JP7372098B2 - How to load and unload wire saws and wire saw workpieces - Google Patents

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Description

本発明は、ワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法に関する。 TECHNICAL FIELD The present invention relates to a wire saw and a method for loading and unloading a workpiece of the wire saw.

一般に、半導体材料や磁性材料などのワークをワイヤによって切断するワイヤソーは、ワーク送りが、通常、垂直方向にしか駆動しない構造になっている。このため、ワイヤソーでは、ワイヤソー外にワークを出し入れする際に、例えば、特許文献１に記載されているように、ワーク受け渡し装置等の付帯装置によって行われている。 Generally, wire saws that cut workpieces such as semiconductor materials and magnetic materials with wires have a structure in which the workpiece feed is normally driven only in the vertical direction. For this reason, in a wire saw, when a workpiece is put in and taken out of the wire saw, it is carried out by an auxiliary device such as a workpiece transfer device, as described in Patent Document 1, for example.

特許文献１に記載のワイヤソーシステムでは、ワークを搬送する際に、ワイヤソーとは別体に形成されたワーク運搬用台車と、ワーク受け渡し装置と、を作業員によって手動的に移動させてワークの搬送を行っている。 In the wire saw system described in Patent Document 1, when transporting a workpiece, an operator manually moves a workpiece transporting cart and a workpiece transfer device, which are formed separately from the wire saw, to transport the workpiece. It is carried out.

特開２０１０－１４９２４８号公報Japanese Patent Application Publication No. 2010-149248

しかし、特許文献１に記載のワイヤソーシステムでは、ワーク受け渡し装置でワークの交換を行っている際、ワイヤソーを稼働させることができない。このため、ワーク受け渡し装置でワークを交換している場合は、ワイヤソーを停止して中断している時間が非加工時間となるので、生産性が低下するという問題点があった。 However, in the wire saw system described in Patent Document 1, the wire saw cannot be operated while the workpiece is being replaced by the workpiece transfer device. For this reason, when the workpieces are exchanged using the workpiece transfer device, the time during which the wire saw is stopped and interrupted becomes non-machining time, which poses a problem in that productivity decreases.

本発明は、前記した問題点を解決して、生産性を向上させることができるワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法を提供することを課題とする。 SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a wire saw and a method for loading and unloading a wire saw workpiece, which can solve the above-mentioned problems and improve productivity.

前記課題を解決するため、本発明は、ワイヤによってワークを切断するワイヤソーにおいて、前記ワークを支持するスライダを含み、前記スライダに載置された前記ワークを加工室に搬入及び前記加工室から搬出させる移送装置と、前記加工室に配置され、前記スライダから離間された前記ワークを加工する加工装置と、前記加工室に配置され、前記加工室に搬入された前記ワークをクランプするクランプ装置と、前記ワークを前記加工室に搬入した前記移送装置を前記加工室から退避させた後、前記加工室内に搬入された前記ワークをクランプした前記クランプ装置を昇降させる昇降装置と、を備え、前記移送装置は、上端部に配置された揺動軸を中心として振子動作することによって前記ワークを支持した前記スライダを、前記加工室へ搬入または搬出させるアームを有し、前記アームによって前記ワークを前記加工室に搬入及び搬出し、前記昇降装置は、前記加工室に搬入された前記ワークをクランプした前記クランプ装置を昇降させることによって、前記ワークを前記加工装置で加工することを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention provides a wire saw for cutting a workpiece with a wire, including a slider that supports the workpiece, and carrying the workpiece placed on the slider into and out of the processing chamber. a transfer device; a processing device disposed in the processing chamber for processing the workpiece separated from the slider ; a clamping device disposed in the processing chamber for clamping the workpiece carried into the processing chamber ; an elevating device that lifts and lowers the clamping device that clamps the workpiece carried into the processing chamber after the transfer device that carried the workpiece into the processing chamber is evacuated from the processing chamber, the transfer device , an arm that carries the slider, which supports the workpiece, into or out of the processing chamber by performing a pendulum operation about a swing axis disposed at an upper end , and the arm moves the workpiece into the processing chamber. Carrying in and carrying out, the lifting device is characterized in that the workpiece is processed by the processing device by lifting and lowering the clamping device that clamps the workpiece carried into the processing chamber.

また、本発明は、請求項１から請求項４のいずれかの請求項に記載のワイヤソーを使用してワークを搬入及び搬出するワイヤソーのワークの搬入出方法であって、加工完了のワークをアンロード用のスライダにてアンロード位置に搬出する搬出工程と、ロード位置の未加工のワークをロード用のスライダにて加工室内に搬入する搬入工程と、前記加工室内に搬入された前記未加工のワークをクランプ装置によってクランプするクランプ工程と、前記加工室に前記未加工のワークを搬入した前記ロード用のスライダをロード位置に退避させる退避工程と、前記未加工のワークを昇降装置によって昇降させることによって加工装置で加工する加工工程と、前記未加工のワークを加工中に、前記搬出工程で搬出された前記加工完了のワークを前記アンロード用のスライダから取り外すと共に、未加工のワークを前記ロード用のスライダに載置する取外載置工程と、をこの順序で実行することを特徴とする。 The present invention also provides a wire saw workpiece loading/unloading method for loading and unloading a workpiece using the wire saw according to any one of claims 1 to 4, in which a workpiece that has been processed is unloaded. An unloading step in which the unprocessed workpiece is transported to the unloading position using a loading slider, a loading step in which the unprocessed workpiece at the loading position is transported into the processing chamber using the loading slider, and the unprocessed workpiece carried into the processing chamber. a clamping step in which the workpiece to be processed is clamped by a clamp device; a retraction step in which the loading slider that has carried the unprocessed workpiece into the processing chamber is retracted to a loading position; and a lifting step in which the unprocessed workpiece is raised and lowered by a lifting device. a processing step in which the unprocessed workpiece is processed by a processing device, and while the unprocessed workpiece is being processed, the processed workpiece carried out in the unloading step is removed from the unloading slider, and the unprocessed workpiece is removed from the unloading slider. The removal and mounting step of mounting the slider on the loading slider is characterized in that the steps are performed in this order .

本発明は、生産性を向上させることができるワイヤソー及びワイヤソーのワークの搬入出方法を提供することができる。 The present invention can provide a wire saw and a method for loading and unloading a wire saw workpiece, which can improve productivity.

本発明の実施形態に係るワイヤソーを示す概略側面図である。FIG. 1 is a schematic side view showing a wire saw according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るワイヤソーを示す概略正面図である。1 is a schematic front view showing a wire saw according to an embodiment of the present invention. 図２の要部拡大図である。3 is an enlarged view of the main part of FIG. 2. FIG. ワークに取り付けられたワーク治具と、ワーク治具を支持するスライダとの配置状態を示す要部拡大斜視図である。FIG. 2 is an enlarged perspective view of essential parts showing the arrangement of a work jig attached to a work and a slider that supports the work jig. 図３のＶ－Ｖ拡大断面図である。FIG. 4 is an enlarged sectional view taken along the line VV in FIG. 3; 図５のＶＩ－ＶＩ拡大断面図である。6 is an enlarged sectional view taken along VI-VI in FIG. 5. FIG. 未加工のワークをロード位置の搬入装置のスライダに支持させ、加工装置で加工したワークを昇降装置で上昇させたときの状態を示す説明図である。FIG. 3 is an explanatory diagram showing a state in which an unprocessed workpiece is supported by a slider of a carry-in device at a loading position, and a workpiece processed by a processing device is raised by an elevating device. 搬出装置を加工室に移動させたときの状態を示す説明図である。It is an explanatory view showing a state when the carrying-out device is moved to a processing room. 加工後のワークを搬出装置で搬出したときの状態を示す説明図である。It is an explanatory view showing a state when a workpiece after processing is carried out by a carry-out device. 未加工のワークを搬入装置によって加工室に搬入したときの状態を示す説明図である。It is an explanatory view showing a state when an unprocessed work is carried into a processing room by a carrying-in device. 加工室に搬入装置で搬入されたワークをクランプ装置でクランプして昇降装置で上昇させたときの状態を示す説明図である。It is an explanatory view showing a state when a workpiece carried into a processing room by a carry-in device is clamped by a clamp device and raised by a lifting device. ワークを昇降装置で下降させて加工しているときの状態を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state in which a workpiece is being lowered and processed by an elevating device. ワーク加工中に加工後のワークを搬出装置から取外し、未加工のワークを搬入装置に載置したときの状態を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a state when a processed workpiece is removed from a carry-out device during workpiece processing and an unprocessed workpiece is placed on a carry-in device. 加工後のワークを搬出装置で搬出する準備と、未加工のワークを搬入装置で搬入する準備をしているときの状態を示す説明図である。FIG. 6 is an explanatory diagram showing a state in which a processed workpiece is being prepared to be carried out by a carrying-out device, and an unprocessed workpiece is being prepared to be carried in by a carrying-in device. 加工後のワークを搬出装置で搬出し、未加工のワークを搬入装置で搬入したときの状態を示す説明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state when a processed workpiece is carried out by a carrying-out device and an unprocessed workpiece is carried in by a carrying-in device. 本発明の実施形態に係るワイヤソーのワークの搬入出方法を示す工程図である。FIG. 2 is a process diagram showing a method of loading and unloading a workpiece into a wire saw according to an embodiment of the present invention. 本発明の実施形態に係るワイヤソーの変形例を示す概略側面図である。It is a schematic side view which shows the modification of the wire saw based on embodiment of this invention.

