JP7269296B2 - 方法およびエッチングシステム - Google Patents
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Description
本願では、「半導体ウエハ」、「ウエハ」、「基板」、「ウエハ基板」、および、「製造途中の集積回路」という用語が、交換可能に用いられている。当業者であれば、「製造途中の集積回路」という用語は、集積回路加工の多くの段階の内のいずれかの途中のシリコンウエハを指しうることがわかる。半導体デバイス産業で用いられるウエハは、通例、200mm、または、300mm、または、450mmの直径を有する。以下の詳細な説明では、本発明がウエハに実施されることを仮定している。ただし、本発明は、それに限定されない。ワークピースは、様々な形状、サイズ、および、材料を有してよい。半導体ウエハに加えて、本発明を利用しうるその他のワークピースは、プリント回路基板、磁気記録媒体、磁気記録センサ、鏡、ピクセル化ディスプレイを含む光学素子、微小機械素子など、様々な物品を含む。
独立変数が、モデルに入力される。それらの一部または全部が、エッチングを受けている基板またはエッチングの済んだ基板と相互作用する光から測定された光信号である。相互作用する光は、反射、屈折、散漫散乱、回折などされて、その場測定ツールなどの測定ツールによって取得されうる。独立変数は、1または複数の角度での反射光強度など、相互作用する光の特性であってよい。測定される光信号は、時間、波長(周波数)、偏光、または、それらの任意の組みあわせの関数として測定されてよい。測定された光信号は、そのまま利用されてもよいし、モデルに提供される前に修正(例えば、フィルタリング、正規化、ベクトル化など)されてもよい。独立変数は、入力および/または要因を表してよい、ならびに/もしくは、要因であるか否かを調べるために試験される。独立変数は、「予測変数」、「リグレッサ」、「制御変数」、「操作変数」、「説明変数」、または、「入力変数」としても知られうる。
+(dR/dCD)(dCD/dt)
モデルは、多くのデータ点を含むトレーニングセットを用いて生成されてよく、各データ点は、(i)1または複数のエッチング形状値と、(ii)エッチング形状を有する基板を調べる測定ツールから生成されることが予測される(または、生成された)1または複数の関連光信号値とを有する。1または複数のエッチング形状特徴値は、測定ツールからの光学読み取り値に影響しうる。例としては、エッチング深さ、クリティカルディメンション、および、上述したその他の特徴が挙げられる。光学読み取り値の例は、時間の関数としての反射スペクトルを含む。
上述のように、エッチング形状値を物理的および/または化学的なエッチング条件と関連づけるエッチングプロファイルモデルは、エッチャのためのその場測定システムで用いられるモデルを生成するためにデータを生成することを含む様々な目的に用いられてよい。エッチングプロファイルモデルの文脈で、エッチングプロファイルとは、半導体基板上のエッチングフィーチャの形状を特徴付けるために利用できる1セットの1または複数の幾何座標に対する任意のセットの値のことである。単純な例では、エッチングプロファイルは、フィーチャにわたる二次元垂直断面スライスで見られるように、フィーチャのベースまでの中間(フィーチャのベース(すなわち、底部)と基板の表面上の上部開口部との中間点)で決定されたフィーチャの幅として近似できる。より複雑な例では、エッチングプロファイルは、同じ二次元垂直断面スライスで見られるように、フィーチャのベースの上方の様々な高さで決定された一連のフィーチャ幅であってもよい。
特定の実施形態において、エッチングプロファイルモデルは、エッチャ装置と統合されてもよいし、1または複数のエッチャ装置を配備する半導体製造施設のインフラに統合されてもよい。エッチングプロファイルモデルは、所望のエッチングプロファイルを提供するのに適切な処理パラメータの調整を決定するため、または、エッチングプロファイルに対する処理パラメータの変化の影響を理解するために用いられてよい。したがって、例えば、製造施設内で半導体基板を処理するためのシステムは、エッチングプロファイルモデルを実装するコントローラによって制御された1セットの独立入力パラメータによって動作が調整される半導体基板エッチング用のエッチャ装置を備えてよい。後述するように、エッチャ装置の動作を制御するのに適切なコントローラは、通例、プロセッサおよびメモリを備えており、メモリは、エッチングプロファイルモデルを格納し、プロセッサは、格納されたエッチングプロファイルモデルを用いて、1セットの入力処理パラメータに与えられた1セットの値についてエッチングフィーチャプロファイルを計算する。プロファイルの計算後、いくつかの実施形態において、コントローラは、(計算されたプロファイルの形状に応じて)1セットの独立入力パラメータの1または複数の値を変化させることによってエッチャ装置の動作を調整してよい。
容量結合プラズマ(CCP)リアクタが、2009年2月9日に米国特許出願第12/367,754号として出願した米国特許第8,552,334号「ADJUSTABLE GAP CAPACITIVELY COUPLED RF PLASMA REACTOR INCLUDING LATERAL BELLOWS AND NON-CONTACT PARTICLE SEAL」、および、2014年11月12日出願の米国特許出願第14/539,121号「ADJUSTMENT OF VUV EMISSION OF A PLASMA VIA COLLISIONAL RESONANT ENERGY TRANSFER TO AN ENERGY ABSORBER GAS」に記載されており、それぞれ、参照によって全ての目的で本明細書にその全体が組み込まれる。特定の実施形態において、容量結合リアクタは、終点検出もしくはその他の制御または監視動作のためにエッチング形状モデルを用いて基板のエッチングを実行する。
