JP7207970B2 - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Description
実施形態1に係るウエーハの加工方法を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るウエーハの加工方法の加工対象であるウエーハの一例を示す斜視図である。図2は、ウエーハの加工方法の手順を示すフローチャートである。
図3は、フレーム支持ステップを示す斜視図である。フレーム支持ステップST1は、上記したウエーハ1を、粘着テープ200を介して環状フレーム201に支持させるステップである。実施形態1では、図3に示すように、環状フレーム201はウエーハ1よりも大径な開口201Aを有し、この開口201Aを覆うように粘着テープ200の外周部200Aを環状フレーム201の下面に貼着(装着)する。そして、環状フレーム201の開口201Aに露出する粘着テープ200にウエーハ1の裏面4側を貼着する。このフレーム支持ステップST1では、ウエーハ1は基板2の表面3(デバイス5)側が露出して環状フレーム201に粘着テープ200を介して支持される。
マスク層被覆ステップST2は、デバイス5を覆うとともに分割予定ライン6の領域を露出させるマスク層10をウエーハ1の表面3に被覆するステップである。本実施形態では、マスク層被覆ステップST2は、基板2の表面3全体に樹脂膜11を被覆するステップ(樹脂膜被覆ステップという)と、分割予定ライン6に沿ってレーザー光線を照射することで分割予定ライン6の領域の樹脂膜11を除去してマスク層10を形成するステップ(レーザー加工ステップという)との二段階で実施される。図4は、樹脂膜被覆ステップを示す側断面図である。図5は、レーザー加工ステップを示す側断面図である。図6は、マスク層被覆ステップ後のウエーハを模式的に示す斜視図である。図7は、マスク層被覆ステップ後のウエーハの要部の断面図である。
[加工条件]
レーザー光線 :YAG/YVO4
波長 :355nm
平均出力 :2W
繰り返し周波数 :50kHz
照射スポット径 :φ30μm
チャックテーブルの送り速度:100mm/s
図8は、プラズマ加工ステップで用いられるエッチング装置の構成を示す断面図である。図9は、プラズマ加工ステップ後のウエーハの要部の断面図である。プラズマ加工ステップST3は、図8に示すエッチング装置40のチャックテーブル44で粘着テープ200側を保持したウエーハ1を表面3側からプラズマエッチングして、加工溝12をウエーハ1の基板2の裏面4に向かって進行させ、基板2を分割予定ライン6に沿って分割するステップである。
図10は、マスク層検出ステップを示す側断面図である。マスク層検出ステップST4は、ウエーハ1の表面3に上記した所定の色が検出されるか否かに基づき、ウエーハ1の表面3のマスク層10の有無を判定するステップである。マスク層検出ステップST4は、図10に示すように、粘着テープ200を介してウエーハ1の裏面4側を検査テーブル52の上に載置し、ウエーハ1の表面3側のマスク層10を検査用のカメラ51で撮像する。このカメラは、CCDイメージセンサやCMOSイメージセンサなどの撮像素子を備えている。撮像対象領域は、ウエーハ1の表面3の全面(デバイス5)を網羅する領域でもよいし、所定位置の複数のデバイス5を含む領域であってもよい。
図11は、マスク層除去ステップを示す側断面図である。マスク層除去ステップST5は、マスク層10を洗浄して除去するステップである。マスク層除去ステップST5は、粘着テープ200を介してウエーハ1(各デバイス5)の裏面を図11に示す洗浄装置60のスピンナーテーブル61に吸引保持し、環状フレーム201をクランパ62によりクランプする。この状態で、スピンナーテーブル61を軸心回りに回転させつつ洗浄ノズル63から洗浄水64をウエーハ1の表面3のマスク層10に向けて供給する。この際、洗浄ノズル63はウエーハ1の直径方向に往復移動する。供給された洗浄水64は、スピンナーテーブル61の回転により発生する遠心力によって、各デバイス5の表面上を中心側から外周側に向けて流れていき、各デバイス5の表面を覆ったマスク層10(着色に用いた顔料を含む)を溶解し、表面が露出した状態のデバイス5(チップ)が残存する。なお、洗浄水64としては、例えば純水を用いることができる。最後に、残存したデバイス5(チップ)をピックアップして終了する。
実施形態2では、上記したマスク層被覆ステップST2の前段である樹脂膜被覆ステップが実施形態1と異なっている。図12は、実施形態2に係るウエーハの加工方法の樹脂膜被覆ステップを示す側断面図である。図13は、レーザー加工ステップ後のウエーハの要部の断面図である。実施形態1と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
3 表面
4 裏面
5 デバイス
6 分割予定ライン
10、10A マスク層
11 樹脂膜
11A 第一の樹脂膜
11B 第二の樹脂膜
12 加工溝
24 液状樹脂
30 レーザー加工装置
40 エッチング装置
51 カメラ
60 洗浄装置
200 粘着テープ
201 環状フレーム
Claims (2)
- 格子状の分割予定ラインによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハの加工方法であって、
該デバイスを覆い該分割予定ラインの領域を露出させる所定の色のマスク層をウエーハの表面に被覆させるマスク層被覆ステップと、
該マスク層被覆ステップを実施した後、該ウエーハの表面側にプラズマ状態のエッチングガスを供給し、該マスク層から露出した該分割予定ラインをエッチングするプラズマ加工ステップと、を備え、
該プラズマ加工ステップの後に、該ウエーハの表面の該マスク層の有無を該ウエーハ表面に該所定の色が検出されるか否かに基づいて判定するマスク層検出ステップを更に備えるウエーハの加工方法。 - 該マスク層被覆ステップでは、異なる色を有するマスク層を2層以上積層し、該マスク層検出ステップでは、検出した色から該ウエーハの表面にある該マスク層の層数を推定し、該層数が予め設定した数未満で有る場合は、以降の工程の継続を中止する請求項1に記載のウエーハの加工方法。
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