本発明の実施形態に係るワイヤソー１及びワイヤソー１のワークＷの搬入出方法を図１～図１６を参照して説明する。
なお、図１に示す搬入装置４ａがある位置をロード位置Ｌｏ（ロード側）、搬出装置４ｂがある位置をアンロード位置Ｕｎ（アンロード側）として説明する。また、図１に示す搬入装置４ａがある方向を前（Ｆ）、搬出装置４ｂがある方向を後（Ｂ）、鉛直上方側を上（Ｕ）、鉛直下方側を下（Ｄ）、図２に示すシリンダ４３がある方向を左（Ｌ）、シリンダ４３がある左（Ｌ）側と対向する方向を右（Ｒ）として適宜説明する。 A wire saw 1 and a method of loading and unloading a workpiece W into the wire saw 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 16.
In addition, the position where the carry-in device 4a shown in FIG. 1 is located will be described as a load position Lo (loading side), and the position where the carrying-out device 4b is located will be described as an unloading position Un (unloading side). In addition, the direction in which the carry-in device 4a shown in FIG. The direction in which the cylinder 43 is located is referred to as left (L), and the direction opposite to the left (L) side in which the cylinder 43 is located is referred to as right (R).

＜ワーク＞
図１に示すように、ワークＷは、半導体材料、磁性材料、セラミック等の硬脆材料から成る。ワークＷは、ワイヤソー１に配置された加工装置５のワイヤ５３に押し当てることで切削して切断される。なお、ワイヤソー１は、図１に示すように、略前後対称に形成されているため、適宜その一方を説明して他方の説明を省略する。 <Work>
As shown in FIG. 1, the workpiece W is made of a hard and brittle material such as a semiconductor material, a magnetic material, or a ceramic. The workpiece W is pressed against the wire 53 of the processing device 5 disposed on the wire saw 1 to be cut. Note that, as shown in FIG. 1, the wire saw 1 is formed approximately symmetrically from front to back, so one side will be described as appropriate, and a description of the other side will be omitted.

＜ワイヤソー＞
図１に示すワイヤソー１は、加工装置５のワイヤ５３によってワークＷを切断する切断装置である。ワイヤソー１は、基台１３と、コラム１４と、本体フレーム１５と、ガイドレール支持部１６と、クランプ装置２と、昇降装置３と、移送装置４と、加工装置５と、を備えて構成されている。 <Wire saw>
The wire saw 1 shown in FIG. 1 is a cutting device that cuts a workpiece W using a wire 53 of a processing device 5. The wire saw 1 shown in FIG. The wire saw 1 includes a base 13, a column 14, a main frame 15, a guide rail support 16, a clamp device 2, a lifting device 3, a transfer device 4, and a processing device 5. ing.

＜クランプ装置＞
クランプ装置２は、加工装置５でワークＷを加工する際に、加工室Ｒに搬入された未加工のワークＷをクランプするための保持機構である。つまり、クランプ装置２は、加工室Ｒに搬入された未加工のワークＷをクランプしてから、そのワークＷを加工装置５のワイヤ５３に押し当てて加工して、加工完了後のワークＷを加工室Ｒの搬入位置にアンクランプさせるまで、ワークＷを保持する。図２に示すように、クランプ装置２は、複数のクランプ部材２６と、複数（例えば、４つ）のクランプ部材２６を保持したワーク保持部材２５と、備えている。 <Clamp device>
The clamping device 2 is a holding mechanism for clamping an unprocessed workpiece W carried into the processing chamber R when the processing device 5 processes the workpiece W. That is, the clamping device 2 clamps the unprocessed workpiece W carried into the processing chamber R, presses the workpiece W against the wire 53 of the processing device 5 to process it, and processes the workpiece W after completion of processing. The work W is held until it is unclamped to the loading position of the processing chamber R. As shown in FIG. 2, the clamp device 2 includes a plurality of clamp members 26 and a work holding member 25 holding a plurality of (for example, four) clamp members 26.

図２または図６に示すように、ワークＷの上面には、ガラスプレート２１、金属プレート２２を介在して金属製のワーク治具２３が着脱可能に装着されている。ワーク治具２３の上面には、複数の被クランプ部材２４が設けられている。 As shown in FIG. 2 or 6, a metal work jig 23 is removably attached to the upper surface of the work W with a glass plate 21 and a metal plate 22 interposed therebetween. A plurality of members to be clamped 24 are provided on the upper surface of the work jig 23 .

ワーク治具２３は、ワークＷを上側から保持するための治具である。ワーク治具２３は、図４に示すように、ワイヤソー１の左右前後に配置されたスライダ４８の支持部４８ｃに支持される掛止部２３ａを左右両端部に有する略板状の部材から成る。このため、ワーク治具２３は、スライダ４８が前後方向に移動することによって、ロード位置Ｌｏと加工室Ｒとの間と、アンロード位置Ｕｎと加工室Ｒとの間と、をそれぞれ往復移動可能に配置されている。なお、ワーク治具２３については、後で、さらに詳述する。 The work jig 23 is a jig for holding the work W from above. As shown in FIG. 4, the work jig 23 is made of a substantially plate-shaped member having hooks 23a at both left and right ends, which are supported by support portions 48c of sliders 48 disposed on the left and right front and rear sides of the wire saw 1. Therefore, the work jig 23 can be moved back and forth between the loading position Lo and the processing chamber R and between the unloading position Un and the processing chamber R by moving the slider 48 in the front-back direction. It is located in Note that the work jig 23 will be described in more detail later.

また、ワーク治具２３が取り付けられたワークＷ（図９参照）は、図９～図１２に示すように、移送装置４によって加工室Ｒに搬入されて（図１０参照）、クランプ装置２でクランプされた状態で、昇降装置３で上昇された後、移送装置４によってスライダ４８を加工室Ｒから加工室Ｒ外に搬出させることによって（図１１参照）、加工装置５がある加工位置に下降させて加工装置５での加工が可能となる（図１２参照）。つまり、ワークＷは、加工室Ｒにおいて、クランプ装置２で保持して昇降装置３によって上昇させた後、スライダ４８を加工室Ｒからロード位置Ｌｏ側、または、アンロード位置Ｕｎに搬出させることで、昇降装置３による加工装置５への下降が可能となる（図１参照）。 Further, the work W (see FIG. 9) to which the work jig 23 is attached is carried into the processing chamber R by the transfer device 4 (see FIG. 10), as shown in FIGS. After being raised by the lifting device 3 in the clamped state, the slider 48 is carried out from the machining chamber R to the outside of the machining chamber R by the transfer device 4 (see FIG. 11), and then the machining device 5 is lowered to a certain machining position. This allows processing with the processing device 5 (see FIG. 12). That is, the workpiece W is held in the processing chamber R by the clamp device 2 and raised by the lifting device 3, and then the slider 48 is carried out from the processing chamber R to the loading position Lo side or the unloading position Un. , the lifting device 3 can be lowered to the processing device 5 (see FIG. 1).

