JPH1054858A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
検査装置及び検査方法Info
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- JPH1054858A JPH1054858A JP8211188A JP21118896A JPH1054858A JP H1054858 A JPH1054858 A JP H1054858A JP 8211188 A JP8211188 A JP 8211188A JP 21118896 A JP21118896 A JP 21118896A JP H1054858 A JPH1054858 A JP H1054858A
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- statistic
- inspection apparatus
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- measured
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 常に安定した検査を可能とする。
【解決手段】 被検査対象ＭＳの特性を特性評価部１で
評価するだけでなく、その実測データ、または所定のマ
スターサンプルを繰り返し測定した結果に基づいて平均
値及びばらつき度合を演算し、初期状態に対する変化量
の大小を判断することで、検査装置ＭＱ自身の精度の劣
化を自己検知部２で検知し、これらの測定結果または自
己検知結果を表示手段３で表示する。
評価するだけでなく、その実測データ、または所定のマ
スターサンプルを繰り返し測定した結果に基づいて平均
値及びばらつき度合を演算し、初期状態に対する変化量
の大小を判断することで、検査装置ＭＱ自身の精度の劣
化を自己検知部２で検知し、これらの測定結果または自
己検知結果を表示手段３で表示する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、各種電子機器の
特性検査を行う検査装置及び検査方法に関し、特に自己
診断により常に安定した検査が可能な検査装置及び検査
方法に関する。
特性検査を行う検査装置及び検査方法に関し、特に自己
診断により常に安定した検査が可能な検査装置及び検査
方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、量産品の特性検査を行う特性検
査装置は、当該装置の開発最終段階で、量産品の機能測
定を一品毎に行い、特性検査装置が正しく検査している
かどうかを知る必要がある。この場合、従来では、被検
査対象の中から単一のマスターサンプルを適当に用意
し、これを１回だけ特性検査してみる。そして、予め設
定しておいたしきい値に対して当該マスターサンプルの
特性検査の実測値を大小比較することにより、当該検査
装置の検査結果に狂いが生じていないか否かを判断して
いた。
査装置は、当該装置の開発最終段階で、量産品の機能測
定を一品毎に行い、特性検査装置が正しく検査している
かどうかを知る必要がある。この場合、従来では、被検
査対象の中から単一のマスターサンプルを適当に用意
し、これを１回だけ特性検査してみる。そして、予め設
定しておいたしきい値に対して当該マスターサンプルの
特性検査の実測値を大小比較することにより、当該検査
装置の検査結果に狂いが生じていないか否かを判断して
いた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述したマスターサン
プルは、量産品からランダムに抽出したものであり、そ
れ自身があるばらつきを持った母集団のなかの１サンプ
ルである。したがって、予め設定しておいたしきい値に
対して、当該マスターサンプルの特性は元々ばらつきを
有している可能性がある。その結果、上述した方法で
は、特性検査装置のしきい値やばらつきの変化について
正確に測定することはできなかった。
プルは、量産品からランダムに抽出したものであり、そ
れ自身があるばらつきを持った母集団のなかの１サンプ
ルである。したがって、予め設定しておいたしきい値に
対して、当該マスターサンプルの特性は元々ばらつきを
有している可能性がある。その結果、上述した方法で
は、特性検査装置のしきい値やばらつきの変化について
正確に測定することはできなかった。
【０００４】しかしながら、一般に、特性検査装置自体
の精度が経時的変化等によって変化することがあり、こ
の場合には、しきい値にある程度の変動が生じたり、機
能測定を正確に行えなくなったりする。その結果、一
旦、良品であるとの検査結果を得たものについて後に不
良品と判断されたり、逆に良品であるのにも拘わらず不
良品と判断されたりする事態が生じるおそれがあった。
したがって、このような特性検査装置自体の精度を、よ
り正確に検知する必要性があった。
の精度が経時的変化等によって変化することがあり、こ
の場合には、しきい値にある程度の変動が生じたり、機
能測定を正確に行えなくなったりする。その結果、一
旦、良品であるとの検査結果を得たものについて後に不
良品と判断されたり、逆に良品であるのにも拘わらず不
良品と判断されたりする事態が生じるおそれがあった。
したがって、このような特性検査装置自体の精度を、よ
り正確に検知する必要性があった。
【０００５】なお、特性検査装置自身が自己判断するも
のとしては例えば特公平６−６０９１８号公報があった
が、これは、使用期間に応じて故障率を演算するもので
あって、過去の多くの故障データを必要としており、膨
大な年月のデータを要する。また、同種の特性検査装置
の故障率を演算しているに過ぎず、個々の特性検査装置
が具体的に故障しているか否かを正確に判断するもので
はない。したがって、特性検査装置の精度を正確に検知
することは必ずしもできなかった。
のとしては例えば特公平６−６０９１８号公報があった
が、これは、使用期間に応じて故障率を演算するもので
あって、過去の多くの故障データを必要としており、膨
大な年月のデータを要する。また、同種の特性検査装置
の故障率を演算しているに過ぎず、個々の特性検査装置
が具体的に故障しているか否かを正確に判断するもので
はない。したがって、特性検査装置の精度を正確に検知
することは必ずしもできなかった。
【０００６】そこで、この発明の課題は、統計的手法に
より、測定値のずれ、測定ばらつき等を自己評価し得る
検査装置及び検査方法を提供することにある。
より、測定値のずれ、測定ばらつき等を自己評価し得る
検査装置及び検査方法を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく、
この発明は、被検査対象の特性検査を行う検査装置であ
って、前記被検査対象の特性を測定する特性測定手段
と、測定された特性に基づいて前記被検査対象が良品で
あるか否かを分別する分別手段と、前記特性測定手段で
の測定値を蓄積記録する記録手段と、前記記録手段に蓄
積記録された測定値の平均値及びばらつき度合の少なく
とも一方の統計量を演算する統計量演算手段と、前記統
計量演算手段で演算された前記統計量と、複数の前記被
検査対象を予め実測しまたは単一の前記被検査対象を複
数回実測することで得られた基準統計量との差を検出す
る統計量誤差検出手段と、前記統計量誤差検出手段で検
出された統計量の差に基づいて当該統計量が予め設定さ
れた所定の許容範囲を越えているか否かを判断する統計
量許容範囲判断手段と、前記統計量許容範囲判断手段に
よって統計量が前記所定の許容範囲を越えていると判断
した際に当該検査装置自体が不良状態である旨を表示し
且つ統計量が前記所定の許容範囲を越えていないと判断
した際に、前記分別手段での分別結果を表示する表示手
段とを備えるものである。
この発明は、被検査対象の特性検査を行う検査装置であ
って、前記被検査対象の特性を測定する特性測定手段
と、測定された特性に基づいて前記被検査対象が良品で
あるか否かを分別する分別手段と、前記特性測定手段で
の測定値を蓄積記録する記録手段と、前記記録手段に蓄
積記録された測定値の平均値及びばらつき度合の少なく
とも一方の統計量を演算する統計量演算手段と、前記統
計量演算手段で演算された前記統計量と、複数の前記被
検査対象を予め実測しまたは単一の前記被検査対象を複
数回実測することで得られた基準統計量との差を検出す
る統計量誤差検出手段と、前記統計量誤差検出手段で検
出された統計量の差に基づいて当該統計量が予め設定さ
れた所定の許容範囲を越えているか否かを判断する統計
量許容範囲判断手段と、前記統計量許容範囲判断手段に
よって統計量が前記所定の許容範囲を越えていると判断
した際に当該検査装置自体が不良状態である旨を表示し
且つ統計量が前記所定の許容範囲を越えていないと判断
した際に、前記分別手段での分別結果を表示する表示手
段とを備えるものである。
【０００８】望ましくは、前記分別手段は、前記統計量
許容範囲判断手段によって、統計量が前記所定の許容範
囲を越えていると判断した際に、分別動作を停止する機
能を有するものである。
許容範囲判断手段によって、統計量が前記所定の許容範
囲を越えていると判断した際に、分別動作を停止する機
能を有するものである。
【０００９】上記構成において、予め初期状態におい
て、複数の前記被検査対象を実測し、その平均値及びば
らつき度合の少なくとも一方を演算して基準統計量を得
ておく。
て、複数の前記被検査対象を実測し、その平均値及びば
らつき度合の少なくとも一方を演算して基準統計量を得
ておく。
【００１０】その後、当該基準統計量の対象とされた前
記被検査対象とは別の被検査対象の検査の際には、前記
特性測定手段で測定した実測データを前記記録手段で蓄
積記録した後、前記実測データの平均値及びばらつき度
合の少なくとも一方の統計量を演算する。そして、演算
された前記統計量と前記基準統計量との差を検出し、前
記統計量の差に基づいて当該統計量が予め設定された所
定の許容範囲を越えているか否かを判断する。
記被検査対象とは別の被検査対象の検査の際には、前記
特性測定手段で測定した実測データを前記記録手段で蓄
積記録した後、前記実測データの平均値及びばらつき度
合の少なくとも一方の統計量を演算する。そして、演算
された前記統計量と前記基準統計量との差を検出し、前
記統計量の差に基づいて当該統計量が予め設定された所
定の許容範囲を越えているか否かを判断する。
【００１１】ここで、前記統計量が前記所定の許容範囲
を越えていると判断した場合には、当該検査装置自体が
不良状態である旨を前記表示手段で表示する。一方、前
記統計量が前記所定の許容範囲を越えていないと判断し
た場合には、前記被検査対象が良品であるか否かを分別
手段で分別しさらに前記分別手段での分別結果を表示手
段で表示する。
を越えていると判断した場合には、当該検査装置自体が
不良状態である旨を前記表示手段で表示する。一方、前
記統計量が前記所定の許容範囲を越えていないと判断し
た場合には、前記被検査対象が良品であるか否かを分別
手段で分別しさらに前記分別手段での分別結果を表示手
段で表示する。
【００１２】あるいは、予め初期状態において、単一の
前記被検査対象を複数回実測し、その平均値及びばらつ
き度合の少なくとも一方を演算して基準統計量を得てお
く。
前記被検査対象を複数回実測し、その平均値及びばらつ
き度合の少なくとも一方を演算して基準統計量を得てお
く。
【００１３】その後、当該基準統計量の対象とされた前
記被検査対象と同一の単一の前記被検査対象を所定回数
連続して繰り返し測定したデータを前記記録手段で蓄積
記録し、蓄積記録されたデータの平均値及びばらつき度
合の少なくとも一方の統計量を演算した後、演算された
前記統計量と前記基準統計量との差を検出する。そし
て、前記統計量の差に基づいて当該統計量が予め設定さ
れた所定の許容範囲を越えているか否かを判断し、前記
統計量が前記所定の許容範囲を越えていると判断した際
には、当該検査装置自体が不良状態である旨を前記表示
手段で表示する。
記被検査対象と同一の単一の前記被検査対象を所定回数
連続して繰り返し測定したデータを前記記録手段で蓄積
記録し、蓄積記録されたデータの平均値及びばらつき度
合の少なくとも一方の統計量を演算した後、演算された
前記統計量と前記基準統計量との差を検出する。そし
て、前記統計量の差に基づいて当該統計量が予め設定さ
れた所定の許容範囲を越えているか否かを判断し、前記
統計量が前記所定の許容範囲を越えていると判断した際
には、当該検査装置自体が不良状態である旨を前記表示
手段で表示する。
【００１４】
｛第１実施形態｝ ＜検査装置の構成＞図１はこの発明の第１実施形態の検
査装置ＭＱを示すブロック図である。この検査装置ＭＱ
は、被検査対象ＭＳの特性を測定し且つ評価する特性評
価部１と、その測定結果に基づいて検査装置ＭＱ自身の
検査精度の劣化を検知する自己検知部２と、これらの測
定結果または自己検知結果を表示する表示手段３とを備
える。
査装置ＭＱを示すブロック図である。この検査装置ＭＱ
は、被検査対象ＭＳの特性を測定し且つ評価する特性評
価部１と、その測定結果に基づいて検査装置ＭＱ自身の
検査精度の劣化を検知する自己検知部２と、これらの測
定結果または自己検知結果を表示する表示手段３とを備
える。
【００１５】特性評価部１は、被検査対象ＭＳの特性を
測定する特性測定手段１１と、その特性測定結果に基づ
き被検査対象ＭＳが合格品か否かを判断して良品と不良
品とを分別し且つ分別結果を表示手段３に表示させる分
別手段１２とを備える。
測定する特性測定手段１１と、その特性測定結果に基づ
き被検査対象ＭＳが合格品か否かを判断して良品と不良
品とを分別し且つ分別結果を表示手段３に表示させる分
別手段１２とを備える。
【００１６】自己検知部２は、特性評価部１の特性測定
手段１１で測定した特性の測定値を記録する記録手段１
４と、記録手段１４に記録された特性の測定値の平均値
を演算する平均値演算手段１５と、平均値演算手段１５
の演算結果に基づいて演算された平均値と予め記録され
た基準平均値との差を検出する平均値誤差検出手段１６
と、平均値誤差検出手段１６で検出された平均値の差が
予め設定された第１の許容範囲を越えているか否かを判
断する平均誤差許容判断手段１７と、記録手段１４に記
録された特性の測定値の分散を演算する分散演算手段１
８と、分散演算手段１８の演算結果に基づいて演算され
た分散と予め設定された基準分散（最大分散Ｓmax）と
の差を検出する分散誤差検出手段１９と、分散誤差検出
手段１９での検出結果に基づいて分散が予め設定された
第２の許容範囲（最大分散Ｓmax）を越えているか否か
を判断する分散許容判断手段２１と、平均誤差許容判断
手段１７及び分散許容判断手段２１の判断結果の少なく
とも一方が予め設定された第１または第２の許容範囲を
越えていると判断した際に、当該検査装置ＭＱ自体が不
良状態である旨を表示手段３に出力報知する出力手段２
２とを備える。
手段１１で測定した特性の測定値を記録する記録手段１
４と、記録手段１４に記録された特性の測定値の平均値
を演算する平均値演算手段１５と、平均値演算手段１５
の演算結果に基づいて演算された平均値と予め記録され
た基準平均値との差を検出する平均値誤差検出手段１６
と、平均値誤差検出手段１６で検出された平均値の差が
予め設定された第１の許容範囲を越えているか否かを判
断する平均誤差許容判断手段１７と、記録手段１４に記
録された特性の測定値の分散を演算する分散演算手段１
８と、分散演算手段１８の演算結果に基づいて演算され
た分散と予め設定された基準分散（最大分散Ｓmax）と
の差を検出する分散誤差検出手段１９と、分散誤差検出
手段１９での検出結果に基づいて分散が予め設定された
第２の許容範囲（最大分散Ｓmax）を越えているか否か
を判断する分散許容判断手段２１と、平均誤差許容判断
手段１７及び分散許容判断手段２１の判断結果の少なく
とも一方が予め設定された第１または第２の許容範囲を
越えていると判断した際に、当該検査装置ＭＱ自体が不
良状態である旨を表示手段３に出力報知する出力手段２
２とを備える。
【００１７】ここで、特性評価部１の分別手段１２は、
自己検知部２の平均誤差許容判断手段１７または分散許
容判断手段２１によって平均値の差または分散が許容で
きない程度に大と判断された場合は、被検査対象ＭＳの
特性の測定を停止する機能を有している。
自己検知部２の平均誤差許容判断手段１７または分散許
容判断手段２１によって平均値の差または分散が許容で
きない程度に大と判断された場合は、被検査対象ＭＳの
特性の測定を停止する機能を有している。
【００１８】また、平均誤差許容判断手段１７または分
散許容判断手段２１での判断時において許容できないと
判断された場合に出力手段２２から表示手段３に出力報
知する情報としては、例えば「エラー：装置の測定誤差
が大で、メンテナンスの必要があります。」といったエ
ラーメッセージが出力されることになり、また許容範囲
内であるときは表示手段３への出力は停止したままとさ
れる。
散許容判断手段２１での判断時において許容できないと
判断された場合に出力手段２２から表示手段３に出力報
知する情報としては、例えば「エラー：装置の測定誤差
が大で、メンテナンスの必要があります。」といったエ
ラーメッセージが出力されることになり、また許容範囲
内であるときは表示手段３への出力は停止したままとさ
れる。
【００１９】なお、これらの特性評価部１及び自己検知
部２は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備える一般的
なマイクロコンピュータチップが使用され、その演算動
作はすべて予め格納されたソフトウェアによって実行さ
れるものである。
部２は、ＣＰＵ、ＲＯＭおよびＲＡＭ等を備える一般的
なマイクロコンピュータチップが使用され、その演算動
作はすべて予め格納されたソフトウェアによって実行さ
れるものである。
【００２０】また、平均値誤差検出手段１６及び分散誤
差検出手段１９で使用する基準平均値及び基準分散は、
量産当初の一定期間内の測定値が記録手段１４に記録さ
れて平均値演算手段１５及び分散演算手段１８により演
算された初期演算値が使用される。
差検出手段１９で使用する基準平均値及び基準分散は、
量産当初の一定期間内の測定値が記録手段１４に記録さ
れて平均値演算手段１５及び分散演算手段１８により演
算された初期演算値が使用される。
【００２１】＜動作＞上記の検査装置ＭＱの被検査対象
ＭＳの例として車両搭載用のＥＣＵ３０を図２に示す。
このＥＣＵ３０は、ドアを開けてドアスイッチ３４がＯ
Ｎになると、制御部３６からの指令でＮＰＮトランジス
タ３５がオン動作されて室内灯３１が点灯し、逆にドア
スイッチ３４を切ると、即ちドアを閉じると、同じく制
御部３６からの指令でＮＰＮトランジスタ３５の動作が
制御されて、時間Ｔの間、室内灯３１の点灯状態を維持
した後、消灯するという機能を有している。この消灯時
の時間Ｔの制御は、ＥＣＵ３０内の計時手段（タイマ
ー）によって行われる。
ＭＳの例として車両搭載用のＥＣＵ３０を図２に示す。
このＥＣＵ３０は、ドアを開けてドアスイッチ３４がＯ
Ｎになると、制御部３６からの指令でＮＰＮトランジス
タ３５がオン動作されて室内灯３１が点灯し、逆にドア
スイッチ３４を切ると、即ちドアを閉じると、同じく制
御部３６からの指令でＮＰＮトランジスタ３５の動作が
制御されて、時間Ｔの間、室内灯３１の点灯状態を維持
した後、消灯するという機能を有している。この消灯時
の時間Ｔの制御は、ＥＣＵ３０内の計時手段（タイマ
ー）によって行われる。
【００２２】なお、このＥＣＵ３０に対して、検査装置
ＭＱは、ＮＰＮトランジスタ３５と車両室内灯３１との
間の接続点３３に接続されるものとする。
ＭＱは、ＮＰＮトランジスタ３５と車両室内灯３１との
間の接続点３３に接続されるものとする。
【００２３】このようなＥＣＵ３０について、図３のよ
うに、接続点３３へ印加する電圧レベルＶを検査する。
うに、接続点３３へ印加する電圧レベルＶを検査する。
【００２４】一般に、製品には特性についてのばらつき
があるが、統計的には特性の分布はほぼ一様な分布とな
るはずである。したがって、初期状態に対して特性測定
の精度が変化しない限り、実測データの発生頻度は図５
中の曲線のような所定の分布に近似するはずである。逆
に、初期状態に対して特性測定の精度が変化すると、特
性測定結果は、図６のように、実測データＢｒ１，Ｂｒ
２の平均値Ｖ1，Ｖ2が初期状態の分布Ｂｐの平均値（基
準平均値）ＶQに対して変化したり、または図７のよう
に、実測データＢｒ１，Ｂｒ２，…，Ｂｒｎの分散Ｓｖ
1,Ｓｖ2，…，Ｓｖnが初期状態の分布Ｂｐの分散（基準
分散）ＳｖQに対して変化したりする。このことを利用
し、この実施形態では、実際の特性評価に利用した実測
データをそのまま利用することで、検査装置ＭＱ自体の
自己評価をも同時に行う。
があるが、統計的には特性の分布はほぼ一様な分布とな
るはずである。したがって、初期状態に対して特性測定
の精度が変化しない限り、実測データの発生頻度は図５
中の曲線のような所定の分布に近似するはずである。逆
に、初期状態に対して特性測定の精度が変化すると、特
性測定結果は、図６のように、実測データＢｒ１，Ｂｒ
２の平均値Ｖ1，Ｖ2が初期状態の分布Ｂｐの平均値（基
準平均値）ＶQに対して変化したり、または図７のよう
に、実測データＢｒ１，Ｂｒ２，…，Ｂｒｎの分散Ｓｖ
1,Ｓｖ2，…，Ｓｖnが初期状態の分布Ｂｐの分散（基準
分散）ＳｖQに対して変化したりする。このことを利用
し、この実施形態では、実際の特性評価に利用した実測
データをそのまま利用することで、検査装置ＭＱ自体の
自己評価をも同時に行う。
【００２５】まず、図４中のステップＳ１において、Ｅ
ＣＵ３０の製造物毎の実測データを特性評価部１の特性
測定手段１１によって収集するとともに、自己検知部２
の記録手段１４に記録する。このときに次表のような実
測値Ｖi，Ｖii，〜，Ｖｎが得られたとする。
ＣＵ３０の製造物毎の実測データを特性評価部１の特性
測定手段１１によって収集するとともに、自己検知部２
の記録手段１４に記録する。このときに次表のような実
測値Ｖi，Ｖii，〜，Ｖｎが得られたとする。
【００２６】
【表１】
【００２７】この場合の実測値Ｖi，Ｖii，〜，Ｖｎの
分布は図５のようになり、この分布から電圧レベルの平
均値Ｖav及び分散Ｓを求めることができる。
分布は図５のようになり、この分布から電圧レベルの平
均値Ｖav及び分散Ｓを求めることができる。
【００２８】いま、所定のロット数だけ実測データが蓄
積されたとし、図６及び図７のように平均値演算手段１
５で平均値Ｖavを、分散演算手段１８で分散Ｓをそれぞ
れ得たとする（ステップＳ２）。このときの演算式は次
の通りである。
積されたとし、図６及び図７のように平均値演算手段１
５で平均値Ｖavを、分散演算手段１８で分散Ｓをそれぞ
れ得たとする（ステップＳ２）。このときの演算式は次
の通りである。
【００２９】 Ｖav＝(Ｖi＋Ｖii＋Ｖiii＋…＋Ｖｎ)／ｎ …（１） Ｓ＝[{(Ｖi−Ｖav)2＋…＋(Ｖｎ−Ｖav)2}／(ｎ−１)]1/2…（２） 今、この平均値Ｖav及び分散Ｓとして、ある機会（デー
タＢｒ１）には平均値Ｖ1，分散Ｓｖ1を得、また別の機
会（データＢｒ２）には平均値Ｖ2，分散Ｓｖ2を、さら
に別の機会（データＢｒｎ）には平均値Ｖn（図示せ
ず），分散Ｓｖnを得たものとする。
タＢｒ１）には平均値Ｖ1，分散Ｓｖ1を得、また別の機
会（データＢｒ２）には平均値Ｖ2，分散Ｓｖ2を、さら
に別の機会（データＢｒｎ）には平均値Ｖn（図示せ
ず），分散Ｓｖnを得たものとする。
【００３０】それぞれの機会につき、ステップＳ３にお
いて、演算された平均値Ｖ1，Ｖ2（，…，Ｖn）と予め
記録された基準平均値ＶQとの差Δｖ1，Δｖ2（，…，
Δｖn）を平均値誤差検出手段１６によって求めると共
に、演算された分散Ｓｖ1,Ｓｖ2，…，Ｓｖnと予め記録
された許容可能な最大分散Ｓmaxとの差ΔＳｖ1，ΔＳｖ
2，…，ΔＳｖnを分散誤差検出手段１９によって求め
る。そして、引き続き、ステップＳ４において、平均値
の差Δｖ1，Δｖ2（，…，Δｖn）が予め設定された第
１の許容範囲Ｌｖを越えているか否かを平均誤差許容判
断手段１７で判断すると共に、分散の差ΔＳｖ1，ΔＳ
ｖ2，…，ΔＳｖnが負の値であるか否か、すなわち分散
Ｓｖ1,Ｓｖ2，…，Ｓｖnが予め設定された最大分散Ｓma
xを越えているか否かを分散許容判断手段２１で判断す
る。
いて、演算された平均値Ｖ1，Ｖ2（，…，Ｖn）と予め
記録された基準平均値ＶQとの差Δｖ1，Δｖ2（，…，
Δｖn）を平均値誤差検出手段１６によって求めると共
に、演算された分散Ｓｖ1,Ｓｖ2，…，Ｓｖnと予め記録
された許容可能な最大分散Ｓmaxとの差ΔＳｖ1，ΔＳｖ
2，…，ΔＳｖnを分散誤差検出手段１９によって求め
る。そして、引き続き、ステップＳ４において、平均値
の差Δｖ1，Δｖ2（，…，Δｖn）が予め設定された第
１の許容範囲Ｌｖを越えているか否かを平均誤差許容判
断手段１７で判断すると共に、分散の差ΔＳｖ1，ΔＳ
ｖ2，…，ΔＳｖnが負の値であるか否か、すなわち分散
Ｓｖ1,Ｓｖ2，…，Ｓｖnが予め設定された最大分散Ｓma
xを越えているか否かを分散許容判断手段２１で判断す
る。
【００３１】平均値の差Δｖ1，Δｖ2（，…，Δｖn）
または分散Ｓｖ1，Ｓｖ2，…，Ｓｖnが許容できる程度
すなわち各許容範囲Ｌｖ，Ｓmaxより小であると判断さ
れた場合は、引き続き特性評価部１の分別手段１２にそ
の旨を伝達して分別手段１２を機能させ、当該被検査対
象について良品と不良品とを分別し、その分別結果を表
示手段３に表示した上で、検査を続行する（ステップＳ
５）。このとき、出力手段２２は動作せず、表示手段３
にはエラーメッセージが表示されない。例えば図６及び
図７のいずれの場合も、Ｂｒ１の平均の差Δｖ1及び分
散Ｓｖ1が許容範囲Ｌｖ及び最大分散Ｓmaxより小さいの
で許容される。
または分散Ｓｖ1，Ｓｖ2，…，Ｓｖnが許容できる程度
すなわち各許容範囲Ｌｖ，Ｓmaxより小であると判断さ
れた場合は、引き続き特性評価部１の分別手段１２にそ
の旨を伝達して分別手段１２を機能させ、当該被検査対
象について良品と不良品とを分別し、その分別結果を表
示手段３に表示した上で、検査を続行する（ステップＳ
５）。このとき、出力手段２２は動作せず、表示手段３
にはエラーメッセージが表示されない。例えば図６及び
図７のいずれの場合も、Ｂｒ１の平均の差Δｖ1及び分
散Ｓｖ1が許容範囲Ｌｖ及び最大分散Ｓmaxより小さいの
で許容される。
【００３２】一方、平均値の差Δｖ1，Δｖ2（，…，Δ
ｖn）または分散Ｓｖ1，Ｓｖ2，…，Ｓｖnが許容できな
い程度すなわち各許容範囲Ｌｖ，Ｓmaxより大であると
判断された場合は、特性評価部１の分別手段１２にその
旨を伝達して分別手段１２を停止するとともに、表示手
段３に信号を送信して所定のエラーメッセージを表示さ
せる（ステップＳ６）。例えば図６の場合、Ｂｒ２の平
均の差Δｖ2が許容範囲Ｌｖより大きいので許容されな
い。また、図７の場合、データＢｒ１，Ｂｒ２は最大分
散Ｓmaxより小さいため許容されるが、データＢｒｎは
最大分散Ｓmaxより大であるため許容されない。この場
合、作業者が適正なメンテナンスを行うか、検査装置Ｍ
Ｑ自体を交換することになる。
ｖn）または分散Ｓｖ1，Ｓｖ2，…，Ｓｖnが許容できな
い程度すなわち各許容範囲Ｌｖ，Ｓmaxより大であると
判断された場合は、特性評価部１の分別手段１２にその
旨を伝達して分別手段１２を停止するとともに、表示手
段３に信号を送信して所定のエラーメッセージを表示さ
せる（ステップＳ６）。例えば図６の場合、Ｂｒ２の平
均の差Δｖ2が許容範囲Ｌｖより大きいので許容されな
い。また、図７の場合、データＢｒ１，Ｂｒ２は最大分
散Ｓmaxより小さいため許容されるが、データＢｒｎは
最大分散Ｓmaxより大であるため許容されない。この場
合、作業者が適正なメンテナンスを行うか、検査装置Ｍ
Ｑ自体を交換することになる。
【００３３】以上は、図３中の電圧レベルＶに関する測
定の例であるが、ドアスイッチ３４をＯＦＦした時点か
ら車両室内灯３１が消灯するまでの遅延時間Ｔ等、さら
に他の伝送部品の異なった機能特性の評価に関しても、
全く同一の手順で特性測定及び精度劣化の自己検知を行
えばよい。
定の例であるが、ドアスイッチ３４をＯＦＦした時点か
ら車両室内灯３１が消灯するまでの遅延時間Ｔ等、さら
に他の伝送部品の異なった機能特性の評価に関しても、
全く同一の手順で特性測定及び精度劣化の自己検知を行
えばよい。
【００３４】以上のように、製品の特性評価のために測
定した実測データをそのまま利用するだけで、検査装置
ＭＱ自身の自己評価をも併せて容易に行うことができ
る。
定した実測データをそのまま利用するだけで、検査装置
ＭＱ自身の自己評価をも併せて容易に行うことができ
る。
【００３５】｛第２実施形態｝この発明の第２実施形態
は、第１実施形態と同一の構成の検査装置ＭＱを使用す
るものであるが、第１実施形態では特性評価のために測
定した実測データを直接使用して、検査装置ＭＱ自身の
自己評価を行っていたのに対し、この実施形態では、自
己評価の対象となる単一のマスターサンプルを決めてお
き、同じマスターサンプルを連続して繰り返し測定する
ことで、測定結果に変化がないか否かを検出するもので
ある。
は、第１実施形態と同一の構成の検査装置ＭＱを使用す
るものであるが、第１実施形態では特性評価のために測
定した実測データを直接使用して、検査装置ＭＱ自身の
自己評価を行っていたのに対し、この実施形態では、自
己評価の対象となる単一のマスターサンプルを決めてお
き、同じマスターサンプルを連続して繰り返し測定する
ことで、測定結果に変化がないか否かを検出するもので
ある。
【００３６】この実施形態の動作を図８のフローチャー
トに従って説明する。まず、ステップＴ１において、所
定のマスターサンプルを用意し、このマスターサンプル
について、特性評価部１の特性測定手段１１によって、
予め定められた十分な回数ｎだけ連続して繰り返し所定
の特性を測定し、その測定結果を自己検知部２の記録手
段１４に記録する。
トに従って説明する。まず、ステップＴ１において、所
定のマスターサンプルを用意し、このマスターサンプル
について、特性評価部１の特性測定手段１１によって、
予め定められた十分な回数ｎだけ連続して繰り返し所定
の特性を測定し、その測定結果を自己検知部２の記録手
段１４に記録する。
【００３７】所定のロット数だけ実測データが蓄積され
たら、前述した数式（１）（２）（図６及び図７参照）
に従って、平均値演算手段１５及び分散演算手段１８で
平均値Ｖav及び分散Ｓをそれぞれ演算する（ステップＴ
２）。
たら、前述した数式（１）（２）（図６及び図７参照）
に従って、平均値演算手段１５及び分散演算手段１８で
平均値Ｖav及び分散Ｓをそれぞれ演算する（ステップＴ
２）。
【００３８】ステップＴ３において、演算された平均値
Ｖavと予め記録された基準平均値ＶQとの差Δｖを平均
値誤差検出手段１６によって求めると共に、演算された
分散Ｓと予め記録された最大分散Ｓmaxとの差ΔＳｖを
分散誤差検出手段１９によって求める。そして、ステッ
プＴ４において、引き続き、平均値の差Δｖが予め設定
された第１の許容範囲Ｌｖを越えているか否かを平均誤
差許容判断手段１７で判断すると共に、分散の差ΔＳｖ
が負の値であるか否か、すなわち分散Ｓが予め設定され
た最大分散Ｓmaxを越えているか否かを分散許容判断手
段２１で判断する。
Ｖavと予め記録された基準平均値ＶQとの差Δｖを平均
値誤差検出手段１６によって求めると共に、演算された
分散Ｓと予め記録された最大分散Ｓmaxとの差ΔＳｖを
分散誤差検出手段１９によって求める。そして、ステッ
プＴ４において、引き続き、平均値の差Δｖが予め設定
された第１の許容範囲Ｌｖを越えているか否かを平均誤
差許容判断手段１７で判断すると共に、分散の差ΔＳｖ
が負の値であるか否か、すなわち分散Ｓが予め設定され
た最大分散Ｓmaxを越えているか否かを分散許容判断手
段２１で判断する。
【００３９】このとき、平均値の差Δｖまたは分散Ｓが
許容できる程度すなわち各許容範囲Ｌｖ，Ｓmaxより小
であると判断された場合は、出力手段２２は動作せず、
表示手段３にはエラーメッセージが表示されない。
許容できる程度すなわち各許容範囲Ｌｖ，Ｓmaxより小
であると判断された場合は、出力手段２２は動作せず、
表示手段３にはエラーメッセージが表示されない。
【００４０】一方、平均値の差Δｖまたは分散Ｓが許容
できない程度すなわち許容範囲Ｌｖ，Ｓmaxより大であ
ると判断された場合は、表示手段３に信号を送信して所
定のエラーメッセージを表示させる（ステップＴ５）。
できない程度すなわち許容範囲Ｌｖ，Ｓmaxより大であ
ると判断された場合は、表示手段３に信号を送信して所
定のエラーメッセージを表示させる（ステップＴ５）。
【００４１】このように、所定のマスターサンプルを使
用することで、検査装置ＭＱ自身の自己評価を容易に行
うことができる。
用することで、検査装置ＭＱ自身の自己評価を容易に行
うことができる。
【００４２】なお、上記の各実施形態では、実測データ
として平均値及び分散を測定しているが、いずれか一方
のみを測定するものであってもよく、あるいは、データ
のばらつき度合として分散に代えて標準偏差等の他の種
類のパラメータを演算するようにしてもよい。
として平均値及び分散を測定しているが、いずれか一方
のみを測定するものであってもよく、あるいは、データ
のばらつき度合として分散に代えて標準偏差等の他の種
類のパラメータを演算するようにしてもよい。
【００４３】
【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、検査に
当たって、平均値またはばらつき度合といった統計量に
許容できない程度の変化が生じた場合に、製品の特性評
価だけでなく、検査装置自身の自己評価をも併せて自動
的に行うことができる。したがって、常に安定した検査
が可能となる。
当たって、平均値またはばらつき度合といった統計量に
許容できない程度の変化が生じた場合に、製品の特性評
価だけでなく、検査装置自身の自己評価をも併せて自動
的に行うことができる。したがって、常に安定した検査
が可能となる。
【００４４】特に、請求項２に記載の発明によれば、統
計量が所定の許容範囲を越えていると判断した場合に分
別動作を停止するよう構成されているので、検査装置が
誤った検査結果を出力するのを防止できる。
計量が所定の許容範囲を越えていると判断した場合に分
別動作を停止するよう構成されているので、検査装置が
誤った検査結果を出力するのを防止できる。
【００４５】また、請求項３に記載の発明によれば、被
検査対象の特性検査のために測定した実測データをその
まま利用するだけで、検査装置自身の自己評価をも併せ
て自動的に行うことができるので、検査装置自身の自己
評価のための特別な作業を要しない分、労力を軽減でき
る。
検査対象の特性検査のために測定した実測データをその
まま利用するだけで、検査装置自身の自己評価をも併せ
て自動的に行うことができるので、検査装置自身の自己
評価のための特別な作業を要しない分、労力を軽減でき
る。
【００４６】あるいは、請求項４に記載の発明によれ
ば、検査装置の自己評価を行う際、同一のマスターサン
プルを所定回数連続して繰り返し測定し、その測定結果
に基づいて検査装置の自己評価を行っているので、かか
る検査装置自身に何らかの差が生じた場合に自己評価を
極めて正確に行うことができるという効果がある。
ば、検査装置の自己評価を行う際、同一のマスターサン
プルを所定回数連続して繰り返し測定し、その測定結果
に基づいて検査装置の自己評価を行っているので、かか
る検査装置自身に何らかの差が生じた場合に自己評価を
極めて正確に行うことができるという効果がある。
【図１】この発明の検査装置を示すブロック図である。
【図２】被検査対象としての装置例を示す回路概略図で
ある。
ある。
【図３】被検査対象としての装置例の動作を示す図であ
る。
る。
【図４】この発明の第１実施形態の検査装置の動作を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図５】検査装置の実測データの分布を示す図である。
【図６】検査装置の実測データの平均値が初期状態に比
べて変化した状態を示す図である。
べて変化した状態を示す図である。
【図７】検査装置の実測データのばらつき度合が初期状
態に比べて変化した状態を示す図である。
態に比べて変化した状態を示す図である。
【図８】この発明の第２実施形態の検査装置の動作を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
１ 特性評価部 ２ 自己検知部 ３ 表示手段 １１ 特性測定手段 １２ 分別手段 １４ 記録手段 １５ 平均値演算手段 １６ 平均値誤差検出手段 １７ 平均誤差許容判断手段 １８ 分散演算手段 １９ 分散誤差検出手段 ２１ 分散許容判断手段 ２２ 出力手段 ３０ ＥＣＵ ３１ 室内灯 ３２ 駆動部 ３３ 制御部 ３３ａ ＣＰＵ ３３ｂ 接続点 ３４ ドアスイッチ ３５ ＰＮＰトランジスタ ＭＱ 検査装置 ＭＳ 被検査対象
Claims (4)
- 【請求項１】 被検査対象の特性検査を行う検査装置で
あって、 前記被検査対象の特性を測定する特性測定手段と、 測定された特性に基づいて、前記被検査対象が良品であ
るか否かを分別する分別手段と、 前記特性測定手段での測定値を蓄積記録する記録手段
と、 前記記録手段に蓄積記録された測定値の平均値及びばら
つき度合の少なくとも一方の統計量を演算する統計量演
算手段と、 前記統計量演算手段で演算された前記統計量と、複数の
前記被検査対象を予め実測しまたは単一の前記被検査対
象を複数回実測することで得られた基準統計量との差を
検出する統計量誤差検出手段と、 前記統計量誤差検出手段で検出された統計量の差に基づ
いて当該統計量が予め設定された所定の許容範囲を越え
ているか否かを判断する統計量許容範囲判断手段と、 前記統計量許容範囲判断手段によって、統計量が前記所
定の許容範囲を越えていると判断した際に、当該検査装
置自体が不良状態である旨を表示し、且つ、統計量が前
記所定の許容範囲を越えていないと判断した際に、前記
分別手段での分別結果を表示する表示手段とを備える検
査装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の検査装置であって、前
記分別手段は、前記統計量許容範囲判断手段によって、
統計量が前記所定の許容範囲を越えていると判断した際
に、分別動作を停止する機能を有する検査装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の検査装
置を使用する検査方法であって、 予め初期状態において、複数の前記被検査対象を実測
し、その平均値及びばらつき度合の少なくとも一方を演
算して基準統計量を得る工程と、 その後、当該基準統計量の対象とされた前記被検査対象
とは別の被検査対象の検査の際に、前記特性測定手段で
測定した実測データを前記記録手段で蓄積記録する工程
と、 前記記録手段に蓄積記録された前記実測データの平均値
及びばらつき度合の少なくとも一方の統計量を演算する
工程と、 演算された前記統計量と前記基準統計量との差を検出す
る工程と、 前記統計量の差に基づいて当該統計量が予め設定された
所定の許容範囲を越えているか否かを判断する工程と、 前記統計量が前記所定の許容範囲を越えていると判断し
た場合に、当該検査装置自体が不良状態である旨を前記
表示手段で表示し、前記統計量が前記所定の許容範囲を
越えていないと判断した場合に、前記被検査対象が良品
であるか否かを分別手段で分別しさらに前記分別手段で
の分別結果を表示手段で表示する工程とを備える検査方
法。 - 【請求項４】 請求項１または請求項２に記載の検査装
置を使用する検査方法であって、 予め初期状態において、単一の前記被検査対象を複数回
実測し、その平均値及びばらつき度合の少なくとも一方
を演算して基準統計量を得る工程と、 その後に、当該基準統計量の対象とされた前記被検査対
象と同一の単一の前記被検査対象を所定回数連続して繰
り返し測定したデータを前記記録手段で蓄積記録する工
程と、 前記記録手段に蓄積記録されたデータの平均値及びばら
つき度合の少なくとも一方の統計量を演算する工程と、 演算された前記統計量と前記基準統計量との差を検出す
る工程と、 前記統計量の差に基づいて当該統計量が予め設定された
所定の許容範囲を越えているか否かを判断する工程と、 前記統計量が前記所定の許容範囲を越えていると判断し
た際に、当該検査装置自体が不良状態である旨を前記表
示手段で表示する工程とを備える検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8211188A JPH1054858A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 検査装置及び検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8211188A JPH1054858A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 検査装置及び検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1054858A true JPH1054858A (ja) | 1998-02-24 |
Family
ID=16601866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8211188A Pending JPH1054858A (ja) | 1996-08-09 | 1996-08-09 | 検査装置及び検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1054858A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007521842A (ja) * | 2003-09-23 | 2007-08-09 | ニューロコム インターナショナル インコーポレイテッド | スクリーニングテストの施行においてエラーを減らすための方法および装置 |
| JP2007248200A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Nec Electronics Corp | 半導体試験装置の保守システムおよび保守方法 |
| WO2021065086A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 株式会社アドバンテスト | 保守装置、保守方法、および、保守プログラム |
-
1996
- 1996-08-09 JP JP8211188A patent/JPH1054858A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007521842A (ja) * | 2003-09-23 | 2007-08-09 | ニューロコム インターナショナル インコーポレイテッド | スクリーニングテストの施行においてエラーを減らすための方法および装置 |
| JP2007248200A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Nec Electronics Corp | 半導体試験装置の保守システムおよび保守方法 |
| WO2021065086A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 株式会社アドバンテスト | 保守装置、保守方法、および、保守プログラム |
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