JP7211627B2 - パターン測定装置、方法及びプログラム、並びに、パターン検査装置、方法及びプログラム - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係るパターン検査装置を含む半導体製造システムの概略構成図である。半導体製造システム100は、露光装置200と、中央処理装置300と、形状測定装置400を備える。各装置は有線又は無線の通信ネットワークで接続されている。中央処理装置300が、本実施形態に係るパターン検査装置に相当する。
図2は、本実施形態に係る(a)レシピデータ作成方法及び(b)計測方法に関するフローチャートである。
図2(a)は、レシピデータ作成方法のフローチャートである。ここで、レシピデータとは、予め取得したパターンの画像データから取得した外形の数値化データ(面積、周囲長など)の検査パラメータ等である。また、レシピデータは、画像取得条件(加速電圧・ビーム電流・倍率・積算枚数や画像取得位置など)やその後の画像処理条件(前処理条件やアライメント条件や外形抽出条件や対象パターンや数値化条件など)を含んでもよい。
図2(b)は、計測方法作成方法のフローチャートである。S210では、S110と同様、入力部が、計測したい対象物のパターンの画像データを入力する。
図5は、露光量を変化させた場合に抽出される外形の変化を示す図である。同図(a)は、露光量を図4の基準(中心条件)から±8%変化させた場合の計2パターンの外形数値化データを重ね合せた図である。具体的には、±8%の外形の差分部分を塗り潰している。また、差分の大きさ位に応じて色分けして出力してもよい。
上述した通り、本実施形態によれば、パターン検査装置の操作者の経験則に頼ることなく、パターンを測定し、測定したパターンを検査することができる。また、パターン検査装置の対象物に処理されるパターンのプロセス条件を制御することも可能である。具体的には、パターン検査装置300は、露光装置200の露光条件を図9などで求めたプロセスウィンドウの範囲内に調整することが可能になる。
200 露光装置
300 中央処理装置(パターン検査装置)
400 形状測定装置(CD-SEM)
Claims (15)
- 対象物に形成された独立した複数種類のパターンの外形を検査するパターン検査装置であって、
前記複数種類のパターンの外形は、設計寸法が異なる複数のパターンの外形、又は、前記設計寸法は同一であっても、周囲パターンが異なる複数のパターンの外形であり、
前記対象物の画像データを入力する入力部と、
前記対象物の画像データから前記複数種類のパターンの外形を抽出する外形抽出部と、
抽出された前記複数種類のパターンの外形から前記複数種類のパターンの外形の計測値を求め、前記複数種類のパターンの外形の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出する外形数値化部と、
前記外形の数値化データをレシピの外形数値化データと比較する比較部と、
を備えるパターン検査装置。 - 前記レシピの外形数値化データを保存する保存部をさらに備え、
前記入力部は、前記レシピとなる対象物の画像データを入力し、
前記外形抽出部は、前記レシピの画像データから、前記レシピの外形画像データを抽出し、
前記外形数値化部は、前記レシピの外形画像データから前記レシピの外形数値化データを求める請求項1に記載のパターン検査装置。 - 前記数値化データは前記パターンの面積及び/又は周囲長を用いる請求項1に記載のパターン検査装置。
- 前記対象物の画像データからアライメントに適したパターンを抽出するアライメント部をさらに備える請求項1に記載のパターン検査装置。
- 対象物に形成された複数種類の線幅及び/又は穴径を検査するパターン検査装置であって、
前記対象物の画像データを入力する入力部と、
前記対象物の画像データから前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値を抽出する抽出部と、
前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出する外形数値化部と、
前記外形の数値化データをレシピの外形数値化データと比較する比較部と、
を備えるパターン検査装置。 - 対象物に形成された独立した複数種類のパターンの外形を検査するパターン検査方法であって、
前記複数種類のパターンの外形は、設計寸法が異なる複数のパターンの外形、又は、前記設計寸法は同一であっても、周囲パターンが異なる複数のパターンの外形であり、
前記対象物の画像データを入力し、
前記対象物の画像データから前記複数種類のパターンの外形を抽出し、
抽出された前記複数種類のパターンの外形から前記複数種類のパターンの外形の計測値を求め、前記複数種類のパターンの外形の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出し、
前記外形の数値化データをレシピの外形数値化データと比較するパターン検査方法。 - 対象物に形成された複数種類の線幅及び/又は穴径を検査するパターン検査方法であって、
前記対象物の画像データを入力し、
前記対象物の画像データから前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値を抽出し、
前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出し、