図１または図２に示すように、ワーク保持部材２５は、加工用ローラ５１，５２間に掛装されたワイヤ５３の上方において、昇降装置３の下端にボルト締めされて、昇降装置３によって昇降可能に配置されている。ワーク保持部材２５の下面には、被クランプ部材２４に係合及び離間可能な複数のクランプ部材２６が取り付けられている。 As shown in FIG. 1 or 2, the workpiece holding member 25 is bolted to the lower end of the lifting device 3 above the wire 53 suspended between the processing rollers 51 and 52, and is raised and lowered by the lifting device 3. Possibly located. A plurality of clamp members 26 are attached to the lower surface of the workpiece holding member 25 and can be engaged with and separated from the member to be clamped 24 .

＜昇降装置＞
昇降装置３は、下端部にワーク治具２３等を介在してワークＷを保持するクランプ装置２を備えて、ワークＷを昇降させるための装置である。昇降装置３は、ワークＷをスライダ４８上から上昇させたり、ワークＷを加工装置５のワイヤ５３に押し付けて加工したり、加工完了後のワークＷを下降させてスライダ４８上に載置させたりする。
昇降装置３は、例えば、クランプ装置２を上下させるボールねじ等の移動機構（図示省略）と、その移動機構を作動させるサーボモータ等の移動用駆動モータ（図示省略）等と、を備えて構成されている。 <Lifting device>
The lifting device 3 is a device for lifting and lowering the workpiece W, and includes a clamping device 2 that holds the workpiece W with a workpiece jig 23 interposed therebetween at its lower end. The lifting device 3 raises the workpiece W from above the slider 48, presses the workpiece W against the wire 53 of the processing device 5 to process it, and lowers the workpiece W after completion of processing to place it on the slider 48. do.
The lifting device 3 includes, for example, a moving mechanism (not shown) such as a ball screw that moves the clamp device 2 up and down, and a moving drive motor (not shown) such as a servo motor that operates the moving mechanism. has been done.

＜移送装置＞
図１または図４に示すように、移送装置４は、ワークＷを支持したワークロード用のスライダ４８をロード位置Ｌｏから加工室Ｒに搬入したり、加工装置５によって加工された加工完了後のワークＷを支持したワークアンロード用のスライダ４８を加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出させたりするための搬送装置である。換言すると、移送装置４は、図１に示すように、ロード位置Ｌｏ側の未加工のワークＷに取り付けられたワーク治具２３をワークロード用のスライダ４８で支持して、図１０に示すように、加工室Ｒに搬入させる。加工室Ｒに搬入後、図１１に示すように、空状態のワークロード用のスライダ４８をロード位置Ｌｏに退避させる。また、移送装置４は、図８に示すように、アンロード位置Ｕｎ側の空状態のワークアンロード用のスライダ４８を加工室Ｒに搬入させる。その後、移送装置４は、図９に示すように、加工完了後のワークＷのワーク治具２３を支持したワークアンロード用のスライダ４８を加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出させる。 <Transfer device>
As shown in FIG. 1 or FIG. 4, the transfer device 4 transports the work load slider 48 supporting the work W from the loading position Lo to the processing chamber R, and after the processing is completed by the processing device 5. This is a conveyance device for carrying out a workpiece unloading slider 48 supporting a workpiece W from the processing chamber R to an unloading position Un. In other words, as shown in FIG. 1, the transfer device 4 supports the workpiece jig 23 attached to the unprocessed workpiece W at the loading position Lo side with the slider 48 for workload, and transfers the workpiece as shown in FIG. Then, it is carried into the processing room R. After being carried into the processing chamber R, as shown in FIG. 11, the empty workload slider 48 is retracted to the loading position Lo. Further, as shown in FIG. 8, the transfer device 4 transports an empty workpiece unloading slider 48 at the unloading position Un into the processing chamber R. Thereafter, as shown in FIG. 9, the transfer device 4 transports the workpiece unloading slider 48 supporting the workpiece jig 23 of the workpiece W after completion of processing from the processing chamber R to the unloading position Un.

図１に示すように、移送装置４は、ロード位置Ｌｏ側に配置されたワークＷを加工室Ｒに搬入する搬入装置４ａ（ロード用移送装置）と、ワークＷを加工室Ｒから搬出させるアンロード位置Ｕｎ側に配置された搬出装置４ｂ（アンロード用移送装置）と、で構成されている。搬入装置４ａと搬出装置４ｂとは、コラム１４の上方の前後に設置された本体フレーム１５の外側上端部に、前後対称な状態に配置されている。搬入装置４ａ及び搬出装置４ｂは、駆動装置４０と、回動部材４５と、アーム４６と、変換部材４７と、スライダ４８と、ガイドレール４９と、をそれぞれ前後一対に配置して構成されている。 As shown in FIG. 1, the transfer device 4 includes a carry-in device 4a (loading transfer device) that carries the workpiece W placed at the loading position Lo side into the processing chamber R, and an unloading device 4a (loading transfer device) that carries the workpiece W placed at the loading position Lo side from the processing chamber R. An unloading device 4b (transfer device for unloading) disposed on the loading position Un side. The carry-in device 4a and the carry-out device 4b are arranged symmetrically in the front and back at the outer upper end of the main body frame 15 installed above the column 14 in the front and back. The carry-in device 4a and the carry-out device 4b are configured by arranging a drive device 40, a rotation member 45, an arm 46, a conversion member 47, a slider 48, and a guide rail 49 in a pair of front and rear positions, respectively. .

図１に示すように、駆動装置４０は、回動部材４５及びアーム４６を揺動させると共に、変換部材４７及びスライダ４８を往復直線移動させるための駆動源である。駆動装置４０は、例えば、油圧または空気圧の流体圧を生成する圧力源（図示省略）と、流体圧が供給されるシリンダ４３と、シリンダ４３に供給された流体圧で作動するピストンロッド４４と、を備えて成る。駆動装置４０は、例えば、前後の本体フレーム１５の外側上端部にそれぞれに配置されている。 As shown in FIG. 1, the drive device 40 is a drive source for swinging the rotation member 45 and the arm 46, and for linearly reciprocating the conversion member 47 and the slider 48. The drive device 40 includes, for example, a pressure source (not shown) that generates hydraulic or pneumatic fluid pressure, a cylinder 43 to which fluid pressure is supplied, and a piston rod 44 that operates with the fluid pressure supplied to the cylinder 43. It consists of: The drive devices 40 are arranged, for example, at the outer upper ends of the front and rear main body frames 15, respectively.

シリンダ４３は、前後の本体フレーム１５の外側上端部に、上下方向に向けて固定されている。ピストンロッド４４は、そのシリンダ４３から上方向に向けて昇降するように配置されている。ピストンロッド４４の上端には、回動部材連結部４４ａが設けられている。回動部材連結部４４ａには、回動部材４５の軸支部４５ａが回動自在に連結されている。回動部材連結部４４ａは、水平方向に長い長孔から成り、軸支部４５ａを水平方向に移動可能に軸支している。 The cylinder 43 is fixed to the outer upper end portions of the front and rear main body frames 15 in the vertical direction. The piston rod 44 is arranged to move up and down from the cylinder 43 thereof. A rotating member connecting portion 44a is provided at the upper end of the piston rod 44. A shaft support 45a of a rotating member 45 is rotatably connected to the rotating member connecting portion 44a. The rotating member connecting portion 44a is formed of a horizontally long elongated hole, and pivotally supports the shaft support 45a so as to be movable in the horizontal direction.

＜回動部材＞
回動部材４５は、一端に軸支部４５ａを有し、他端にアーム４６に連結したアーム連結部４５ｂを有している。回動部材４５は、軸支部４５ａがピストンロッド４４によって上下動することで、アーム４６の揺動軸４６ａを中心として前後方向に揺動する。 <Rotating member>
The rotating member 45 has a shaft support 45a at one end, and an arm connecting portion 45b connected to the arm 46 at the other end. The rotating member 45 swings back and forth about the swing shaft 46a of the arm 46 as the shaft support 45a moves up and down by the piston rod 44.

＜アーム＞
つまり、アーム４６は、揺動軸４６ａを中心として振子のように揺動する。アーム４６は、振子動作することによって、ワークＷを支持したスライダ４８を、ロード位置Ｌｏから加工室Ｒへ搬入、または、加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎへ搬出させるための部材である。アーム４６は、上端部に配置された揺動軸４６ａと、下端部に配置された連結軸４６ｂと、を有している。 <Arm>
In other words, the arm 46 swings like a pendulum around the swing shaft 46a. The arm 46 is a member for carrying the slider 48 supporting the work W into the processing chamber R from the loading position Lo or carrying it out from the processing chamber R to the unloading position Un by performing a pendulum operation. The arm 46 has a swing shaft 46a located at the upper end and a connecting shaft 46b located at the lower end.

