JP7296539B2 - 支持ガラス基板及び積層体 - Google Patents
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Description
また、支持ガラス基板はリサイクルして使用されることもあり、そのような場合、割れを完全に防止することは困難である。そしてガラス基板の割れが発生した場合、多数の破片が発生すると、半導体製造工程では異物の混入防止が極めて重要であるため、製造機器周辺に飛び散った破片の除去を長時間かけて行われ生産性に大きく影響する。そのため、支持ガラス基板のいては、割れが発生した時に、多数の破片が発生しないことも求められている。
図1は、本実施形態に係る積層体の模式的な断面図である。図1に示すように、本実施形態に係る積層体1は、支持ガラス基板10と、吸着層20と、樹脂層30とを含む。積層体1は、支持ガラス基板10と樹脂層30との間に吸着層20が形成されている。吸着20は、支持ガラス基板10と樹脂層30とを吸着及び剥離するための層であり、例えば、剥離層及び接着層を、支持ガラス基板10上にこの順に有する。ただし、吸着層20の構成や材料は任意であってよい。樹脂層30は、樹脂を含む層であり、本実施形態では、樹脂製の封止剤内に、例えばシリコンチップなどの半導体チップが形成されている。
支持ガラス基板10は、厚みtが0.5mm~2.0mmであることが好ましく、0.7mm~1.5mmであることがより好ましい。厚みtは、支持ガラス基板10の樹脂層30側の一方の表面10Aから、樹脂層30と反対側の他方の表面10Bまでの長さを指す。厚みtをこの範囲とすることで、支持ガラス基板10が薄くなり過ぎることによる破損を低減できる。なお、ここでの0.5mm~2.0mmとは、0.5mm以上2.0mm以下であることを指し、以下においても「~」は、同様の旨を指す。
支持ガラス基板10は、平均熱膨張係数が高い。具体的には、支持ガラス基板10は、50℃~200℃における平均熱膨張係数CTEが、7ppm/℃~15ppm/℃であり、9~13ppm/℃であることがより好ましく、特に10ppm/℃~12ppm/℃であることが好ましい。CTEがこれらの範囲にある場合、本発明の効果である支持基板の破損の低減効果等がより効果的に発揮される。
支持ガラス基板10は、樹脂層30側の一方の表面10Aと、樹脂層30と反対側の他方の表面10Bとに、圧縮応力層12が形成されている。支持ガラス基板10は、化学強化処理により、圧縮応力層12が形成される。なお、支持ガラス基板10は、一方の表面(ここでは表面10A)に圧縮応力層12が形成され、他方の表面(ここでは表面10B)には圧縮応力層12が形成されなくてもよい。
支持ガラス基板10は、表面圧縮応力CSが、500MPa~750MPaであることが好ましく、650MPa~700MPaであることがより好ましい。表面圧縮応力CSの測定方法は任意であるが、例えば、光弾性解析法を利用して、支持ガラス基板10内の歪みを測定することにより、測定してよい。本実施形態においては、例えば、折原製作所製の表面応力計であるFSM-6000LEを用いて、表面圧縮応力CSを測定してよい。支持ガラス基板10は、表面圧縮応力CSが500MPa以上であることで、熱膨張に起因する破損を適切に低減でき、表面圧縮応力CSが700MPa以下であることで、内部の引張応力が高くなることを抑制して、破損を適切に低減できる。
支持ガラス基板10は、圧縮応力層12の深さDOLが、10μm~60μmであることが好ましく、15μm~30μmであることがより好ましい。深さDOLとは、支持ガラス基板10における圧縮応力層12の厚みを指す。すなわち、深さDOLとは、支持ガラス基板10の表面圧縮応力CSが作用している表面から、圧縮応力の値が0になる深さまでの、厚み方向における距離を指す。深さDOLの測定方法は任意であるが、例えば、光弾性解析法を利用して、支持ガラス基板10内の歪みを測定することにより、測定してよい。本実施形態においては、例えば、折原製作所製の表面応力計であるFSM-6000LEを用いて、深さDOLを測定してよい。支持ガラス基板10は、深さDOLが10μm以上であることで、熱膨張に起因する破損を適切に低減でき、深さDOLが15μm以上であることで、熱膨張に起因する破損をより適切に低減できる。また、支持ガラス基板10は、深さDOLが60μm以下であることで、内部の引張応力が高くなることを低減して、破損を適切に低減し、深さDOLが30μm以下であることで、破損をより適切に低減できる。
