JP7233154B2 - wire saw - Google Patents

wire saw Download PDF

Info

Publication number
JP7233154B2
JP7233154B2 JP2019068297A JP2019068297A JP7233154B2 JP 7233154 B2 JP7233154 B2 JP 7233154B2 JP 2019068297 A JP2019068297 A JP 2019068297A JP 2019068297 A JP2019068297 A JP 2019068297A JP 7233154 B2 JP7233154 B2 JP 7233154B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
work
arm
link
driven gear
wire saw
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2019068297A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2020163543A (en
Inventor
久雄 佐々木
史朗 村井
知之 河津
哲也 中村
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Komatsu NTC Ltd
Original Assignee
Komatsu NTC Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Komatsu NTC Ltd filed Critical Komatsu NTC Ltd
Priority to JP2019068297A priority Critical patent/JP7233154B2/en
Priority to CN202010196784.5A priority patent/CN111745220B/en
Publication of JP2020163543A publication Critical patent/JP2020163543A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP7233154B2 publication Critical patent/JP7233154B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D49/00—Machines or devices for sawing with straight reciprocating saw blades, e.g. hacksaws
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D51/00—Sawing machines or sawing devices working with straight blades, characterised only by constructional features of particular parts; Carrying or attaching means for tools, covered by this subclass, which are connected to a carrier at both ends
    • B23D51/04—Sawing machines or sawing devices working with straight blades, characterised only by constructional features of particular parts; Carrying or attaching means for tools, covered by this subclass, which are connected to a carrier at both ends of devices for feeding, positioning, clamping, or rotating work
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D59/00—Accessories specially designed for sawing machines or sawing devices

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)

Description

本発明は、ワーク送り機構を備えたワイヤソーに関する。 The present invention relates to a wire saw provided with a work feeding mechanism.

一般に、半導体材料や磁性材料等のワークをワイヤで切断するワイヤソーは、ワークの加工が行われる加工位置と、ワークの着脱が行われるワーク交換位置と、にワークを送るワーク送り機構（ワーク支持装置）を備えている（例えば、特許文献１参照）。 In general, a wire saw that cuts a work such as a semiconductor material or a magnetic material with a wire has a work feed mechanism (work support device) that feeds the work to a processing position where the work is processed and a work exchange position where the work is detached and removed. ) (see, for example, Patent Document 1).

特許文献１に記載のワイヤソーのワーク支持装置では、機台に設けられた回転駆動手段と、回転駆動手段によって回動するスイングアームと、スイングアームの先端に設置されてワークを保持するワークホルダと、を備えている。 The work support device for a wire saw described in Patent Document 1 includes a rotation drive means provided on a machine base, a swing arm rotated by the rotation drive means, and a work holder installed at the tip of the swing arm to hold the work. , is equipped with

特開平７－２３７１０９号公報JP-A-7-237109

しかし、特許文献１に記載のワイヤソーのワーク支持装置では、スイングアームによってワークを移動させると、ワークの姿勢が、取り付け位置・取り外し位置のときの姿勢と、切断位置のときの姿勢と、で大きく（１８０°）変化する。このため、ワーク（ウエハ）は、切断後に取り付け位置・取り外し位置へ移動中に、割れることがあった。 However, in the work supporting device for the wire saw described in Patent Document 1, when the work is moved by the swing arm, the work posture differs significantly between the mounting position/removing position and the cutting position. (180°) changes. For this reason, the workpiece (wafer) may break while being moved to the attachment position/removal position after cutting.

そこで、本発明は、前記した問題点を解決して、ワークを加工位置とワーク交換位置とに移動させた際に、ワークの姿勢を変化させずに割れないように移動させることができるワイヤソーを提供することを課題とする。 Therefore, the present invention solves the above-described problems, and provides a wire saw that can move a work without changing its posture and cracking when the work is moved between a machining position and a work exchange position. The task is to provide

前記課題を解決するため、本発明は、ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、前記ワーク送り機構は、前記ワークを取り付けるワーク治具と、前記ワーク治具に設けられたリンクと、前記リンクの一端側に回動自在に連結された第１アームと、前記リンクの他端側に回動自在に連結された第２アームと、前記第１アーム及び前記第２アームを回動させる駆動手段と、を備え、前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides a wire saw provided with a work feed mechanism for moving a work between a machining position where the work is cut by a wire and a work exchange position where the work is exchanged. , the work feed mechanism includes a work jig to which the work is attached, a link provided on the work jig, a first arm rotatably connected to one end of the link, and the other end of the link. and a driving means for rotating the first arm and the second arm , wherein the first arm, the second arm, and the link are: A link mechanism is configured, and the link and the work jig are characterized by maintaining a vertical state even when the link mechanism is displaced.

また、本発明は、ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、前記ワーク送り機構は、モータによって回転駆動される駆動歯車と、前記駆動歯車の回転によって駆動される第１従動歯車及び第２従動歯車と、前記第１従動歯車の回転によって回動される第１アームと、前記第２従動歯車の回転によって回動される第２アームと、前記第１アームの先端部と前記第２アームの先端部とを回動自在に連結したリンクと、前記リンクに設けられ、前記ワークを取り付けるワーク治具と、を備え、前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることを特徴とする。 The present invention also provides a wire saw comprising a work feed mechanism for moving a work between a machining position where the work is cut by a wire and a work exchange position where the work is exchanged, wherein the work feed mechanism includes a drive gear rotationally driven by a motor, a first driven gear and a second driven gear driven by the rotation of the drive gear, a first arm rotated by the rotation of the first driven gear, and a second arm that is rotated by the rotation of the second driven gear; a link that rotatably connects the distal end portion of the first arm and the distal end portion of the second arm; wherein the first arm, the second arm, and the link constitute a link mechanism, and the link and the work jig are perpendicular even if the link mechanism is displaced. It is characterized by maintaining a state.

本発明は、ワークを加工位置とワーク交換位置とに移動させた際に、ワークの姿勢を変化させずに割れないように移動させることができるワイヤソーを提供することができる。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can provide a wire saw that can move a work between a machining position and a work exchange position without changing the posture of the work and without cracking the work.