図１または図２に示すように、揺動軸４６ａは、本体フレーム１５の前側寄りの上端部に軸支されて、左右のアーム４６を揺動自在に軸支した軸棒から成る。揺動軸４６ａは、左側に配置されたピストンロッド４４の動きを、左右にそれぞれ配置されたアーム４６に伝達するための部材の役目を果たす。連結軸４６ｂは、変換部材４７の上面に切欠形成された縦溝４７ａに上下方向に移動自在に係合されている。このため、左右の変換部材４７は、左右のアーム４６が揺動すると、スライダ４８を介在して、ガイドレール４９上を前後方向に直線往復移動する。 As shown in FIG. 1 or 2, the swing shaft 46a is a shaft rod that is supported by the upper end of the main body frame 15 near the front side, and supports the left and right arms 46 in a swingable manner. The swing shaft 46a serves as a member for transmitting the movement of the piston rod 44 placed on the left side to the arms 46 placed on the left and right sides. The connecting shaft 46b is engaged with a vertical groove 47a cut out in the upper surface of the conversion member 47 so as to be movable in the vertical direction. Therefore, when the left and right arms 46 swing, the left and right converting members 47 reciprocate linearly in the front and rear directions on the guide rail 49 with the slider 48 interposed therebetween.

＜変換部材＞
変換部材４７は、アーム４６の振子動作を、スライダ４８の直線動作に変換させるための部材である。変換部材４７は、前記縦溝４７ａと、前記スライダ４８と、を有する厚板状の部材から成る。変換部材４７は、ガイドレール４９上の前後に配置されたそれぞれのスライダ４８の前端及び後端にそれぞれ載設されている。前後一対の変換部材４７は、左右にもそれぞれ配置されている（図４参照）。縦溝４７ａは、側面視してＵ字状の切欠溝から成る。 <Conversion member>
The conversion member 47 is a member for converting the pendulum movement of the arm 46 into a linear movement of the slider 48. The conversion member 47 is made of a thick plate-like member having the vertical groove 47a and the slider 48. The conversion member 47 is mounted on the front end and the rear end of each slider 48 arranged on the guide rail 49 at the front and back. The pair of front and rear conversion members 47 are also arranged on the left and right sides, respectively (see FIG. 4). The vertical groove 47a consists of a U-shaped notch groove when viewed from the side.

＜スライダ＞
スライダ４８は、変換部材４７に連結されて、変換部材４７が移動することで、ガイドレール４９上を、ロード位置Ｌｏから加工位置までの間、または、アンロード位置Ｕｎから加工位置までの間を前後方向に水平に進退（往復移動）する摺動部材である。スライダ４８は、ガイドレール４９の上側に設置されて、ガイドレール４９に沿って平行に前後方向に延設されている。図４または図６に示すように、スライダ４８は、変換部材設置部４８ａと、ストッパ４８ｂと、支持部４８ｃと、摺動部設置部４８ｄと、摺動部４８ｅと、架設部４８ｆと、を有している。スライダ４８は、平面視して略Ｉ（Ｈ）形状の前後一対の部材から成る。 <Slider>
The slider 48 is connected to a converting member 47, and as the converting member 47 moves, the slider 48 moves on the guide rail 49 from the loading position Lo to the processing position or from the unloading position Un to the processing position. It is a sliding member that moves horizontally forward and backward (reciprocating). The slider 48 is installed above the guide rail 49 and extends parallel to the guide rail 49 in the front-rear direction. As shown in FIG. 4 or 6, the slider 48 includes a conversion member installation section 48a, a stopper 48b, a support section 48c, a sliding section installation section 48d, a sliding section 48e, and a construction section 48f. have. The slider 48 consists of a pair of front and rear members that are approximately I (H) shaped in plan view.

変換部材設置部４８ａは、変換部材４７を載設した箇所である。このため、スライダ４８と変換部材４７とは、一体に前後方向に移動する。このようなことから、スライダ４８と変換部材４７とは、一体形成してもよい。 The conversion member installation part 48a is a place where the conversion member 47 is mounted. Therefore, the slider 48 and the converting member 47 move together in the front-back direction. For this reason, the slider 48 and the conversion member 47 may be formed integrally.

ストッパ４８ｂは、ワークＷを保持したワーク治具２３をスライダ４８に支持させるときに、ワーク治具２３の左右端部の位置を規制して位置決めするための部位である。ストッパ４８ｂは、左右のスライダ４８の左右上端部に上方向に突出形成されて、ガイドレール４９に沿って前後方向に伸びている。 The stopper 48b is a portion for regulating and positioning the left and right ends of the work jig 23 when the work jig 23 holding the work W is supported by the slider 48. The stopper 48b is formed to protrude upward from the left and right upper ends of the left and right sliders 48, and extends in the front-rear direction along the guide rail 49.

支持部４８ｃは、ワーク治具２３の左右両側にそれぞれ突設された掛止部２３ａが支持（載置）される段差状の部位である。支持部４８ｃは、ガイドレール４９に沿って前後方向に延設されている。
摺動部設置部４８ｄは、前後方向に延設された摺動部４８ｅ上にスライダ４８を固定するための箇所である。摺動部設置部４８ｄは、正面視して略Ｌ字状に形成されている。 The support portion 48c is a step-shaped portion on which the hook portions 23a protruding from the left and right sides of the work jig 23 are supported (placed). The support portion 48c extends in the front-rear direction along the guide rail 49.
The sliding part installation part 48d is a place for fixing the slider 48 on the sliding part 48e extending in the front-rear direction. The sliding part installation part 48d is formed in a substantially L-shape when viewed from the front.

摺動部４８ｅは、ガイドレール４９上に前後方向に摺動自在に載置される箇所である。摺動部４８ｅは、スライダ４８の下端部に固定された角棒状の部材から成る。
架設部４８ｆは、前後にそれぞれ配置された左右の一対のスライダ４８を連結する部位である。架設部４８ｆは、四角柱形状に形成されている。前側の架設部４８ｆは、前側の左右一対のストッパ４８ｂの前端部間に架設されている。また、後側の架設部４８ｆは、後側の左右一対のストッパ４８ｂの後端部間に架設されている。 The sliding portion 48e is placed on the guide rail 49 so as to be slidable in the front-back direction. The sliding portion 48e is made of a square bar-shaped member fixed to the lower end of the slider 48.
The construction portion 48f is a portion that connects a pair of left and right sliders 48 arranged at the front and rear, respectively. The construction portion 48f is formed into a quadrangular prism shape. The front construction portion 48f is constructed between the front end portions of the pair of left and right stoppers 48b on the front side. Further, the rear-side installation portion 48f is installed between the rear end portions of the pair of left and right stoppers 48b on the rear side.

＜ガイドレール＞
図４または図６に示すように、ガイドレール４９は、前後方向に移動するスライダ４８の移動をガイドするためのガイドブロックである。ガイドレール４９は、前後一対のスライダ４８において、互いに前後方向に平行に延設された左右一対のレール状部材から成る。このガイドレール４９は、摺動部４８ｅが摺動自在に係合するように、縦断面視して凹部形状に形成されている。ガイドレール４９は、ガイドレール支持部１６上の載設されている。 <Guide rail>
As shown in FIG. 4 or 6, the guide rail 49 is a guide block for guiding the movement of the slider 48 that moves in the front-rear direction. The guide rails 49 are comprised of a pair of left and right rail-like members extending parallel to each other in the front and rear direction in the pair of front and rear sliders 48 . The guide rail 49 is formed in a concave shape when viewed in longitudinal section so that the sliding portion 48e is slidably engaged therewith. The guide rail 49 is mounted on the guide rail support section 16.

前記したワーク治具２３は、スライダ４８の支持部４８ｃに支持されてワークＷを進退させるための治具の役目を果たす。ワーク治具２３は、ワークＷの上部に固定されている。ワーク治具２３の上部に突設された掛止部２３ａは、ワークＷよりも左右方向に伸びて形成されている。このため、ワーク治具２３は、ワークＷを搬送する際に、掛止部２３ａが、一対のスライダ４８の支持部４８ｃに支持され、ワークＷを加工する際に、掛止部２３ａが、一対のスライダ４８の支持部４８ｃから前後方向に離間されて、一対のスライダ４８間を昇降装置３によって下降させる。 The work jig 23 described above is supported by the support portion 48c of the slider 48 and serves as a jig for moving the work W forward and backward. The work jig 23 is fixed to the top of the work W. A hooking portion 23a protruding from the upper part of the workpiece jig 23 is formed to extend laterally than the workpiece W. Therefore, in the workpiece jig 23, when transporting the workpiece W, the hanging part 23a is supported by the support parts 48c of the pair of sliders 48, and when processing the workpiece W, the hanging part 23a is supported by the pair of supporting parts 48c. The slider 48 is spaced apart from the support portion 48c of the slider 48 in the front-rear direction, and is lowered between the pair of sliders 48 by the lifting device 3.

