１実施形態の静電チャック１００と同様に、Ｚ軸方向視で、板状部材１０の吸着面Ｓ１の外周縁より外側に配置されている。

以上説明したように、第２実施形態の静電チャック１００ａでは、Ｚ軸方向視で、供給口２０１および排出口２０２の全体が板状部材１０の吸着面Ｓ１の外周縁より外側に配置されているため、供給口２０１および排出口２０２の存在に起因して板状部材１０の吸着面Ｓ１に低温の温度特異点が発生することを抑制することができ、その結果、板状部材１０の吸着面Ｓ１における温度分布の均一性を向上させることができる。また、第２実施形態の静電チャック１００ａでは、Ｚ軸方向視において、ベース部材２０の側面Ｓ５の内の供給口２０１が開口している領域と、冷媒流路２００（具体的には、供給側流路２１１）の延伸方向に略直交する断面とが、略平行であるため、供給口２０１と冷媒の供給源（図示せず）とを接続する際の取り付けが容易である。

Ｃ．変形例：
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。

上記実施形態では、ベース部材２０に形成された排出口２０２は、ベース部材２０の側面Ｓ５に開口する構成を採用しているが、これに限定されず、ベース部材２０の下面Ｓ４に開口する構成を採用していてもよい。このような構成において、排出口２０２は、Ｚ軸方向視において、ベース部材２０の下面Ｓ４の内の吸着面Ｓ１の外周縁よりも外側の領域に開口していることが好ましい。

上記実施形態では、板状部材１０として、吸着面Ｓ１を有する略円柱形状を採用しているが、これに限定されず、板状部材の外周に沿って切り欠きが形成された部分である外周部と、外周部の内側に位置する内側部とから構成される形状を採用していてもよい。換言すれば、当該形状は、板状部材における内側部の厚さ（Ｚ軸方向における厚さであり、以下同様）が、外周部に形成された切り欠きの分だけ、外周部の厚さより厚くなっている形状であり、板状部材の外周部と内側部との境界の位置で、板状部材の厚さが変化している形状である。板状部材１０が上記形状である構成において、ベース部材２０に形成される供給口２０１は、Ｚ軸方向視において、内側部の外周縁より外側に配置され、より好ましくは、外側部の外周縁より外側に配置される。

上記実施形態では、ベース部材２０に形成された冷媒流路２００は、Ｚ軸方向視において、１つの変曲点ＩＰを含んでいるが、２つ以上の変曲点を含んでいてもよい。また、上記実施形態において、冷媒流路２００は、供給口２０１から、冷媒流路２００の延伸方向Ｄにおける冷媒流路２００の全長Ｌｔの３分の１までの部分に、Ｚ軸方向視で、変曲点を含む形状であってもよい。

上記実施形態では、板状部材１０の内部にヒータ電極５０が配置されているが、必ずしも板状部材１０の内部にヒータ電極５０が配置されている必要はない。

上記実施形態では、板状部材１０の内部に１つのチャック電極４０が設けられた単極方式が採用されているが、板状部材１０の内部に一対のチャック電極４０が設けられた双極方式が採用されてもよい。

１０：板状部材２０：ベース部材３０：接合部４０：チャック電極５０：ヒータ電極１００：静電チャック１００ａ：静電チャック２００：冷媒流路２０１：供給口２０２：排出口２１１：供給側流路２１２：排出側流路２２０：主流路Ｄ：延伸方向Ｄｅ：排出側周辺延伸方向Ｄｆ：供給側周辺延伸方向ＩＰ：変曲点Ｌ１：直線Ｌ２：接線Ｌｅ：長さＬｆ：長さＬｔ：全長Ｓ１：吸着面Ｓ２：下面Ｓ３：上面Ｓ４：下面Ｓ５：側面Ｗ：半導体ウェハ

Claims

第１の方向に略直交する第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有する板状部材と、
第３の表面を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面に対向するように配置されたベース部材と、
前記板状部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置され、前記板状部材と前記ベース部材とを接合する接合部と、
を備え、前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する静電チャックにおいて、
前記ベース部材には、前記ベース部材の側面に開口する供給口と、前記供給口に連通する冷媒流路と、が形成されており、
前記第１の方向視で、前記供給口の全体は、前記板状部材の前記第１の表面の外周縁より外側に配置されており、
前記冷媒流路は、前記供給口から延びる供給側流路と、前記供給側流路につながる主流路と、を有し、
前記第１の方向視で、前記供給側流路の長手方向に沿った直線と、前記ベース部材の外周縁を構成する曲線の前記直線と交わる点における接線とのなす角が４５°以下である、
ことを特徴とする静電チャック。
請求項１に記載の静電チャックにおいて、
前記供給口から、前記冷媒流路の延伸方向における前記冷媒流路の全長の３分の１までの部分は、前記第１の方向視で、変曲点を含まない形状である、
ことを特徴とする静電チャック。
請求項１または請求項２に記載の静電チャックにおいて、
前記ベース部材には、前記冷媒流路に連通し、かつ、前記ベース部材の側面に開口する排出口、が形成されており、
前記第１の方向視で、前記排出口の全体は、前記板状部材の前記第１の表面の外周縁より外側に配置されている、
ことを特徴とする静電チャック。