JP2017211670A - ブレーズド回折格子およびブレーズド回折格子の製造方法 - Google Patents
ブレーズド回折格子およびブレーズド回折格子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017211670A JP2017211670A JP2017160511A JP2017160511A JP2017211670A JP 2017211670 A JP2017211670 A JP 2017211670A JP 2017160511 A JP2017160511 A JP 2017160511A JP 2017160511 A JP2017160511 A JP 2017160511A JP 2017211670 A JP2017211670 A JP 2017211670A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blazed
- diffraction grating
- basic
- resin layer
- resin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Diffracting Gratings Or Hologram Optical Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】
断面形状が鋸歯状であり、基礎ブレーズ面と基礎段差面を一方向に交互に繰り返し配置して成る表面を有する支持体上に、該表面と接する樹脂層を厚さが前記一方向に単調変化するように形成し、樹脂層表面を覆う金属コーティング膜を形成する。
厚さを単調変化させる方法としては、支持体上に溶剤樹脂を塗布した後、揮発量の差により形成する方法と、遠心力により形成する方法がある。
【選択図】図1
Description
第1のブレーズ角が14°であり、イオンビームエッチング法で製造されたマスター回折格子を使用する。
2…ホトレジスト層
3…レジストパターン
4…格子溝
5…金属膜
20、40…ブレーズド回折格子
21、41…基礎ブレーズ面
11、31、51…ブレーズ面
22、42…基礎段差面
12、32、52…段差面
26、36、56…樹脂層
60…回転板
Claims (4)
- a)断面形状が鋸歯状であり、基礎ブレーズ面と基礎段差面を一方向に交互に繰り返し配置して成る支持体と、
b)前記支持体の前記基礎ブレーズ面と前記基礎段差面を覆い、前記基礎ブレーズ面上で厚さが前記一方向に単調変化する樹脂層と、
c)前記樹脂層の表面を覆う金属コーティング膜とを備えるブレーズド回折格子。 - 前記基礎ブレーズ面上の樹脂層のブレーズ角が、前記基礎ブレーズ面のブレーズ角よりも小さい、請求項1に記載のブレーズド回折格子。
- a)断面形状が鋸歯状であり、基礎ブレーズ面と基礎段差面を一方向に交互に繰り返し配置して成る支持体を用意する工程と、
b)前記支持体上に、前記基礎ブレーズ面と前記基礎段差面を覆う樹脂層を、前記基礎ブ
レーズ面上において厚さが前記一方向に単調変化するように形成する工程と、
c)前記樹脂層の表面を覆う金属コーティング膜を形成する工程と、
を含むブレーズド回折格子の製造方法。 - 前記樹脂層を前記一方向に単調変化するように形成する工程が、
d)揮発性溶剤に前記樹脂層を構成する樹脂を溶解させて溶剤樹脂を作成する工程と、
e)前記溶剤樹脂を塗布後の前記溶剤樹脂表面が平坦になるように前記支持体上に塗布する工程と、
f)塗布後に、前記揮発性溶剤を揮発させ、前記樹脂を固化する工程と、
を含む、請求項3に記載のブレーズド回折格子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017160511A JP6414620B2 (ja) | 2017-08-23 | 2017-08-23 | ブレーズド回折格子およびブレーズド回折格子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017160511A JP6414620B2 (ja) | 2017-08-23 | 2017-08-23 | ブレーズド回折格子およびブレーズド回折格子の製造方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015541312A Division JP6226154B2 (ja) | 2013-10-07 | 2013-10-07 | ブレーズド回折格子およびブレーズド回折格子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017211670A true JP2017211670A (ja) | 2017-11-30 |
JP6414620B2 JP6414620B2 (ja) | 2018-10-31 |
Family
ID=60476294
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017160511A Active JP6414620B2 (ja) | 2017-08-23 | 2017-08-23 | ブレーズド回折格子およびブレーズド回折格子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6414620B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020053950A1 (ja) * | 2018-09-11 | 2020-03-19 | 株式会社島津製作所 | ブレーズド回折格子 |
JP2020056973A (ja) * | 2018-10-04 | 2020-04-09 | 国立研究開発法人理化学研究所 | 石英製の格子構造体および回折格子ならびに製造方法 |
CN115004065A (zh) * | 2020-02-20 | 2022-09-02 | 株式会社日立高新技术 | 凹面衍射光栅以及光学装置 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1026707A (ja) * | 1996-07-11 | 1998-01-27 | Sanyo Electric Co Ltd | 表面レリーフ型回折格子及びその製造方法 |
JP2001042112A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-16 | Canon Inc | 回折光学素子及びそれを用いた光学系 |
JP2002014213A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Minolta Co Ltd | ブレーズ格子素子、回折格子素子および照明光学系 |
JP2003084114A (ja) * | 2001-09-13 | 2003-03-19 | Asahi Glass Co Ltd | 反射型回折素子 |
JP2004240417A (ja) * | 2003-01-14 | 2004-08-26 | Nikon Corp | 光学素子及びその製造方法 |
JP2006267537A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Shimadzu Corp | レプリカ光学素子の製造方法 |
JP2009092687A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-30 | Shimadzu Corp | レプリカ回折格子 |
JP4304001B2 (ja) * | 2003-05-22 | 2009-07-29 | 大日本印刷株式会社 | 真偽判定体 |
JP4349104B2 (ja) * | 2003-11-27 | 2009-10-21 | 株式会社島津製作所 | ブレーズド・ホログラフィック・グレーティング、その製造方法、及びレプリカグレーティング |
JP2010014780A (ja) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Toppan Printing Co Ltd | 積層体、画像形成体及びその製造方法 |
JP2010078919A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Canon Inc | 回折光学素子及びその製造方法 |