支持ガラス基板10は、内部引張応力CTが、5MPa~55MPaであることが好ましく、15MPa~25MPaであることがより好ましい。内部引張応力CTは、次の式(1)により算出される。支持ガラス基板10は、内部引張応力CTが5MPa以上であることで、圧縮応力層12が適切に形成されて熱膨張に起因する破損を適切に低減でき、内部引張応力CTが15MPa以上であることで、熱膨張に起因する破損をより適切に低減できる。また、支持ガラス基板10は、内部引張応力CTが55MPa以下であることで、破片の数が大きくなるような粉々な破損を低減し、内部引張応力CTが25MPa以下であることで、粉々な破損をより好適に低減できる。
次に、支持ガラス基板10の組成について説明する。支持ガラス基板10は、上記のように平均熱膨張係数CTEが高い。平均熱膨張係数CTEが高いガラスは、原子同士の結合力が弱く、化学強化により圧縮応力層12を形成することが困難な場合がある。それに対し、支持ガラス基板10は、以降で説明する組成とすることで、化学強化により圧縮応力層12を適切に構成できる。ただし、以降で説明する組成は一例である。また、以降で説明する組成は、後述する化学強化を実施する前における支持ガラス基板10の組成を指す。以降で説明する組成は、支持ガラス基板10の圧縮応力層12以外の部分における組成ともいえる。
SiO2:50%~80%
Al2O3:1%~10%
MgO:5%~10%
CaO:1%~10%
SrO:0%~5%
BaO:0%~5%
Na2O:5%~15%
K2O:5%~15%
ZrO2:0%~5%
SiO2:60%~65%
Al2O3:3%~8%
MgO:6%~9%
CaO:2%~8%
SrO:0%~3%
BaO:0%~3%
Na2O:7%~13%
K2O:7%~13%
ZrO2:0%~3%
SiO2:62%~64%
Al2O3:4%~6%
MgO:7%~8.5%
CaO:3%~5%
SrO:0%
BaO:0%
Na2O:8%~12%
K2O:8%~12%
ZrO2:0.5%~2%
なお、ここでの0%は、その化合物が含まれないことを意味するが、不可避的不純物として含まれていてもよい。
次に、支持ガラス基板10の製造方法について説明する。支持ガラス基板10の製造方法においては、最初に、ガラス基板を製造し、そのガラス基板に化学強化処理を施すことにより、ガラス基板の表面に圧縮応力層12を形成して、支持ガラス基板10を製造する。すなわち、ここでのガラス基板が、化学強化前の支持ガラス基板10であるといえる。
次に、実施例について説明する。尚、発明の効果を奏する限りにおいて実施態様を変更しても構わない。
製造した素板のそれぞれについて、サンプルA、サンプルB、サンプルCを作成した。
サンプルAの準備においては、素板の中心部から、縦20mm、横20mmの正方形のガラスを切り出し、切り出したガラスの両表面を、セリウム研磨材を用いて鏡面研磨を行い、厚みが0.8mmになるよう調整して、ガラス基板を作成した。このガラス基板に対して、化学強化を行ったものを、サンプルAとした。
サンプルAでの化学強化においては、ガラス基板をKNO3処理槽に浸漬させて、後述の表2の実施例1から実施例4、および比較例1から比較例3毎に、溶液の加熱温度及び浸漬時間(接触時間)を設定して、化学強化を行った。具体的には、以下の条件とした。
実施例1:溶液の加熱温度を400℃として、浸漬時間を4時間とした。
実施例2:溶液の加熱温度を400℃として、浸漬時間を32時間とした。
実施例3:溶液の加熱温度を450℃として、浸漬時間を8時間とした。
実施例4:溶液の加熱温度を400℃として、浸漬時間を0.5時間とした。
比較例1:溶液の加熱温度を450℃として、浸漬時間を32時間とした。
比較例2:溶液の加熱温度を400℃として、浸漬時間を0.25時間とした。
比較例3:強化なし。
サンプルBの準備においては、素板の中心部から、縦5mm、横70mmの長方形のガラスを切り出し、切り出したガラスの両表面を、セリウム研磨材を用いて鏡面研磨を行い、厚みが0.8mmになるよう調整して、ガラス基板を作成した。このガラス基板に対して、化学強化を行ったものを、サンプルBとした。
サンプルBでの化学強化においては、ガラス基板をKNO3処理槽に浸漬させて、後述の表2の実施例1から実施例4、および比較例1から比較例3毎に、溶液の加熱温度及び浸漬時間(接触時間)を設定して、化学強化を行った。サンプルBでの溶液の加熱温度及び浸漬時間(接触時間)は、サンプルAと同様である。
サンプルCの準備においては、素板の中心部から、縦6mm、横25mmの長方形のガラスを切り出し、切り出したガラスの両表面を、セリウム研磨材を用いて鏡面研磨を行い、厚みが0.8mmになるよう調整して、サンプルCとした。
以上のようにして準備したサンプルについて、次のように特性を確認した。
(平均熱膨張係数CTEの測定)
サンプルCに対して、50~200℃における平均熱膨張係数CTEを、熱膨張測定の規格としてDIN-51045-1に準拠して測定した。具体的には、サンプルCに対して、測定装置としてNETZSCH社のdilatometer(DIL 402 Expedis)を用いて30~300℃の範囲で測定し、そのうち50~200℃の範囲の平均熱膨張係数を、平均熱膨張係数CTEとした。
