JP7208233B2 - ガラスシートの表面欠陥の検出方法および装置 - Google Patents

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関連出願の相互参照

本願は、米国特許法第１１９条の下、２０１７年１１月１５日出願の米国仮特許出願第６２／５８６、３６７号の優先権の利益を主張し、その内容は依拠され、全体として参照により本明細書に組み込まれる。

本開示は、光学検査方法および装置、特に、ガラスシートなどの材料シートの表面欠陥の検出方法および装置に関する。

透明な材料シート、例えば、ガラス、宝石または鉱物（例えば、サファイア）、若しくは、ポリマーシートが、ＬＣＤ（液晶表示）パネルなどの表示パネルや、そのようなパネルの保護カバーとしてを含む様々な異なる装置での利用で用いられている。そのような表示装置、および、それを含むパネルは、更に薄く軽量に製作されるようになっており、それに伴い、材料シートも薄く軽量であることが望まれている。

表示パネルまたはカバー用の典型的な透明シートは、ガラス基材を用いて製作される。元の、または、開始ガラス基材を、例えば研削などの機械的処理と研磨、例えばエッチングなどの化学的処理と研磨を用いて薄くして、最終的なガラスシートについて望ましい厚さ（例えば、約０．１ｍｍから約０．７ｍｍ）を実現しうる。薄くする処理の間に、表面欠陥が形成されうる。例えば、化学的に薄くする間に、各々、「ディンプル」または「ピンプル」とも称される窪み（凹み）および／または***（突出）状の欠陥が形成されうる。欠陥は、典型的には、横方向には約１０マイクロメートル（μｍ）から数ミリメートル（ｍｍ）の範囲であり、典型的な垂直方向の寸法（つまり、表面平均値に対する深さ、または、高さ）は、１／４マイクロメートルもの大きさでありうる。光学表示装置でのそのような欠陥は、容易に視認されうるので、薄くしたガラス基材を表面欠陥について検査して、欠陥を除去するか、または、欠陥を有する基材は破壊するようにすべきである。

現在、手動の方法を用いて、材料シートの欠陥を検査している。残念ながら、手動の検査は、労働集約的で、一貫性がなく、更に、時間が掛かってしまう。例えば、大型製造サイズのシートを検査するには、何時間も要しうる。更に、欠陥の向きを特定するのも困難なことがありうる。つまり、検出装置は、等方的検出能力を示さないことがありうる。

大型のガラスシートなどの材料シートにおける、例えば、引っ掻き傷などの欠陥を、欠陥の向きの影響を受けることなく検出できる検出装置が必要である。

本開示によれば、ガラスシート表面の欠陥検出方法を開示し、その方法は、光源から発せられた光ビームを平行にする工程と、平行な光ビームを、ビームスプリッタと交差させる工程とを含む。ビームスプリッタは、交差した平行な光ビームの第１の部分をガラスシートの第１の表面に向けて、交差した平行な光ビームの向けられた部分がガラスシートの第１の表面を照らすようにするものである。ガラスシートの第１の表面を照らす光の第１の部分は、第１の表面によって反射され、ガラスシートの第１の表面を照らす光の第２の部分は、欠陥によって散乱される。方法は、更に、反射光および散乱光を、第１のレンズ要素を用いて受光する工程であり、第１のレンズ要素は、反射光および散乱光を逆開口部に向けて、反射光は逆開口部によって遮られ、散乱光は逆開口部によって透過されるものである工程を含む。方法は、更に、逆開口部によって透過された散乱光を、第２のレンズ要素を用いて、撮像装置に向けて、散乱光を検出する工程を含む。

光源は、レーザ、発光ダイオード、または、白色光源でありうる。光源は、１つ以上の可視光波長を含むか、発しうる。

方法は、更に、反射光は、逆開口部に含まれる不透明なディスクによって遮られ、散乱光は、不透明なディスクを囲む透明領域によって透過されるものである。

いくつかの実施形態において、ビームスプリッタと交差する平行な光の第２の部分は、次に、ビームダンプに入射するものである。

いくつかの実施形態において、ガラスシートは、交差した平行な光ビームの向けられた部分がガラスシートの表面を照らさない第１の位置から、交差した平行な光ビームの向けられた部分がガラスシートの表面を照らす第２の位置へ移動されるものであり、方法は、更に、ガラスシートが第１の位置から第２の位置へ移動される時に、ガラスシートを監視する工程と、ガラスシートが第１の位置に位置する時に、光源によって発せられた光を監視し、光源の出力が所定の出力から変化した場合には、光源の出力を調節する工程と、ガラスシートが第２の位置に位置する時に、光源によって発せられた光の監視を無効にする工程とを含むものである。

第１および第２のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるうるものであり、いくつかの実施形態において、方法は、更に、レンズアセンブリの焦点を、第１の主面の反対側の第２の表面にずらす工程か、レンズアセンブリの焦点を、第１の主面と第２の主面の間の位置にずらす工程を含むものである。

更に他の実施形態において、ガラスシート表面の欠陥検出方法を記載し、方法は、ガラスシートを搬送方向に搬送する工程であって、複数の欠陥検出モジュールが、ガラスシートの横寸法に亘って第１のアレイに並べられたものである工程を含み、各欠陥検出モジュールは、光源から発せられた光ビームを平行にする手段と、平行な光ビームを、ビームスプリッタと交差させる手段であって、ビームスプリッタは、交差した平行な光ビームの第１の部分を、移動するガラスシートの第１の表面に向けて、交差した平行な光ビームの向けられた部分がガラスシートの第１の表面を照らすようにするものであり、ガラスシートの第１の表面を照らす光の第１の部分は、第１の表面によって反射され、ガラスシートの第１の表面を照らす光の第２の部分は、欠陥によって散乱されるものである手段と、反射光および散乱光を、第１のレンズ要素を用いて受光する手段であり、第１のレンズ要素は、反射光および散乱光を逆開口部に向けて、反射光は逆開口部によって遮られ、散乱光は逆開口部によって透過されるものである手段と、逆開口部によって透過された散乱光を、第２のレンズ要素を用いて、撮像装置に向けて、散乱光を検出する手段とを含むものである。