ワークＷは、図７に示すように、左右のガイドレール４９間において、前側のスライダ４８と、後側のスライダ４８との間では、掛止部２３ａがスライダ４８の支持部４８ｃから前後方向に離間されているので、上下方向に昇降可能である。このため、ワークＷは、掛止部２３ａを前後のスライダ４８間に配置することで、昇降装置３によって加工装置５のワイヤ５３がある加工位置まで下降可能となる。 As shown in FIG. 7, in the work W, between the left and right guide rails 49, between the front slider 48 and the rear slider 48, the hooking part 23a extends from the support part 48c of the slider 48 in the front-rear direction. Since they are spaced apart, they can be moved up and down. Therefore, by arranging the hook portion 23a between the front and rear sliders 48, the workpiece W can be lowered by the lifting device 3 to the processing position where the wire 53 of the processing device 5 is located.

＜加工装置＞
図１に示すように、加工装置５は、クランプ装置２にクランプされた未加工のワークＷを加工する切削機構である。加工装置５は、適宜な間隔で水平方向に対向配置された一対の加工用ローラ５１，５２と、加工用ローラ５１と加工用ローラ５２とに巻き掛けられたワイヤ５３と、加工用ローラ５１，５２を回転駆動させる駆動モータ（図示省略）と、を備えて成る。加工装置５は、基台１３上のコラム１４に設けられている。 <Processing equipment>
As shown in FIG. 1, the processing device 5 is a cutting mechanism that processes an unprocessed workpiece W clamped by the clamp device 2. As shown in FIG. The processing device 5 includes a pair of processing rollers 51 and 52 that are arranged opposite to each other in the horizontal direction at appropriate intervals, a wire 53 wound around the processing rollers 51 and 52, and a processing roller 51, and a drive motor (not shown) that rotationally drives 52. The processing device 5 is provided on a column 14 on a base 13.

加工装置５の上方において、コラム１４には、ワークＷを支持するクランプ装置２が昇降装置３によって昇降可能に配置されている。そして、ワイヤソー１の運転時には、ワイヤ５３が加工用ローラ５１，５２間で走行されて、クランプ装置２で保持されたワークＷが、昇降装置３によって加工装置５に向かって下降されてワイヤ５３に押し付けられることで切断される。 Above the processing device 5, a clamp device 2 for supporting a workpiece W is disposed on a column 14 so as to be movable up and down by a lifting device 3. When the wire saw 1 is in operation, the wire 53 is run between the processing rollers 51 and 52, and the workpiece W held by the clamp device 2 is lowered toward the processing device 5 by the lifting device 3 and attached to the wire 53. It is cut by being pressed.

加工用ローラ５２，５２は、駆動モータ（図示省略）によって回転されることで、ワイヤ５３を加工用ローラ５２，５３間だけ走行させるように構成されている。加工用ローラ５２，５３は、少なくとも一対であればよく、相互間隔をおいて平行に配置される構成であれば、３本以上でもよい。 The processing rollers 52, 52 are configured to be rotated by a drive motor (not shown) so that the wire 53 runs only between the processing rollers 52, 53. The number of processing rollers 52 and 53 may be at least one pair, and three or more may be provided as long as they are arranged in parallel with a distance between them.

ワイヤ５３は、例えば、１本の線材によって構成された加工用ワイヤである。ワイヤ５３は、加工用ローラ５２，５３によって、一定量前進及び一定量後退を繰り返して、全体として歩進的に前進し、または、一方向に連続して前進するように駆動される。 The wire 53 is, for example, a processing wire made of one wire. The wire 53 is driven by processing rollers 52 and 53 so that it moves forward by a certain amount and moves backward by a certain amount repeatedly, so that the wire 53 moves forward stepwise as a whole, or moves forward continuously in one direction.

＜加工室カバー＞
図１及び図２に示すように、加工室カバー６は、加工装置５における加工領域を覆って加工室Ｒを形成するカバー部材である。加工室カバー６は、ワークＷの加工領域に供給されたクーラントが飛散しないように設けられる箱状部材から成る。加工室カバー６は、加工室Ｒ内のワークＷの着脱作業等の際に、開閉する扉（図示省略）を備えている。 <Processing room cover>
As shown in FIGS. 1 and 2, the processing chamber cover 6 is a cover member that covers a processing area in the processing device 5 and forms a processing chamber R. As shown in FIGS. The processing chamber cover 6 is a box-shaped member provided to prevent the coolant supplied to the processing area of the workpiece W from scattering. The processing chamber cover 6 includes a door (not shown) that opens and closes when a workpiece W in the processing chamber R is attached or removed.

［作用］
次に、本発明の実施形態に係るワイヤソー１及びワイヤソー１のワークＷの搬入出方法の作用を、図１６を主に図１～図１６を参照しながら作業工程順に説明する。 [Effect]
Next, the operation of the wire saw 1 and the method of loading and unloading the workpiece W of the wire saw 1 according to the embodiment of the present invention will be explained in order of work steps, mainly referring to FIG. 16 and FIGS. 1 to 16.

図７に示すように、加工の完了したワークＷを昇降装置３で退避位置まで上昇させ、加工室カバー６（図１参照）を開き、図８に示すように、アンロード位置Ｕｎにある空の搬出装置４ｂのスライダ４８を加工室Ｒに搬入させる。続いて、クランプ装置２をワーククランプアンクランプ位置まで下降させ、ワークＷをアンクランプし、クランプ装置２を退避位置まで上昇させて、図９に示すように、そのワークＷを、搬出装置４ｂによって加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎに搬出する（搬出工程Ｓ１）。 As shown in FIG. 7, the workpiece W that has been processed is raised to the retracted position using the lifting device 3, the processing chamber cover 6 (see FIG. The slider 48 of the carry-out device 4b is carried into the processing chamber R. Subsequently, the clamping device 2 is lowered to the workpiece clamp unclamping position, the workpiece W is unclamped, the clamping device 2 is raised to the retracted position, and the workpiece W is moved by the unloading device 4b as shown in FIG. It is carried out from the processing chamber R to the unloading position Un (carrying out step S1).

次に、図１０に示すように、ロード位置Ｌｏの搬入装置４ａのスライダ４８に支持された未加工のワークＷを、搬入装置４ａによって加工室Ｒに搬入する（搬入工程Ｓ２）。
続いて、加工室Ｒ内に搬入された未加工のワークＷを昇降装置３で下降させて、クランプ装置２でクランプする（クランプ工程Ｓ３）。そして、昇降装置３でクランプ装置２を退避位置まで上昇させる。 Next, as shown in FIG. 10, the unprocessed workpiece W supported by the slider 48 of the carry-in device 4a at the loading position Lo is carried into the processing chamber R by the carry-in device 4a (carry-in step S2).
Subsequently, the unprocessed workpiece W carried into the processing chamber R is lowered by the lifting device 3 and clamped by the clamping device 2 (clamping step S3). Then, the clamp device 2 is raised to the retracted position using the lifting device 3.

次に、図１１に示すように、加工室Ｒに未加工のワークＷを搬入した搬入装置４ａのスライダ４８を、何も載置していない状態でロード位置Ｌｏに退避（搬出）させて、ワークＷを加工する準備をする（退避工程Ｓ４）。
続いて、加工室カバー６（図１参照）を閉めて、図１２に示すように、クランプ装置２でクランプした未加工のワークＷを昇降装置３で下降させることで、加工装置５のワイヤ５３に押し当ててワークＷを切削加工（スライス加工）する（加工工程Ｓ５）。 Next, as shown in FIG. 11, the slider 48 of the carry-in device 4a that has carried the unprocessed workpiece W into the processing chamber R is retracted (carried out) to the loading position Lo with nothing placed thereon, and Preparations are made to process the workpiece W (retreat step S4).
Subsequently, the machining chamber cover 6 (see FIG. 1) is closed, and as shown in FIG. The workpiece W is cut (sliced) by pressing against it (processing step S5).