サンプルAに対して、表面応力計(折原製作所製: FSM-6000LE)を用いてサンプルAの表面の圧縮応力を測定して、表面圧縮応力CSとした。
サンプルAに対して、表面応力計(折原製作所製: FSM-6000LE)を用いてサンプルAの表面からの圧縮応力深さを測定して、圧縮応力層12の深さDOLとした。
測定した表面圧縮応力CS、圧縮応力層12の深さDOL、及び厚みtの値0.8mmを用いて、上述の式(1)により、内部引張応力CTを算出した。
以上のようにして準備したサンプルについて、次のように評価した。
サンプルBに対して、JIS:R-1601ファインセラミックスの室温曲げ強さ試験方法に準拠し、曲げ強度Fを求めた。
曲げ強度Fの評価においては、
曲げ強度Fが500MPaより高くなる場合を二重丸とし、
曲げ強度Fが300MPa以上500MPa以下となる場合を丸とし、
曲げ強度Fが300MPaより低くなる場合をバツとした。
二重丸及び丸を、合格として評価した。
測定装置としてFuture Tech社製 ARS-9000を用い、サンプルAに対して、圧子圧入試験として中央部を先端の対面角が90°の四角錐型ダイヤモンド圧子を3.0kgf~15kgfで圧入し、破壊した時の、破片の数Nを測定した。
破片の数Nが3個以下の場合を二重丸とし、
破片の数Nが4個以上10個以下の場合を丸とし、
破片の数Nが11個以上の場合をバツとした。
二重丸及び丸を、合格として評価した。
12 圧縮応力層
30 樹脂層
CS 表面圧縮応力
CT 内部引張応力
CTE 平均熱膨張係数
Claims (10)
- 表面に圧縮応力層を含む支持ガラス基板であって、
50℃~200℃における平均熱膨張係数が7ppm/℃~15ppm/℃であり、
内部引張応力が5MPa~55MPaであり、
前記圧縮応力層の深さが10μm~60μmであり、
酸化物基準のモル%表示で、
SiO 2 :50%~80%
Al 2 O 3 :1%~10%
MgO:5%~10%
CaO:1%~10%
SrO:0%~5%
BaO:0%~5%
Na 2 O:5%~15%
K 2 O:5%~15%
ZrO 2 :0%~5%
である、支持ガラス基板。 - 50℃~200℃における平均熱膨張係数が9ppm/℃~13ppm/℃である、請求項1に記載の支持ガラス基板。
- 内部引張応力が15MPa~25MPaである、請求項1又は請求項2に記載の支持ガラス基板。
- 前記圧縮応力層の深さが15μm~30μmである、請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の支持ガラス基板。
- 表面圧縮応力が500MPa~700MPaである、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の支持ガラス基板。
- 厚みが0.5mm~2.0mmであり、
前記圧縮応力層の深さが15μm~30μmである、請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の支持ガラス基板。 - 酸化物基準のモル%表示で、前記支持ガラス基板の全量に対し、Na2Oの含有量が、5%以上15%以下であり、K2Oの含有量が、5%以上15%以下である、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の支持ガラス基板。
- 酸化物基準のモル%表示で、前記支持ガラス基板の全量に対し、MgOの含有量が、6%以上9%以下であり、ZrO2の含有量が、0.5%以上2%以下である、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の支持ガラス基板。
- ファンアウトウェハレベルパッケージ及びファンアウトパネルレベルパッケージの少なくとも一方の製造用の支持ガラス基板である、請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の支持ガラス基板。
- 請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の支持ガラス基板と、樹脂層とを含む、積層体。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013073685A1 (ja) | 2011-11-18 | 2013-05-23 | 旭硝子株式会社 | 化学強化用ガラスおよび化学強化ガラス |
JP2014001094A (ja) | 2012-06-18 | 2014-01-09 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 非接触給電用支持部材 |
