JP7270348B2 - 電気特性検査治具 - Google Patents
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Description
複数のリードを有する被測定体を検査するため、第1の基板電極及び第2の基板電極が形成された基板と、
前記被測定体あるいは前記基板を移動可能に支持する導電性のあるグランドブロックと、ばねで支持され位置変更可能な導電性のある第1の押圧用電極と、前記第1の押圧用電極を覆う覆い体を内蔵するとともに、前記基板上で、前記第1の基板電極と対向する第1の位置に移動可能に配設され、前記対向する第1の位置で、前記第1の押圧用電極が前記第1の基板電極と組み合わされることにより、一の前記リードを挟むように押さえる、誘電体材料からなる一のリード押さえと、
ばねで支持され位置変更可能な導電性のある第2の押圧用電極と、前記第2の押圧用電極を覆う覆い体を内蔵するとともに、前記基板上で、前記第2の基板電極と対向する第2の位置に移動可能に配設され、前記対向する第2の位置で、前記第2の押圧用電極が前記第2の基板電極と組み合わされることにより、他の前記リードを挟むように押さえる、誘電体材料からなる他のリード押さえと、
を備え、
前記グランドブロックを移動させ、かつ、前記一のリード押さえ、および前記他のリード押さえを前記対向する第1の位置および前記対向する第2の位置に、それぞれ移動させることにより、前記被測定体を介するか、あるいは前記第1の基板電極及び前記第2の基板電極を介して、前記被測定体の各リードと前記グランドブロックとを接触させて電気的に接続し、かつ前記第1の基板電極と一の前記リードを接触させるとともに前記第2の基板電極と他の前記リードを接触させることにより、各リードと前記第1の基板電極および前記第2の基板電極とを、それぞれ電気的に接続して、前記被測定体の電気特性の検査を行うものである。
また、リードを押さえるための電気特性検査治具全体の構造が、同軸ケーブルに近い構造となっているため、リードを電気特性検査治具で覆うことによる電気経路の状態変化を抑え、高周波素子の測定において、測定精度上、優位となる。
以下、実施の形態1について、図に基づいて説明する。
図1は、実施の形態1に係る電気特性検査治具100の一例を示した図である。図1において、電気特性検査治具100は、リード押さえ1、2、第1の基板電極3、第2の基板電極4、押圧用電極5、6、基板9、グランドブロック10等で構成されている。リード押さえ1は被測定体200(以下では半導体製品200とも呼ぶ)のリード7を加圧し、基板9上に形成された第1の基板電極3に接触させるための治具である。また、リード押さえ2は、被測定体200のリード8を加圧し、基板9上に形成された第2の基板電極4に接触させるための治具である。さらに、リード押さえ1は、リード7と接触して電圧を印加するための押圧用電極5を有しており、リード押さえ2は、リード8と接触して電圧を印加するための押圧用電極6を有している。なお、基板9は、グランドブロック10上に配置され、支持されている。
以下、実施の形態2の電気特性検査治具の一例について、図に基づいて説明する。
図4は電気特性検査治具の要部100dを示した図であり、図3の押圧用電極5および押圧用電極6と、これらを上方及び周囲から覆う覆い体14の材質を誘電体に変更して構成した押圧用電極5aおよび押圧用電極6aを有する実施の形態2に係る治具を示したものである。なお、上記以外の構成は図3と同様である。
以下、実施の形態3の電気特性検査治具について、図に基づいて説明する。
図5は、実施の形態3の電気特性検査治具101aの一断面(xz断面)を示す図である。この図の矢印xで示した基板の長手方向(図1参照)において、リード押さえ1を、リード7の先端から付け根までを覆う形状に変更し、リード押さえ2をリード8の先端から付け根までを覆う形状に変更し、かつ、半導体製品200を配置するグランドブロック10aに可動部20を設けることで、リード7およびリード8を、それぞれ、上下方向に移動できるようにしたものである。なお、図5において、白抜き矢印は、リード押さえ2が移動する様子を概念的に示したものであり、リード押さえ1も同様に移動する。また、上記以外は実施の形態1の電気特性検査治具と同様であるので説明を省略する。
以下、実施の形態4について、図に基づいて説明する。
