JPH01216097A - 磁気シールド型ターボ分子ポンプ - Google Patents
磁気シールド型ターボ分子ポンプInfo
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- JPH01216097A JPH01216097A JP63037427A JP3742788A JPH01216097A JP H01216097 A JPH01216097 A JP H01216097A JP 63037427 A JP63037427 A JP 63037427A JP 3742788 A JP3742788 A JP 3742788A JP H01216097 A JPH01216097 A JP H01216097A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- frame
- disposed
- motor shaft
- molecular pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E30/00—Energy generation of nuclear origin
- Y02E30/10—Nuclear fusion reactors
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は、例えば核融合装置などの強磁場下にある装置
の真空排気用等に使用されるターボ分子ポンプに係り、
特に強磁場の中でも安定に運転できるようなターボ分子
ポンプの改良に関する。
の真空排気用等に使用されるターボ分子ポンプに係り、
特に強磁場の中でも安定に運転できるようなターボ分子
ポンプの改良に関する。
（従来の技術）
核融合装置では不純物としての残留気体をへらすなどの
目的で、１（１’″” ｔｏｒｒ以下の高真空から超高
真空を排気できる真空ポンプが必要である。
目的で、１（１’″” ｔｏｒｒ以下の高真空から超高
真空を排気できる真空ポンプが必要である。
このような高真空を達成できる真空ポンプとしては、油
拡散ポンプ、ターボ分子ポンプがある。
拡散ポンプ、ターボ分子ポンプがある。
油拡散ポンプでは作動媒体である油による汚染がきられ
れ又、クライオポンプでは水素やヘリウムが排気できな
いことや、メンテナンス時間がかかることなどのため、
ターボ分子ポンプを使用する傾向にある。従来のターボ
分子ポンプは第３図に示すような構造をしており、モー
タ軸ωに接続された回転翼■を回転させ、この回転翼■
と交互に配置された固定翼■とで気体分子に対するポン
プ作用を行なうものである。この気体分子に対してポン
プ作用を行なわせるためには、回転翼の速度が気体分子
の運動速度と同レベルかそれ以上である必要があり、こ
のため回転翼は通常、毎分数万回転という高速で回転さ
れている。
れ又、クライオポンプでは水素やヘリウムが排気できな
いことや、メンテナンス時間がかかることなどのため、
ターボ分子ポンプを使用する傾向にある。従来のターボ
分子ポンプは第３図に示すような構造をしており、モー
タ軸ωに接続された回転翼■を回転させ、この回転翼■
と交互に配置された固定翼■とで気体分子に対するポン
プ作用を行なうものである。この気体分子に対してポン
プ作用を行なわせるためには、回転翼の速度が気体分子
の運動速度と同レベルかそれ以上である必要があり、こ
のため回転翼は通常、毎分数万回転という高速で回転さ
れている。
（発明が解決しようとする課題）
ところで核融合装置などにおいては、プラズマ封じこめ
などのために強力な磁場を形成している。
などのために強力な磁場を形成している。
このような磁場の中で導電性の回転翼を高速で回転させ
ると１回転翼には渦電流が発生し回転動力を増加させる
とともに回転翼は加熱され高温度になり、安定な運転状
態を得ることができなくなる。
ると１回転翼には渦電流が発生し回転動力を増加させる
とともに回転翼は加熱され高温度になり、安定な運転状
態を得ることができなくなる。
本発明は以上のような点にかんがみなされたものであり
、強磁場内でも回転体上に渦電流の発生がなく安全に運
転できるターボ分子ポンプを提供することをＬｌ的とす
る。
、強磁場内でも回転体上に渦電流の発生がなく安全に運
転できるターボ分子ポンプを提供することをＬｌ的とす
る。
（ｉ１題を解決するための手段）
上記目的を達成するため本発明のターボ分子ポンプはフ
レームの外周側面に超電導材料例えばイツトリウムセラ
ミック系の材料から成るリングを備えた構成とする。ま
た吸込みフランジの外側に超電導材料から成るリングを
備えた構成とする。
レームの外周側面に超電導材料例えばイツトリウムセラ
ミック系の材料から成るリングを備えた構成とする。ま
た吸込みフランジの外側に超電導材料から成るリングを
備えた構成とする。
（作用）
このような構成としたターボ分子ポンプにおいては超電
導状態にあるリングの内側にはマイナー効果によって、