欠陥検出モジュールの第１のアレイは、例えば、線形アレイでありうる。

いくつかの実施形態において、搬送方向は、欠陥検出モジュールの線形の第１のアレイの方向に直交するものである。

いくつかの実施形態において、複数の欠陥検出モジュールは、欠陥検出モジュールの第１のアレイの反対側に、欠陥検出モジュールの第２のアレイを含みうる。

いくつかの実施形態において、ガラスシートは、搬送方向に、各欠陥検出モジュールについて、交差した平行な光ビームの向けられた部分がガラスシートの第１の表面を照らさない第１の位置から、交差した平行なビームがガラスシートの第１の表面を照らす第２の位置へ搬送されるものであり、方法は、更に、ガラスシートが第１の位置から第２の位置へ移動される時に、ガラスシートを監視する工程と、各欠陥検出モジュールについて、ガラスシートが第１の位置に位置する時に、光源によって発せられた光を監視し、光源の出力が所定の出力から変化した場合には、光源の出力を調節する工程と、各欠陥検出モジュールについて、ガラスシートが第２の位置に位置する時に、光源によって発せられた光の監視を無効にする工程とを含むものである。

各欠陥検出モジュールについて、第１および第２のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるうるものであり、方法は、更に、レンズアセンブリの焦点をずらす工程、例えば、焦点をガラスシートの厚さ内にずらす工程を含みうる。

更に他の実施形態において、材料シートの表面欠陥検出装置を開示し、装置は、光源と、交差した平行な光の第１の部分を妨げて、ガラスシートの第１の表面に向かうように向けて、交差した平行な光の向けられた部分が、ガラスシートの第１の表面を照らすように構成されたビームスプリッタであって、ガラスシートの第１の表面を照らす光の第１の部分は、ガラスシートの第１の表面によって反射され、ガラスシートの第１の表面を照らす光の第２の部分は、欠陥によって散乱されるものであるビームスプリッタと、第１のレンズ要素および第２のレンズ要素を含むレンズアセンブリと、第１のレンズ要素と第２のレンズ要素の間に位置し、背景光を遮り、散乱光を透過するように構成された逆開口部と、透過された散乱光を検出するように構成された撮像装置とを含む。

本明細書に開示の実施形態の更なる特徴および利点を、以下の詳細な記載で示し、それは、部分的には、当業者には、その記載から、または、以下の詳細な記載、請求項、および、添付の図面を含む本明細書に記載の実施形態を実施することで、容易に分かるだろう。

ここまでの概略的記載および次の実施形態の詳細な記載の両方が、本明細書に開示の実施形態の本質および特徴を理解するための概観または枠組みを提供することを意図すると、理解すべきである。添付の図面は、更なる理解のために提供されたものであり、本明細書に組み込まれ、その一部を形成する。図面は、本開示の様々な実施形態を示し、記載と共に、本開示の原理および動作を説明する役割を果たす。

検査中のガラスシートの斜視図であり、欠陥の観察が、欠陥の向き、および、照射角にいかに依存するかを示している。 検査中のガラスシートの斜視図であり、欠陥の観察が、欠陥の向き、および、照射角にいかに依存するかを示している。 検査中のガラスシートの斜視図であり、直交方向に照らされた欠陥の観察を、いかに欠陥の向きに依存しないようにしうるかを示している。 検査中のガラスシートの斜視図であり、直交方向に照らされた欠陥の観察を、いかに欠陥の向きに依存しないようにしうるかを示している。 本開示の実施形態による例示的な欠陥検出装置の概略図である。 他の例示的な欠陥検出装置の概略図である。 更に他の例示的な欠陥検出装置の概略図である。 更に他の例示的な欠陥検出装置の概略図である。 他の例示的な欠陥検出装置の概略図である。 本明細書に記載の例示的な欠陥検出装置を用いて撮像した様々な欠陥の一連の写真である。

ここで、本開示の実施形態を詳細に記載し、例を添付の図面に示している。全図を通して、同じ、または、類似の部分を指すには、可能な限り同じ参照番号を用いている。しかしながら、本開示は、多くの異なる形態で実施しうるものであり、本明細書に示した実施形態に限定されると解釈されるべきではない。

本明細書において、範囲を、「約」１つの特定の値から、および／または、「約」他の特定の値までと表しうる。そのような範囲を表す場合には、他の実施形態は、その１つの特定の値から、他方の特定の値までの範囲を含む。同様に、値を、例えば、「約」を前に付けて、概数で表す場合には、その特定の値が他の実施形態を形成することが、理解されよう。更に、各範囲の端点は、他方の端点との関係でと、他方の端点とは独立にとの両方で、重要であることが理解されよう。

本明細書において用いる、例えば、上に、下に、右、左、前、後ろ、最上部、底部などの方向を表す用語は、示した図面に関する記載であり、絶対的な向きを意味することを意図しない。

別段の記載がない限りは、本明細書に示した、いずれの方法も、工程が特定の順序で行われることを要するとも、いずれの装置も、特定の向きであることを要すると解釈されることを意図しない。したがって、方法の請求項が、工程の行われる順序を実際に記載しないか、または、いずれの装置の請求項も、個々の構成要素の順序も向きも実際に記載しないか、若しくは、そうではなく、請求項または明細書の記載で、工程は特定の順序に限定されるとも、装置の構成要素の具体的な順序も向きも記載しない場合には、いかなる点でも、順序も向きも推測されることを全く意図しない。このことは、記載がないことに基づく、いずれの解釈にも当てはまり、そのような解釈は、工程の配列についての論理的事項、動作フロー、構成要素の順序、または、構成要素の向き、文法構造または句読点に由来する単なる意味、並びに、明細書に記載された実施形態の数または種類を含む。

本明細書において用いるように、原文の英語で単数を表す不定冠詞および定冠詞は、文脈から、そうでないことが明らかでない限りは、複数のものを含む。したがって、例えば、不定冠詞を付けた構成要素は、文脈から、そうでないことが明らかでない限りは、そのような構成要素を２つ以上有する態様を含む。

本明細書で、「例示的」、「例」という用語、または、それらの変化形を用いて、例、実例、または、例示としてであることを意味する。本明細書に記載の「例示的」、または、「例」としての任意の態様または設計は、必ずしも、他の態様または設計より好ましいか、利点を有すると解釈されるべきではない。更に、例は、単に、明確にするため、および、理解のために提供したものであり、開示した主題も、本開示に関連する部分も、いかなる点でも限定も制限することも意図しない。更なる、または、代わりの無数の様々な範囲の例を提供しうるものであるが、簡潔にするために省略したことが分かるだろう。