誘導結合プラズマ(ICP)リアクタについては、2013年12月10日出願の米国特許公開第2014/0170853号「IMAGE REVERSAL WITH AHM GAP FILL FOR MULTIPLE PATTERNING」、および、2014年11月12日出願の米国特許出願第14/539,121号「ADJUSTMENT OF VUV EMISSION OF A PLASMA VIA COLLISIONAL RESONANT ENERGY TRANSFER TO AN ENERGY ABSORBER GAS」に記載されており、それぞれ、参照によって全ての目的で本明細書にその全体が組み込まれる。
システムコントローラが、図5A~図5Cに示したCCPエッチャ装置および/または図6に示したICPエッチャ装置など、上述の処理装置のいずれかにおけるエッチング動作(または、その他の処理動作)を制御するために用いられてよい。特に、システムコントローラは、上述のようにエッチング形状モデルを実施して、(上述のように)エッチング形状モデルを用いて生成された計算エッチングプロファイルに応じてエッチャ装置の動作を調整してよい。
上述の開示されている技術、動作、処理、方法、システム、装置、ツール、薄膜、化学物質、および、組成は、簡潔さおよび理解を促進するために具体的な実施形態の文脈で詳細に記載されているが、当業者にとって、本開示の精神および範囲の中に含まれる上述の実施形態を実施する多くの別の方法があることは明らかである。したがって、本明細書に記載の実施形態は、限定的ではなく、開示された発明の概念を例示するものと見なされるべきであり、最終的には本開示の主題に向けられた任意の請求項の範囲を不当に限定するための容認できない根拠として用いられるべきではない。例えば、本発明は、以下の適用例としても実施可能である。
[適用例1]光エネルギが基板上にエッチングされたフィーチャと相互作用することによって生成された測定光信号を、前記基板上にエッチングされた前記フィーチャの目標形状パラメータの値と関連づける計算モデルを生成する方法であって、
前記測定光信号が前記目標形状パラメータの値ほど非目標形状パラメータの値と強く相関しない範囲を決定する工程と、
前記範囲内の前記光信号の値を持つ要素を有するトレーニングセットを提供する工程であって、前記トレーニングセットの各要素は、(i)前記基板にエッチングされた前記フィーチャの前記目標形状パラメータの値、および、(ii)前記基板にエッチングされた前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記値を有するエッチングフィーチャから生成された関連の光信号を含む工程と、
前記トレーニングセットから前記計算モデルを生成する工程と
を備える方法。
[適用例2]適用例1に記載の方法であって、前記トレーニングセットの前記要素は、さらに、前記基板にエッチングされた前記フィーチャの非目標形状パラメータの値を含む方法。
[適用例3]適用例1に記載の方法であって、前記トレーニングセットの前記要素は、実験的に取得される方法。
[適用例4]適用例1に記載の方法であって、前記トレーニングセットの前記要素は、計算的に生成される方法。
[適用例5]適用例4に記載の方法であって、前記トレーニングセットの前記要素は、表面動力学モデルおよび光学モデリングルーチンから生成される方法。
[適用例6]適用例1に記載の方法であって、前記トレーニングセットは、少なくとも約50の要素を含む方法。
[適用例7]適用例1に記載の方法であって、前記トレーニングセットから前記計算モデルを生成する工程は、ニューラルネットワークまたは回帰技術を用いる工程を含む方法。
[適用例8]適用例1に記載の方法であって、前記基板上にエッチングされた前記フィーチャの前記目標形状パラメータは、エッチング深さ、ピッチ、または、エッチングクリティカルディメンションである方法。
[適用例9]適用例1に記載の方法であって、前記光信号は、前記基板上にエッチングされた前記フィーチャから生成された反射率値を含む方法。
[適用例10]適用例1に記載の方法であって、前記測定光信号が前記目標形状パラメータほど非目標形状パラメータと強く相関しない前記範囲は、波長の範囲である方法。
[適用例11]適用例1に記載の方法であって、前記範囲を決定する工程は、前記目標形状パラメータの異なる値について、前記光信号と前記目標形状パラメータとの相関の変動に従って、前記範囲の変動を決定する工程を含む方法。
[適用例12]光エネルギが基板上にエッチングされたフィーチャと相互作用することによって生成された測定光信号から、前記基板上にエッチングされた前記フィーチャの目標形状パラメータの値を計算するよう構成された計算モデルであって、前記計算モデルは、適用例1の方法によって生成される計算モデル。
[適用例13]適用例12に記載の計算モデルであって、前記計算モデルを生成するために用いられる前記トレーニングセットの前記要素は、さらに、前記基板にエッチングされた前記フィーチャの非目標形状パラメータの値を含む計算モデル。
[適用例14]適用例12に記載の計算モデルであって、前記計算モデルを生成するために用いられる前記トレーニングセットの前記要素は、実験的に取得される計算モデル。