図7は、実施の形態3の電気特性検査治具102aの一断面(xz断面)を示す図である。この図は、図5のグランドブロック10aの稼動部を無くし、グランドブロック10c上の第1の基板電極3の下方に可動部21、を設け、グランドブロック10d上の第2の基板電極4の下方に可動部22を設け、第1の基板電極3、あるいは第2の基板電極4を、図の上下方向に可動できるようにしたものである。なお、図7において、白抜き矢印は、リード押さえ2が移動する様子を概念的に示したものであり、リード押さえ1も同様に移動する。また、上記以外は実施の形態3の電気特性検査治具と同様であるので説明を省略する。
以下、実施の形態5について、図に基づいて説明する。
図9は、図5の電気特性検査治具の要部101cを示す断面図である。図9に示す電気特性検査治具では、図5のリード押さえ1、2において、リード7、8の周りを覆うリード接触周辺部15を誘電体で構成したものである。この図に示したように、リード7、あるいはリード8の上面は、リード接触周辺部15と接触して構成されている。なお、上記以外は実施の形態3の電気特性検査治具と同様であるので説明を省略する。
このことにより、リード7、8を覆うことによる半導体製品の電気経路の状態変化を抑え、高周波素子を測定する際の測定精度において優位となる。
従って、例示されない無数の変形例が、本願明細書に開示される技術の範囲内において想定される。例えば、少なくとも1つの構成要素を変形する場合、追加する場合または省略する場合、さらには、少なくとも1つの構成要素を抽出し、他の実施の形態の構成要素と組み合わせる場合が含まれるものとする。
Claims (4)
- 複数のリードを有する被測定体を検査するため、第1の基板電極及び第2の基板電極が形成された基板と、
前記被測定体あるいは前記基板を移動可能に支持する導電性のあるグランドブロックと、ばねで支持され位置変更可能な導電性のある第1の押圧用電極と、前記第1の押圧用電極を覆う覆い体を内蔵するとともに、前記基板上で、前記第1の基板電極と対向する第1の位置に移動可能に配設され、前記対向する第1の位置で、前記第1の押圧用電極が前記第1の基板電極と組み合わされることにより、一の前記リードを挟むように押さえる、誘電体材料からなる一のリード押さえと、
ばねで支持され位置変更可能な導電性のある第2の押圧用電極と、前記第2の押圧用電極を覆う覆い体を内蔵するとともに、前記基板上で、前記第2の基板電極と対向する第2の位置に移動可能に配設され、前記対向する第2の位置で、前記第2の押圧用電極が前記第2の基板電極と組み合わされることにより、他の前記リードを挟むように押さえる、誘電体材料からなる他のリード押さえと、
を備え、
前記グランドブロックを移動させ、かつ、前記一のリード押さえ、および前記他のリード押さえを前記対向する第1の位置および前記対向する第2の位置に、それぞれ移動させることにより、前記被測定体を介するか、あるいは前記第1の基板電極及び前記第2の基板電極を介して、前記被測定体の各リードと前記グランドブロックとを接触させて電気的に接続し、かつ前記第1の基板電極と一の前記リードを接触させるとともに前記第2の基板電極と他の前記リードを接触させることにより、各リードと前記第1の基板電極および前記第2の基板電極とを、それぞれ電気的に接続して、前記被測定体の電気特性の検査を行うことを特徴とする電気特性検査治具。 - 前記グランドブロックは、前記基板の厚さ方向に移動可能に設けられ、
前記リード押さえは、前記基板の長手方向において前記リードの先端から付け根までに亘って前記リードを押圧して前記被測定体の電気特性検査を行うようにしたことを特徴とする請求項1に記載の電気特性検査治具。 - 前記リード押さえは、前記リードの周辺を覆うことができる誘電体でできたリード接触周辺部を内蔵していることを特徴とする請求項2に記載の電気特性検査治具。
- 前記グランドブロックは前記基板の厚さ方向への平行移動が可能であり、前記リード押さえは、前記対向する第1の位置、前記対向する第2の位置への回転移動、あるいは前記基板の厚さ方向への平行移動が可能であることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の電気特性検査治具。
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