JP7245924B2 - 保守装置、保守方法、および、保守プログラム - Google Patents
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Description
20 測定対象
30 被測定デバイス
100 試験装置
110 テスタ本体
120 テストヘッド
130 パフォーマンスボード
140 プローブカード
142 基板
144 プローブハウジング
146 プローブニードル
148 治具
150 プローバ
200 保守装置
210 入力部
220 取得部
230 学習部
240 算出部
250 決定部
260 出力部
610 モデル生成部
2200 コンピュータ
2201 DVD-ROM
2210 ホストコントローラ
2212 CPU
2214 RAM
2216 グラフィックコントローラ
2218 ディスプレイデバイス
2220 入/出力コントローラ
2222 通信インターフェイス
2224 ハードディスクドライブ
2226 DVD-ROMドライブ
2230 ROM
2240 入/出力チップ
2242 キーボード
Claims (16)
- 複数の治具を介してそれぞれ異なる複数の被測定デバイスを順次試験した場合における複数の試験結果を、治具ごとに取得する取得部と、
前記複数の試験結果を用いて、試験結果の変動を前記治具ごとに算出する算出部と、
前記試験結果の変動に基づいて、前記治具の保守タイミングを決定する決定部と、
を備え、
前記決定部は、前記治具ごとの試験結果の変動を、正常状態における前記複数の治具についての試験結果の変動の平均と比較して差分を算出し、当該差分に基づいて、前記保守タイミングを決定する、
保守装置。 - 前記決定部は、前記差分が予め定められたしきい値を超えた場合に、前記治具を保守すると決定する、請求項1に記載の保守装置。
- 前記予め定められたしきい値は、機械学習により決定されたものである、請求項2に記載の保守装置。
- 複数の治具を介してそれぞれ異なる複数の被測定デバイスを順次試験した場合における複数の試験結果を、治具ごとに取得する取得部と、
前記複数の試験結果を用いて、試験結果の変動を前記治具ごとに算出する算出部と、
前記試験結果の変動に基づいて、前記治具の保守タイミングを決定する決定部と、
を備え、
前記決定部は、前記試験結果の変動を正常状態における変動と比較して差分を算出し、前記差分に基づいて、前記保守タイミングを決定し、
前記決定部は、機械学習により前記差分を算出する、
保守装置。 - 前記差分は、マハラノビス距離である、請求項4に記載の保守装置。
- 正常状態において取得された複数の試験結果を用いて、前記マハラノビス距離を算出するために用いられる共分散行列を学習する学習部を更に備える、請求項5に記載の保守装置。
- 前記試験結果の変動に基づいて、正常状態における変動に対するずれを検出するモデルを機械学習により生成するモデル生成部を更に備え、
前記決定部は、前記モデルの出力に基づいて前記差分を算出する、請求項4に記載の保守装置。 - 複数の治具を介してそれぞれ異なる複数の被測定デバイスを順次試験した場合における複数の試験結果を、治具ごとに取得する取得部と、
前記複数の試験結果を用いて、試験結果の変動を前記治具ごとに算出する算出部と、
前記試験結果の変動に基づいて、前記治具の保守タイミングを決定する決定部と、
を備え、
前記算出部は、予め定められた期間における前記複数の試験結果を、前記期間の始点を順次変更しながら分析して、前記試験結果の変動を算出する、
保守装置。 - 前記算出部は、前記複数の試験結果におけるフェイル率の変動を算出する、請求項1から8のいずれか一項に記載の保守装置。
- 前記フェイル率は、複数の試験項目における少なくとも1つの項目がフェイルしたことを示すトータルフェイル率である、請求項9に記載の保守装置。
- 前記フェイル率は、複数の試験項目における特定の項目がフェイルしたことを示す部分的なフェイル率である、請求項9に記載の保守装置。
- 前記決定部は、前記保守タイミングとして、前記治具のクリーニング時期を決定する、請求項1から11のいずれか一項に記載の保守装置。
- 前記決定部は、更に、前記治具のクリーニング内容を決定する、請求項12に記載の保守装置。
- 前記決定部は、複数の試験項目における項目ごとの前記試験結果の変動に基づいて、前記治具のクリーニング内容を決定する、請求項13に記載の保守装置。
- 複数の治具を介してそれぞれ異なる複数の被測定デバイスを順次試験した場合における複数の試験結果を、治具ごとに取得することと、
前記複数の試験結果を用いて、試験結果の変動を前記治具ごとに算出することと、
前記試験結果の変動に基づいて、前記治具の保守タイミングを決定することと、
を備え、
前記決定することは、前記治具ごとの試験結果の変動を、正常状態における前記複数の治具についての試験結果の変動の平均と比較して差分を算出し、当該差分に基づいて、前記保守タイミングを決定することを含む、
保守方法。 - コンピュータにより実行されて、前記コンピュータを、
複数の治具を介してそれぞれ異なる複数の被測定デバイスを順次試験した場合における複数の試験結果を、治具ごとに取得する取得部と、
前記複数の試験結果を用いて、試験結果の変動を前記治具ごとに算出する算出部と、
前記試験結果の変動に基づいて、前記治具の保守タイミングを決定する決定部と、
して機能させ、
前記決定部は、前記治具ごとの試験結果の変動を、正常状態における前記複数の治具についての試験結果の変動の平均と比較して差分を算出し、当該差分に基づいて、前記保守タイミングを決定する、
保守プログラム。
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