JP7285938B2 - シリコン酸化膜研磨用スラリー組成物及びそれを用いた研磨方法 - Google Patents
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Description
他に定義されない限り、本明細書で使用されたすべての技術的及び科学的用語は、本発明の属する技術分野における熟練した専門家によって通常理解されるのと同じ意味を持つ。一般的に、本明細書で使用された命名法は、本技術分野でよく知られている、通常使用されるものである。
一般的なCMP用スラリー組成物に使用されるコロイド状シリカのゼータ電位(Zeta potential)は陰(Negative)の値を有し、低いpHでシリコン酸化膜も同じ陰の表面電位を有する。したがって、研磨材とシリコン酸化膜間の静電気的斥力により、研磨率が低くて初期段差が高いシリコン酸化膜を除去するのには限界がある。前記コロイド状シリカのゼータ電位が+10乃至+70mVであることが、除去率(Removal rate)を適切に維持するための面で好ましく、電位値が+30mV乃至+50mVである場合がさらに好ましい。もしゼータ電位の値が+10mV未満である場合には、膜質に対する除去率(Removal rate)が減少して工程進行時間が長くかかり、+70mVを超える場合には、オーバー(over)除去率によってスクラッチ(Scratch)に脆弱であるので、好ましくない。
表1に記載された組成成分、組成比率、ゼータ電位の値及びpHでスラリー組成物を製造したが、まず、研磨材であるコロイド状シリカを準備し、ポリエチレングリコール、ヘテロ環化合物である5-メチル-ベンゾトリアゾールが含有されている添加剤に、溶媒である脱イオン水を残量混合して、それぞれ前記研磨材のゼータ電位の値と含有量を調節し、シリコン酸化膜の研磨性能を向上させ、シリコン窒化膜との選択比の調節が可能なCMP用スラリー組成物を製造した。製造されたCMP用スラリー組成物にpH調節剤としてKOH、HNO3を添加してpHを3.5に調節した。
表1に記載された組成成分、組成比率、ゼータ電位の値及びpHでスラリー組成物を製造したが、ゼータ電位の値を陰(Negative)の値に調節した以外は、実施例1~6と同様に製造した。
前記実施例1~6及び比較例1~2によって製造されたCMPスラリー組成物を用いて、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜の研磨速度を評価した。
このとき、研磨装備は、CTS社製のCMP装備を使用した。
CMPスラリー組成物を用いてシリコン酸化膜、シリコン窒化膜の研磨速度を測定した結果を、下記表2に示す。
金属不純物を除去した高純度のコロイド状シリカを準備し、実施例2と同様の方法でCMP用スラリー組成物を製造した。
実施例7で金属不純物を除去していない一般コロイド状シリカを使用した以外は、実施例7と同様の方法でCMP用スラリー組成物を製造した。
製造されたCMP用スラリー組成物に含有された金属不純物の含有量、組成成分、組成比率、ゼータ電位の値は、下記表3の通りである。
前記表3は、実施例7と比較例3によって製造されたCMPスラリー組成物を用いてシリコン酸化膜を研磨した後、AIT-XPを用いてスクラッチの数を測定して示したものである。
結果的に、金属不純物を除去したコロイド状シリカを用いる本発明の組成物が、シリコン酸化膜のスクラッチ不良を最小限に抑えて工程信頼度と生産性を向上させる。
表4に記載された組成成分、組成比率、ゼータ電位の値及びpHでスラリー組成物を製造したが、まず、研磨材であるコロイド状シリカを準備し、ポリエチレングリコール、ヘテロ環化合物である5-メチル-ベンゾトリアゾールが含有されている添加剤に、溶媒である脱イオン水を残量混合して、それぞれ前記研磨材のゼータ電位の値と含有量を調節し、シリコン酸化膜の研磨性能を向上させ、シリコン窒化膜との選択比の調節が可能なCMP用スラリー組成物を製造した。製造されたCMP用スラリー組成物にpH調節剤としてKOH、HNO3を添加してpHを3.5に調節した。
比較例4は、ポリエチレングリコールを使用していない以外は実施例8~12と同様にして製造し、比較例5は、ヘテロ環化合物である5-メチル-ベンゾトリアゾールを使用していない以外は実施例8~12と同様にして製造した。この時、コロイド状シリカの種類と含有量は同様にして、CMP用スラリー組成物を製造した。
製造されたCMP用スラリー組成物に含まれているスラリー含有量は、下記表4の通りである。
前記実施例8~12及び比較例4~5によって製造されたCMPスラリー組成物を用いて、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜及びポリシリコン膜の研磨速度を評価した。
このとき、研磨装備は、CTS社製のCMP装備を使用した。
CMPスラリー組成物を用いてシリコン酸化膜、シリコン窒化膜及びポリシリコン膜の研磨速度を測定した結果を、下記表5に示す。
Claims (6)
- シリコン窒化膜に対するシリコン酸化膜又はポリシリコン膜の選択比を調節して研磨することができるように、コロイド状シリカからなる研磨材0.2乃至10重量%;5-メチルベンゾトリアゾール又はポリエチレングリコールからなる添加剤0.001乃至7重量%;及び残量の溶媒から構成される、CMP用スラリー組成物であって、
前記コロイド状シリカのゼータ電位(Zeta potential)が+15乃至+50mVであり、
前記コロイド状シリカの粒子サイズは30乃至80nmであり、
前記添加剤は、ポリエチレングリコール:5-メチルベンゾトリアゾールの比率が0.2~1.4:0.025~0.05であり、
シリコン酸化膜:シリコン窒化膜:ポリシリコン膜の研磨選択比が10.2~27.5:1:1.3~10.7であり、
シリコン酸化膜の除去率は200~3000Å/minであることを特徴とする、CMP用スラリー組成物。 - 前記コロイド状シリカは、金属(Li、B、Mg、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Zr、Mo、Ag、Cd、Sn、Ta、W、Pt、Na、Al)の含有量が100ppb以下であることを特徴とする、請求項1に記載のCMP用スラリー組成物。
- 前記金属(Li、B、Mg、K、Ca、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Zr、Mo、Ag、Cd、Sn、Ta、W、Pt、Na、Al)の含有量が50ppb以下であることを特徴とする、請求項2に記載のCMP用スラリー組成物。
- pHが3乃至5であることを特徴とする、請求項1に記載のCMP用スラリー組成物。
- 請求項1~4のいずれか一項に記載のCMP用スラリー組成物を用いて、3D NANDフラッシュ(Nand flash)半導体の製造においてゲートギャップポリ(Gate gap poly)工程中にシリコン酸化膜の初期段差を研磨して、「シリコン酸化膜又はポリシリコン膜」の中から選択される1種又は2種と「シリコン窒化膜」で形成される被研磨膜を同時に研磨することを特徴とする、CMP用スラリー組成物を用いた研磨方法。
- 前記被研磨膜を同時に研磨する方法は、添加剤と研磨材の含有量の調節によって「シリコン酸化膜:シリコン窒化膜:ポリシリコン膜」の選択比を調節して研磨することを特徴とする、請求項5に記載のCMP用スラリー組成物を用いた研磨方法。
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