前記外形の数値化データをレシピの外形数値化データと比較するパターン検査方法。 - 対象物に形成された独立した複数種類のパターンの外形を検査するパターン検査プログラムであって、
前記複数種類のパターンの外形は、設計寸法が異なる複数のパターンの外形、又は、前記設計寸法は同一であっても、周囲パターンが異なる複数のパターンの外形であり、
前記対象物の画像データを入力するステップと、
前記対象物の画像データから前記複数種類のパターンの外形を抽出するステップと、
抽出された前記複数種類のパターンの外形から前記複数種類のパターンの外形の計測値を求め、前記複数種類のパターンの外形の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出するステップと、
前記外形の数値化データをレシピの外形数値化データと比較するステップと、
をコンピュータに実行させるパターン検査プログラム。 - 対象物に形成された複数種類の線幅及び/又は穴径を検査するパターン検査プログラムであって、
前記対象物の画像データを入力するステップと、
前記対象物の画像データから前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値を抽出するステップと、
前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出するステップと、
前記外形の数値化データをレシピの外形数値化データと比較するするステップと、
をコンピュータに実行させるパターン検査プログラム。 - 対象物に形成された独立した複数種類のパターンの外形を測定するパターン測定装置であって、
前記複数種類のパターンの外形は、設計寸法が異なる複数のパターンの外形、又は、前記設計寸法は同一であっても、周囲パターンが異なる複数のパターンの外形であり、
前記対象物の画像データを入力する入力部と、
前記対象物の画像データから前記複数種類のパターンの外形を抽出する外形抽出部と、
抽出された前記複数種類のパターンの外形から前記複数種類のパターンの外形の計測値を求め、前記複数種類のパターンの外形の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出する外形数値化部と、
を備えるパターン測定装置。 - 対象物に形成された複数種類の線幅及び/又は穴径を検査するパターン測定装置であって、
前記対象物の画像データを入力する入力部と、
前記対象物の画像データから前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値を抽出する抽出部と、
前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出する外形数値化部と、
を備えるパターン測定装置。 - 対象物に形成された独立した複数種類のパターンの外形を測定するパターン測定方法であって、
前記複数種類のパターンの外形は、設計寸法が異なる複数のパターンの外形、又は、前記設計寸法は同一であっても、周囲パターンが異なる複数のパターンの外形であり、
前記対象物の画像データを入力し、
前記対象物の画像データから前記複数種類のパターンの外形を抽出し、
抽出された前記複数種類のパターンの外形から前記複数種類のパターンの外形の計測値を求め、前記複数種類のパターンの外形の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出するパターン測定方法。 - 対象物に形成された複数種類の線幅及び/又は穴径を検査するパターン測定方法であって、
前記対象物の画像データを入力し、
前記対象物の画像データから前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値を抽出し、
前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出するパターン測定方法。 - 対象物に形成された独立した複数種類のパターンの外形を測定するパターン測定プログラムであって、
前記複数種類のパターンは、設計寸法が異なる複数のパターンの外形、又は、前記設計寸法は同一であっても、周囲パターンが異なる複数のパターンの外形であり、
前記対象物の画像データを入力するステップと、
前記対象物の画像データから前記複数種類のパターンの外形を抽出するステップと、
抽出された前記複数種類のパターンの外形から前記複数種類のパターンの外形の計測値を求め、前記複数種類のパターンの外形の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出するステップと、
をコンピュータに実行させるパターン測定プログラム。 - 対象物に形成された複数種類の線幅及び/又は穴径を検査するパターン検査プログラムであって、
前記対象物の画像データを入力するステップと、
前記対象物の画像データから前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値を抽出するステップと、
前記複数種類の線幅及び/又は穴径の計測値の統計量を外形の数値化データとして算出するステップと、
をコンピュータに実行させるパターン測定プログラム。
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