例えば、ガラスシートなど、透明な材料の材料シートの表面欠陥を検出する現在の方法は、ガラスシートが搬送方向に搬送される時に、平行な光をガラスシートを通して投射する工程と、ガラスシート（例えば、平行な光が照らした部分）をセンサ上で撮像する工程とを含む。本開示の実施形態は、不透明または半透明のいずれの材料と用いるのに適しうるが、そのような実施形態は、透明の材料について、反対側を向いた主面に隣接して位置する別々の装置を必要とせずに、表面欠陥の撮像をガラスシートの両面から行えるので、特に効果的であることを示した。しかしながら、引っ掻き傷など、ある欠陥を照らすのに用いた光の方向および角度に対する欠陥の向きは、欠陥を検出できるかに影響しうる。例えば、引っ掻き傷は、典型的には、細長い欠陥であり、したがって、識別可能な方向を示しうる。そのような細長い欠陥を、照射方向にか、照射方向に直交してか、または、それらの間の角度に位置合わせしうる（特定の欠陥は、完全な線形ではないこともあるのも分かる）。入射面に対して低い（かすめるような）角度で照らされ、欠陥の方向が照射方向と位置合わせされた場合には、そのような欠陥の撮像は妨げられうる。

図１は、第１の主面１２、および、第１の表面１２の反対側の第２の主面１４を含む例示的なガラスシート１０を示し、第１および第２の主面１２、１４は、それらの間の厚さＴを画定する。ガラスシート１０は、いくつかの実施形態において、透明なガラスシートであり、例えば、照射光に対して透明でありうる。本明細書で用いるように、透明という用語は、材料の透過性が、照射光の波長（例えば、中心の波長）において９０％以上であることを意味すると解釈されるものとする。第１の表面１２は、第２の表面１４と平行か、または、略平行で、厚さＴは、例えば、約２ｍｍ以下、例えば、約１．５ｍｍ以下、約１ｍｍ以下、約０．７ｍｍ以下、約０．５ｍｍ以下、約０．３ｍｍ以下、または、約０．１ｍｍ以下でありうる。しかしながら、表面の欠陥、特に、検出装置に対向する表面の欠陥は、概して、材料シートの厚さに影響されないので、更なる実施形態において、厚さＴは、２ｍｍより厚くてもよい。本実施形態によれば、第１の表面１２を、ガラスシートの側部で始まり、第１の表面１２に対して低い入射角の入射光１８に直交して延伸する引っ掻き傷１６を含むものとして示している。ガラスシート１０は、搬送方向２０に搬送され、搬送方向２０も引っ掻き傷１６に直交する。次に、入射光１８は、引っ掻き傷１６によって、引っ掻き傷の方向に略直交する方向に散乱される。つまり、入射光が、ガラスシートの表面に直交し、引っ掻き傷にも直交する平面に位置すると考えると、次に、引っ掻き傷からの散乱光２２は、概して、その同じ平面に位置して、散乱光２２を検出器２４によって集めうる。この散乱光は、通常、または、必ずしも平面状ではないので、簡略化したものにすぎないが、説明のための記載には十分である。

図２は、引っ掻き傷１６が入射光１８に平行に、更に搬送方向２０にも平行になるように配列された例示的なガラスシート１０を示している。引っ掻き傷を、ここでも第１の表面１２に対して低い角度で照らす入射光１８は、次に、引っ掻き傷によって、引っ掻き傷の方向に沿った方向に散乱される。この場合、散乱光２２を検出できるかは、引っ掻き傷の方向、および、入射角に依存する。ガラスシート１０の表面に対する入射角が、例えば２０度以内などの小さい角度の場合、次に、散乱角も概して小さい角度になる。この場合の散乱光は、検出器２４によって受光されないか、または、十分に弱く、容易に検出されないことがありうる。したがって、図１、２は、低い角度で照らすことと、欠陥が方向性を有することが組み合わさることで、欠陥の検出に問題を生じることを示している。

一方、図３、４は、入射光１８が、ガラスシート１０の第１の表面１２に直交するか、または、略直交して向けられる場合を示しており（図面では、入射光１８は、検出器２４の軸と略一致するように示されている）、引っ掻き傷を検出できるかは、引っ掻き傷の向きに依存しない（簡略化するために、図３、４では、入射光１８の引っ掻き傷１６による散乱を単一の直交する平面に示している）。したがって、図３は、引っ掻き傷１６に直交する搬送方向２０に移動するガラスシート１０を示しており、散乱光２２は、引っ掻き傷１６に直交する平面に延伸する。図４は、引っ掻き傷１６に平行な搬送方向２０に移動するガラスシート１０を示しており、散乱光２２は、引っ掻き傷１６に平行な平面に延伸する。両方の場合において、散乱光２２は、ガラスシートの主面に直交する検出軸を含む検出器２４によって受光されうる。

上記記載を基に、図５は、図３、４の主要事項を用いて、材料シートの表面欠陥の等方的欠陥検出を行うように構成された例示的な検出装置１００を示している。例示のためであり、限定するものではないが、欠陥を検出すべき材料シートは、表示装置の製造に適した視覚的に透明なガラスシートなど、透明のガラスシートとして記載する。したがって、欠陥は、限定されるものではないが、***、窪み（成形動作で生じた窪みなど）、表面残留物、引っ掻き傷、石状物（例えば、ガラスシートを製造するのに用いて融けなかった原料）、付着ガラス欠け片、シート表面に付着した繊維または他の粒子、表面包有物、および、ステインなどを含みうる。本明細書で用いるように、等方性欠陥検出は、欠陥の向き、特に、ガラスシート表面の平面内での向きに依存せずに表面欠陥を検出することを称する。装置１００は、光源１０２、光源１０２から発せられた光１０６を平行にするように配列されたコリメータ１０４、平行な光１０６を妨げるように位置するビームスプリッタ１０８、第１の前側レンズ要素１１２および第２の後ろ側レンズ要素１１４を含むレンズアセンブリ１１０、並びに、第１のレンズ要素１１２と第２のレンズ要素１１４の間に位置する逆開口部１１６を含む検出モジュール１０１を含む。レンズアセンブリ１１０は、例えば、テレセントリックレンズを含みうる。

検出モジュール１０１は、更に、撮像センサ１２０を含む撮像装置１１８を含みうる。いくつかの実施形態において、撮像センサ１２０は、撮像センサ１２０によって取得された画像を見る方法、並びに／若しくは、後で見るためか、および／または、分析するための保存方法に応じて、制御部に接続され、任意で計算システムに、任意でモニター（表示装置）に、更に、任意で記録装置に接続されうる。