[適用例15]適用例12に記載の計算モデルであって、前記計算モデルを生成するために用いられる前記トレーニングセットの前記要素は、計算的に生成される計算モデル。
[適用例16]適用例15に記載の計算モデルであって、前記トレーニングセットの前記要素は、表面動力学モデルおよび光学モデリングルーチンから生成される計算モデル。
[適用例17]適用例12に記載の計算モデルであって、前記トレーニングセットは、少なくとも約50の要素を含む計算モデル。
[適用例18]適用例12に記載の計算モデルであって、前記計算モデルは、ニューラルネットワークまたは回帰技術を用いて前記トレーニングセットから生成される計算モデル。
[適用例19]適用例12に記載の計算モデルであって、前記基板上にエッチングされた前記フィーチャの前記目標形状パラメータは、エッチング深さ、ピッチ、または、エッチングクリティカルディメンションである計算モデル。
[適用例20]適用例12に記載の計算モデルであって、前記光信号は、前記基板上にエッチングされた前記フィーチャから生成された反射率値を含む計算モデル。
[適用例21]適用例12に記載の計算モデルであって、前記計算モデルを生成する時に、前記測定光信号が前記目標形状パラメータほど非目標形状パラメータと強く相関しない前記範囲は、波長の範囲である計算モデル。
[適用例22]適用例12に記載の計算モデルであって、前記計算モデルを生成する時に、前記範囲を決定する工程は、前記目標形状パラメータの異なる値について、前記光信号と前記目標形状パラメータとの相関の変動に従って、前記範囲の変動を決定する工程を含む計算モデル。
[適用例23]エッチング処理中に基板上に生成される1または複数のフィーチャの形状パラメータ値を監視または決定する方法であって、
(a)光エネルギが前記基板上にエッチングされているフィーチャと相互作用することによって生成された光信号を測定する工程と、
(b)前記測定された光信号の一部を提供する工程であって、前記一部は、光信号が前記フィーチャの目標形状パラメータの値と相関すると決定された範囲によって規定される工程と、
(c)前記測定された光信号から前記目標形状パラメータの値を予測するよう構成されたモデルに前記一部の光信号を適用する工程であって、前記モデルは、光信号がフィーチャの目標形状パラメータの値と相関すると決定された前記範囲を決定することによって生成される工程と、
(d)前記モデルから、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの現在の値を決定する工程と、
(e)エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値を、前記目標形状パラメータのエッチング処理終点値と比較する工程と、
(f)エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値が前記終点値に達したことを工程(e)における比較が示すまで、工程(a)~(e)を繰り返す工程と
を備える方法。
[適用例24]適用例23に記載の方法であって、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータは、エッチング深さ、ピッチ、または、エッチングクリティカルディメンションである方法。
[適用例25]適用例23に記載の方法であって、さらに、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値が前記終点値に達したことを工程(e)における比較が示した時に、前記エッチング処理を終了する工程を備える方法。
[適用例26]適用例23に記載の方法であって、工程(a)で生成された光信号を測定することは、前記基板上にエッチングされている前記フィーチャから生成された反射率を測定することを含む方法。
[適用例27]適用例23に記載の方法であって、工程(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、前記光信号が前記フィーチャの前記目標形状パラメータの値と相関することを回帰技術を用いて判定された波長の範囲である方法。
[適用例28]適用例23に記載の方法であって、工程(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、工程(a)~(e)の2回の繰り返しの間で変化する方法。
[適用例29]適用例28に記載の方法であって、工程(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、前記目標形状パラメータの異なる値について、前記光信号と前記目標形状パラメータとの相関の変動に従って変化するように決定される方法。
[適用例30]適用例1に記載の方法であって、工程(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、前記光信号が前記目標形状パラメータほど非目標形状パラメータと強く相関しないと判定された範囲である方法。
[適用例31]エッチング処理中に基板上に1または複数のフィーチャをエッチングするためのシステムであって、
半導体基板をエッチングするためのエッチング装置と、
前記エッチング装置の動作を制御するためのコントローラと
を備え、
前記コントローラは、
(a)光エネルギが前記基板上にエッチングされているフィーチャと相互作用することによって生成された光信号を測定するための実行可能な命令と、
(b)前記測定された光信号の一部を提供するための実行可能な命令であって、前記一部は、光信号が前記フィーチャの目標形状パラメータの値と相関すると決定された範囲によって規定される命令と、
