JP7208233B2 - ガラスシートの表面欠陥の検出方法および装置 - Google Patents
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Description
ガラスシート表面の欠陥検出方法において、
光源から発せられた光ビームを平行にする工程と、
前記平行な光ビームを、ビームスプリッタと交差させる工程であって、前記ビームスプリッタは、該交差した平行な光ビームの第1の部分をガラスシートの第1の表面に向けて、該交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が前記ガラスシートの前記第1の表面を照らすようにするものであり、該ガラスシートの該第1の表面を照らす前記光の第1の部分は、該第1の表面によって反射され、該ガラスシートの該第1の表面を照らす該光の第2の部分は、欠陥によって散乱されるものである工程と、
前記反射光および前記散乱光を、第1のレンズ要素を用いて受光する工程であり、前記第1のレンズ要素は、該反射光および該散乱光を逆開口部に向けて、該反射光は前記逆開口部によって遮られ、該散乱光は該逆開口部によって透過されるものである工程と、
前記逆開口部によって透過された前記散乱光を、第2のレンズ要素を用いて、撮像装置に向けて、該散乱光を検出する工程と
を含む方法。
前記光源は、レーザである、実施形態1に記載の方法。
前記光源は、1つ以上の可視光波長を含むものである、実施形態1に記載の方法。
前記ビームスプリッタと交差する前記平行な光の第2の部分は、次に、ビームダンプに入射するものである、実施形態1に記載の方法。
前記ガラスシートは、前記交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記表面を照らさない第1の位置から、該交差した平行な光ビームの該向けられた部分が該ガラスシートの該表面を照らす第2の位置へ移動されるものであり、
方法は、更に、
前記ガラスシートが前記第1の位置から前記第2の位置へ移動される時に、該ガラスシートを監視する工程と、
前記ガラスシートが前記第1の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光を監視し、該光源の出力が所定の出力から変化した場合には、該光源の前記出力を調節する工程と、
前記ガラスシートが前記第2の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光の監視を無効にする工程と
を含むものである、実施形態1に記載の方法。
前記第1および第2のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるものであり、
方法は、更に、
前記レンズアセンブリの焦点を、前記ガラスシートの前記第1の表面の反対側の第2の表面にずらす工程を、
含むものである、実施形態1に記載の方法。
前記第1および第2のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるものであり、
方法は、更に、
前記レンズアセンブリの焦点を、前記第1の表面と該第1の表面の反対側の第2の表面の間の位置にずらす工程を、
含むものである、実施形態1に記載の方法。
ガラスシート表面の欠陥検出方法において、
ガラスシートの横寸法に亘って第1のアレイに並べられた複数の欠陥検出モジュールに隣接した前記ガラスシートを、搬送方向に搬送する工程を、
含み、
各前記欠陥検出モジュールは、
光源から発せられた光ビームを平行にする手段と、
前記平行な光ビームを、ビームスプリッタと交差させる手段であって、前記ビームスプリッタは、該交差した平行な光ビームの第1の部分を、前記移動するガラスシートの第1の表面に向けて、該交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記第1の表面を照らすようにするものであり、該ガラスシートの該第1の表面を照らす前記光の第1の部分は、該第1の表面によって反射され、該ガラスシートの該第1の表面を照らす該光の第2の部分は、欠陥によって散乱されるものである手段と、
前記反射光および前記散乱光を、第1のレンズ要素を用いて受光する手段であり、前記第1のレンズ要素は、該反射光および該散乱光を逆開口部に向けて、該反射光は前記逆開口部によって遮られ、該散乱光は該逆開口部によって透過されるものである手段と、
前記逆開口部によって透過された前記散乱光を、第2のレンズ要素を用いて、撮像装置に向けて、該散乱光を検出する手段と
を含むものである方法。
前記欠陥検出モジュールの前記第1のアレイは、線形アレイである、実施形態8に記載の方法。
前記搬送方向は、前記欠陥検出モジュールの前記線形の第1のアレイの方向に直交するものである、実施形態9に記載の方法。
前記複数の欠陥検出モジュールは、前記欠陥検出モジュールの前記第1のアレイの反対側に、欠陥検出モジュールの第2のアレイを含むものである、実施形態8に記載の方法。
前記ガラスシートは、前記搬送方向に、各前記欠陥検出モジュールについて、前記交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記第1の表面を照らさない第1の位置から、該交差した平行なビームが該ガラスシートの該第1の表面を照らす第2の位置へ搬送されるものであり、
