JP7173238B2 - ベーパーチャンバー - Google Patents
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Description
しかしながら、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。なお、以下において記載する本発明の個々の望ましい構成を2つ以上組み合わせたものもまた本発明である。
以下に示す各実施形態は例示であり、異なる実施形態で示した構成の部分的な置換又は組み合わせが可能であることは言うまでもない。
図1に示すベーパーチャンバー1は、対向する第1シート11及び第2シート12から構成される筐体10と、筐体10内に封入された作動液20と、第1シート11の第2シート12に対向する主面11a(第1シート11の内壁面11a)に設けられたウィック30と、第2シート12の第1シート11に対向する主面12a(第2シート12の内壁面12a)に設けられた複数の支柱40(第1支柱41及び第2支柱42)とを備えている。
筐体10は、内部に空洞13を有しており、空洞13を確保するために、第1シート11及び第2シート12が第1支柱41によって支持されている。
第1シート11及び第2シート12は、加熱を伴う接合によって、外縁において互いに接合され、封止されている。
図1に示すベーパーチャンバー1では、ウィック30は、第1シート11の内壁面11aに配置されたメッシュ32を備えている。
また、支柱40は、第2シート12に対して凹部及び/又は凸部を形成するような加工を施すことにより形成されていてもよい。
熱源120が発する熱により、熱源120の直上においてウィック30に存在する作動液20が気化し、熱源120の熱を奪うとともに気化した作動液はメッシュ32から空洞13に移動する。
気化した作動液20は筐体10内を移動して、筐体10の外縁付近で凝縮して液相となる。
液相となった作動液20はウィック30の有する毛細管力によりウィック30に吸収され、ウィック30内を再度熱源120の方に移動して、熱源120の熱を奪うように働く。
作動液が筐体内をこのように循環して移動することにより、ベーパーチャンバーによる熱源の冷却が行われる。
図2には、ベーパーチャンバー1を構成する第2シート12側からの上面図を示しており、第2シート12を透過させて第1支柱41、第2支柱42及びウィック30の位置を示している。
なお、図1は、図2に示すA-A断面でベーパーチャンバーを切断して示した断面図であるともいえる。
第1シート11及び第2シート12は、加熱を伴う接合により外縁が接合され、封止部50が形成されている。
ベーパーチャンバー1における第2支柱42の位置についての詳細は後述する。
図3A、図3B及び図3Cは、ベーパーチャンバーを構成する第2支柱の一例を模式的に示す断面図である。
図3Aに示す第2支柱42aは、第2シート12と一体となっている。
図3Bに示す第2支柱42bは、内部が多孔質となっている。
図3Cに示す第2支柱42cは、内部が中空となっている。
なお、第2支柱以外の支柱についても、第2支柱と同様に、内部が多孔質であってもよく、中空であってもよい。
外形形状が複数の略長方形の組み合わせで構成された形状である場合、外形形状を構成する略長方形の数は、5個以下であることが好ましく、3個以下であることがより好ましい。
ベーパーチャンバーの平面視外形形状を構成する略長方形の数を特定する方法については後述する。
第1支柱全体の面積は、筐体の平面視面積の1%以上であることが好ましく、20%以下であることが好ましい。
なお、最長略長方形とは、ベーパーチャンバーの平面視外形形状を構成する長方形のうち長手方向の長さが最も長いものをいう。
最長略長方形の幅方向における第2支柱の幅寸法は、最長略長方形の幅寸法の5%以上であることが好ましく、10%以下であることが好ましい。
また、第2支柱の1個あたりの面積は、筐体の平面視面積の0.5%以上であることが好ましく、7.0%以下であることが好ましい。
図4は、ベーパーチャンバーの平面視外形形状と、第2支柱の位置関係を説明するための上面図である。
ここで、ベーパーチャンバー1の平面視外形形状は、ベーパーチャンバー1全体の外形形状を指しており、封止部50によって囲まれる領域のみを指すものではない。
第2支柱42aは、略長方形T1の内側に、略長方形T1の長手方向に沿って、略長方形T1の中心点CT1を通過するように設けられている。第2支柱42aは略長方形T1の長手方向に沿って配置されているため、略長方形T1の幅方向の略中央に配置されている。