検出装置１００は、更に、ガラスシートを搬送方向２０に検出モジュール１０１を過ぎて搬送するように構成された搬送装置１２２を含みうる。搬送装置１２２は、例えば、ガラスシート１０を搬送方向２０に移動するように配列された１つ以上のエンドレスベルト１２４を含みうる。搬送装置１２２は、光源１０２からの光（例えば、ビームスプリッタ１０８によって反射された光）が入射する第１の表面１２が遮られないように位置する（例えば、レンズ１１０の実視野に適合し、遮らない大きさ、および、位置の）間隙１２６を含みうる。例えば、搬送装置１２２は、ループ状に配列された少なくとも２つのエンドレスベルトを含み、ループの端部同士の間には間隙を備えうる。他の実施形態において、搬送装置１２２は、空気ベアリング、例えば、多数の空気ベアリングを含み、空気ベアリングの端部同士の間に間隙を備えて並べて配列しうるもので、ガラスシート１０は、空気ベアリングの上を、第１の空気ベアリングから、間隙の上を通って、次の空気ベアリングへと搬送される。ガラスシート１０が水平方向に搬送されるものとして示しているが、本明細書に開示の装置および方法を、他の向きにも構成しうる。例えば、ガラスシート１０は、垂直の向き、または、垂直を外れた向きに（例えば、５度から２０度の角度で、空気ベアリングによって支持されて）位置しうる。当業者であれば、他のガラスシートの向き、および、搬送方法も容易に企図しうるものであり、本明細書に記載の実施形態は、添付の図面に示した構成に特に限定されるものではない。

更に図５を参照すると、光源１０２から発せられた光１０６は、コリメータ１０４によって、平行にされて、平行な光１２８がビームスプリッタ１０８に入射する。ビームスプリッタ１０８は、入射した平行な光１２８を、２つのビームへと分割するもので、（光線１３０で表した）一方のビームは、ビームスプリッタ１０８を通って透過され、（光線１３２で表した）第２のビームは、下方に、ガラスシート１０の第１の表面１２に向かって、直交または略直交するように反射される。本明細書で用いるように、略直交という用語は、例えば、第１の表面などの基準表面または方向に対して垂直から、１０度以内、５度以内、または、１度以内など、２０度以内である意味を意図する。ビームスプリッタ１０８を通って透過された光１３０は、第１のビームダンプ１３４によって、捉えられうる（例えば、吸収されうる）。例えば、第１のビームダンプ１３４は、ビームダンプに入射した光を吸収するように暗い（例えば、黒色の）材料で構成された表面を有する構成要素を含みうる。構成要素の表面を、光吸収材料でペイントするか、または、他の態様で被膜して、その構成要素が吸収するようにさせうるもので、光吸収材料の例は、つや消し黒色塗料、炭素層、陽極酸化層、若しくは、任意の他の適した吸収層または材料を含みうる。実施形態において、第１のビームダンプ１３４の吸収構成要素は、透過された光１３０のビーム方向に対して角度を成して、ビームダンプ１３４から反射した光が、光源１０２に向けられるのも、ビームスプリッタ１０８によって検出装置１１８に向かう方向に反射されるのも防ぎうる。実施形態において、吸収構成要素は被膜プレートでありうるが、更なる実施形態において、吸収構成要素は、互いに角度を成して配列された多数の被膜プレートを含みうる。

ガラスシート１０の第１の表面１２に入射した第２のビーム１３２の第１の部分は、第１の表面１２から反射され、ビームスプリッタ１０８を通って透過され、レンズアセンブリ１１０によって、背景光１３８として集光され、欠陥（例えば、引っ掻き傷１６）に入射した第２のビーム１３２の第２の部分は、欠陥によって、概してレンズアセンブリ１１０に向かう方向に散乱され、したがって、散乱光１４０として捉えられる。更に、ビームスプリッタ１０８によって反射された光１３２の他の（第３の）部分１４２は、ガラスシート１０を通って透過されて、第２のビームダンプ１４４によって吸収されうる。例えば、第１のビームダンプ１３４のように、第２のビームダンプ１４４は、材料に入射した光を吸収するように暗い（例えば、黒色の）材料を含む表面を有する構成要素を含みうる。構成要素の表面を、光吸収材料でペイントするか、または、他の態様で被膜して、その構成要素が吸収するようにさせうるもので、光吸収材料の例は、つや消し黒色塗料、炭素層、陽極酸化層、若しくは、任意の他の適した吸収層または材料を含みうる。実施形態において、吸収構成要素は、平行な光のうちガラスシート１０を通って透過した部分の（主面１２、１４に直交する）ビーム方向１４６に対して角度を成して、第２のビームダンプ１４４によって反射された光が、撮像装置１１８または光源１０２に向けられるのを防ぎうる。実施形態において、吸収構成要素は、単一の被膜プレートでありうるが、更なる実施形態において、吸収構成要素は、互いに角度を成して配列された多数の被膜プレートを含みうる。

更に、図５を参照すると、背景光１３８は、前側レンズ要素１１２によって、第１のレンズ要素１１２の後ろ側合焦面１５０に位置する逆開口部１１６の不透明な中心ディスク１４８に合焦され、そこで、背景光１３８は吸収される。欠陥１６によって散乱された光１４０は、逆開口部１１６の不透明な中心ディスク１４８を囲む透明領域１５２を通って透過され、更に、第２のレンズ要素１１４によって、撮像装置１１８の撮像センサ１２０に合焦される。

光源１０２は、レーザを含みうるか、他の実施形態において、光源１０２は、発光ダイオード（ＬＥＤ）を含みうる。レーザまたはＬＥＤは、撮像装置１１８が検知可能な任意の適した波長、または、１群の波長の光を発しうる。例えば、実施形態において、レーザまたはＬＥＤは、可視光波長（例えば、約４００ナノメートル（ｎｍ）から約７００ｎｍの範囲）の光を発しうる。いくつかの実施形態において、光源１０２は、白色光源、例えば、白熱電球など、白色光源を含みうる。

ビームスプリッタ１０８は、任意の適したビームスプリッタでありうる。例えば、いくつかの実施形態において、ビームスプリッタ１０８は、半鍍銀鏡、例えば、ペリクル鏡でありうる。入射光の波長、検出を意図する欠陥の種類などに応じて、他のビームスプリッタ設計を用いうるもので、そのような設計は、当業者によく知られている。

