JP7228633B2 - クリーン化システム - Google Patents
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Description
実験は、図7に示したクリーンルーム1を模した実験室の中央に、エアロゾル発生装置を設置し、そのエアロゾル発生装置から噴射した粉塵を、室内の12地点の測定点で測定することで行った。実験室には、3台のヒーターを設置した。ヒーターは、室内発熱を模して設置したもので、発熱による上昇気流により、クリーンルーム1の天井11からの下降気流を妨げる可能性があることを想定して設置した。
このように構成された本実施の形態のクリーン化システムは、室内10の床面に複数設けられる床吸込口3から取り込まれた水と空気は、床領域の外側に配置された気水分離部4によって分離される。そして、還気経路5を通ってフィルタ部6で清浄化された空気は、再び室内10に供給される。さらに、室内10の圧力を制御するための差圧ダンパ512aが、少なくとも1個の床吸込口3に接続されている。
10 :室内
11 :天井
12 :床
13 :壁
131 :吸込口
2 :給気部
3 :床吸込口
31 :箱状部
33 :配管
34 :ゴミ止め部
4 :気水分離部
42,42A:排出管
43 :排水管
5 :還気経路
511 :風量調整弁
512a :差圧ダンパ
521 :風量調整弁
6 :フィルタ部
Claims (7)
- 室内の空気の清浄度を保つためのクリーン化システムであって、
前記室内の天井側から床面に向けて空気を供給する給気部と、
前記室内の床面に複数設けられる床吸込口と、
前記室内の床が設けられる床領域の外側に配置されて前記床吸込口から取り込まれた水と空気とを分離する気水分離部と、
前記気水分離部で分離された空気を前記室内に戻すための還気経路と、
前記給気部に送られる空気を清浄化させるフィルタ部と、
前記室内の圧力を制御するために前記床吸込口に接続される差圧ダンパと、
前記床吸込口に配置される箱状部と、
前記箱状部と前記気水分離部との間を接続する複数の配管とを備え、
前記複数の配管はコンクリートの床の内部に埋設されていることを特徴とするクリーン化システム。 - 前記室内の壁の下部には、前記還気経路に接続される吸込口が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のクリーン化システム。
- 前記気水分離部によって、空気は上方に水は下方に分離されることを特徴とする請求項1又は2に記載のクリーン化システム。
- 前記箱状部から前記配管へのゴミの流入を防ぐゴミ止め部を有することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のクリーン化システム。
- 前記還気経路には、風量調整弁が設けられていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のクリーン化システム。
- 前記還気経路を流れる空気の一部を空調機を経由させることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のクリーン化システム。
- 前記床吸込口から取り込まれる空気の量は、前記室内から排出される空気の量の20%以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のクリーン化システム。
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JP2021125515A JP7228633B2 (ja) | 2021-07-30 | 2021-07-30 | クリーン化システム |
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JP2021125515A JP7228633B2 (ja) | 2021-07-30 | 2021-07-30 | クリーン化システム |
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JP2023020253A JP2023020253A (ja) | 2023-02-09 |
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Citations (1)
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---|---|---|---|---|
JP2004084993A (ja) | 2002-08-23 | 2004-03-18 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 排気装置 |
Family Cites Families (1)
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---|---|---|---|---|
JPS6277535A (ja) * | 1985-10-01 | 1987-04-09 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | クリ−ンル−ム |
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2021
- 2021-07-30 JP JP2021125515A patent/JP7228633B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2004084993A (ja) | 2002-08-23 | 2004-03-18 | Hitachi Plant Eng & Constr Co Ltd | 排気装置 |
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---|---|
JP2023020253A (ja) | 2023-02-09 |
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