本発明の実施形態に係るワイヤソーを示す図であり、（ａ）はワークをワーク交換位置に配置したときの状態を示す要部概略斜視図、（ｂ）は、ワークをワーク加工位置に配置するときの状態を示す要部概略斜視図である。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram showing a wire saw according to an embodiment of the present invention, in which (a) is a schematic perspective view of essential parts showing a state when a work is placed at a work exchange position, and (b) is a view with a work placed at a work processing position; It is a principal part schematic perspective view which shows the state of time. ワーク送り機構を示す要部概略拡大側面図である。FIG. 2 is a schematic enlarged side view of a main part showing a work feeding mechanism; ワーク送り機構を示す要部概略拡大正面図である。FIG. 2 is a schematic enlarged front view of a main part showing a work feeding mechanism;

本発明の実施形態に係るワイヤソーを図１～図３を参照して説明する。
本実施形態において、図１に示す仮置台１１がある方向を前（Ｆ）、仮置台１１の後方向を後（Ｂ）、鉛直上方側を上（Ｕ）、鉛直下方側を下（Ｄ）、図面左方向を左（Ｌ）、図面右方向を右（Ｒ）として適宜説明する。 A wire saw according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG.
In the present embodiment, the direction in which the temporary table 11 is located is forward (F), the rearward direction of the temporary table 11 is backward (B), the vertically upper side is upward (U), and the vertically downward side is downward (D). , the left direction in the drawing will be referred to as left (L), and the right direction in the drawing will be referred to as right (R).

まず、ワイヤソー１を説明する前に、ワイヤソー１に使用されるワークＷについて説明する。
また、ワイヤソー１は、図３に示すように、略左右対称に形成されているため、適宜その一方を説明して他方の説明を省略する。 First, before describing the wire saw 1, the work W used for the wire saw 1 will be described.
Also, as shown in FIG. 3, the wire saw 1 is formed substantially symmetrically, so one of them will be explained as appropriate and the explanation of the other will be omitted.

＜ワーク＞
図１に示すように、ワークＷは、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料から成る。ワークＷは、ワイヤソー１に配置された加工装置３（図２参照）のワイヤ３３に押し当てることで切削して切断される。 <Work>
As shown in FIG. 1, the work W is made of a hard and brittle material such as a semiconductor material, a magnetic material, or ceramic. The work W is cut by being pressed against a wire 33 of a processing device 3 (see FIG. 2) arranged on the wire saw 1 to be cut.

＜ワイヤソー＞
図２に示すワイヤソー１は、加工装置３のワイヤ３３によってワークＷを切断する切断装置である。図１に示すように、ワイヤソー１は、仮置台１１と、基台１２と、支持部１３と、クランプ装置２と、加工装置３と、ワーク送り機構４と、を主に備えて構成されている。 <Wire saw>
A wire saw 1 shown in FIG. 2 is a cutting device that cuts a work W with a wire 33 of a processing device 3 . As shown in FIG. 1, the wire saw 1 mainly includes a temporary table 11, a base 12, a support portion 13, a clamping device 2, a processing device 3, and a work feeding mechanism 4. there is

＜仮置台＞
仮置台１１は、未加工のワークＷを載置面に直接触れないように仮置きしたり、加工完了後のワークＷを載置面に直接触れないように載置したりするための載置台である。仮置台１１は、ワイヤソー１の加工室外の前側に配置されている。 <Temporary stand>
The temporary placement table 11 is a placement table for temporarily placing an unprocessed work W so as not to directly touch the placement surface, or for placing a processed work W so as not to directly touch the placement surface. is. The temporary placement table 11 is arranged on the front side outside the processing chamber of the wire saw 1 .

＜クランプ装置＞
図３に示すように、クランプ装置２は、加工装置３でワークＷを加工する際に、加工室に搬入された未加工のワークＷをクランプするための保持機構である。つまり、クランプ装置２は、加工室外のワーク交換位置Ｐ２に搬送された未加工のワークＷをクランプしてから、そのワークＷを加工室の加工位置Ｐ１に搬入して加工装置３のワイヤ３３に押し当てて加工し、加工完了後のワークＷをワーク交換位置Ｐ２でアンクランプさせるまで、ワークＷを保持する。 <Clamp device>
As shown in FIG. 3 , the clamping device 2 is a holding mechanism for clamping an unprocessed work W brought into the processing chamber when processing the work W by the processing device 3 . That is, the clamping device 2 clamps the unprocessed work W transported to the work exchange position P2 outside the processing chamber, and then carries the work W to the processing position P1 in the processing chamber to attach it to the wire 33 of the processing device 3. The work W is pressed and processed, and the work W after the completion of processing is held until it is unclamped at the work exchange position P2.

クランプ装置２は、複数のクランプ部材２５と、複数（例えば、４つ）のクランプ部材２５を保持したワーク保持部材２６と、備えている。 The clamping device 2 includes a plurality of clamping members 25 and a workpiece holding member 26 that holds a plurality of (for example, four) clamping members 25 .

ワークＷの上面には、ガラスプレート２１、金属プレート２２を介在して金属製のワーク治具２３が着脱可能にボルト締めされている。ワーク治具２３の上面には、複数の被クランプ部材（図示省略）が設けられている。 A metal work jig 23 is detachably bolted to the upper surface of the work W with a glass plate 21 and a metal plate 22 interposed therebetween. A plurality of clamped members (not shown) are provided on the upper surface of the work jig 23 .

ワーク治具２３は、ワークＷの上面に取り付けられて、ワークＷを上側から保持するための部材である。ワーク治具２３は、図２に示すように、ワーク送り機構４が前後方向に回動することによって、加工位置Ｐ１とワーク交換位置Ｐ２との間を往復移動可能に配置されている。 The work jig 23 is a member that is attached to the upper surface of the work W and holds the work W from above. As shown in FIG. 2, the work jig 23 is arranged so as to be able to reciprocate between the machining position P1 and the work exchange position P2 by rotating the work feeding mechanism 4 in the front-rear direction.

図３に示すように、ワーク保持部材２６は、加工用ローラ３１，３２（図２参照）間に掛装されたワイヤ３３の上方において、クランプ装置２の下端にボルト締めされて、ワーク送り機構４によって移動（昇降）可能に配置されている。ワーク保持部材２６の下面には、被クランプ部材（図示省略）に係合及び離間可能な複数のクランプ部材２５が取り付けられている。 As shown in FIG. 3, the work holding member 26 is bolted to the lower end of the clamping device 2 above a wire 33 that is hung between the processing rollers 31 and 32 (see FIG. 2), and the work feeding mechanism 4 is arranged to be movable (liftable). A plurality of clamping members 25 that can be engaged with and separated from a member to be clamped (not shown) is attached to the lower surface of the work holding member 26 .

＜ワーク送り機構＞
図２に示すように、ワーク送り機構４は、ワークＷを、ワイヤ３３によってワークＷを切断する加工位置Ｐ１と、加工済のワークＷと未加工のワークＷとの交換が行われるワーク交換位置Ｐ２と、の間を移動させるための移送装置である。また、ワーク送り機構４は、ワーク交換位置Ｐ２側に配置されたワークＷを加工位置Ｐ１に搬入する搬入装置と、加工完了後のワークＷを加工位置Ｐ１からワーク交換位置Ｐ２に搬出させる搬出装置と、の機能を果たす。さらに、ワーク送り機構４は、ワークＷを加工する際に、ワークＷを昇降させる昇降装置の機能も果たす。 <Work feeding mechanism>
As shown in FIG. 2, the work feeding mechanism 4 has a processing position P1 where the work W is cut by the wire 33, and a work exchange position where the machined work W and the unmachined work W are exchanged. A transfer device for moving between P2 and . In addition, the work feeding mechanism 4 includes a loading device for loading the work W arranged on the work exchange position P2 side to the processing position P1, and a carry-out device for carrying out the work W after the completion of processing from the processing position P1 to the work exchange position P2. and perform the functions of Further, the work feeding mechanism 4 also functions as an elevating device for elevating the work W when the work W is processed.

ワーク送り機構４は、モータ（図示省略）と、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６と、ワーク治具２３と、をそれぞれ左右一対に配置して構成されている。 The work feed mechanism 4 includes a motor (not shown), a drive gear 41, a first driven gear 42, a second driven gear 43, a first arm 44, a second arm 45, a link 46, and a work jig. , and are arranged in a pair on the left and right sides.

モータ（図示省略）は、駆動歯車４１を回転駆動させて、第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３を介在して第１アーム４４及び第２アーム４５を揺動させるための駆動源である。モータ（図示省略）には、駆動歯車４１に噛合して駆動歯車４１を回転駆動させるロータ歯車（図示省略）が設けられている。モータ（図示省略）は、不図示の制御装置を介して電源に接続されている。 A motor (not shown) is a drive source for rotationally driving the driving gear 41 to swing the first arm 44 and the second arm 45 via the first driven gear 42 and the second driven gear 43. . A motor (not shown) is provided with a rotor gear (not shown) that meshes with the driving gear 41 and drives the driving gear 41 to rotate. A motor (not shown) is connected to a power source via a control device (not shown).

図２に示すように、駆動歯車４１は、そのモータによって回転駆動される歯車である。駆動歯車４１、第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３は、支持部１３に設けられた歯車設置部１４に回転自在に軸支されている。 As shown in FIG. 2, the drive gear 41 is a gear driven to rotate by the motor. The drive gear 41 , the first driven gear 42 and the second driven gear 43 are rotatably supported by the gear mounting portion 14 provided in the support portion 13 .

第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、それぞれ駆動歯車４１に噛合して駆動歯車４１によって同回転される。第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、互いに上下方向に長さＬ１離間して歯車設置部１４に配置されている。図３に示すように、第１従動歯車４２は、第１アーム４４に連結されて一体に回動する。また、第２従動歯車４３は、第２アーム４５に連結されて一体に回動する。このため、リンク機構から成るワーク送り機構４において、歯車設置部１４は、図２に示すように、固定リンクの役目を果たす。 The first driven gear 42 and the second driven gear 43 are meshed with the driving gear 41 and rotated together by the driving gear 41 . The first driven gear 42 and the second driven gear 43 are arranged in the gear mounting portion 14 so as to be separated from each other by a length L1 in the vertical direction. As shown in FIG. 3, the first driven gear 42 is connected to the first arm 44 and rotates together. Also, the second driven gear 43 is connected to the second arm 45 and rotates integrally. Therefore, in the work feeding mechanism 4, which is a link mechanism, the gear mounting portion 14 serves as a fixed link, as shown in FIG.

第１アーム４４は、第１従動歯車４２の軸部４２ａを中心として回動可能に配置されたリンク部材から成る。第２アーム４５は、第２従動歯車４３の軸部４３ａを中心として回動可能に配置されたリンク部材である。リンク４６は、第２アーム４５の先端部と、第１アーム４４の先端部と、ワーク保持部材２６とを回動自在に連結したリンク部材である。第１アーム４４の基端部と、第２アーム４５の基端部とは、上下方向に長さＬ１離間している。第１アーム４４と第２アーム４５とは、それぞれ同じ長さの左右一対の部材から成る。その左右一対の第１アーム４４は、左右一対の第２アーム４５の軸方向内側に配置されている（図３参照）。 The first arm 44 is composed of a link member that is arranged to be rotatable about the shaft portion 42a of the first driven gear 42 . The second arm 45 is a link member arranged to be rotatable around the shaft portion 43 a of the second driven gear 43 . The link 46 is a link member that rotatably connects the distal end portion of the second arm 45, the distal end portion of the first arm 44, and the workpiece holding member 26. As shown in FIG. The base end portion of the first arm 44 and the base end portion of the second arm 45 are vertically separated by a length L1. The first arm 44 and the second arm 45 each consist of a pair of left and right members having the same length. The pair of left and right first arms 44 are arranged axially inside the pair of left and right second arms 45 (see FIG. 3).

第１アーム４４の先端部の連結軸４４ａと、第２アーム４５の先端部の連結軸４５ａと
は、上下方向に長さＬ２離間してリンク４６に回動自在に軸支されている。長さＬ１は、長さＬ２と同じ長さである。第１アーム４４と、第２アーム４５とは、平行に配置され、上方向に回動したときに、側面視して互いに重ねるように配置されている。つまり、ワーク送り機構４において、歯車設置部１４と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６とは、長方形（平行四辺形）の平行クランク機構を形成する。その結果、リンク４６と、リンク４６にクランプ装置２を介在して連結されたワーク治具２３（ワークＷ）とは、ワーク送り機構４が変位しても、常に垂直状態に配置された状態が維持されている。 A connecting shaft 44a at the tip of the first arm 44 and a connecting shaft 45a at the tip of the second arm 45 are rotatably supported by a link 46 with a vertical separation of a length L2. Length L1 is the same length as length L2. The first arm 44 and the second arm 45 are arranged parallel to each other, and are arranged so as to overlap each other when viewed from the side when they are rotated upward. That is, in the work feeding mechanism 4, the gear mounting portion 14, the first arm 44, the second arm 45, and the link 46 form a rectangular (parallelogram) parallel crank mechanism. As a result, the link 46 and the work jig 23 (workpiece W) connected to the link 46 via the clamp device 2 are always arranged in a vertical state even if the work feed mechanism 4 is displaced. maintained.

図３に示すように、ワーク治具２３は、ワークＷを、左右一対のリンク４６の下端部に設けられたクランプ装置２に取り付けるための治具である。ワーク治具２３は、上端がリンク４６の下端に設けられたクランプ装置２のクランプ部材２５に連結されて、下端部がワークＷの上端にガラスプレート２１及び金属プレート２２を介在して取り付けられている。 As shown in FIG. 3, the work jig 23 is a jig for attaching the work W to the clamp device 2 provided at the lower ends of the pair of left and right links 46 . The work jig 23 has its upper end connected to the clamp member 25 of the clamp device 2 provided at the lower end of the link 46, and its lower end attached to the upper end of the work W with the glass plate 21 and the metal plate 22 interposed therebetween. there is

このため、ワークＷは、図２に示すように、ワーク送り機構４によってリンク４６が加工位置Ｐ１に移動したときは、リンク４６と共に加工位置Ｐ１に搬送され、リンク４６がワーク交換位置Ｐ２に移動したときは、リンク４６と共にワーク交換位置Ｐ２に搬送される。 Therefore, as shown in FIG. 2, when the link 46 is moved to the processing position P1 by the work feeding mechanism 4, the work W is conveyed to the processing position P1 together with the link 46, and the link 46 is moved to the work exchange position P2. Then, it is conveyed to the work exchange position P2 together with the link 46. As shown in FIG.

＜加工装置＞
図２に示すように、加工装置３は、クランプ装置２にクランプされた未加工のワークＷを加工する切削機構である。加工装置３は、適宜な間隔で水平方向に対向配置された一対の加工用ローラ３１，３２と、加工用ローラ３１と加工用ローラ３２とに巻き掛けられたワイヤ３３と、加工用ローラ３１，３２を回転駆動させる駆動モータ（図示省略）と、を備えて成る。加工装置３は、基台１２上のコラムに設けられている。 <Processing equipment>
As shown in FIG. 2 , the processing device 3 is a cutting mechanism that processes an unprocessed workpiece W clamped by the clamping device 2 . The processing device 3 includes a pair of processing rollers 31 and 32 arranged horizontally facing each other at an appropriate interval, a wire 33 wound around the processing rollers 31 and 32, the processing rollers 31, 32, and 32. and a drive motor (not shown) that drives the 32 to rotate. The processing device 3 is provided on a column on the base 12 .

図２または図３に示すように、加工中の加工装置３の上方において、リンク４６には、ワークＷを支持するクランプ装置２がワーク送り機構４によって回動可能（昇降可能）に配置されている。ワークＷは、加工用ローラ３１，３２の軸線方向に沿って並設された複数のものから成る（添付図面では、省略して１つのみ記載している）。そして、ワイヤソー１の運転時には、ワイヤ３３が加工用ローラ３１，３２間で走行されて、クランプ装置２で保持されたワークＷが、ワーク送り機構４によって加工装置３に向かって回動（下降）されてワイヤ３３に押し付けられることで切断される。 As shown in FIG. 2 or 3, above the processing device 3 during processing, the clamp device 2 that supports the work W is arranged on the link 46 so as to be rotatable (liftable) by the work feed mechanism 4. there is The work W consists of a plurality of work pieces arranged side by side along the axial direction of the processing rollers 31 and 32 (only one work piece is shown in the accompanying drawings, omitting it). When the wire saw 1 is operated, the wire 33 runs between the processing rollers 31 and 32, and the work W held by the clamp device 2 is rotated (lowered) toward the processing device 3 by the work feed mechanism 4. and is pressed against the wire 33 to be cut.

加工用ローラ３２，３２は、駆動モータ（図示省略）によって回転されることで、ワイヤ３３を加工用ローラ３２，３３間だけ走行させるように構成されている。加工用ローラ３２，３３は、少なくとも一対であればよく、相互間隔をおいて平行に配置される構成であれば、３本以上でもよい。 The processing rollers 32, 32 are configured to run the wire 33 only between the processing rollers 32, 33 by being rotated by a drive motor (not shown). The number of processing rollers 32 and 33 may be at least one pair, and may be three or more as long as they are arranged in parallel with a space therebetween.

ワイヤ３３は、例えば、１本の線材によって構成された加工用ワイヤである。ワイヤ３３は、加工用ローラ３２，３３によって、一定量前進及び一定量後退を繰り返して、全体として歩進的に前進し、または、一方向に連続して前進するように駆動される。 The wire 33 is, for example, a processing wire made up of a single wire rod. The wire 33 is driven by the processing rollers 32 and 33 so as to repeat a fixed amount of advance and a fixed amount of retreat to advance stepwise as a whole or to advance continuously in one direction.

図１に示す基台１２の上方は、加工装置３等を覆う加工室カバー（図示省略）が配置されている。その加工室カバー（図示省略）には、シャッタ（図示省略）が開閉可能に配設されている。ワークＷが加工位置Ｐ１に搬入されて切断加工が行われるとき、シャッタ（図示省略））が閉じられて、加工位置Ｐ１の空間とワーク交換位置Ｐ２の空間とが遮断されるように構成されている。 A processing chamber cover (not shown) that covers the processing device 3 and the like is arranged above the base 12 shown in FIG. A shutter (not shown) is arranged on the processing chamber cover (not shown) so that it can be opened and closed. When the work W is carried into the processing position P1 and cut, a shutter (not shown) is closed to block the space between the processing position P1 and the work exchange position P2. there is

［作用］
次に、本発明の実施形態に係るワイヤソー１の作用を、図１～図３を参照して説明する。 [Action]
Next, operation of the wire saw 1 according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. FIG.

図２に示すように、加工済のワークＷが加工室（加工位置Ｐ１）にある場合は、そのワークＷをワーク送り機構４によってワーク交換位置Ｐ２に搬送する。その後、クランプ装置２から加工済のワークＷを取り外し、未加工のワークＷをクランプ装置２に取り付ける（ワーク着脱工程）。 As shown in FIG. 2, when a machined work W is in the machining chamber (processing position P1), the work W is transported by the work feed mechanism 4 to the work exchange position P2. Thereafter, the machined work W is removed from the clamp device 2, and the unmachined work W is attached to the clamp device 2 (workpiece attaching/detaching process).

次に、未加工のワークＷをワーク送り機構４によってワーク交換位置Ｐ２から加工室内の加工位置Ｐ１に搬入する（搬入工程）。続いて、加工室カバー（図示省略）を閉めて、未加工のワークＷをワーク送り機構４で昇降させることで、加工装置３のワイヤ３３に押し当ててワークＷを切削加工する（加工工程）。これにより、ワークＷは、所定の厚さに切断される。 Next, the unprocessed work W is transported from the work exchange position P2 to the processing position P1 in the processing chamber by the work feeding mechanism 4 (loading process). Subsequently, the work chamber cover (not shown) is closed, and the unprocessed work W is moved up and down by the work feeding mechanism 4 to press against the wire 33 of the processing device 3 and cut the work W (processing step). . Thereby, the work W is cut to a predetermined thickness.

そして、加工が完了したら、加工済のワークＷをワーク送り機構４によってワーク交換位置Ｐ２に搬送する（搬出工程）。
以上のワーク着脱工程から搬出工程を繰り返して、ワークＷを順次に加工して生産する。 Then, when the machining is completed, the machined work W is conveyed to the work exchange position P2 by the work feeding mechanism 4 (unloading process).
The workpieces W are sequentially processed and produced by repeating the above-described work mounting/demounting process and carrying-out process.

このように、本発明は、図２に示すように、ワークＷを、ワイヤ３３によってワークＷを切断する加工位置Ｐ１と、ワークＷの交換が行われるワーク交換位置Ｐ２との間で移動させるワーク送り機構４を備えたワイヤソー１であって、ワーク送り機構４は、モータ（図示省略）によって回転駆動される駆動歯車４１と、駆動歯車４１の回転によって駆動される第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３と、第１従動歯車４２の回転によって回動される第１アーム４４と、第２従動歯車４３の回転によって回動される第２アーム４５と、第１アーム４４の先端部と第２アーム４５の先端部とを回動自在に連結したリンク４６と、リンク４６に設けられ、ワークＷを取り付けるワーク治具２３と、を備え、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とは、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されている。 As described above, according to the present invention, as shown in FIG. 2, the work W is moved between the processing position P1 where the work W is cut by the wire 33 and the work exchange position P2 where the work W is exchanged. The wire saw 1 includes a feed mechanism 4. The work feed mechanism 4 includes a drive gear 41 that is rotationally driven by a motor (not shown), and a first driven gear 42 and a second driven gear that are driven by the rotation of the drive gear 41. A driven gear 43, a first arm 44 rotated by the rotation of the first driven gear 42, a second arm 45 rotated by the rotation of the second driven gear 43, a distal end portion of the first arm 44 and a first arm 44 rotated by the rotation of the second driven gear 43. 2, a link 46 rotatably connected to the distal end of an arm 45, and a work jig 23 provided on the link 46 to which a work W is attached. constitutes a link mechanism, and the link 46 and the work jig 23 are maintained in a vertical state even if the link mechanism is displaced.

これにより、ワーク送り機構４は、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６と、リンク４６に設けられるワーク治具２３と、を備えて成ることで、構造を簡素化して部品点数を削減することができる。
また、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とが、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とが、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることで、ワークＷを加工位置Ｐ１とワーク交換位置Ｐ２とに移動させた際に、ワークＷの姿勢を変化させずに移動させることができるため、ウエハが割れないように移動させることができる。 As a result, the work feeding mechanism 4 includes the driving gear 41, the first driven gear 42 and the second driven gear 43, the first arm 44, the second arm 45, the link 46, and the work jig provided on the link 46. By including the tool 23, the structure can be simplified and the number of parts can be reduced.
Further, the first arm 44, the second arm 45, and the link 46 constitute a link mechanism, and the link 46 and the work jig 23 are maintained in a vertical state even if the link mechanism is displaced. When the work W is moved to the processing position P1 and the work exchange position P2, the work W can be moved without changing its attitude, so that the wafer can be moved without breaking.

また、ワーク治具２３は、第１従動歯車４２で回動される第１アーム４４と、第２従動歯車４３で回動される第２アーム４５と、を回動自在に連結したリンク４６に回動自在に連結されているので、２本のアームでワークＷを支えることができる。このため、第１アーム４４及び第２アーム４５が回動した際に、ワークＷの姿勢が反転しない。 The work jig 23 is connected to a link 46 that rotatably connects a first arm 44 rotated by a first driven gear 42 and a second arm 45 rotated by a second driven gear 43. Since they are rotatably connected, the work W can be supported by the two arms. Therefore, the posture of the work W is not reversed when the first arm 44 and the second arm 45 rotate.

また、図２に示すように、リンク４６は、常に垂直状態に配置され、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、平行四辺形の平行クランク機構を形成するように配置されて、ワーク治具２３は、常にリンク４６の下側または上側に垂直状態に配置されている。 Also, as shown in FIG. 2, the link 46 is always arranged in a vertical position, and the first arm 44, the second arm 45 and the link 46 are arranged to form a parallelogram parallel crank mechanism. , the work jig 23 is always arranged vertically below or above the link 46 .

これにより、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、平行四辺形の平行クランク機構を構成していることで、リンク４６に設けたワークＷを第１アーム４４と第２アーム４５との二本で支えながら搬送することができるため、搬送時のブレを抑制することができる。その結果、ワーク送り精度（真直性）及び加工精度を向上させることができる。
また、リンク４６とワーク治具２３とは、リンク機構の第１アーム４４及び第２アーム４５が変位しても、下側または上側に垂直状態を維持することができるので、ワークＷの姿勢を変えずに（下方向または下方向を向いままの状態で）搬送させることができる。このため、ワイヤソー１は、搬送時にワークＷの姿勢が変位するワーク送り装置と比較して、装置全体の高さをワークＷの高さ分だけ低くすることができるので、装置の重量及び設置エリアの低減を図ることができる。 As a result, the first arm 44 , the second arm 45 , and the link 46 constitute a parallelogram-shaped parallel crank mechanism. Since it can be conveyed while being supported by the two, it is possible to suppress shaking during conveyance. As a result, work feeding accuracy (straightness) and machining accuracy can be improved.
In addition, the link 46 and the work jig 23 can maintain a vertical state downward or upward even if the first arm 44 and the second arm 45 of the link mechanism are displaced. It can be transported without change (downward or facing downward). For this reason, the wire saw 1 can reduce the height of the entire device by the height of the work W compared to a work feeding device in which the posture of the work W is displaced during transportation, so the weight of the device and the installation area can be reduced. can be reduced.

また、第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、それぞれ駆動歯車４１に噛合されると共に、互いに上下方向に離間して配置されている。 Further, the first driven gear 42 and the second driven gear 43 are meshed with the drive gear 41, respectively, and are spaced apart from each other in the vertical direction.

これにより、第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、同じ駆動歯車４１に噛合されていることで、第１アーム４４と第２アーム４５とを同じ状態に回動させることができる。また、第１従動歯車４２と第２従動歯車４３とは、上下方向に離間して配置されていることで、離間している分だけ固定リンク間の長さが長くなるため、回動時の状態を安定化させてブレを解消することができる。 As a result, the first driven gear 42 and the second driven gear 43 are meshed with the same driving gear 41, so that the first arm 44 and the second arm 45 can be rotated in the same state. In addition, since the first driven gear 42 and the second driven gear 43 are spaced apart from each other in the vertical direction, the distance between the fixed links is increased by the distance. You can stabilize the state and eliminate blurring.

また、第１アーム４４と第２アーム４５とは、それぞれ同じ長さの左右一対の部材から成り、左右一対の第１アーム４４は、左右一対の第２アーム４５の軸方向内側に配置されている。 The first arm 44 and the second arm 45 are each formed of a pair of left and right members having the same length, and the pair of left and right first arms 44 are arranged inside the pair of left and right second arms 45 in the axial direction. there is

これにより、第１アーム４４と第２アーム４５とは、同じ長さに形成されていることで、ワーク送り機構４が変位しても、第１アーム４４と第２アーム４５とを連結したリンク４６の姿勢を常に同じ状態にすることができる。
また、左右一対の第１アーム４４は、左右一対の第２アーム４５の軸方向内側に配置されていることで、ワーク送り機構４が変位しても、正面視してリンク４６及びワークＷの姿勢を常に同じ状態にすることができる。 As a result, since the first arm 44 and the second arm 45 are formed to have the same length, even if the work feeding mechanism 4 is displaced, the link connecting the first arm 44 and the second arm 45 can be maintained. The posture of 46 can always be kept in the same state.
In addition, since the pair of left and right first arms 44 are arranged axially inward of the pair of left and right second arms 45, even if the work feed mechanism 4 is displaced, the link 46 and the work W are not separated from each other when viewed from the front. You can always keep the same posture.

［第１変形例］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。 [First modification]
It should be noted that the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications and changes are possible within the scope of its technical ideas, and the present invention does not extend to these modified and changed inventions. Of course.

前記実施形態では、ワーク送り機構４を駆動させる駆動手段の一例として、モータ（図示省略）と、モータによって回転駆動される駆動歯車４１と、駆動歯車４１によって駆動される第１従動歯車４２及び第２従動歯車４３と、を備えたものを例に挙げて説明したがこれに限定されるものではない。
ワーク送り機構４の駆動手段は、第１アーム４４または第２アーム４５を回動させるものであればよい。 In the above embodiment, as an example of driving means for driving the work feeding mechanism 4, a motor (not shown), a driving gear 41 rotationally driven by the motor, a first driven gear 42 driven by the driving gear 41 and a first 2 driven gears 43 have been described as an example, but the present invention is not limited to this.
The drive means of the work feed mechanism 4 may be any means that rotates the first arm 44 or the second arm 45 .

例えば、本発明は、図２に示すワークＷを、ワイヤ３３によってワークＷを切断する加工位置Ｐ１と、ワークＷの交換が行われるワーク交換位置Ｐ２との間で移動させるワーク送り機構４を備えたワイヤソー１であって、ワーク送り機構４は、ワークＷを取り付けるワーク治具２３と、ワーク治具２３に回動自在に設けられリンク４６と、リンク４６の一端側に回動自在に連結された第１アーム４４と、リンク４６の他端側に回動自在に連結された第２アーム４５と、第１アーム４４及び第２アーム４５の少なくとも一方を回動させる駆動手段（図示省略）と、を備え、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とは、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とは、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されているものであってもよい。 For example, the present invention includes a work feeding mechanism 4 for moving a work W shown in FIG. In the wire saw 1, the work feeding mechanism 4 includes a work jig 23 to which the work W is attached, a link 46 rotatably provided on the work jig 23, and a link 46 rotatably connected to one end side of the link 46. a first arm 44, a second arm 45 rotatably connected to the other end of the link 46, and driving means (not shown) for rotating at least one of the first arm 44 and the second arm 45. , the first arm 44, the second arm 45, and the link 46 constitute a link mechanism, and the link 46 and the work jig 23 are maintained in a vertical state even if the link mechanism is displaced. may be

これにより、ワイヤソー１は、未加工のワークＷを加工位置Ｐ１に搬入し、加工後のワークＷを加工位置Ｐ１からワーク交換位置Ｐ２に搬出させるワーク送り機構４を備えていることで、ワークＷを搬入出させているときのワイヤソー１の停止及び中断している時間を削減することができるため、装置の稼働率を向上させることができる。
また、ワーク送り機構４は、駆動手段と、第１アーム４４と、第２アーム４５と、リンク４６と、リンク４６に設けられたワーク治具２３と、を備えて成ることで、構造を簡素化して部品点数を削減することができる。
また、ワーク治具２３は、第１アーム４４と、第２アーム４５と、を回動自在に連結したリンク４６に回動自在に連結されているので、２本のアームでワークＷを支えることができる。このため、第１アーム４４及び第２アーム４５が回動した際のブレを解消することができるため、高精度なワーク送り精度を確保することができる。
また、第１アーム４４と第２アーム４５とリンク４６とが、リンク機構を構成し、リンク４６とワーク治具２３とが、リンク機構が変位しても垂直状態が維持されていることで、ワークＷを加工位置Ｐ１とワーク交換位置Ｐ２とに移動させた際に、ワークＷの姿勢を変化させずに移動させることができるため、ウエハが割れないように移動させることができる。 As a result, the wire saw 1 is equipped with a work feeding mechanism 4 for carrying an unprocessed work W into the processing position P1 and carrying out a processed work W from the processing position P1 to the work exchange position P2. Since it is possible to reduce the time during which the wire saw 1 is stopped and interrupted when the is being carried in and out, the operating rate of the apparatus can be improved.
Further, the work feeding mechanism 4 is provided with a drive means, a first arm 44, a second arm 45, a link 46, and a work jig 23 provided on the link 46, thereby simplifying the structure. It is possible to reduce the number of parts by reducing the number of parts.
Moreover, since the work jig 23 is rotatably connected to the link 46 that rotatably connects the first arm 44 and the second arm 45, the work W can be supported by the two arms. can be done. Therefore, it is possible to eliminate blurring when the first arm 44 and the second arm 45 rotate, so that high work feeding accuracy can be ensured.
Further, the first arm 44, the second arm 45, and the link 46 constitute a link mechanism, and the link 46 and the work jig 23 are maintained in a vertical state even if the link mechanism is displaced. When the work W is moved to the processing position P1 and the work exchange position P2, the work W can be moved without changing its attitude, so that the wafer can be moved without breaking.

［第２変形例］
また、前記実施形態では、図２に示すように、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３と、を備えた場合を例に挙げて説明したが、駆動歯車４１と、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３とはなくてもよい。
この場合は、第１アーム４４の連結軸４４ａ、または、第２アーム４５の連結軸４５ａに、モータ装置（図示省略）の軸を直結させて、モータ装置（図示省略）によってリンク機構の第１アーム４４、または、第２アーム４５を直接回動させることで、リンク機構全体を駆動するようにさせてもよい。
このようにすることで、さらに、部品点数及び部品組付工数を削減して、コストダウンを図ることができる。 [Second modification]
Moreover, in the above-described embodiment, as shown in FIG. , the first driven gear 42 and the second driven gear 43 may be omitted.
In this case, the shaft of a motor device (not shown) is directly connected to the connecting shaft 44a of the first arm 44 or the connecting shaft 45a of the second arm 45, and the motor device (not shown) is used to rotate the first link mechanism. The entire link mechanism may be driven by directly rotating the arm 44 or the second arm 45 .
By doing so, it is possible to further reduce the number of parts and the number of man-hours for assembling the parts, thereby reducing the cost.

［その他の変形例］
例えば、前記実施形態で説明したモータと、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３とから成る電動歯車機構は、第１アーム４４と、第２アーム４５とを回動させることが可能な装置であればよく、これに限定されるものではない。その電動歯車機構は、例えば、油圧または空気圧の流体圧を生成する圧力源（図示省略）と、流体圧が供給されるシリンダと、シリンダに供給された流体圧で作動するピストンロッドと、ピストンロッドに連結されて揺動する第１アーム４４及び第２アーム４５と、を備えたものであってもよい。つまり、電動歯車機構は、第１アーム４４及び第２アーム４５を振り子運動させる駆動手段であればよい。 [Other Modifications]
For example, the electric gear mechanism including the motor, the first driven gear 42, and the second driven gear 43 described in the above embodiment can rotate the first arm 44 and the second arm 45. Any device may be used, and the present invention is not limited to this. The electric gear mechanism includes, for example, a pressure source (not shown) that generates hydraulic or pneumatic fluid pressure, a cylinder that is supplied with the fluid pressure, a piston rod that is operated by the fluid pressure supplied to the cylinder, and a piston rod It may be provided with a first arm 44 and a second arm 45 that are connected to and swing. In other words, the electric gear mechanism may be drive means for pendulum-moving the first arm 44 and the second arm 45 .

また、その電動歯車機構は、第１アーム４４及び第２アーム４５を、電動モータと、ラックアンドピニオン機構あるいはウォーム・ホイール等の歯車機構を使用したものであってもよい。 Further, the electric gear mechanism may use an electric motor and a gear mechanism such as a rack-and-pinion mechanism or a worm wheel for the first arm 44 and the second arm 45 .

その他、モータと、第１従動歯車４２と、第２従動歯車４３とから成る電動歯車機構は、モータと、モータによって回転駆動されるチェーンまたはベルトと、チェーンまたはベルトによって回転駆動される第１従動車または第２従動車と、を備えたものであってもよい。 In addition, an electric gear mechanism consisting of a motor, a first driven gear 42, and a second driven gear 43 includes a motor, a chain or belt rotationally driven by the motor, and a first driven gear rotationally driven by the chain or belt. a car or a second driven car.

１ ワイヤソー
２ クランプ装置
３ 加工装置
４ ワーク送り機構
２３ ワーク治具
３３ ワイヤ
４１ 駆動歯車
４２ 第１従動歯車
４３ 第２従動歯車
４４ 第１アーム
４５ 第２アーム
４６ リンク
Ｐ１ 加工位置
Ｐ２ ワーク交換位置
Ｗ ワーク 1 wire saw 2 clamping device 3 processing device 4 work feed mechanism 23 work jig 33 wire 41 drive gear 42 first driven gear 43 second driven gear 44 first arm 45 second arm 46 link P1 processing position P2 work exchange position W work

Claims (5)

ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、
前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、
前記ワーク送り機構は、前記ワークを取り付けるワーク治具と、
前記ワーク治具に設けられたリンクと、
前記リンクの一端側に回動自在に連結された第１アームと、
前記リンクの他端側に回動自在に連結された第２アームと、
前記第１アーム及び前記第２アームを回動させる駆動手段と、を備え、
前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、
前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されている
ことを特徴とするワイヤソー。 a processing position for cutting the workpiece with a wire;
A wire saw provided with a work feeding mechanism for moving between a work exchange position where the work is exchanged,
The work feeding mechanism includes a work jig for attaching the work,
a link provided on the work jig;
a first arm rotatably connected to one end of the link;
a second arm rotatably connected to the other end of the link;
and driving means for rotating the first arm and the second arm ,
The first arm, the second arm, and the link constitute a link mechanism,
The wire saw, wherein the link and the work jig are maintained in a vertical state even when the link mechanism is displaced. ワークを、ワイヤによってワークを切断する加工位置と、
前記ワークの交換が行われるワーク交換位置との間で移動させるワーク送り機構を備えたワイヤソーであって、
前記ワーク送り機構は、モータによって回転駆動される駆動歯車と、
前記駆動歯車の回転によって駆動される第１従動歯車及び第２従動歯車と、
前記第１従動歯車の回転によって回動される第１アームと、
前記第２従動歯車の回転によって回動される第２アームと、
前記第１アームの先端部と前記第２アームの先端部とを回動自在に連結したリンクと、
前記リンクに設けられ、前記ワークを取り付けるワーク治具と、を備え、
前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、リンク機構を構成し、
前記リンクと前記ワーク治具とは、前記リンク機構が変位しても垂直状態が維持されている
ことを特徴とするワイヤソー。 a processing position for cutting the workpiece with a wire;
A wire saw provided with a work feeding mechanism for moving between a work exchange position where the work is exchanged,
The work feed mechanism includes a drive gear rotated by a motor,
a first driven gear and a second driven gear driven by rotation of the driving gear;
a first arm rotated by the rotation of the first driven gear;
a second arm rotated by the rotation of the second driven gear;
a link that rotatably connects the distal end of the first arm and the distal end of the second arm;
a work jig provided on the link for attaching the work,
The first arm, the second arm, and the link constitute a link mechanism,
The wire saw, wherein the link and the work jig are maintained in a vertical state even when the link mechanism is displaced. 前記リンクは、常に垂直状態に配置され、
前記第１アームと前記第２アームと前記リンクとは、平行四辺形の平行クランク機構を形成するように配置されて、
前記ワーク治具は、常に前記リンクの下側または上側に垂直状態に配置されている
ことを特徴とする請求項１または請求項２に記載のワイヤソー。 the link is always arranged vertically,
wherein said first arm, said second arm and said link are arranged to form a parallelogram parallel crank mechanism,
The wire saw according to claim 1 or 2, wherein the work jig is always arranged vertically below or above the link. 前記第１従動歯車と前記第２従動歯車とは、それぞれ前記駆動歯車に噛合されると共に、互いに上下方向に離間して配置されている
ことを特徴とする請求項２に記載のワイヤソー。 The wire saw according to claim 2, wherein the first driven gear and the second driven gear are meshed with the drive gear, respectively, and are spaced apart from each other in the vertical direction. 前記第１アームと前記第２アームとは、それぞれ同じ長さの左右一対の部材から成り、
左右一対の前記第１アームは、左右一対の前記第２アームの軸方向内側に配置されている
ことを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載のワイヤソー。 The first arm and the second arm are each composed of a pair of left and right members having the same length,
The wire saw according to any one of claims 1 to 4, wherein the pair of left and right first arms are arranged axially inside the pair of left and right second arms.
JP2019068297A 2019-03-29 2019-03-29 wire saw Active JP7233154B2 (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019068297A JP7233154B2 (en) 2019-03-29 2019-03-29 wire saw
CN202010196784.5A CN111745220B (en) 2019-03-29 2020-03-19 Wire saw machine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019068297A JP7233154B2 (en) 2019-03-29 2019-03-29 wire saw

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2020163543A JP2020163543A (en) 2020-10-08
JP7233154B2 true JP7233154B2 (en) 2023-03-06

Family

ID=72673065

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2019068297A Active JP7233154B2 (en) 2019-03-29 2019-03-29 wire saw

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP7233154B2 (en)
CN (1) CN111745220B (en)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5222854A (en) 1991-09-09 1993-06-29 Leland D. Blatt Automatic tool changer
JP2000117580A (en) 1998-10-14 2000-04-25 Okuma Corp Carrier device

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2512445Y2 (en) * 1989-09-06 1996-10-02 川崎重工業株式会社 Transport robot
JP2529092Y2 (en) * 1991-09-30 1997-03-12 豊田工機株式会社 Work loading / unloading device
JP3461558B2 (en) * 1994-02-28 2003-10-27 株式会社日平トヤマ Wire saw work support device
JP3413769B2 (en) * 1994-03-31 2003-06-09 株式会社日平トヤマ Work loading / unloading device
JPH07308917A (en) * 1994-05-16 1995-11-28 M Setetsuku Kk Wire saw equipment
DE19519460A1 (en) * 1995-05-26 1996-11-28 Wacker Siltronic Halbleitermat Wire saw and method for cutting slices from a workpiece
JP3178653B2 (en) * 1996-10-25 2001-06-25 株式会社東京精密 Wire saw
JP3783743B2 (en) * 1997-01-06 2006-06-07 株式会社東京精密 Slice-based peeling device
JPH11309684A (en) * 1998-04-27 1999-11-09 Nachi Fujikoshi Corp Handling robot
US20050186060A1 (en) * 2004-02-09 2005-08-25 Mcdaniel Vaughn L.Iii Lift-and-place apparatus
JP2014151384A (en) * 2013-02-06 2014-08-25 Takatori Corp Wire saw

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5222854A (en) 1991-09-09 1993-06-29 Leland D. Blatt Automatic tool changer
JP2000117580A (en) 1998-10-14 2000-04-25 Okuma Corp Carrier device

Also Published As

Publication number Publication date
CN111745220A (en) 2020-10-09
CN111745220B (en) 2023-07-25
JP2020163543A (en) 2020-10-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5835139B2 (en) Rotary processing machine and rotary processing method
JP5741531B2 (en) Rotary processing machine and rotary processing method
JP5696771B2 (en) Rotary processing machine and rotary processing method
JP2906116B2 (en) Method and apparatus for progressive machining of long workpieces
JP3913556B2 (en) Machine tool workpiece transfer device
JP4939262B2 (en) Processing system
JP5524676B2 (en) Work carry-in / out device and method in machining system
JP5631469B1 (en) Cutting tool pallet for rotating machine and method of attaching / detaching cutting tool in rotating machine
JP5512354B2 (en) Method and apparatus for machining rod-shaped workpiece
JP7233154B2 (en) wire saw
JP2592017B2 (en) Gear processing equipment
JPH10244426A (en) Composite working device for piston ring
JP7372097B2 (en) How to load and unload wire saws and wire saw workpieces
JP3925141B2 (en) Work positioning method and work positioning device for machine tool
JP7372098B2 (en) How to load and unload wire saws and wire saw workpieces
CN220260318U (en) Gear hobbing machine manipulator with multi-disc material loading function
JPH06335838A (en) Long-sized work working device
JP5747061B2 (en) Work support jig for rotary machine and method for attaching / detaching work support jig in rotary machine
JPH06218622A (en) Burr removing device for cutting machine
JP2011183542A (en) Multi-spindle processing method and device thereof
CN113714821A (en) Full-automatic machining system for brake shell
KR200379619Y1 (en) device of transfer work for numerical control
JPH06155156A (en) Material feeder for cutting machine
JPH0691491A (en) Finishing machine
JP2020019095A (en) Griding device and griding method with use thereof

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20220215

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20221026

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20221101

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20221219

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20230214

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20230220

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7233154

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150