撮像装置１１８は、カメラ、または、他の適した撮像装置、例えば、線走査カメラでありうるもので、撮像センサ１２０は、搬送方向２０に直交または略直交して位置合わせされた線センサでありうる。

いくつかの実施形態において、逆開口部１１６は、外側材料１５４から延伸するワイヤまたは他の細い材料によって支持された不透明な中心ディスク１４８を含み、外側材料は、不透明な中心ディスク１４８との組合せで、不透明な中心ディスク１４８を囲む環状の透明領域１５２を画定する。しかしながら、そのような支持部材は、等方的検出を妨げうる。したがって、好適な実施形態において、逆開口部１１６は、その上に成膜されたマスク材料を含むガラスプレートなどの透明プレートを含み、マスク材料は、内側マスク（つまり、不透明な中心ディスク１４８）、および、（環状の透明領域１５２であり、したがって、外側マスク１５４と不透明な中心ディスク１４８の間に画定される）透明領域１５２の外周を画定する外側マスク１５４含み、不透明な支持または接続要素が、外側マスク材料と内側マスク材料の間に延伸しない。次に、逆開口部１１６は、永久的にレンズ１１０内に載置されるか、レンズ１１０を、ポートまたは他の開口部を有して構成し、逆開口部１１６の挿入、および／または、取り外し（若しくは、任意の他の望ましい開口部またはフィルタの挿入、および／または、取り外し）を可能とするようにしうる。

光源からの出力を安定させるために、フォトダイオード（不図示）を、光源、例えば、レーザフォトダイオードからのレーザ光を監視するように配置しうる。光源からの出力を検出して、適切な信号を、データ線１６１を通して制御部１６０に送出し、それにより、光源出力を監視し調節する制御ループを確立しうる。例えば、レーザ光源の出力が、所定の出力設定点を逸れた場合には、制御部１６０は、レーザ（例えば、フォトダイオード）の出力調整を、データ線１６２を通して調節し、レーザの出力が、所定の出力設定点に戻るようにしうる。

本明細書に記載の実施形態によれば、ガラスシートを検査していない（例えば、間隙１２６内にも、間隙１２６に隣接してもガラスシート１０がない）場合には、制御部１６０がレーザを制御するようにプログラムされうる。しかしながら、ガラスシートを検査している時に、反射光、例えば、ビームスプリッタ１０８から光源１０２に向かう方向に反射された光は、レーザ内に入り散乱されうる。これにより、フォトダイオードの出力が実際より大きく見えうる。結果的に、制御部１６０は、レーザ出力を低くしようとする。したがって、実際のレーザ出力が、検査を行うのに低くなりすぎうる。

これらの問題を解決するために、ガラスシート近接センサ１６３を配置して、ガラスシートを検出しうる。ガラスシート搬送速度が分かるので、制御部１６０内のタイミング回路を用いて、ガラスシートが検出装置の前方にある場合にはいつも、制御部１６０はフィードバック制御を無効にする。したがって、レーザのフィードバック制御は、検査中のガラスシートがない（例えば、ガラスシートが間隙１２６の上にない（例えば、妨げない））場合に、有効にされる。その代わりに、ガラスシートが間隙に存在するか、存在しないかを、直接検出してもよく、その場合には、速度および位置の計算を必要としない。上記光源出力を、他の光源、例えば、ＬＥＤ光源でも用いうる。

上記記載に基づけば、検出装置の構成要素の配列を変えて、例えば、よりコンパクトな装置を実現しうることが明らかだろう。図６に、等方的欠陥検出を行うように構成された他の例示的な検出装置２００を示している。検出装置２００は、光源２０４を含む検出モジュール２０２、光源２０４から発せられた光２０８を平行にするように配列されたコリメータ２０６、ビームスプリッタ２１０、第１の前側レンズ要素２１４および第２の後ろ側レンズ要素２１６を含むレンズアセンブリ２１２、並びに、第１のレンズ要素２１４と第２のレンズ要素２１６の間に配置された逆開口部２１８を含む。レンズアセンブリ２１２は、例えば、テレセントリックレンズを含みうる。検出モジュール２０２は、更に、撮像センサ２２２を含む撮像装置２２０を含みうる。上記構成要素の任意の１つ以上は、枠部２２４に載置されて、選択された構成要素間の空間的関係を確立、および／または、維持しうる。

検出装置２００は、任意で、光源２０４によって発せられた光の外側領域を遮るように配列された視野絞り２２６を含みうる。検出装置２００は、更に、レンズ２１２をビームスプリッタ２１０（およびガラスシート１０）に対して移動するように構成された合焦装置２２８も含み、それによって、レンズアセンブリの焦点を、第１の主面１２と第２の表面１４の間で移動しうる。したがって、レンズ２１２の焦点を、第１の主面１２から第２の主面１４へ、または、ガラスシートの第１と第２の主面の間の厚さＴに亘る任意の点へ移動しうる。合焦装置２２８は、例えば、線形のレール、または、ステージアセンブリで、レンズ２１２を、ビームスプリッタ２１０およびガラスシート１０に対して移動するのを可能にさせうる。つまり、レンズ２１２を移動することで、レンズアセンブリとガラスシートの間の光路長が変化する。したがって、いくつかの実施形態において、レンズアセンブリ２１２を、枠部２２４に、合焦装置２２８を介して載置し、レンズアセンブリ２１２の位置を、合焦装置２２８の位置を調節することによって調節しうる。いくつかの実施形態において、合焦装置２２８は、スクリュー式組立て部によって手動で調節しうるが、更なる実施形態において、合焦装置は、合焦装置２２８と係合したモータ、例えば、サーボモータを介した調節を含みうる。いくつかの実施形態において、合焦を、遠隔制御を介して、または、更に自動でも実現しうる。当業者であれば、適切な構成要素を容易に配列して、遠隔または自動合焦制御を実現しうる。合焦装置２２８を、本明細書に記載の他の実施形態と共に用いうることも容易に分かるだろう。