(c)前記測定された光信号から前記目標形状パラメータの値を予測するよう構成されたモデルに前記一部の光信号を適用するための実行可能な命令であって、前記モデルは、光信号がフィーチャの目標形状パラメータの値と相関すると決定された前記範囲を決定することによって生成される命令と、
(d)前記モデルから、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの現在の値を決定するための実行可能な命令と、
(e)エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値を、前記目標形状パラメータのエッチング処理終点値と比較するための実行可能な命令と、
(f)エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値が前記終点値に達したことを(e)における比較が示すまで、(a)~(e)を繰り返すための実行可能な命令と
を格納する持続的なメモリを備えるシステム。
[適用例32]適用例31に記載のシステムであって、前記エッチング装置は、
処理チャンバと、
前記処理チャンバ内で基板を保持するための基板ホルダと、
前記処理チャンバ内でプラズマを生成するためのプラズマ発生器であって、RF電源を備えたプラズマ発生器と、
1または複数の処理ガスを前記処理チャンバ内に流すための1または複数のバルブ制御された処理ガス流入口と、
前記処理チャンバからガスを排気するために1または複数の真空ポンプに流体接続された1または複数のガス流出口と
を備えるシステム。
[適用例33]適用例31に記載のシステムあって、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータは、エッチング深さ、ピッチ、または、エッチングクリティカルディメンションであるシステム。
[適用例34]適用例31に記載のシステムであって、前記コントローラは、さらに、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値が前記終点値に達したことを(e)における比較が示した時に、前記エッチング処理を終了するための命令を備えるシステム。
[適用例35]適用例31に記載のシステムであって、(a)で生成された光信号を測定するためのコントローラの命令は、前記基板上にエッチングされている前記フィーチャから生成された反射率を測定するための命令を含むシステム。
[適用例36]適用例31に記載のシステムであって、(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、前記光信号が前記フィーチャの前記目標形状パラメータの値と相関することを回帰技術を用いて判定された波長の範囲であるシステム。
[適用例37]適用例31に記載のシステムであって、前記コントローラは、さらに、(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲を、(a)~(e)の2回の繰り返しの間で変更するための命令を備えるシステム。
[適用例38]適用例37に記載のシステムであって、(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、前記目標形状パラメータの異なる値について、前記光信号と前記目標形状パラメータとの相関の変動に従って変化するように決定されるシステム。
[適用例39]適用例31に記載のシステムであって、(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、前記光信号が前記目標形状パラメータほど非目標形状パラメータと強く相関しないと判定された範囲であるシステム。
Claims (15)
- エッチング処理中に基板上に生成される1または複数のフィーチャの形状パラメータ値を、コンピュータにより監視または決定する方法であって、
(a)光エネルギが前記基板上にエッチングされているフィーチャと相互作用することによって生成された光信号を測定する工程と、
(b)前記測定された光信号の一部を提供する工程であって、前記一部は、光信号が前記フィーチャの目標形状パラメータの値と相関すると決定された範囲であって、前記光信号が前記目標形状パラメータほどは非目標形状パラメータと強く相関しない範囲によって規定される工程と、
(c)前記測定された光信号から前記目標形状パラメータの値を予測するよう構成されたモデルに前記一部の光信号を適用する工程であって、前記モデルは、光信号が、フィーチャの前記目標形状パラメータの値との相関を有し、かつ前記非目標形状パラメータの値との相関がそれより強くないと決定された前記範囲を決定することによって生成される工程と、
(d)前記モデルから、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの現在の値を決定する工程と、
(e)エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値を、前記目標形状パラメータのエッチング処理の終点値と比較する工程と、
(f)エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値が前記終点値に達したことを工程(e)における比較が示すまで、工程(a)~(e)を繰り返す工程と
を備える方法。 - 請求項1に記載の方法であって、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータは、エッチング深さ、ピッチ、または、エッチングクリティカルディメンションである方法。
