JP7266275B2 - 石英製の格子構造体および回折格子の製造方法 - Google Patents
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Description
dβ/dλ=Nm/cosβ
であり、Nとmの積が大きく、βが90°に近いほど大きな値になる。従来の鋸歯形状(階段形状)を有する表面刻線型の透過型回折格子は、回折角が大きくなると回折効率が低下してしまうために、回折角が20°以下で使用されることが多い。
0~1000nm)に対して、大きな回折角(たとえば36°~53°)で、高次回折光を精度良く測定可能な透過型回折格子の開発が求められている。
格子の外に現れなくなる。しかし、可視光において屈折率が2.3以上の透明な媒質はZnSeやZnS、TiO2、ダイアモンド等に限られる。さらに、波長400nm以下では、屈折率が2.3以上の透明な媒質はダイアモンド以外に存在しない。
m:0.22μm、溝のアスペクト比が1:10(溝の深さt=2.2μm)である。しかしながら、この形状ではS偏光とP偏光の回折効率を一致させることができない。
石英製の格子構造体の製造方法であって、
SOQ(Silicon on Quartz)基板を用意する工程と、
前記SOQ基板のシリコン側表面にレジストパターンを描画する工程と、
前記レジストパターンをマスクとしてエッチングにより前記シリコン側表面に、前記SOQ基板の石英層に接するシリコン製の接合層が残るように溝を掘ることにより、シリコン製の畝部を作製する工程と、
前記シリコン製の畝部および前記接合層を含む前記SOQ基板のシリコンの全体を酸化させることにより石英製の畝部を得る工程と、
を含む、方法である。
上述の各工程と、
前記格子構造体の溝部分に、石英よりも高屈折率の樹脂を充填する工程と、
を含むことを特徴とする。
近年、分光計測の分野において、広い波長範囲を同時に計測するためにエシェル分光法が広く利用されるようになった。エシェル分光法では、高次回折光を利用する高分散回折格子とプリズムや低分散の回折格子等の垂直分散素子等とを組み合わせて、2次元撮像装置にスペクトルを折り込んでいる。
ど)による側壁保護とを繰り返し行う深掘り反応性イオンエッチング(RIE)である。この際、シリコン層32を全てエッチングせず石英層31と接合する接合層32aを残しておく。本実施形態では、接合層32aの厚さは1.14μmである。本実施形態では、格子の側壁は基板に対して垂直とし、幅を一定とするが、サイクルエッチングの条件を変えてテーパー形状の格子を形成してもよい。
ける樹脂13内部の屈折角をθ1とすると、
sinθ0=n2×sinθ1
である。格子側壁における臨界角の式は、
n1×sin90°=n2×cosθ1
である。以上より、
(sinθ0)/n1=tanθ1
となり、θ0とn1が既知であり、θ1が求まるので樹脂13の屈折率n2が求まる。
第1実施形態の回折格子は、連続する畝部12が複数並んだ構造を有している。回折格子の面積を大きくするためには、畝部12の長さ(図1において紙面に直交する方向の長さ)を長くする必要がある。そうすると、シリコン酸化のために1100℃程度まで加熱する際に、畝部12が破断したり波打ったりするおそれがある。そこで、本実施形態では、第1実施形態と異なる構造の畝構造体を作成する。
上記第1,第2実施形態は、格子構造体を回折格子として用いているが、上記で説明した格子構造体は回折格子以外の用途にも用いることができる。
13:樹脂(充填部) 14:ガラス基板
31:石英層 32:シリコン層 33:レジストパターン 34:酸化シリコン層
Claims (6)
- 石英製の格子構造体の製造方法であって、
SOQ(Silicon on Quartz)基板を用意する工程と、
前記SOQ基板のシリコン側表面にレジストパターンを描画する工程と、
前記レジストパターンをマスクとしてエッチングにより前記シリコン側表面に、前記SOQ基板の石英層に接するシリコン製の接合層が残るように溝を掘ることにより、シリコン製の畝部を作製する工程と、
前記シリコン製の畝部および前記接合層を含む前記SOQ基板のシリコンの全体を酸化させることにより石英製の畝部を得る工程と、
を含む、方法。 - 前記シリコンの一部を酸化させる工程と、酸化シリコン層を除去する工程と、が前記畝部を作成する工程の後に行われる、
請求項1に記載の方法。 - 前記シリコンの一部を酸化させる前記工程と、酸化シリコン層を除去する前記工程とは、複数回行われる、
請求項2に記載の方法。 - 前記レジストパターンは、所定の幅の細線が複数並んだパターンであり、それぞれの細線には所定の間隔でギャップが設けられている、
請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。 - 前記レジストパターンは、隣り合う細線の間に連結部を有する、
請求項4に記載の方法。 - 請求項1から5のいずれか1項の石英製の格子構造体の製造方法の各工程と、
前記格子構造体の溝部分に、石英よりも高屈折率の樹脂を充填する工程と、
を含む、回折格子の製造方法。
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N.Ebizuka et.al,Novel gratings for next-generation instruments of astronomical obserbations,SPIE Optics+Optoelectronics,SPIE,2018年07月22日,10233,1-8 |
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