JP2016050129A (ja) | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 旭硝子株式会社 | ガラス、ガラス樹脂積層体、機能性ガラス樹脂積層体、機能性ガラス樹脂積層体の製造方法および機能性樹脂フィルムの製造方法 |
WO2017115731A1 (ja) | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板、積層基板、積層体、および半導体パッケージの製造方法 |
WO2019021911A1 (ja) | 2017-07-26 | 2019-01-31 | Agc株式会社 | 半導体パッケージ用支持ガラス |
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---|---|---|---|---|
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US9616641B2 (en) * | 2011-06-24 | 2017-04-11 | Corning Incorporated | Light-weight hybrid glass laminates |
CN107056088A (zh) * | 2012-05-25 | 2017-08-18 | 旭硝子株式会社 | 化学强化玻璃板、保护玻璃、带触控传感器的化学强化玻璃及显示装置 |
KR102043438B1 (ko) * | 2012-06-01 | 2019-11-11 | 코닝 인코포레이티드 | 최적화된 파손 성능을 위한 유리 적층 구조 |
JP6600309B2 (ja) * | 2013-08-27 | 2019-10-30 | コーニング インコーポレイテッド | 高い熱膨張係数を有する耐損傷性ガラス |
US10611664B2 (en) * | 2014-07-31 | 2020-04-07 | Corning Incorporated | Thermally strengthened architectural glass and related systems and methods |
US20180154615A1 (en) * | 2015-06-02 | 2018-06-07 | Corning Incorporated | Glass laminate with pane having glass-glass laminate structure |
US10579106B2 (en) * | 2015-07-21 | 2020-03-03 | Corning Incorporated | Glass articles exhibiting improved fracture performance |
US10350861B2 (en) * | 2015-07-31 | 2019-07-16 | Corning Incorporated | Laminate structures with enhanced damping properties |
US20170103249A1 (en) * | 2015-10-09 | 2017-04-13 | Corning Incorporated | Glass-based substrate with vias and process of forming the same |
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Patent Citations (5)
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---|---|---|---|---|
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JP2014001094A (ja) | 2012-06-18 | 2014-01-09 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 非接触給電用支持部材 |
JP2016050129A (ja) | 2014-08-29 | 2016-04-11 | 旭硝子株式会社 | ガラス、ガラス樹脂積層体、機能性ガラス樹脂積層体、機能性ガラス樹脂積層体の製造方法および機能性樹脂フィルムの製造方法 |
WO2017115731A1 (ja) | 2015-12-28 | 2017-07-06 | 旭硝子株式会社 | ガラス基板、積層基板、積層体、および半導体パッケージの製造方法 |
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