この未加工のワークＷを加工しているときに、図１３に示すように、搬出工程Ｓ１でアンロード位置Ｕｎに搬出した加工後のワークＷを搬出装置４ｂのスライダ４８から取り外し、退避工程Ｓ４でロード位置Ｌｏに退避させた搬入装置４ａのスライダ４８に、次に加工する未加工のワークＷを載置して、次の加工の準備をする（取外載置工程Ｓ６）。そして、図１４及び図１５に示すように、加工後のワークＷを搬出装置４ｂのスライダ４８でアンロード位置Ｕｎに搬出するときに、未加工のワークＷを搬入装置４ａのスライダ４８で加工室Ｒに搬入する。つまり、搬出工程Ｓ１と搬入工程Ｓ２とは、同時に行うことができる。
以上の搬出工程Ｓ１から取外載置工程Ｓ６を繰り返して、ワークＷを順次に加工して生産する。 While processing this unprocessed workpiece W, as shown in FIG. 13, the processed workpiece W carried out to the unloading position Un in the carryout step S1 is removed from the slider 48 of the carryout device 4b, and the processed workpiece W is removed from the slider 48 of the carryout device 4b, as shown in FIG. The unprocessed workpiece W to be processed next is placed on the slider 48 of the carry-in device 4a which has been evacuated to the loading position Lo in order to prepare for the next processing (removal and placement step S6). As shown in FIGS. 14 and 15, when the processed workpiece W is transferred to the unloading position Un by the slider 48 of the transfer device 4b, the unprocessed workpiece W is transferred to the processing chamber by the slider 48 of the transfer device 4a. Transport it to R. That is, the carry-out process S1 and the carry-in process S2 can be performed simultaneously.
The above-described unloading process S1 to removal and mounting process S6 are repeated to sequentially process and produce the workpieces W.

このように、本発明は、図１に示すように、ワイヤ５３によってワークＷを切断するワイヤソー１において、ワークＷを支持するスライダ４８を含み、ワークＷを加工室Ｒに搬入及び加工室Ｒから搬出させる移送装置４と、加工室Ｒに配置され、ワークＷを加工する加工装置５と、加工室Ｒに配置され、ワークＷをクランプするクランプ装置２と、クランプ装置２を昇降させる昇降装置３と、を備え、移送装置４は、振子動作するアーム４６を有し、アーム４６によってワークＷを搬送する。 Thus, as shown in FIG. 1, the present invention includes a wire saw 1 that cuts a workpiece W with a wire 53, which includes a slider 48 that supports the workpiece W, and which is capable of carrying the workpiece W into and out of the processing chamber R. A transfer device 4 for unloading, a processing device 5 disposed in the processing chamber R for processing the workpiece W, a clamping device 2 disposed in the processing chamber R for clamping the workpiece W, and a lifting device 3 for raising and lowering the clamping device 2. The transfer device 4 includes an arm 46 that operates in a pendulum manner, and the workpiece W is transferred by the arm 46.

これにより、ワイヤソー１は、未加工のワークＷを加工室Ｒに搬入し、加工後のワークＷを加工室Ｒから搬出させる移送装置４を備えていることで、ワイヤソー１の停止及び中断している時間を削減してワイヤソー１の稼働率を向上させることができる。このため、ワークＷを生産する生産時間を短縮させて生産性を向上させることができる。また、移送装置４は、従来使用していたワークリフタ等の付帯装置を不要とするため、ワイヤソー１の構造を簡素化して、コストダウンを図ることができる。 As a result, the wire saw 1 is equipped with a transfer device 4 that transports the unprocessed workpiece W into the processing chamber R and transports the processed workpiece W from the processing chamber R, so that the wire saw 1 can be stopped and interrupted. The operating rate of the wire saw 1 can be improved by reducing the time spent there. Therefore, the production time for producing the work W can be shortened and productivity can be improved. Moreover, since the transfer device 4 eliminates the need for ancillary devices such as a work lifter that have been used in the past, the structure of the wire saw 1 can be simplified and costs can be reduced.

また、移送装置４は、アーム４６と、アーム４６を振子動作させる駆動装置４０と、アーム４６の振子動作を直線動作に変換させる変換部材４７と、変換部材４７に連結されて進退するスライダ４８と、スライダ４８の移動をガイドするガイドレール４９と、スライダ４８に支持されてワークＷを進退させるワーク治具２３と、を備えている。 The transfer device 4 also includes an arm 46, a drive device 40 that causes the arm 46 to move in a pendulum manner, a conversion member 47 that converts the pendulum movement of the arm 46 into a linear movement, and a slider 48 that is connected to the conversion member 47 and moves back and forth. , a guide rail 49 that guides the movement of the slider 48, and a work jig 23 that is supported by the slider 48 and moves the work W forward and backward.

これにより、移送装置４は、ワークＷを支持し、アーム４６に連動して移動するスライダ４８を備えていることで、ワークＷの交換を自動化して容易にすることができる。その結果、ワークＷを生産する際の作業性を向上させて省力化を図ることができる。 Thereby, since the transfer device 4 includes the slider 48 that supports the workpiece W and moves in conjunction with the arm 46, it is possible to automate and facilitate exchange of the workpiece W. As a result, it is possible to improve work efficiency and save labor when producing the workpiece W.

また、ワークＷは、ワーク治具２３に保持され、ガイドレール４９は、互いに平行に配置された一対のレール状部材から成り、スライダ４８は、ワーク治具２３の側面両側にそれぞれ突設された掛止部２３ａが支持される支持部４８ｃを有し、ワーク治具２３は、ワークＷを移送装置４で搬送する際に、掛止部２３ａが、一対の支持部４８ｃに支持され、ワークＷを加工装置５で加工する際に、ワーク治具２３が、移送装置４によって加工室Ｒに搬入されて、クランプ装置２でクランプされた状態で、昇降装置３で上昇された後、移送装置４によってスライダ４８を加工室Ｒから加工室Ｒ外に搬出させてから加工装置５がある位置に下降されることで、ワークＷが加工装置５で加工される。 Further, the workpiece W is held by the workpiece jig 23, the guide rail 49 consists of a pair of rail-shaped members arranged parallel to each other, and the sliders 48 are provided protrudingly from both side surfaces of the workpiece jig 23. The work jig 23 has a supporting part 48c on which the hanging part 23a is supported, and when the workpiece W is transported by the transfer device 4, the hanging part 23a is supported by the pair of supporting parts 48c, When processing with the processing device 5, the workpiece jig 23 is carried into the processing chamber R by the transfer device 4, is clamped by the clamp device 2, and lifted by the lifting device 3, and then transferred to the transfer device 4. The workpiece W is processed by the processing device 5 by moving the slider 48 from the processing chamber R out of the processing chamber R and then lowering the processing device 5 to a certain position.

これにより、ワーク治具２３は、ワークＷを搬送する際に、一対のスライダ４８の支持部４８ｃに支持されるので、スライダ４８を移動させることによって、ワークＷを搬送させることができる。また、ワーク治具２３は、ワークＷを加工する際に、移送装置４によって加工室Ｒに搬入されて、クランプ装置２でクランプされた状態で、昇降装置３で上昇された後、移送装置４によってスライダ４８を加工室Ｒから加工室Ｒ外に搬出させてから昇降装置３によって下降させることで、下方に配置された加工装置５のワイヤ５３にワークＷを押し当てて切断することを可能とする。 Thereby, the workpiece jig 23 is supported by the support portions 48c of the pair of sliders 48 when transporting the workpiece W, so that the workpiece W can be transported by moving the slider 48. Further, when processing the workpiece W, the workpiece jig 23 is carried into the processing chamber R by the transfer device 4, is clamped by the clamp device 2, and lifted by the lifting device 3, and then moved to the transfer device 4. By transporting the slider 48 from the processing chamber R to the outside of the processing chamber R and then lowering it by the lifting device 3, it is possible to press the workpiece W against the wire 53 of the processing device 5 disposed below and cut it. do.