本実施形態の動作は、上記実施形態の動作と同様である。光源２０４は、発せられた光２０８が、ガラスシート１０の第１の主面１２と直交、または、略直交するように向けられるように配列される。つまり、光２０８は、第１の光軸２２４に沿って、第１の主面１２に向かい直交する方向に発せられ、レンズ２１２の第２の光軸２２６は、第１の主面１２に平行に（かつ、第１の光軸２２４に直交して）配列される。発せられた光２０８は、コリメータ２０６によって平行にされ、平行な光２２８がビームスプリッタ２１０に入射する。ビームスプリッタ２１０は、入射した平行な光２２８を２つのビームに分け、（光線２３２で表した）一方のビームは、ビームスプリッタ２１０を通って透過され、ガラスシートの第１の表面１２に向かい、（光線２３４で表した）第２のビームは、ビームスプリッタ２１０から、透過されたビーム２３０に直交する方向に、第１のビームダンプ２３６に向かって反射される。ビームスプリッタ２１０によって反射された光２３４は、第１のビームダンプ２３６によって捉えられうる（例えば、吸収されうる）。例えば、第１のビームダンプ２３６は、吸収構成要素に入射した光を吸収するように構成された吸収構成要素を含みうる。吸収構成要素は、例えば、吸収構成要素の表面を、光吸収材料でペイントするか、他の態様で被膜することによって、吸収するようにされうるもので、光吸収材料の例は、つや消し黒色塗料、炭素層、または、任意の他の適した吸収材料を含みうる。実施形態において、吸収構成要素は、反射されたビーム２３４の伝播方向に対して角度を成して、ビームダンプから反射されうる光が、光源２０４に向かう方向に戻るように向けられるのを防ぎうる。

ガラスシート１０の第１の表面１２に入射した第１のビーム２３２の一部は、ガラスシート１０の第１の表面１２から、ビームスプリッタ２１０に向かって戻るように反射され、次に、ビームスプリッタ２１０から、レンズアセンブリ２１２に向かう方向に反射され、レンズアセンブリ２１２によって背景光として集光され、一方、第１の主面１２（および／または、第２の主面１４）の欠陥に入射した第１のビーム２３２の第２の部分は、欠陥によって、概してレンズアセンブリ２１２に向かう方向に散乱されて（ビームスプリッタ２１０から反射した後に）レンズアセンブリ２１２によって、散乱光として捉えられる（簡略化するために、第１の表面１２からの反射光、および、散乱光の両方を単一の光線２３８として示している）。それでも、ガラスシート１０の第１の表面１２からの反射光の振舞い、散乱光の振舞い、並びに、反射光および散乱光の逆開口部２１８との相互作用は、検出モジュール１０１および逆開口部１１６についての記載と同一である。

更に、ビームスプリッタ２１０を通って透過され、第１の表面１２に入射した光２３２の他の（第３の）部分２４０は、ガラスシート１０を通って透過され、第２のビームダンプ２４２によって、捉えられうる（例えば、吸収されうる）。例えば、第１のビームダンプ２３６と同様に、第２のビームダンプ２４２は、吸収構成要素に入射した光を吸収するように構成された吸収構成要素を含みうる。材料シートは、例えば、吸収構成要素を、吸収材料でペイントするか、他の態様で被膜することによって、吸収するようにされうるもので、吸収材料の例は、つや消し黒色塗料、炭素層、または、任意の他の適した吸収材料を含みうる。実施形態において、吸収構成要素は、ガラスシート１０を通って透過した入射ビーム２４０に対して角度を成して、第２のビームダンプ２４２から反射された光が、撮像装置２２０または光源２０４に向かう方向に戻るように反射されるのを防ぎうる。実施形態において、吸収構成要素は、光吸収材料で被膜されたプレートでありうるが、更なる実施形態において、吸収構成要素は、互いに角度を成して配列された多数の被膜プレートを含みうる。

更に図６を参照すると、背景光は、前側レンズ要素２１４によって、第１のレンズ要素２１４の後ろ側合焦面に位置する逆開口部２１８の不透明な中心ディスク２４４へと合焦され、そこで、背景光は吸収される。欠陥（例えば、引っ掻き傷）１６によって散乱された光は、逆開口部２１８の不透明な中心ディスク２４４を囲む透明領域２４６を通って透過され、更に、第２のレンズ要素２１６によって、撮像装置２２０の撮像センサ２２２に合焦される。

上記記載に基づけば、いくつかの例において、上記構成要素の配列は、対象ガラスシートの小さい部分を、特に、ガラスシートが搬送方向２０に沿って搬送される場合に撮像することが明らかだろう。したがって、実施形態において、検出装置２００（または、１００）は、ガラスシート１０に対向して隣接し、アレイ状に配列された複数の検出モジュール２０２（または、１０１）を含みうる。いくつかの実施形態において、図７に示すように、複数の検出モジュールを対向関係に配列しうる。更に、実施形態において、多数の列に並んだ検出モジュールを用いうるものであり、いくつかの実施形態において、図８に示したように、対向する列に並んだ検出モジュールを用いうる。いくつかの実施形態において、対向する列に並んだ検出モジュール２０２（または、１０１）は、一方の列のレンズアセンブリの光軸が、対向する列の対向するレンズアセンブリの間に延伸するようにずれうる（図９を参照）。つまり、レンズアセンブリは、対向する検出モジュール列の２つのレンズアセンブリの間の間隙に対向して、配置される。他の実施形態において、対向するレンズアセンブリの光軸は一致しうる。

図１０は、本開示の検出装置を用いて観察された異なる欠陥の一連の画像を含んでいる。画像は、本開示の実施形態を用いて、広範囲の様々な表面欠陥を検出しうることを示している。

当業者には、本開示の精神および範囲を逸脱することなく、本開示の実施形態に、様々な変更および変更が可能なことが明らかだろう。したがって、本開示は、添付の請求項および等価物の範囲である限りは、そのような変更および変形も網羅することを意図する。

以下、本発明の好ましい実施形態を項分け記載する。

実施形態１
ガラスシート表面の欠陥検出方法において、
光源から発せられた光ビームを平行にする工程と、
前記平行な光ビームを、ビームスプリッタと交差させる工程であって、前記ビームスプリッタは、該交差した平行な光ビームの第１の部分をガラスシートの第１の表面に向けて、該交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が前記ガラスシートの前記第１の表面を照らすようにするものであり、該ガラスシートの該第１の表面を照らす前記光の第１の部分は、該第１の表面によって反射され、該ガラスシートの該第１の表面を照らす該光の第２の部分は、欠陥によって散乱されるものである工程と、
前記反射光および前記散乱光を、第１のレンズ要素を用いて受光する工程であり、前記第１のレンズ要素は、該反射光および該散乱光を逆開口部に向けて、該反射光は前記逆開口部によって遮られ、該散乱光は該逆開口部によって透過されるものである工程と、
前記逆開口部によって透過された前記散乱光を、第２のレンズ要素を用いて、撮像装置に向けて、該散乱光を検出する工程と
を含む方法。