また、第2支柱42aの幅方向における幅寸法W2aは、略長方形T1の幅寸法WT1の5%以上であることが好ましく、10%以下であることが好ましい。
ベーパーチャンバーの平面視外形形状が、複数個の略長方形の組み合わせで構成されている場合において、最長略長方形を選択する方法について、図5A、図5B、図5C、図5D及び図5Eを参照しながら説明する。
図5A、図5B、図5C、図5D及び図5Eは、ベーパーチャンバーの別の一例を模式的に示す上面図である。
図5A、図5B、図5C及び図5Dに示すように、ベーパーチャンバー2の平面視外形形状は、略長方形T2、略長方形T3及び略長方形T4の組み合わせで構成されている。ベーパーチャンバー2の平面視外形形状の全体を1つの略長方形としない理由については、後述する。
略長方形の長手方向の長さの合計の基準となる長手方向は、各略長方形ごとに異なっていてもよい。また、複数の略長方形によってベーパーチャンバーの平面視外形形状を隙間なく埋める形状とする必要はなく、複数の略長方形が互いに重なっていてもよい。
図5B、図5C及び図5Dに示すように、略長方形T2、略長方形T3及び略長方形T4の長手方向の長さは、それぞれ、LT2、LT3、LT4であり、LT2が最も長い。従って、略長方形T2が最長略長方形となる。そのため、ベーパーチャンバー2では、略長方形T2の長手方向に沿って、略長方形T2の中心点CT2を通る位置に第2支柱42bが設けられている。
第2支柱42bの長手方向における長さ寸法L2bは、略長方形T2の長さ寸法LT2の30%以上である。第2支柱42bの長手方向における長さ寸法L2bは、略長方形T2の長さ寸法LT2の70%以下であることが好ましい。
また、第2支柱42bの幅方向における幅寸法W2bは、略長方形T2の幅寸法WT2の5%以上であることが好ましく、10%以下であることが好ましい。
従って、略長方形には正方形を含むものとする。
ここで、ベーパーチャンバーの平面視外形形状を構成する略長方形の数は3以下であることが好ましく、2以下であることがより好ましい。
ベーパーチャンバーの平面視外形形状を構成する略長方形の数が4以上になると、ベーパーチャンバーの形状自体が複雑化し、製造コストが高くなる。
具体的には、切り欠きが存在しないと仮定した場合の略長方形の面積に対する切り欠きの面積の割合が10%以下である場合、切り欠きが存在しないとして該略長方形を認定する。従って、ベーパーチャンバーの平面視外形形状全体が1つの最長略長方形となる。
一方、切り欠きが存在しないと仮定した場合の略長方形の面積に対する切り欠きの面積の割合が10%を超える場合、該略長方形を複数個の略長方形に分割する。
なお、分割した略長方形の面積が、ベーパーチャンバーの平面視外形形状の面積の10%以下となる場合、該略長方形を、ベーパーチャンバーの平面視外形形状を構成する長方形から除外する。
もし、図5Eに示したベーパーチャンバー2において、切り欠きが存在しないと仮定した場合の略長方形T5の面積に対する切り欠きT6の面積の割合が10%以下である場合、略長方形T5を最長略長方形とする。
なお、第3支柱の1個あたりの面積は、筐体の平面視面積の0.5%以上であることが好ましく、2.0%以下であることが好ましい。
第3支柱が備えられていると、幅方向に対する反りを抑制することができる。
第3支柱が第2支柱と接触していると、筐体内における作動液の流れが妨げられて、冷却効率が低下することがある。
最長略長方形の長手方向における第3支柱の1個あたりの幅寸法は、最長略長方形の長さ寸法の2.5%以上であることが好ましく、10%以下であることが好ましい。
第3支柱が筐体の外縁と接触していると、筐体内における作動液の流れが妨げられて、冷却効率が低下することがある。
第3支柱がどの方向に沿って設けられているかについては、第3支柱の長手方向の長さと幅方向の長さを比較して、長さの長い方向に沿っていると考える。
図6は、ベーパーチャンバーのさらに別の一例を模式的に示す上面図である。
図6に示すベーパーチャンバー3は、平面視形状が略長方形である。
ベーパーチャンバー3を構成する最長略長方形は、略長方形T7である。
第2支柱42は、略長方形T7の長手方向に沿って、略長方形T7の中心点CT7を通るように設けられている。従って、第2支柱42は、略長方形T7の幅方向の略中央に設けられている。
第3支柱43は、第2支柱42に対して略線対称となるように、かつ、第2支柱42と接触しないように、偶数個(図6では2個)配置されている。
また、第3支柱は、略長方形の幅方向に沿って配置されていることが好ましい。
