JP7179635B2 - 蒸着源、真空処理装置、及び蒸着方法 - Google Patents
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Description
上記蒸発容器は、蒸着材料が収容される第1室と、上記第1室の上に設けられ上記蒸着材料が噴出する噴出ノズルに連通する第2室とを有する。
上記分散板は、上記蒸発容器内において上記第1室と上記第2室とを画定し、上記第1室と上記第2室とを連通させる複数の孔部を有し、上記複数の孔部の少なくとも1つが上記第1室から上記第2室に向かう第1方向に対して傾いて配置される。
上記真空容器は、上記蒸着源を収容する。
10…真空容器
20…基板搬送機構
30…蒸着源
30m…蒸着材料
31…蒸発容器
32、321…噴出ノズル
32c…中心軸
33…加熱機構
34A、34B、34C…分散板
35…カバー
36…防着板
37…固定部
70…排気機構
90…基板
91…基板ホルダ
92…マスク部材
311…第1室
312…第2室
341、342、345、346…孔部
341a、341b、342a、342b、345a、345b、346a、346b…開口部
Claims (7)
- 蒸着材料が収容される第1室と、加熱機構が設けられ前記第1室の上に設けられ前記蒸着材料が噴出する噴出ノズルに連通する第2室とを有する蒸発容器と、
前記蒸発容器内において前記第1室と前記第2室とを画定し、前記第1室と前記第2室とが連通する複数の孔部を有し、前記複数の孔部の少なくとも1つが前記第1室から前記第2室に向かう第1方向に対して傾いて配置された分散板と
を具備し、
前記分散板は、0.5mm以上200mm以下の厚みを有する一枚の金属板から構成され、
前記分散板を上面視した場合、前記第1方向に対して傾いて配置された孔部において、前記第1室に対面する第1開口部と、前記第2室に対面する第2開口部とが前記第1方向において重複してない
蒸着源。 - 請求項1に記載の蒸着源であって、
前記蒸発容器は、第1方向に直交する第2方向における長さよりも、前記第1方向及び第2方向と直交する第3方向における長さのほうが長く構成され、
前記第3方向に、前記複数の孔部が並設されている
蒸着源。 - 請求項1または2に記載の蒸着源であって、
前記分散板を上面視した場合、前記複数の孔部の開口部は、円状、楕円状、または前記第2方向に延在するスリット状に構成されている
蒸着源。 - 請求項1~3のいずれか1つに記載の蒸着源であって、
前記分散板は、前記蒸発容器内の前記第2室において前記第1方向に対して傾いた方向に前記蒸着材料を分散させる
蒸着源。 - 蒸着材料が収容される第1室と、加熱機構が設けられ前記第1室の上に設けられ前記蒸着材料が噴出する噴出ノズルが設けられた第2室とを有する蒸発容器と、前記蒸発容器内において前記第1室と前記第2室とを画定し、前記第1室と前記第2室とが連通する複数の孔部を有し、前記複数の孔部の少なくとも1つが前記第1室から前記第2室に向かう第1方向に対して傾いて配置された分散板とを有する蒸着源と、
前記蒸着源を収容する真空容器と
を具備し、
前記分散板は、0.5mm以上200mm以下の厚みを有する一枚の金属板から構成され、
前記分散板を上面視した場合、前記第1方向に対して傾いて配置された孔部において、前記第1室に対面する第1開口部と、前記第2室に対面する第2開口部とが前記第1方向において重複してない
真空処理装置。 - 請求項5に記載の真空処理装置であって、
前記分散板は、前記蒸発容器内の前記第2室において前記第1方向に対して傾いた方向に前記蒸着材料を分散させる
真空処理装置。 - 蒸着材料が収容される第1室と、加熱機構が設けられ前記第1室の上に設けられ前記蒸着材料が噴出する噴出ノズルが設けられた第2室とを有する蒸発容器と、前記蒸発容器内において前記第1室と前記第2室とを画定し、前記第1室と前記第2室とが連通する複数の孔部を有し、前記複数の孔部の少なくとも1つが前記第1室から前記第2室に向かう第1方向に対して傾いて配置され、0.5mm以上200mm以下の厚みを有する一枚の金属板から構成され、上面視した場合、前記第1方向に対して傾いて配置された孔部において、前記第1室に対面する第1開口部と、前記第2室に対面する第2開口部とが前記第1方向において重複してない分散板とを具備する蒸着源を用い、
前記蒸着材料を基板に蒸着する
蒸着方法。
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