実施形態２
前記光源は、レーザである、実施形態１に記載の方法。

実施形態３
前記光源は、１つ以上の可視光波長を含むものである、実施形態１に記載の方法。

実施形態４
前記ビームスプリッタと交差する前記平行な光の第２の部分は、次に、ビームダンプに入射するものである、実施形態１に記載の方法。

実施形態５
前記ガラスシートは、前記交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記表面を照らさない第１の位置から、該交差した平行な光ビームの該向けられた部分が該ガラスシートの該表面を照らす第２の位置へ移動されるものであり、
方法は、更に、
前記ガラスシートが前記第１の位置から前記第２の位置へ移動される時に、該ガラスシートを監視する工程と、
前記ガラスシートが前記第１の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光を監視し、該光源の出力が所定の出力から変化した場合には、該光源の前記出力を調節する工程と、
前記ガラスシートが前記第２の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光の監視を無効にする工程と
を含むものである、実施形態１に記載の方法。

実施形態６
前記第１および第２のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるものであり、
方法は、更に、
前記レンズアセンブリの焦点を、前記ガラスシートの前記第１の表面の反対側の第２の表面にずらす工程を、
含むものである、実施形態１に記載の方法。

実施形態７
前記第１および第２のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるものであり、
方法は、更に、
前記レンズアセンブリの焦点を、前記第１の表面と該第１の表面の反対側の第２の表面の間の位置にずらす工程を、
含むものである、実施形態１に記載の方法。

実施形態８
ガラスシート表面の欠陥検出方法において、
ガラスシートの横寸法に亘って第１のアレイに並べられた複数の欠陥検出モジュールに隣接した前記ガラスシートを、搬送方向に搬送する工程を、
含み、
各前記欠陥検出モジュールは、
光源から発せられた光ビームを平行にする手段と、
前記平行な光ビームを、ビームスプリッタと交差させる手段であって、前記ビームスプリッタは、該交差した平行な光ビームの第１の部分を、前記移動するガラスシートの第１の表面に向けて、該交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記第１の表面を照らすようにするものであり、該ガラスシートの該第１の表面を照らす前記光の第１の部分は、該第１の表面によって反射され、該ガラスシートの該第１の表面を照らす該光の第２の部分は、欠陥によって散乱されるものである手段と、
前記反射光および前記散乱光を、第１のレンズ要素を用いて受光する手段であり、前記第１のレンズ要素は、該反射光および該散乱光を逆開口部に向けて、該反射光は前記逆開口部によって遮られ、該散乱光は該逆開口部によって透過されるものである手段と、
前記逆開口部によって透過された前記散乱光を、第２のレンズ要素を用いて、撮像装置に向けて、該散乱光を検出する手段と
を含むものである方法。

実施形態９
前記欠陥検出モジュールの前記第１のアレイは、線形アレイである、実施形態８に記載の方法。

実施形態１０
前記搬送方向は、前記欠陥検出モジュールの前記線形の第１のアレイの方向に直交するものである、実施形態９に記載の方法。

実施形態１１
前記複数の欠陥検出モジュールは、前記欠陥検出モジュールの前記第１のアレイの反対側に、欠陥検出モジュールの第２のアレイを含むものである、実施形態８に記載の方法。

実施形態１２
前記ガラスシートは、前記搬送方向に、各前記欠陥検出モジュールについて、前記交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記第１の表面を照らさない第１の位置から、該交差した平行なビームが該ガラスシートの該第１の表面を照らす第２の位置へ搬送されるものであり、
方法は、更に、
前記ガラスシートが前記第１の位置から前記第２の位置へ移動される時に、該ガラスシートを監視する工程と、
各前記欠陥検出モジュールについて、前記ガラスシートが前記第１の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光を監視し、該光源の出力が所定の出力から変化した場合には、該光源の前記出力を調節する工程と、
各前記欠陥検出モジュールについて、前記ガラスシートが前記第２の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光の監視を無効にする工程と
を含むものである、実施形態８に記載の方法。

実施形態１３
各前記欠陥検出モジュールについて、前記第１および第２のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるものであり、
方法は、更に、
前記レンズアセンブリの焦点をずらす工程を、
含むものである、実施形態８に記載の方法。

実施形態１４
少なくとも１つの前記レンズアセンブリの前記焦点をずらす工程は、該焦点を前記ガラスシートの厚さ内にずらす工程を含むものである、実施形態１３に記載の方法。

実施形態１５
材料シートの表面欠陥検出装置において、
光源と、
前記光源からの光を平行にするように配列されたコリメータと、
前記平行な光の第１の部分を、前記ガラスシートの第１の表面に向かって直交するように向けて、該平行な光の前記向けられた部分が、該ガラスシートの前記第１の表面を照らすように構成されたビームスプリッタであって、該ガラスシートの該第１の表面を照らす前記光の第１の部分は、該ガラスシートの該第１の表面によって反射され、該ガラスシートの該第１の表面を照らす該光の第２の部分は、欠陥によって散乱されるものであるビームスプリッタと、
第１のレンズ要素および第２のレンズ要素を含み、前記平行な光の前記向けられた部分であって、前記ガラスシートの前記第１の表面から反射した光および該ガラスシートの該第１の表面の欠陥から散乱した光を受光するように配列されたレンズアセンブリと、
前記第１のレンズ要素と前記第２のレンズ要素の間に位置する逆開口部と、
前記欠陥によって散乱され、前記逆開口部によって透過された光を受光するように位置する撮像装置と
を含む装置。

実施形態１６
前記逆開口部は、前記第１の表面から反射された光を遮るように構成されたものである、実施形態１５に記載の装置。

１０ ガラスシート
２４ 検出器
１００、２００ 検出装置
１０１、２０２ 検出モジュール
１０２、２０４ 光源
１０４、２０６ コリメータ
１０８、２１０ ビームスプリッタ
１１０、２１２ レンズアセンブリ
１１２、２１４ 前側レンズ要素
１１４、２１６ 後ろ側レンズ要素
１１６、２１８ 逆開口
１１８、１２２ 撮像装置
１２０、２２２ 撮像センサ
１３４、１４４ ビームバンプ