- 請求項1に記載の方法であって、さらに、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値が前記終点値に達したことを工程(e)における比較が示した時に、前記エッチング処理を終了する工程を備える方法。
- 請求項1に記載の方法であって、工程(a)で生成された光信号を測定することは、前記基板上にエッチングされている前記フィーチャから生成された反射率を測定することを含む方法。
- 請求項1に記載の方法であって、工程(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、前記光信号が前記フィーチャの前記目標形状パラメータの値と相関することを回帰技術を用いて判定された波長の範囲である方法。
- 請求項1に記載の方法であって、工程(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、工程(a)~(e)の2回の繰り返しの間で変化する方法。
- 請求項6に記載の方法であって、工程(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、前記目標形状パラメータの異なる値について、前記光信号と前記目標形状パラメータとの相関の変動に従って変化するように決定される方法。
- エッチング処理中に基板上に1または複数のフィーチャをエッチングするためのシステムであって、
半導体基板をエッチングするためのエッチング装置と、
前記エッチング装置の動作を制御するためのコントローラと
を備え、
前記コントローラは、
(a)光エネルギが前記基板上にエッチングされているフィーチャと相互作用することによって生成された光信号を測定するための実行可能な命令と、
(b)前記測定された光信号の一部を提供するための実行可能な命令であって、前記一部は、光信号が前記フィーチャの目標形状パラメータの値と相関すると決定された範囲であって、前記光信号が前記目標形状パラメータほどは非目標形状パラメータと強く相関しない範囲によって規定される命令と、
(c)前記測定された光信号から前記目標形状パラメータの値を予測するよう構成されたモデルに前記一部の光信号を適用するための実行可能な命令であって、前記モデルは、光信号がフィーチャの前記目標形状パラメータの値との相関を有し、かつ前記非目標形状パラメータの値との相関がそれより強くないと決定された前記範囲を決定することによって生成される命令と、
(d)前記モデルから、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの現在の値を決定するための実行可能な命令と、
(e)エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値を、前記目標形状パラメータのエッチング処理の終点値と比較するための実行可能な命令と、
(f)エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値が前記終点値に達したことを(e)における比較が示すまで、(a)~(e)を繰り返すための実行可能な命令と
を格納する持続的なメモリを備えるシステム。 - 請求項8に記載のシステムであって、前記エッチング装置は、
処理チャンバと、
前記処理チャンバ内で基板を保持するための基板ホルダと、
前記処理チャンバ内でプラズマを生成するためのプラズマ発生器であって、RF電源を備えたプラズマ発生器と、
1または複数の処理ガスを前記処理チャンバ内に流すための1または複数のバルブ制御された処理ガス流入口と、
前記処理チャンバからガスを排気するために1または複数の真空ポンプに流体接続された1または複数のガス流出口と
を備えるシステム。 - 請求項8に記載のシステムあって、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータは、エッチング深さ、ピッチ、または、エッチングクリティカルディメンションであるシステム。
- 請求項8に記載のシステムであって、前記コントローラは、さらに、エッチングされている前記フィーチャの前記目標形状パラメータの前記現在の値が前記終点値に達したことを(e)における比較が示した時に、前記エッチング処理を終了するための命令を備えるシステム。
- 請求項8に記載のシステムであって、(a)で生成された光信号を測定するためのコントローラの命令は、前記基板上にエッチングされている前記フィーチャから生成された反射率を測定するための命令を含むシステム。
- 請求項8に記載のシステムであって、(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、前記光信号が前記フィーチャの前記目標形状パラメータの値と相関することを回帰技術を用いて判定された波長の範囲であるシステム。
- 請求項8に記載のシステムであって、前記コントローラは、さらに、(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲を、(a)~(e)の2回の繰り返しの間で変更するための命令を備えるシステム。
- 請求項14に記載のシステムであって、(b)で前記測定された光信号の一部を規定する前記範囲は、前記目標形状パラメータの異なる値について、前記光信号と前記目標形状パラメータとの相関の変動に従って変化するように決定されるシステム。
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