JP2013092756A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-16 | Canon Inc | エシェル型回折格子、エキシマレーザ、エシェル型回折格子の製造方法、ArFエキシマレーザ |
JP2013193268A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Toppan Printing Co Ltd | 表示体及びラベル付き物品 |
-
2017
- 2017-08-23 JP JP2017160511A patent/JP6414620B2/ja active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1026707A (ja) * | 1996-07-11 | 1998-01-27 | Sanyo Electric Co Ltd | 表面レリーフ型回折格子及びその製造方法 |
JP2001042112A (ja) * | 1999-07-28 | 2001-02-16 | Canon Inc | 回折光学素子及びそれを用いた光学系 |
JP2002014213A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Minolta Co Ltd | ブレーズ格子素子、回折格子素子および照明光学系 |
JP2003084114A (ja) * | 2001-09-13 | 2003-03-19 | Asahi Glass Co Ltd | 反射型回折素子 |
JP2004240417A (ja) * | 2003-01-14 | 2004-08-26 | Nikon Corp | 光学素子及びその製造方法 |
JP4304001B2 (ja) * | 2003-05-22 | 2009-07-29 | 大日本印刷株式会社 | 真偽判定体 |
JP4349104B2 (ja) * | 2003-11-27 | 2009-10-21 | 株式会社島津製作所 | ブレーズド・ホログラフィック・グレーティング、その製造方法、及びレプリカグレーティング |
JP2006267537A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Shimadzu Corp | レプリカ光学素子の製造方法 |
JP2009092687A (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-30 | Shimadzu Corp | レプリカ回折格子 |
JP2010014780A (ja) * | 2008-07-01 | 2010-01-21 | Toppan Printing Co Ltd | 積層体、画像形成体及びその製造方法 |
JP2010078919A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Canon Inc | 回折光学素子及びその製造方法 |
JP2013092756A (ja) * | 2011-10-06 | 2013-05-16 | Canon Inc | エシェル型回折格子、エキシマレーザ、エシェル型回折格子の製造方法、ArFエキシマレーザ |
JP2013193268A (ja) * | 2012-03-16 | 2013-09-30 | Toppan Printing Co Ltd | 表示体及びラベル付き物品 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020053950A1 (ja) * | 2018-09-11 | 2020-03-19 | 株式会社島津製作所 | ブレーズド回折格子 |
JP2020056973A (ja) * | 2018-10-04 | 2020-04-09 | 国立研究開発法人理化学研究所 | 石英製の格子構造体および回折格子ならびに製造方法 |
JP7266275B2 (ja) | 2018-10-04 | 2023-04-28 | 国立研究開発法人理化学研究所 | 石英製の格子構造体および回折格子の製造方法 |
CN115004065A (zh) * | 2020-02-20 | 2022-09-02 | 株式会社日立高新技术 | 凹面衍射光栅以及光学装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6414620B2 (ja) | 2018-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6226154B2 (ja) | ブレーズド回折格子およびブレーズド回折格子の製造方法 | |
JP6414620B2 (ja) | ブレーズド回折格子およびブレーズド回折格子の製造方法 | |
JP4349104B2 (ja) | ブレーズド・ホログラフィック・グレーティング、その製造方法、及びレプリカグレーティング | |
US7129028B2 (en) | Method of forming holographic grating | |
WO2014025035A1 (ja) | 表面増強ラマン散乱素子 | |
WO2014025029A1 (ja) | 表面増強ラマン散乱素子 | |
GB2509536A (en) | Diffraction grating | |
JP4873015B2 (ja) | ブレーズ型回折格子の製造方法 | |
US4828356A (en) | Method for fabrication of low efficiency diffraction gratings and product obtained thereby | |
WO2014025030A1 (ja) | 表面増強ラマン散乱素子 | |
JP5965698B2 (ja) | 回折格子およびその製造方法 | |
JPWO2016059928A1 (ja) | 曲面回折格子の型の製造方法、曲面回折格子の製造方法、曲面回折格子、および光学装置 | |
JP4507928B2 (ja) | ホログラフィックグレーティング製造方法 | |
JPH07261010A (ja) | レプリカ回折格子 | |
US20060077554A1 (en) | Diffraction gratings for electromagnetic radiation, and a method of production | |
JP6023669B2 (ja) | 表面増強ラマン散乱素子 | |
JP5066815B2 (ja) | 反射型回折格子 | |
JPS62231901A (ja) | ブレ−ズド回折格子の製造方法 | |
JPS6033504A (ja) | ブレ−ズド格子の製造方法 | |
JPS5947282B2 (ja) | エシエレツト格子の製造方法 | |
JP2004218002A (ja) | ベース材からの剥離面を利用した精密金属部品の製造方法 | |
JP2015219446A (ja) | 反射型回折格子 | |
JPH0456284B2 (ja) | ||
JPH0823601B2 (ja) | 回折格子の作製方法 | |
WO2020026303A1 (ja) | 回折格子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170921 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170921 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180706 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180823 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180905 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180918 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6414620 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |