JP7249430B2 - 透明電極および透明電極の製造方法、ならびに透明電極を具備した光電変換素子 - Google Patents
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Description
透明基材の上に、パターン化された電極層を具備し、前記電極層が、金属ナノワイヤを含有する導電性膜と、前記金属ナノワイヤの上に積層された、グラフェン炭素骨格の一部が窒素原子で置換されたN-グラフェンを含有する保護膜とを含むものである。
(A)透明基材の上に金属ナノワイヤを含有する分散液を塗布し、乾燥して導電性膜を形成する工程と、
(B)前記導電性膜の上にN-グラフェン膜を形成する工程と、
(C)前記N-グラフェン膜の上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
(D)前記フォトレジスト膜に光を照射し、現像してフォトレジストのパターンを形成する工程と、
(E)前記パターンをマスクにして非マスク部をエッチングして、非マスク部の直下にあるN-グラフェン膜および導電性膜を除去する工程と、
(F)前記フォトレジストのパターンを除去する工程と、
を含むものである。
図1を用いて、第1の実施形態に係る透明電極について説明する。
本実施形態において、透明基材は光を透過し、素子に必要な透明性を有するものであれば特に限定されない。具体的には透明基材として、ガラスなどの無機材料、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリカーボネート(PC)、ポリメチルメタクリレート(PMMA)などの有機材料が用いられる。透明基材は複数の素材で形成されていてもよい。なお、本発明による透明電極は、柔軟性を有する素子に適したものであり、柔軟性を有する有機材料を透明基材として用いることが好ましい。
本実施形態における透明電極は、比較的金属含有量が少ないものであるが、非常に高い導電性を有する。具体的には、透明電極層の表面抵抗が20Ω/□以下であることが好ましく、15Ω/□以下であることがより好ましい
図2を用いて、第2の実施形態に係る透明電極の製造方法について説明する。図2(A)~(F)は、本実施形態に係る透明電極200の製造方法の概略図である。この電極の製造方法は、
(A)透明基材201の上に金属ナノワイヤを含有する分散液を塗布し、乾燥して導電性膜202を形成する工程と、
(B)前記導電性膜202の上にN-グラフェン膜203を形成する工程と、
(C)前記N-グラフェン膜203の上にフォトレジスト膜204を形成する工程と、
(D)前記フォトレジスト膜204に光を照射し、現像してフォトレジストのパターン204aを形成する工程と、
(E)前記パターン204aをマスクにして非マスク部をエッチングして、非マスク部の直下にあるN-グラフェン膜203および導電性膜202を除去する工程と、
(F)前記フォトレジストのパターン204aを除去する工程と、
を含む。
まず、透明基材201の上に金属ナノワイヤを含有する分散液を直接塗布して導電性膜202を形成させる。
次に、工程Aで形成された導電性202の表面に、N-グラフェン膜203を形成させる。N-グラフェン膜は、任意の方法で形成させることができるが、塗布法によって形成させることが好ましい。塗布法によれば、大面積の電極を容易に得られ、またロール・ツー・ロール法を適用することも容易になる。
(i)導電性膜の表面上に、メタンや水素などの基本原料に加えて、アンモニア、ピリジン、メチルアミン、エチレンジアミン、または尿素などの低分子窒素化合物を組み合わせて、化学蒸着法によってN-グラフェン膜を形成させる、
(ii)別の基材上にN-グラフェン膜を形成させた後、それを導電性膜の上に転写する、
(iii)導電性基材の表面に無置換グラフェン膜を形成させた後、窒素プラズマ中で処理して製造する、
などの方法で、N-グラフェン膜を製造することもできる。
次に、工程(B)で形成されたN-グラフェン膜203の表面に、フォトレジストを塗布して、フォトレジスト膜204を形成させる。ここで用いられるフォトレジストは特に限定されず、従来知られている任意の材料を用いることができる。ただし、フォトレジストはN-グラフェン膜に直接接触するため、N-グラフェン膜を溶解したり、N-グラフェン骨格にダメージを与えないものを採用すべきである。また、シート状に成形されているレジストフィルムを用い、それを電極層の上に貼り付けることでフォトレジスト膜を形成することもできる。
次に、形成されたフォトレジスト膜を、リソグラフィー法などによって加工をして、パターン204aを形成させる。具体的には、光や電子線などの活性エネルギー線をフォトレジスト膜204の表面に像様に照射して露光し、必要に応じて露光後加熱を行った後、現像液で現像し、レジストパターン204aを形成させる。
次に、工程(D)で形成されたレジストパターン204aをエッチングマスクとして用い、レジストパターン204aの下層にある金属ナノワイヤ層203ならびにグラフェン層204をエッチング液を用いてエッチングする。このエッチング処理によって、レジストパターンの存在しない領域、すなわち非マスク部の直下にあるN-グラフェン膜および導電性層が除去される。エッチング液は導電性層202に含まれる金属ナノワイヤに化学的に作用するものであるが、N-グラフェン膜203は、例えば10Å程度の超薄膜であるため物理的に離型し、レジストパターン204aの形状が導電性層202ならびにN-グラフェン膜203に転写される。
次に、工程(E)で形成されたパターンの最表面にあるレジストパターン204aをレジスト剥離液を用いて剥離する。これによって、導電性層202aならびにN-グラフェン膜203aが積層された電極のパターンが形成される。
以上の方法によって、本実施形態による透明電極を製造することができる。
図3を用いて、第3の実施形態に係る光電変換素子(太陽電池素子)について説明する。
図4を用いて、別の実施形態に係る光電変換素子(有機EL素子400)の構成について説明する。有機EL素子400は、この素子に入力された電気エネルギーを光Lに変換する発光素子としての機能を有する素子である。
直径70nm、長さ15μmの銀ナノワイヤを水に分散させ0.3質量%の分散液を作製する。PETフィルム上にPMMA膜をコートして透明基材とする。PMMA膜上に上記銀ナノワイヤ分散液を塗布バーを用いて塗布してシート抵抗が約10Ω/□の導電性膜を作製する。
N-グラフェン膜の形成工程を省略することを除いては実施例1と同様にして透明電極を作製する。電極層の剥離が見られ、導電性も失われる。
N-グラフェンの代わりに酸化グラフェンを用いることを除いては実施例1と同様にして透明電極を作製する。酸化グラフェンを含む膜は、酸化していないグラフェン部分と酸化が進行した部分とを含んでいる。比較例2の透明電極は電極層の一部に剥離が見られ、導電性も低下する。
銅箔上にメタン、水素、アンモニアガスから1000℃で熱CVD法で形製されたN-グラフェン膜上にPMMA膜を塗布し、銅を酸で溶解する。
直径30nm、長さ8μmの銀ナノワイヤを水に分散させ0.3wt%の分散液を作製する。エタノールで表面を洗浄したPETフィルム上に上記銀ナノワイヤ分散液を塗布バーを用いて塗布してシート抵抗が約10Ω/□の導電性膜を作製する。
銅箔上にメタン、水素ガスから1000℃で熱CVD法で形製された無置換グラフェン膜上にPMMA膜を塗布し、銅を酸で溶解する。この無置換グラフェン膜を用いることを除いては実施例2と同様にして透明電極を作製する。電極層に見かけ上の剥離は見られないが、導電性が若干低下し、導電性層が一部劣化している。
図3で示すような半透明な太陽電池を作成する。
101…透明基材
102…電極層
102a…導電性膜
102b…N-グラフェン膜
200…透明電極
201…透明基材
202…導電性膜
203…N-グラフェン膜
204…レジスト膜
204a…レジストパターン
300…光電変換素子
301…透明基材
302…導電性膜
303…N-グラフェン膜
304…光電変換層
305…対向電極
306…ブリッジ電極
Claims (19)
- 透明基材の上に、パターン化された電極層を具備し、前記電極層が、金属ナノワイヤを含有する導電性膜と、前記導電性膜の上に積層され、前記導電性膜の上部を被覆した、グラフェン炭素骨格の一部が窒素原子で置換された、ポリエチレンイミン鎖が結合したN-グラフェンを含有する保護膜とを含む、透明電極。
- 前記透明基材と前記電極層との間に、さらに密着層を具備する、請求項1に記載の透明電極。
- 前記密着層が架橋性透明ポリマーを含む、請求項2に記載の透明電極。
- 前記導電性膜が接着性ポリマーを含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の透明電極。
- 前記電極層の表面抵抗が20Ω/□以下である、請求項1~4のいずれか1項に記載の透明電極。
- 前記金属ナノワイヤが銀または銀合金のナノワイヤである、請求項1~5のいずれか1項に記載の透明電極。
- 前記透明基材が、有機材料からなる、請求項1~6のいずれか1項に記載の透明電極。
- (A)透明基材の上に金属ナノワイヤを含有する分散液を塗布し、乾燥して導電性膜を形成する工程と、
(B)前記導電性膜の上に、前記導電性膜の上部を被覆する、ポリエチレンイミン鎖が結合したN-グラフェンを含有する保護膜を形成する工程と、
(C)前記保護膜の上にフォトレジスト膜を形成する工程と、
(D)前記フォトレジスト膜に光を照射し、現像してフォトレジストのパターンを形成する工程と、
(E)前記パターンをマスクにして非マスク部をエッチングして、非マスク部の直下にある保護膜および導電性膜を除去する工程と、
(F)前記フォトレジストのパターンを除去する工程と、
を含む、透明電極の製造方法。 - 工程(A)に先立って、前記透明基材の上に密着層を形成する工程(A’)をさらに含む、請求項8に記載の方法。
- 工程(B)が、ポリエチレンイミン鎖が結合したグラフェンを含む分散液を前記導電性膜の上に塗布することを含む、請求項8または9に記載の方法。
- 工程(C)が、前記保護膜にレジストフィルムを貼り合わせることを含む、請求項8~10のいずれか1項に記載の方法。
- 前記フォトレジスト膜がノボラック系ポリマーを含む、請求項8~11のいずれか1項に記載の方法。
- 工程(F)において、アルカリ性水溶液で処理することによりフォトレジストを除去する、請求項8~12のいずれか1項に記載の方法。
- 請求項1~6のいずれか1項に記載の透明電極と、光電変換層と、対向電極とを具備する光電変換素子。
- 前記光電変換層に隣接する、電子機能を有するバッファ層をさらに具備する、請求項14に記載の素子。
- 前記対向電極が光透過性である、請求項14または15に記載の素子。
- 前記対向電極にグラフェン層を具備するものである、請求項14~16のいずれか1項に記載の素子。
- 太陽電池である、請求項14~17のいずれか1項に記載の素子。
- 有機エレクトロルミネッセンス素子である、請求項14~17のいずれか1項に記載の素子。
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WO2022054150A1 (ja) * | 2020-09-09 | 2022-03-17 | 株式会社 東芝 | 透明電極、透明電極の製造方法、および電子デバイス |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013209261A (ja) | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Toshiba Corp | 炭素電極とその製造方法およびそれを用いた光電変換素子 |
US20140287639A1 (en) | 2012-11-29 | 2014-09-25 | Research & Business Foundation Sungkyunkwan University | Nanowire composite, composite film, and preparation method thereof |
JP2014208469A (ja) | 2013-03-29 | 2014-11-06 | 昭和電工株式会社 | 透明導電パターン形成用基板、透明導電パターン形成基板及び透明導電パターン形成基板の製造方法 |
CN107651668A (zh) | 2017-09-07 | 2018-02-02 | 山东大学 | 一种高密度n掺杂的石墨烯材料的可扩展制备方法 |
CN107765511A (zh) | 2016-08-17 | 2018-03-06 | 中国科学院上海高等研究院 | 石墨烯与银纳米线复合透明导电薄膜的图形化方法 |
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Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20140091403A (ko) * | 2013-01-11 | 2014-07-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 전극구조 및 그 제조방법, 전극구조를 구비한 표시소자, 그 제조방법 |
CN103943371B (zh) * | 2014-04-14 | 2016-11-16 | 上海交通大学 | 掺氮石墨烯包覆羟基氧化锰纳米线复合材料及其制备方法 |
AU2016292850B2 (en) * | 2015-07-13 | 2019-05-16 | Crayonano As | Nanowires or nanopyramids grown on graphitic substrate |
JP6697406B2 (ja) * | 2016-01-21 | 2020-05-20 | 株式会社東芝 | 透明電極、電子デバイス、および電子デバイスの製造方法 |
KR102012461B1 (ko) * | 2017-08-17 | 2019-08-21 | 재단법인대구경북과학기술원 | 질소 도핑된 그래핀 양자점 제조방법, 질소 도핑된 그래핀 양자점 및 질소 도핑된 그래핀 양자점을 포함하는 태양전지 |
KR20190099903A (ko) * | 2018-02-20 | 2019-08-28 | 경북대학교 산학협력단 | 하이브리드 투명 전극의 패터닝 방법 |
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013209261A (ja) | 2012-03-30 | 2013-10-10 | Toshiba Corp | 炭素電極とその製造方法およびそれを用いた光電変換素子 |
US20140287639A1 (en) | 2012-11-29 | 2014-09-25 | Research & Business Foundation Sungkyunkwan University | Nanowire composite, composite film, and preparation method thereof |
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