方法は、更に、
前記ガラスシートが前記第1の位置から前記第2の位置へ移動される時に、該ガラスシートを監視する工程と、
各前記欠陥検出モジュールについて、前記ガラスシートが前記第1の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光を監視し、該光源の出力が所定の出力から変化した場合には、該光源の前記出力を調節する工程と、
各前記欠陥検出モジュールについて、前記ガラスシートが前記第2の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光の監視を無効にする工程と
を含むものである、実施形態8に記載の方法。
各前記欠陥検出モジュールについて、前記第1および第2のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるものであり、
方法は、更に、
前記レンズアセンブリの焦点をずらす工程を、
含むものである、実施形態8に記載の方法。
少なくとも1つの前記レンズアセンブリの前記焦点をずらす工程は、該焦点を前記ガラスシートの厚さ内にずらす工程を含むものである、実施形態13に記載の方法。
材料シートの表面欠陥検出装置において、
光源と、
前記光源からの光を平行にするように配列されたコリメータと、
前記平行な光の第1の部分を、前記ガラスシートの第1の表面に向かって直交するように向けて、該平行な光の前記向けられた部分が、該ガラスシートの前記第1の表面を照らすように構成されたビームスプリッタであって、該ガラスシートの該第1の表面を照らす前記光の第1の部分は、該ガラスシートの該第1の表面によって反射され、該ガラスシートの該第1の表面を照らす該光の第2の部分は、欠陥によって散乱されるものであるビームスプリッタと、
第1のレンズ要素および第2のレンズ要素を含み、前記平行な光の前記向けられた部分であって、前記ガラスシートの前記第1の表面から反射した光および該ガラスシートの該第1の表面の欠陥から散乱した光を受光するように配列されたレンズアセンブリと、
前記第1のレンズ要素と前記第2のレンズ要素の間に位置する逆開口部と、
前記欠陥によって散乱され、前記逆開口部によって透過された光を受光するように位置する撮像装置と
を含む装置。
前記逆開口部は、前記第1の表面から反射された光を遮るように構成されたものである、実施形態15に記載の装置。
24 検出器
100、200 検出装置
101、202 検出モジュール
102、204 光源
104、206 コリメータ
108、210 ビームスプリッタ
110、212 レンズアセンブリ
112、214 前側レンズ要素
114、216 後ろ側レンズ要素
116、218 逆開口
118、122 撮像装置
120、222 撮像センサ
134、144 ビームバンプ
Claims (8)
- ガラスシート表面の欠陥検出方法において、
光源から発せられた光ビームを平行にする工程と、
前記平行な光ビームを、ビームスプリッタと交差させる工程であって、前記ビームスプリッタは、該交差した平行な光ビームの第1の部分をガラスシートの第1の表面に向けて、該交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が前記ガラスシートの前記第1の表面を照らすようにするものであり、該ガラスシートの該第1の表面を照らす前記光の第1の部分は、該第1の表面によって反射され、該ガラスシートの該第1の表面を照らす該光の第2の部分は、欠陥によって散乱されるものである工程と、
前記反射光および前記散乱光を、第1のレンズ要素を用いて受光する工程であり、前記第1のレンズ要素は、該反射光および該散乱光を逆開口部に向けて、該反射光は前記逆開口部によって遮られ、該散乱光は該逆開口部によって透過されるものである工程と、
前記逆開口部によって透過された前記散乱光を、第2のレンズ要素を用いて、撮像装置に向けて、該散乱光を検出する工程と、を含み、
前記ガラスシートは、前記交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記表面を照らさない第1の位置から、該交差した平行な光ビームの該向けられた部分が該ガラスシートの該表面を照らす第2の位置へ移動されるものであり、
方法は、更に、
前記ガラスシートが前記第1の位置から前記第2の位置へ移動される時に、該ガラスシートを監視する工程と、
前記ガラスシートが前記第1の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光を監視し、該光源の出力が所定の出力から変化した場合には、該光源の前記出力を調節する工程と、
前記ガラスシートが前記第2の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光の監視を無効にする工程と、
を含む方法。 - 前記光源は、レーザである、請求項1に記載の方法。
- 前記ビームスプリッタと交差する前記平行な光の第2の部分は、次に、ビームダンプに入射するものである、請求項1または2に記載の方法。
- 前記第1および第2のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるものであり、
方法は、更に、
前記レンズアセンブリの焦点を、前記ガラスシートの前記第1の表面の反対側の第2の表面にずらす工程を、
含むものである、請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。 - 前記第1および第2のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるものであり、
方法は、更に、
前記レンズアセンブリの焦点を、前記第1の表面と該第1の表面の反対側の第2の表面の間の位置にずらす工程を、
含むものである、請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。 - ガラスシート表面の欠陥検出方法において、
ガラスシートの横寸法に亘って第1のアレイに並べられた複数の欠陥検出モジュールに隣接した前記ガラスシートを、搬送方向に搬送する工程を、
含み、
各前記欠陥検出モジュールは、
光源から発せられた光ビームを平行にする手段と、
前記平行な光ビームを、ビームスプリッタと交差させる手段であって、前記ビームスプリッタは、該交差した平行な光ビームの第1の部分を、前記移動するガラスシートの第1の表面に向けて、該交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記第1の表面を照らすようにするものであり、該ガラスシートの該第1の表面を照らす前記光の第1の部分は、該第1の表面によって反射され、該ガラスシートの該第1の表面を照らす該光の第2の部分は、欠陥によって散乱されるものである手段と、
前記反射光および前記散乱光を、第1のレンズ要素を用いて受光する手段であり、前記第1のレンズ要素は、該反射光および該散乱光を逆開口部に向けて、該反射光は前記逆開口部によって遮られ、該散乱光は該逆開口部によって透過されるものである手段と、
前記逆開口部によって透過された前記散乱光を、第2のレンズ要素を用いて、撮像装置に向けて、該散乱光を検出する手段と
を含み、
前記ガラスシートは、前記搬送方向に、各前記欠陥検出モジュールについて、前記交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記第1の表面を照らさない第1の位置から、該交差した平行なビームが該ガラスシートの該第1の表面を照らす第2の位置へ搬送されるものであり、
方法は、更に、
前記ガラスシートが前記第1の位置から前記第2の位置へ移動される時に、該ガラスシートを監視する工程と、
各前記欠陥検出モジュールについて、前記ガラスシートが前記第1の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光を監視し、該光源の出力が所定の出力から変化した場合には、該光源の前記出力を調節する工程と、
各前記欠陥検出モジュールについて、前記ガラスシートが前記第2の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光の監視を無効にする工程と
を含むものである方法。 - ガラスシートの表面欠陥検出装置において、
光源と、
前記光源からの光を平行にするように配列されたコリメータと、
前記平行な光の第1の部分を、前記ガラスシートの第1の表面に向かって直交するように向けて、該平行な光の前記向けられた部分が、該ガラスシートの前記第1の表面を照らすように構成されたビームスプリッタであって、該ガラスシートの該第1の表面を照らす前記光の第1の部分は、該ガラスシートの該第1の表面によって反射され、該ガラスシートの該第1の表面を照らす該光の第2の部分は、欠陥によって散乱されるものであるビームスプリッタと、
第1のレンズ要素および第2のレンズ要素を含み、前記平行な光の前記向けられた部分であって、前記ガラスシートの前記第1の表面から反射した光および該ガラスシートの該第1の表面の欠陥から散乱した光を受光するように配列されたレンズアセンブリと、
前記第1のレンズ要素と前記第2のレンズ要素の間に位置する逆開口部と、
前記欠陥によって散乱され、前記逆開口部によって透過された光を受光するように位置する撮像装置と、
前記ガラスシートを搬送方向に搬送するように構成された搬送装置と、
前記ガラスシートが前記第1の位置から前記第2の位置へ移動される時に、該ガラスシートを監視する制御部と、
を含み、
前記搬送装置は、前記ガラスシートを、前記交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記第1の表面を照らさない第1の位置から、該交差した平行なビームが該ガラスシートの該第1の表面を照らす第2の位置へ搬送し、
前記制御部は、前記ガラスシートが前記第1の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光を監視して、該光源の出力が所定の出力から変化した場合には、該光源の前記出力を調節し、前記ガラスシートが前記第2の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光の監視を無効にするよう制御する装置。 - 前記逆開口部は、前記第1の表面から反射された光を遮るように構成されたものである、請求項7に記載の装置。
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