また、スライダ４８は、ロード側に配設されるロード用のスライダ４８と、アンロード側に配設されるアンロード用のスライダ４８を有し、移送装置４は、ロード側に配設される搬入装置４ａ（ロード用移送装置）と、アンロード側に配設される搬出装置４ｂ（アンロード用移送装置）を有し、搬入装置４ａは、ロード用のスライダ４８をロード位置Ｌｏから加工室Ｒへ搬入し、加工室Ｒからロード位置Ｌｏに搬出させ、搬出装置４ｂは、アンロード用のスライダ４８をアンロード位置Ｕｎから加工室Ｒへ搬入し、加工室Ｒからアンロード側へ搬出させる。 Further, the slider 48 has a loading slider 48 disposed on the loading side and an unloading slider 48 disposed on the unloading side, and the transfer device 4 is disposed on the loading side. It has a carrying-in device 4a (loading transfer device) and a carrying-out device 4b (unloading transfer device) disposed on the unloading side, and the carrying-in device 4a moves the loading slider 48 from the loading position Lo to the processing chamber. The unloading device 4b carries the slider 48 for unloading into the processing chamber R from the unloading position Un, and carries it out from the processing chamber R to the unloading side. .

これにより、移送装置４は、ワイヤソー１のロード側からワークＷを搬入して、加工完了後のワークＷをアンロード位置Ｕｎに搬出することで、未加工のワークＷと、加工後のワークＷと、を相違する位置の方向に搬送することができる。このため、未加工のワークＷと、加工後のワークＷとのワークＷ同士が対向する方向に移動するのを解消して、未加工のワークＷと加工後のワークＷを同時に搬送させることが可能になる。その結果、ワークＷの搬送時間を短縮させて、効率よくワークＷを搬送させることができるので、ワークＷの生産性を向上させることができる。 Thereby, the transfer device 4 carries in the workpiece W from the load side of the wire saw 1, and carries out the workpiece W after machining to the unloading position Un, thereby separating the unmachined workpiece W and the machined workpiece W. and can be transported in the direction of different positions. Therefore, it is possible to eliminate the movement of the unprocessed workpiece W and the processed workpiece W in opposite directions, and to transport the unprocessed workpiece W and the processed workpiece W at the same time. It becomes possible. As a result, the time for transporting the workpiece W can be shortened and the workpiece W can be transported efficiently, so that the productivity of the workpiece W can be improved.

また、図７～図１６に示すように、本発明は、ワイヤソー１を使用してワークＷを搬入及び搬出するワイヤソーのワークの搬入出方法であって、加工完了のワークＷをアンロード用のスライダ４８にてアンロード位置Ｕｎに搬出する搬出工程Ｓ１と、ロード位置Ｌｏの未加工のワークＷをロード用のスライダ４８にて加工室Ｒ内に搬入する搬入工程Ｓ２と、加工室Ｒ内に搬入された未加工のワークＷをクランプ装置２によってクランプするクランプ工程Ｓ３と、加工室Ｒに未加工のワークＷを搬入したロード用のスライダ４８をロード位置Ｌｏに退避させる退避工程Ｓ４と、未加工のワークＷを昇降装置３によって昇降させることによって加工装置５で加工する加工工程Ｓ５と、未加工のワークＷを昇降装置３によって昇降させることによって加工装置５で加工する加工工程Ｓ５と、未加工のワークＷを加工中に、搬出工程Ｓ１で搬出された加工完了のワークＷをアンロード用のスライダ４８から取り外すと共に、未加工のワークＷをロード用のスライダ４８に載置する取外載置工程Ｓ６と、を有する。 Further, as shown in FIGS. 7 to 16, the present invention is a wire saw workpiece loading/unloading method for loading and unloading a workpiece W using the wire saw 1, in which a workpiece W having been processed is transferred to a wire saw for unloading. A carry-out process S1 in which the slider 48 carries out the unprocessed workpiece W to the unloading position Un, a carry-in process S2 in which the unprocessed workpiece W at the load position Lo is carried into the processing chamber R by the loading slider 48, and A clamp step S3 in which the unprocessed workpiece W carried in is clamped by the clamp device 2, a retraction step S4 in which the loading slider 48 that has carried the unprocessed workpiece W into the processing chamber R is retracted to the loading position Lo, and A processing step S5 in which the workpiece W to be processed is processed by the processing device 5 by being raised and lowered by the lifting device 3; a processing step S5 in which the unprocessed workpiece W is processed by the processing device 5 by being raised and lowered by the lifting device 3; While machining the work W to be processed, the work W that has been processed and carried out in the carry-out step S1 is removed from the slider 48 for unloading, and the unprocessed work W is placed on the slider 48 for loading. and a placing step S6.

これにより、ワイヤソー１のワークＷの搬入出方法は、未加工のワークＷの加工室Ｒへの搬入し、加工後のワークＷを加工室Ｒから搬出を容易に行うことができるので、ワイヤソー１のダウンタイムを削減して、ワークＷの生産性を向上させることができる。 As a result, the method for carrying in and out of the workpiece W of the wire saw 1 is such that the unprocessed workpiece W can be easily carried into the processing chamber R and the processed workpiece W can be easily carried out from the processing chamber R. It is possible to reduce the downtime of the work W and improve the productivity of the work W.

［変形例］
なお、本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その技術的思想の範囲内で種々の改造及び変更が可能であり、本発明はこれら改造及び変更された発明にも及ぶことは勿論である。 [Modified example]
Note that the present invention is not limited to the above-mentioned embodiments, and various modifications and changes can be made within the scope of the technical idea, and the present invention does not extend to inventions made by these modifications and changes. Of course.

次に、図１７を参照して、本発明の実施形態に係るワイヤソー１Ａの変形例を説明する。なお、既に説明した構成は同じ符号を付してその説明を省略する。
図１７は、本発明の実施形態に係るワイヤソー１Ａの変形例を示す概略側面図である。 Next, with reference to FIG. 17, a modification of the wire saw 1A according to the embodiment of the present invention will be described. Note that the configurations that have already been described are given the same reference numerals and their explanations will be omitted.
FIG. 17 is a schematic side view showing a modification of the wire saw 1A according to the embodiment of the present invention.

前記実施形態では、移送装置４で未加工のワークＷをロード位置Ｌｏ側から加工室Ｒに搬入して、加工後のワークＷを加工室Ｒからアンロード位置Ｕｎ側に搬出する場合を説明したが、図１７に示す移送装置４Ａのように、一方向側（ロード位置Ｌｏ側）からワークＷを支持したスライダ４８を加工室Ｒに搬入して、搬入して来た方向側（ロード位置Ｌｏ側）から搬出してもよい。 In the embodiment described above, a case has been described in which the transfer device 4 carries the unprocessed workpiece W into the processing chamber R from the loading position Lo side, and carries out the processed workpiece W from the processing chamber R to the unloading position Un side. However, as shown in the transfer device 4A shown in FIG. It may be carried out from the side).

つまり、ワイヤソー１Ａは、ワークＷを移送装置４Ａのスライダ４８によってロード位置Ｌｏ側から加工室Ｒに搬入し、加工後のワークＷを同じスライダ４８を使用して、ロード位置Ｌｏと同じ位置にあるアンロード位置Ｕｎ側に戻すように、往復移動させてもよい。つまり、移送装置４Ａは、前記実施形態で説明した搬入装置４ａと、搬出装置４ｂと、の機能を有するものであってもよい。
この場合、スライダ４８は、ワークロード用のスライダ４８と、ワークアンロード用のスライダ４８と、を兼用している。 That is, the wire saw 1A carries the workpiece W into the processing chamber R from the load position Lo side using the slider 48 of the transfer device 4A, and moves the processed workpiece W to the same position as the load position Lo using the same slider 48. It may be moved back and forth so as to return to the unloading position Un side. That is, the transfer device 4A may have the functions of the carry-in device 4a and the carry-out device 4b described in the embodiment.
In this case, the slider 48 serves both as a workload slider 48 and a work unload slider 48.

これにより、ワイヤソー１Ａは、図１７に示すように、移送装置４Ａがワイヤソー１Ａの前側のみに配置された１台から成るので、部品点数を削減してコストダウン及び装置の小型化を図ることができる。 As a result, as shown in FIG. 17, the wire saw 1A consists of one unit in which the transfer device 4A is placed only on the front side of the wire saw 1A, so it is possible to reduce the number of parts, reduce costs, and downsize the device. can.

［その他の変形例］
例えば、前記実施形態で説明した駆動装置４０は、アーム４６を振子動作させる駆動手段であればよく、電動モータと、ラックアンドピニオン機構あるいはウォーム・ホイール等の歯車機構を使用したものであってもよい。 [Other variations]
For example, the drive device 40 described in the above embodiment may be any drive means that causes the arm 46 to move in a pendulum manner, and may be one that uses an electric motor and a gear mechanism such as a rack and pinion mechanism or a worm wheel. good.