核融合装置等から強い磁場が発生したとしても、このリ
ングの内側に磁束は入りこむことができず、従って、タ
ーボ分子ポンプの回転部は磁場の影響を受けず、渦電流
の発生がないのでターボ分子ポンプは強磁場内でも安全
に運転することができる。
導状態にあるリングの内側にはマイナー効果によって、
核融合装置等から強い磁場が発生したとしても、このリ
ングの内側に磁束は入りこむことができず、従って、タ
ーボ分子ポンプの回転部は磁場の影響を受けず、渦電流
の発生がないのでターボ分子ポンプは強磁場内でも安全
に運転することができる。
（実施例）
以下本発明の一実施例について第１図を参照して説明す
る。フレーム（イ）の外側に真空槽■を設け。
る。フレーム（イ）の外側に真空槽■を設け。
その中に冷却容器（へ）を設け、さらにこの冷却容器０
の中に例えばイツトリウムセラミック系の超電導材料に
よってつくられたリング■を配設する。
の中に例えばイツトリウムセラミック系の超電導材料に
よってつくられたリング■を配設する。
冷却容器０には液体窒素などの冷却剤を充てんするため
の入口■及び出口■がある。
の入口■及び出口■がある。
このような構成において、まず磁場の影響がない状態で
冷却容器０の中に液体窒素などの冷却剤を通しリング■
を超電導状態になるまで冷却する。
冷却容器０の中に液体窒素などの冷却剤を通しリング■
を超電導状態になるまで冷却する。
真空槽■の中は真空に保持し超電導状態にあるリングの
内側を通る磁束は、外部磁界の変化があっても変化する
ことがないという超電導体内に認められる完全反磁性の
特性によって、外部磁界の影響を受けることはない、す
なわち超電導状態にあるリング■の内側にあるターボ分
子ポンプの回転翼■やモータ軸■には磁束の侵入がない
ため回転により回転翼やモータ軸上に発生する渦電流や
動力の増加は発生しない。
内側を通る磁束は、外部磁界の変化があっても変化する
ことがないという超電導体内に認められる完全反磁性の
特性によって、外部磁界の影響を受けることはない、す
なわち超電導状態にあるリング■の内側にあるターボ分
子ポンプの回転翼■やモータ軸■には磁束の侵入がない
ため回転により回転翼やモータ軸上に発生する渦電流や
動力の増加は発生しない。
このように、超電導材料から成るリング■によってター
ボ分子ポンプの外周を囲むことによって。
ボ分子ポンプの外周を囲むことによって。
その内部への磁束の侵入を防ぎ、磁界中で回転翼やモー
タ軸を回すことによって発生する渦電流の発生を防ぎ１
強磁場内でのターボ分子ポンプの運転が可能となる。
タ軸を回すことによって発生する渦電流の発生を防ぎ１
強磁場内でのターボ分子ポンプの運転が可能となる。
次に他の実施例について第２図により説明する。
本実施例においては第３図に示す従来型のターボ分子ポ
ンプの吸込みフランジ（ｌＯ）に真空槽■、冷却容器０
．リング■をその外周に配置したフランジ付パイプ（１
１）を接続するように構成したものである。このような
構成において、第１図の実施例と同様の手続きによって
リング■を超電導状態にすると、このリング■の内側に
は磁束は入り込めないから上方からくる磁束に対しては
ターボ分子ポンプを保護することができる６通常ターボ
分子ポンプはフレームに）によって側方からくる磁束に
対してはある程度遮へいされているから、磁場の比較的
弱い環境や上方のみから磁束がくるような環境では１本
実施例でターボ分子ポンプの内部への磁束の侵入を防ぐ
ことができ１回転による回転翼等への渦電流の発生を防
ぎ、十分安全な運転を得ることが可能となる。
ンプの吸込みフランジ（ｌＯ）に真空槽■、冷却容器０
．リング■をその外周に配置したフランジ付パイプ（１
１）を接続するように構成したものである。このような
構成において、第１図の実施例と同様の手続きによって
リング■を超電導状態にすると、このリング■の内側に
は磁束は入り込めないから上方からくる磁束に対しては
ターボ分子ポンプを保護することができる６通常ターボ
分子ポンプはフレームに）によって側方からくる磁束に
対してはある程度遮へいされているから、磁場の比較的
弱い環境や上方のみから磁束がくるような環境では１本
実施例でターボ分子ポンプの内部への磁束の侵入を防ぐ
ことができ１回転による回転翼等への渦電流の発生を防
ぎ、十分安全な運転を得ることが可能となる。
以上説明したように、本発明によれば、超電導材料から
成るリングをフレームの外周やその上方に配置し、超電
導の完全反磁性の性質を利用してターボ分子ポンプの内
部に外部からの磁束が侵入しないようにしたので１強磁
場環境下においても回転翼やモータ軸等の回転部に発生
する渦電流による発熱を防止し安全に運転できる磁気シ
ールド型ターボ分子ポンプを提供することができる。
成るリングをフレームの外周やその上方に配置し、超電
導の完全反磁性の性質を利用してターボ分子ポンプの内
部に外部からの磁束が侵入しないようにしたので１強磁
場環境下においても回転翼やモータ軸等の回転部に発生
する渦電流による発熱を防止し安全に運転できる磁気シ
ールド型ターボ分子ポンプを提供することができる。
第１図は本発明の一実施例のターボ分子ポンプの断面図
、第２図は他の実施例のターボ分子ポンプの断面図、第
３図は従来のターボ分子ポンプの断面図である。 １・・・モータ軸 ２・・−回転翼３・・・固
定翼 ４・・・フレーム５・・・真空槽
６・・・冷却容器７・・・リンク１ｏ・・・吸
込みフランジ１１・・・フランジ付パイプ 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健 第１図 第２図 第３図
、第２図は他の実施例のターボ分子ポンプの断面図、第
３図は従来のターボ分子ポンプの断面図である。 １・・・モータ軸 ２・・−回転翼３・・・固
定翼 ４・・・フレーム５・・・真空槽
６・・・冷却容器７・・・リンク１ｏ・・・吸
込みフランジ１１・・・フランジ付パイプ 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 同 第子丸 健 第１図 第２図 第３図
Claims (2)
- （１）フレームの外側に、超電導材料から成るリングを
フレームを囲むように設けたことを特徴とする磁気シー
ルド型ターボ分子ポンプ。 - （２）吸い込みフランジの外側に超電導材料から成るリ
ングを設けたことを特徴とする磁気シールド型ターボ分
子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63037427A JPH01216097A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 磁気シールド型ターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63037427A JPH01216097A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 磁気シールド型ターボ分子ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01216097A true JPH01216097A (ja) | 1989-08-30 |
Family
ID=12497217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63037427A Pending JPH01216097A (ja) | 1988-02-22 | 1988-02-22 | 磁気シールド型ターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01216097A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2569648A (en) * | 2017-12-22 | 2019-06-26 | Edwards Ltd | Magnetic shield for a vacuum pump |
| JP2019124690A (ja) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | ロッキード マーティン コーポレイションＬｏｃｋｈｅｅｄ Ｍａｒｔｉｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 超電導体を用いたプラズマ中に浸漬されている構造体の受動式磁気遮蔽 |
-
1988
- 1988-02-22 JP JP63037427A patent/JPH01216097A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2569648A (en) * | 2017-12-22 | 2019-06-26 | Edwards Ltd | Magnetic shield for a vacuum pump |
| WO2019122869A1 (en) * | 2017-12-22 | 2019-06-27 | Edwards Limited | Magnetic shield for a vacuum pump |
| JP2021507174A (ja) * | 2017-12-22 | 2021-02-22 | エドワーズ リミテッド | 真空ポンプのための磁気シールド |
| JP2019124690A (ja) * | 2018-01-17 | 2019-07-25 | ロッキード マーティン コーポレイションＬｏｃｋｈｅｅｄ Ｍａｒｔｉｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ | 超電導体を用いたプラズマ中に浸漬されている構造体の受動式磁気遮蔽 |
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