Claims (8)

1. ガラスシート表面の欠陥検出方法において、
   光源から発せられた光ビームを平行にする工程と、
   前記平行な光ビームを、ビームスプリッタと交差させる工程であって、前記ビームスプリッタは、該交差した平行な光ビームの第１の部分をガラスシートの第１の表面に向けて、該交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が前記ガラスシートの前記第１の表面を照らすようにするものであり、該ガラスシートの該第１の表面を照らす前記光の第１の部分は、該第１の表面によって反射され、該ガラスシートの該第１の表面を照らす該光の第２の部分は、欠陥によって散乱されるものである工程と、
   前記反射光および前記散乱光を、第１のレンズ要素を用いて受光する工程であり、前記第１のレンズ要素は、該反射光および該散乱光を逆開口部に向けて、該反射光は前記逆開口部によって遮られ、該散乱光は該逆開口部によって透過されるものである工程と、
   前記逆開口部によって透過された前記散乱光を、第２のレンズ要素を用いて、撮像装置に向けて、該散乱光を検出する工程と、を含み、
   前記ガラスシートは、前記交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記表面を照らさない第１の位置から、該交差した平行な光ビームの該向けられた部分が該ガラスシートの該表面を照らす第２の位置へ移動されるものであり、
   方法は、更に、
   前記ガラスシートが前記第１の位置から前記第２の位置へ移動される時に、該ガラスシートを監視する工程と、
   前記ガラスシートが前記第１の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光を監視し、該光源の出力が所定の出力から変化した場合には、該光源の前記出力を調節する工程と、
   前記ガラスシートが前記第２の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光の監視を無効にする工程と、
   を含む方法。
2. 前記光源は、レーザである、請求項１に記載の方法。
3. 前記ビームスプリッタと交差する前記平行な光の第２の部分は、次に、ビームダンプに入射するものである、請求項１または２に記載の方法。
4. 前記第１および第２のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるものであり、
   方法は、更に、
   前記レンズアセンブリの焦点を、前記ガラスシートの前記第１の表面の反対側の第２の表面にずらす工程を、
   含むものである、請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
5. 前記第１および第２のレンズ要素は、レンズアセンブリに含まれるものであり、
   方法は、更に、
   前記レンズアセンブリの焦点を、前記第１の表面と該第１の表面の反対側の第２の表面の間の位置にずらす工程を、
   含むものである、請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
6. ガラスシート表面の欠陥検出方法において、
   ガラスシートの横寸法に亘って第１のアレイに並べられた複数の欠陥検出モジュールに隣接した前記ガラスシートを、搬送方向に搬送する工程を、
   含み、
   各前記欠陥検出モジュールは、
   光源から発せられた光ビームを平行にする手段と、
   前記平行な光ビームを、ビームスプリッタと交差させる手段であって、前記ビームスプリッタは、該交差した平行な光ビームの第１の部分を、前記移動するガラスシートの第１の表面に向けて、該交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記第１の表面を照らすようにするものであり、該ガラスシートの該第１の表面を照らす前記光の第１の部分は、該第１の表面によって反射され、該ガラスシートの該第１の表面を照らす該光の第２の部分は、欠陥によって散乱されるものである手段と、
   前記反射光および前記散乱光を、第１のレンズ要素を用いて受光する手段であり、前記第１のレンズ要素は、該反射光および該散乱光を逆開口部に向けて、該反射光は前記逆開口部によって遮られ、該散乱光は該逆開口部によって透過されるものである手段と、
   前記逆開口部によって透過された前記散乱光を、第２のレンズ要素を用いて、撮像装置に向けて、該散乱光を検出する手段と
   を含み、
   前記ガラスシートは、前記搬送方向に、各前記欠陥検出モジュールについて、前記交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記第１の表面を照らさない第１の位置から、該交差した平行なビームが該ガラスシートの該第１の表面を照らす第２の位置へ搬送されるものであり、
   方法は、更に、
   前記ガラスシートが前記第１の位置から前記第２の位置へ移動される時に、該ガラスシートを監視する工程と、
   各前記欠陥検出モジュールについて、前記ガラスシートが前記第１の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光を監視し、該光源の出力が所定の出力から変化した場合には、該光源の前記出力を調節する工程と、
   各前記欠陥検出モジュールについて、前記ガラスシートが前記第２の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光の監視を無効にする工程と
   を含むものである方法。
7. ガラスシートの表面欠陥検出装置において、
   光源と、
   前記光源からの光を平行にするように配列されたコリメータと、
   前記平行な光の第１の部分を、前記ガラスシートの第１の表面に向かって直交するように向けて、該平行な光の前記向けられた部分が、該ガラスシートの前記第１の表面を照らすように構成されたビームスプリッタであって、該ガラスシートの該第１の表面を照らす前記光の第１の部分は、該ガラスシートの該第１の表面によって反射され、該ガラスシートの該第１の表面を照らす該光の第２の部分は、欠陥によって散乱されるものであるビームスプリッタと、
   第１のレンズ要素および第２のレンズ要素を含み、前記平行な光の前記向けられた部分であって、前記ガラスシートの前記第１の表面から反射した光および該ガラスシートの該第１の表面の欠陥から散乱した光を受光するように配列されたレンズアセンブリと、
   前記第１のレンズ要素と前記第２のレンズ要素の間に位置する逆開口部と、
   前記欠陥によって散乱され、前記逆開口部によって透過された光を受光するように位置する撮像装置と、
   前記ガラスシートを搬送方向に搬送するように構成された搬送装置と、
   前記ガラスシートが前記第１の位置から前記第２の位置へ移動される時に、該ガラスシートを監視する制御部と、
   を含み、
   前記搬送装置は、前記ガラスシートを、前記交差した平行な光ビームの前記向けられた部分が該ガラスシートの前記第１の表面を照らさない第１の位置から、該交差した平行なビームが該ガラスシートの該第１の表面を照らす第２の位置へ搬送し、
   前記制御部は、前記ガラスシートが前記第１の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光を監視して、該光源の出力が所定の出力から変化した場合には、該光源の前記出力を調節し、前記ガラスシートが前記第２の位置に位置する時に、前記光源によって発せられた前記光の監視を無効にするよう制御する装置。
8. 前記逆開口部は、前記第１の表面から反射された光を遮るように構成されたものである、請求項７に記載の装置。

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