JP7305646B2 - 真空ポンプのための磁気シールド - Google Patents
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Description
2 外側磁気シールド
3 ポンプエンベロープ
4 長手方向に延びる円周チャネル
5 ローターキャビティ
6 下部ポンプ本体
7 ころ軸受
8 半径方向に延びるフランジ
9 隙間
10 キャスタレーション
11 入口
12 外側磁気シールドセクション(1)
13 外側磁気シールドセクション(2)
14 ポンプ入口
15 ジュビリークリップ
16 プレート
Claims (30)
- 磁気シールドされた真空ポンプであって、
a)前記真空ポンプのローターキャビティを取り囲むポンプエンベロープと、
b)前記ポンプエンベロープの少なくとも一部を円周方向に収容する外側磁気シールドと、
c)前記ポンプエンベロープの前記収容された部分と前記外側磁気シールドとの間で長手方向に延びる円周状の空気チャネルと、
を備え、
前記空気チャネルは、空気入口と空気出口を有する、真空ポンプ。 - 前記ポンプエンベロープ及び/又は外側磁気シールドは、軟鋼を含む、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記ポンプエンベロープ及び/又は外側磁気シールドは、無電解ニッケルメッキされる、請求項1又は2に記載の真空ポンプ。
- i)前記ポンプエンベロープは、少なくとも10mmの半径方向厚さを有し、
及び/又は、
ii)前記外側磁気シールドは、少なくとも15mmの半径方向厚さを有し、
及び/又は、
iii)前記空気チャネルは、少なくとも3mmの半径方向厚さを有する、
請求項1から3のいずれか一項に記載の真空ポンプ。 - 前記外側磁気シールドは、少なくとも2つの長手方向に延びるセクションを含む、請求項1から4のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 使用時、冷却流体は、前記長手方向に延びる円周状の空気チャネルを通してポンプ圧送される、請求項1から5のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却流体は、ガスである、請求項6に記載の真空ポンプ。
- 前記冷却流体は、空気である、請求項7に記載の真空ポンプ。
- 前記空気チャネルに流入する前記空気の温度は、10℃~40℃である、請求項8に記載の真空ポンプ。
- 前記外側磁気シールドの外面が、300mT以上の最大放射状DC磁界強度に晒される場合、前記ポンプエンベロープ内の平均磁界強度は6mTを超えない、請求項1から9のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 前記真空ポンプは、実質的に同軸に整列した2以上の外側磁気シールドを備え、前記外側磁気シールドの各々の直径は徐々に増加する、請求項1から10のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 前記長手方向に延びる円周状の空気チャネルは、同軸に隣接した外側磁気シールドの間に設けられる、請求項11に記載の真空ポンプ。
- 使用時、空気が、前記長手方向に延びる円周状の空気チャネルの各々に沿ってポンプ圧送される、請求項12に記載の真空ポンプ。
- すでに最大35mTの最大強度の放射状DC磁界内で作動するように構成された真空ポンプの磁気シールドを強化する磁気シールド装置であって、前記真空ポンプの一部を円周方向に取り囲む外側磁気シールドを備え、前記外側磁気シールドは、使用時、長手方向に延びる実質的に環状の空気チャネルの外面を画定する内壁を有し、前記空気チャネルは空気入口及び空気出口を有する、装置。
- 使用時、前記真空ポンプは、300mT以上の最大磁界強度の放射状DC磁界内で作動することができる、請求項14に記載の装置。
- 前記外側磁気シールドは、少なくとも2つの長手方向に延びるセクションを含む、請求項14又は15に記載の装置。
- 使用時、前記空気チャネルは、前記外側磁気シールドと前記真空ポンプとの間で冷却流体をポンプ圧送することを可能にする、請求項14から16のいずれか一項に記載の装置。
- 使用時、前記空気チャネルは、冷却流体を前記真空ポンプの外面に沿ってポンプ圧送することを可能にする、請求項17に記載の装置。
- 前記冷却流体は、ガスである、請求項17又は18に記載の装置。
- 前記冷却流体の温度は、10℃~40℃である、請求項17から19のいずれか一項に記載の装置。
- 前記外側磁気シールドは、軟鋼を含む、請求項14から20のいずれか一項に記載の装置。
- i)前記外側磁気シールドは、少なくとも15mmの半径方向厚さを有し、
及び/又は、
ii)前記空気チャネルは、少なくとも3mmの半径方向の厚さを有する、請求項14から21のいずれか一項に記載の装置。 - 35mTを超える最大磁界強度の放射状DC磁界内で使用される真空ポンプを組み立てる方法であって、
a)ターボ分子真空ポンプを準備するステップと、
b)前記真空ポンプの少なくとも一部を1又は2以上の磁気シールドで取り囲むステップと、
を含み、
前記磁気シールドのうちの1又は2以上は空気入口及び空気出口を有する空気チャネルをもたらし、前記空気チャネルの前記空気入口は使用中に前記真空ポンプを冷却する空気を受け入れるように構成されている、方法。 - 前記真空ポンプは、ターボ分子ポンプである、請求項1から13のいずれか一項に記載の真空ポンプ、又は請求項14から22のいずれか一項に記載の装置。
- 前記空気は、ローターキャビティの入口端に向かって実質的に延びる方向にポンプ圧送される、請求項8に記載の真空ポンプ。
- 前記外側磁気シールドの内壁が前記空気チャネルの外壁を提供する、請求項1から13及び請求項25のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 前記ポンプエンベロープの外壁が、前記空気チャネルの内壁を提供する、請求項1から13、請求項25、および請求項26のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 前記外側磁気シールドの少なくとも一端に複数の溝が形成されている、請求項1から13および請求項25から27のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
- 前記外側磁気シールドの前記少なくとも一端は、前記ポンプエンベロープの半径方向に延びるフランジと係合して前記空気出口を画定する、請求項28に記載の真空ポンプ。
- 前記空気入口および前記空気出口は、長手方向に間隔をあけて配置されている、請求項1から13および請求項25から29のいずれか一項に記載の真空ポンプ。
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