第3支柱43の幅寸法W3aと長さ寸法L3aとを比較すると、長さ寸法L3aが幅寸法W3aよりも長い。従って、第3支柱43は、最長略長方形である略長方形T7の幅方向に沿って配置されているといえる。
略長方形の長手方向における第4支柱の長さ寸法は、該略長方形の長さ寸法の30%以上、70%以下であることが好ましい。また、略長方形の幅方向における第4支柱の幅寸法は、該略長方形の幅寸法の5%以上、10%以下であることが好ましい。
図7は、ベーパーチャンバーのさらに別の一例を模式的に示す上面図である。
図7に示すベーパーチャンバー4は、図5Aに示すベーパーチャンバー2に第4支柱を追加したものに相当する。
図7に示すように、ベーパーチャンバー4は、第2支柱42b及び第4支柱44を備える。
ベーパーチャンバー4では、図5A、図5B、図5C、図5D及び図5Eに示したベーパーチャンバー2と同様に、平面視外形形状が、略長方形T2、略長方形T3及び略長方形T4の組み合わせで構成されている。従って、最長略長方形が略長方形T2である点も、ベーパーチャンバー2と同様である。これに加えて、ベーパーチャンバー4では、最長略長方形ではない略長方形T3の内側に、略長方形T3の長手方向に沿って、略長方形T3の中心点CT3を通る位置に、第4支柱44が設けられている。
ベーパーチャンバーを製造する方法は、上記の構成を得られる方法であれば特に限定されない。例えば、ウィックを配置した第1シートと、第1支柱及び第2支柱を含む支柱を配置した第2シートとを重ね合わせ、作動液を注入し、第1シートと第2シートを接合することによりベーパーチャンバーを得ることができる。
第1シート及び第2シートの接合方法は、加熱を伴う接合であればよく、例えば、レーザー溶接、抵抗溶接、拡散接合、はんだ接合、ろう接、TIG溶接(タングステン-不活性ガス溶接)、超音波接合などが挙げられる。これらのなかでは、レーザー溶接、ろう接又は拡散接合が好ましい。
(ベーパーチャンバーの作製)
平面視寸法が幅60mm×長さ100mm、厚さ0.2mmの銅箔を第1シートとして準備した。
また、平面視寸法が幅60mm×長さ100mm、厚さ0.08mmの銅箔を第2シートとして準備した。
第1シートを過硫酸ソーダでエッチングして第1支柱となる凸部を形成した後、第1シートと第2シートとでメッシュを挟持するように貼り合わせ、外縁部をレーザー溶接することにより、第1シートと第2シートとを貼り合わせた筐体を得た。溶接後、パイプにより作動液を注入した。
レーザー距離計により表面凹凸を確認して数値化し、最凸部と最凹部との高低差を算出して、ベーパーチャンバーの反りとした。
比較例1に係るベーパーチャンバーを外気温25℃の状態でセラミックヒータと接触させ、ベーパーチャンバーの熱源直上の温度と、熱源から最も遠い位置の温度との差ΔTを求めた。
第2シートのエッチングパターンを変更して、第1支柱に加えて第2支柱を形成したほかは、比較例1と同様の手順で第1シートと第2シートを溶接して、図4に示すベーパーチャンバー1と同様の位置に第2支柱を有する、比較例2~3及び実施例1~2に係るベーパーチャンバーを作製した。
ベーパーチャンバーの平面視外形形状を構成する略長方形の長手方向における、第2支柱の長さ寸法の割合、略長方形の幅方向における第2支柱の幅寸法の割合、並びに、筐体の平面視面積に対する第2支柱の1個あたりの面積割合を表1に示す。
なお、第2支柱の高さは、第1支柱と同じく150μmであった。
第2支柱の長さ寸法及び幅寸法の割合[%]はそれぞれ、ベーパーチャンバーの平面視外形形状が、幅60mm×長さ100mmの長方形であるとして算出した。
第2シートのエッチングパターンを変更して、第1支柱に加えて第2支柱及び第3支柱を形成したほかは、比較例1と同様の手順で第1シートと第2シートを溶接して、図6に示すベーパーチャンバー3と同様の位置に第2支柱及び第3支柱を有する、実施例3に係るベーパーチャンバーを作製した。
ベーパーチャンバーの平面視外形形状を構成する略長方形の長手方向における、第2支柱の長さ寸法の割合及び第3支柱の幅寸法の割合、略長方形の幅方向における第2支柱の幅寸法及び第3支柱の長さ寸法の割合、並びに、筐体の平面視面積に対する第2支柱及び第3支柱の1個あたりの面積割合を表1に示す。
なお、第2支柱及び第3支柱の高さは、第1支柱と同じく150μmであった。
第2支柱及び第3支柱の長さ寸法及び幅寸法の割合[%]はそれぞれ、ベーパーチャンバーの平面視外形形状が、幅60mm×長さ100mmの長方形であるとして算出した。
ベーパーチャンバーの反りについては、比較例1の反りを1.00とした際の割合であり、0に近いほど、反りが抑制されていることを意味する。従って、割合が0.9未満のものを「○」、0.9以上のものを「×」と評価した。