１，１Ａ ワイヤソー
２ クランプ装置
３ 昇降装置
４，４Ａ 移送装置
４ａ 搬入装置（ロード用移送装置）
４ｂ 搬出装置（アンロード用移送装置）
５ 加工装置
２３ ワーク治具
２３ａ 掛止部
４０ 駆動装置
４６ アーム
４７ 変換部材
４８ スライダ
４８ｃ 支持部
４９ ガイドレール
５３ ワイヤ
Ｒ 加工室
Ｓ１ 搬出工程
Ｓ２ 搬入工程
Ｓ３ クランプ工程
Ｓ４ 退避工程
Ｓ５ 加工工程
Ｓ６ 取外載置工程
Ｒ 加工室
Ｗ ワーク 1,1A Wire saw 2 Clamp device 3 Lifting device 4,4A Transfer device 4a Carrying device (loading transfer device)
4b Unloading device (transfer device for unloading)
5 Processing device 23 Work jig 23a Hanging part 40 Drive device 46 Arm 47 Conversion member 48 Slider 48c Support part 49 Guide rail 53 Wire R Processing chamber S1 Carrying out process S2 Carrying process S3 Clamping process S4 Evacuation process S5 Processing process S6 Removal Placement process R Processing room W Workpiece

Claims (5)

ワイヤによってワークを切断するワイヤソーにおいて、
前記ワークを支持するスライダを含み、前記スライダに載置された前記ワークを加工室に搬入及び前記加工室から搬出させる移送装置と、
前記加工室に配置され、前記スライダから離間された前記ワークを加工する加工装置と、
前記加工室に配置され、前記加工室に搬入された前記ワークをクランプするクランプ装置と、
前記ワークを前記加工室に搬入した前記移送装置を前記加工室から退避させた後、前記加工室内に搬入された前記ワークをクランプした前記クランプ装置を昇降させる昇降装置と、を備え、
前記移送装置は、上端部に配置された揺動軸を中心として振子動作することによって前記ワークを支持した前記スライダを、前記加工室へ搬入または搬出させるアームを有し、前記アームによって前記ワークを前記加工室に搬入及び搬出し、
前記昇降装置は、前記加工室に搬入された前記ワークをクランプした前記クランプ装置を昇降させることによって、前記ワークを前記加工装置で加工する
ことを特徴とするワイヤソー。 In a wire saw that cuts a workpiece with a wire,
a transfer device that includes a slider that supports the workpiece and transports the workpiece placed on the slider into and out of the processing chamber;
a processing device arranged in the processing chamber and processing the workpiece separated from the slider ;
a clamping device disposed in the processing chamber and clamping the workpiece carried into the processing chamber ;
an elevating device that lifts and lowers the clamping device that clamps the workpiece that has been carried into the processing chamber after the transfer device that has carried the workpiece into the processing chamber is evacuated from the processing chamber;
The transfer device includes an arm that carries the slider, which supports the workpiece, into or out of the processing chamber by performing a pendulum motion about a swing shaft disposed at an upper end , and the arm moves the workpiece. Carrying in and out of the processing room,
The lifting device processes the workpiece with the processing device by lifting and lowering the clamping device that clamps the workpiece carried into the processing chamber.
A wire saw characterized by: 前記移送装置は、前記アームと、
前記アームを振子動作させる駆動装置と、
前記アームの振子動作を直線動作に変換させる変換部材と、
前記変換部材に連結されて進退する前記スライダと、
前記スライダの移動をガイドするガイドレールと、
前記スライダに支持されて前記ワークを進退させるワーク治具と、を備えている
ことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソー。 The transfer device includes the arm;
a drive device that causes the arm to operate in a pendulum manner;
a conversion member that converts the pendulum motion of the arm into a linear motion;
the slider connected to the conversion member and moving back and forth;
a guide rail that guides movement of the slider;
The wire saw according to claim 1, further comprising a work jig that is supported by the slider and moves the workpiece forward and backward. 前記ワークは、前記ワーク治具に保持され、
前記ガイドレールは、互いに平行に配置された一対のレール状部材から成り、
前記スライダは、前記ワーク治具の両側にそれぞれ突設された掛止部が支持される支持部を有し、
前記ワーク治具は、前記ワークを前記移送装置で搬送する際に、前記掛止部が、一対の前記支持部に支持され、
前記ワークを前記加工装置で加工する際に、前記ワーク治具が、前記移送装置によって加工室に搬入されて、前記クランプ装置でクランプされた状態で、前記昇降装置で上昇された後、前記移送装置によって前記スライダを前記加工室から前記加工室外に搬出させてから前記加工装置がある位置に下降されることで、前記ワークが前記加工装置で加工される
ことを特徴とする請求項２に記載のワイヤソー。 The workpiece is held by the workpiece jig,
The guide rail consists of a pair of rail-shaped members arranged parallel to each other,
The slider has support portions on which hook portions protruding from both sides of the work jig are supported,
In the work jig, when the work is transported by the transfer device, the hanging portion is supported by the pair of support portions,
When the workpiece is processed by the processing device, the workpiece jig is carried into the processing chamber by the transfer device, is clamped by the clamp device, and lifted by the lifting device, and then 3. The workpiece is processed by the processing device by transporting the slider from the processing chamber to the outside of the processing chamber by a device, and then lowering the slider to a certain position of the processing device. wire saw. 前記スライダは、ロード側に配設されるロード用のスライダと、アンロード側に配設されるアンロード用のスライダを有し、
前記移送装置は、ロード側に配設されるロード用移送装置と、アンロード側に配設されるアンロード用移送装置を有し、
前記ロード用移送装置は、前記ロード用のスライダをロード位置から前記加工室へ搬入し、前記加工室からロード位置に搬出させ、
前記アンロード用移送装置は、前記アンロード用のスライダをアンロード位置から前記加工室へ搬入し、前記加工室からアンロード側へ搬出させる
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載のワイヤソー。 The slider has a loading slider disposed on the loading side and an unloading slider disposed on the unloading side,
The transfer device includes a loading transfer device disposed on the loading side and an unloading transfer device disposed on the unloading side,
The loading transfer device transports the loading slider from the loading position to the processing chamber, and transports the loading slider from the processing chamber to the loading position,
The unloading transfer device transports the unloading slider from the unloading position into the processing chamber, and transports the unloading slider from the processing chamber to the unloading side. The wire saw according to item 1. 請求項１から請求項４のいずれかの請求項に記載のワイヤソーを使用してワークを搬入及び搬出するワイヤソーのワークの搬入出方法であって、
加工完了のワークをアンロード用のスライダにてアンロード位置に搬出する搬出工程と、
ロード位置の未加工のワークをロード用のスライダにて加工室内に搬入する搬入工程と、
前記加工室内に搬入された前記未加工のワークをクランプ装置によってクランプするクランプ工程と、
前記加工室に前記未加工のワークを搬入した前記ロード用のスライダをロード位置に退避させる退避工程と、
前記未加工のワークを昇降装置によって昇降させることによって加工装置で加工する加工工程と、
前記未加工のワークを加工中に、前記搬出工程で搬出された前記加工完了のワークを前記アンロード用のスライダから取り外すと共に、未加工のワークを前記ロード用のスライダに載置する取外載置工程と、
をこの順序で実行する
ことを特徴とするワイヤソーのワークの搬入出方法。 A wire saw workpiece loading/unloading method for loading and unloading a workpiece using the wire saw according to any one of claims 1 to 4 ,
an unloading process of transporting the completed workpiece to an unloading position using an unloading slider;
a carrying process of carrying the unprocessed workpiece at the loading position into the processing chamber using a loading slider;
a clamping step of clamping the unprocessed workpiece carried into the processing chamber with a clamping device;
a retraction step of retracting the loading slider, which has carried the unprocessed workpiece into the processing chamber, to a loading position;
A processing step of processing the unprocessed workpiece with a processing device by raising and lowering the unprocessed workpiece with a lifting device;
While processing the unprocessed workpiece, removing the processed workpiece carried out in the carrying out process from the unloading slider and placing the unprocessed workpiece on the loading slider. a placing process;
in this order
A method for loading and unloading a wire saw workpiece.
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