JP7293845B2 - 蒸着マスクの製造方法 - Google Patents
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第1面と前記第1面とは反対側にある第2面とを有し、鉄-ニッケル合金を含む第1金属層を準備する工程と、
前記第1金属層の前記第1面の上に、めっき法により第2金属層を形成する工程と、
前記第2金属層の上に、凸部を有する樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層から露出した前記第2金属層の上に、電解めっき法により鉄-ニッケル合金を含む第3金属層を形成する工程と、
前記第1金属層の前記第2面の上に平面視において前記樹脂層と重なる位置にあり、開口を有するレジスト層を形成する工程と、
前記第1金属層をエッチングして、前記開口から前記第2金属層に達する第1孔を形成する工程と、
前記第1孔に露出した前記第2金属層をエッチングして、前記第1孔から前記第3金属層に達する第2孔を形成する工程と、
前記樹脂層及び前記レジスト層を除去する工程と、を備えた蒸着マスク装置の製造方法、である。
鉄-ニッケル合金を含み、第1孔を有する第1金属層と、
鉄-ニッケル合金を含み、平面視において前記第1孔と重なる複数の貫通孔を有する第3金属層と、
前記第1孔と前記複数の貫通孔との間に位置する第2孔を有し、前記第1金属層と前記第3金属層との間に位置する第2金属層と、を備えた蒸着マスク、である。
15 フレーム
20 蒸着マスク
22 有効領域
23 周囲領域
25 貫通孔
31 第1金属層
31a 第1面
31b 第2面
33 第1孔
34 突出部
35 第2金属層
37 第2孔
39 第3金属層
39a 第1面
39b 第2面
41 樹脂層
42 凸部
43 第1レジスト層
45 第2レジスト層(レジスト層)
47 開口
90 蒸着装置
92 有機EL基板
93 磁石
98 蒸着材料
100 有機EL表示装置
Claims (1)
- 第1面と前記第1面とは反対側にある第2面とを有し、鉄-ニッケル系合金を含む第1金属層を準備する工程と、
前記第1金属層の前記第1面の上に、めっき法により、銅、銀、金、チタン又はこれらを含む合金を含む第2金属層を形成する工程と、
前記第2金属層の上に、凸部を有する樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層から露出した前記第2金属層の上に、電解めっき法により鉄-ニッケル系合金を含む第3金属層を形成する工程と、
前記第1金属層の前記第2面の上に、平面視において前記樹脂層と重なる位置にある開口を有するレジスト層を形成する工程と、
前記第1金属層をエッチングして、前記開口から前記第2金属層に達する第1孔を形成する工程と、
前記第1孔に露出した前記第2金属層をエッチングして、前記第1孔から前記第3金属層に達する第2孔を形成する工程と、
前記樹脂層及び前記レジスト層を除去する工程と、を備えた蒸着マスクの製造方法。
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