また、熱特性についても、比較例1におけるΔTを1.00とした際の割合であり、1.00に近いほど、熱源から最も遠い位置の温度が低く、熱特性が良好であることを示す。従って、割合が0.9以上のものを「○」、0.9未満のものを「×」と評価した。
反り及び熱特性の対比結果を表1に示した。
10 筐体
11 第1シート
11a 第1シートの内壁面
12 第2シート
12a 第2シートの内壁面
13 空洞
20 作動液
30 ウィック
32 メッシュ
40 支柱
41 第1支柱
42、42a、42b、42c 第2支柱
43 第3支柱
44 第4支柱
50 封止部
120 熱源
CT1、CT2、CT3、CT7 略長方形の中心点
T1、T2、T3、T4、T5、T7 略長方形
T6 切り欠き
LT1、LT2、LT3、LT4、LT7 略長方形の長手方向の長さ寸法
L2a、L2b 第2支柱の長手方向の長さ寸法
L3a 第3支柱の長手方向の長さ寸法
WT1、WT2、WT7 略長方形の幅方向の幅寸法
W2a、W2b 第2支柱の幅方向の幅寸法
W3a 第3支柱の幅方向の幅寸法
X1 略長方形T2と略長方形T3とが重複する領域
X2 略長方形T2と略長方形T4とが重複する領域
Claims (7)
- 加熱を伴う接合により外縁が接合された対向する第1シート及び第2シートから構成される筐体と、
前記筐体内に封入された作動液と、
前記第1シート及び/又は前記第2シートの内壁面に設けられたウィックと、
前記第1シート及び/又は前記第2シートの内壁面に設けられた支柱と、を備えるベーパーチャンバーであって、
前記支柱は、前記筐体内に空洞を形成するための第1支柱と、前記第1シート及び前記第2シートを接合する際の加熱による前記筐体の反りを抑制するための第2支柱とを備え、
前記ベーパーチャンバーを平面視した際の外形形状が、略長方形、又は、複数の略長方形の組み合わせで構成された形状であり、
前記第2支柱は、前記略長方形のうち長手方向の長さが最も長い最長略長方形の内側に、前記最長略長方形の長手方向に沿って、前記最長略長方形の中心点を通る位置に設けられており、
前記最長略長方形の長手方向における前記第2支柱の長さ寸法は、前記最長略長方形の長さ寸法の30%以上であり、
前記ベーパーチャンバーを平面視した際に、前記第2支柱を通り、前記最長略長方形の長手方向に沿った直線上において、前記筐体の外縁から前記第2支柱までの間に設けられる前記第1支柱の数は、前記第2支柱を通り、前記最長略長方形の幅方向に沿った直線上において、前記筐体の外縁から前記第2支柱までの間に設けられる前記第1支柱の数よりも少ない、ことを特徴とするベーパーチャンバー。 - 加熱を伴う接合により外縁が接合された対向する第1シート及び第2シートから構成される筐体と、
前記筐体内に封入された作動液と、
前記第1シート及び/又は前記第2シートの内壁面に設けられたウィックと、
前記第1シート及び/又は前記第2シートの内壁面に設けられた支柱と、を備えるベーパーチャンバーであって、
前記支柱は、前記筐体内に空洞を形成するための第1支柱と、前記第1シート及び前記第2シートを接合する際の加熱による前記筐体の反りを抑制するための第2支柱とを備え、
前記ベーパーチャンバーを平面視した際の外形形状が、略長方形、又は、複数の略長方形の組み合わせで構成された形状であり、
前記第2支柱は、前記略長方形のうち長手方向の長さが最も長い最長略長方形の内側に、前記最長略長方形の長手方向に沿って、前記最長略長方形の中心点を通る位置に設けられており、
前記最長略長方形の長手方向における前記第2支柱の長さ寸法は、前記最長略長方形の長さ寸法の30%以上であり、
前記支柱は、さらに、前記ベーパーチャンバーを平面視した際に、前記第2支柱に対して略線対称となるように、かつ、前記第2支柱とは接触しないように配置された偶数個の第3支柱を備える、ことを特徴とするベーパーチャンバー。 - 前記第3支柱は、前記最長略長方形の幅方向に沿って設けられている、請求項2に記載のベーパーチャンバー。
- 加熱を伴う接合により外縁が接合された対向する第1シート及び第2シートから構成される筐体と、
前記筐体内に封入された作動液と、
前記第1シート及び/又は前記第2シートの内壁面に設けられたウィックと、
前記第1シート及び/又は前記第2シートの内壁面に設けられた支柱と、を備えるベーパーチャンバーであって、
前記支柱は、前記筐体内に空洞を形成するための第1支柱と、前記第1シート及び前記第2シートを接合する際の加熱による前記筐体の反りを抑制するための第2支柱とを備え、
前記ベーパーチャンバーを平面視した際の外形形状が、略長方形、又は、複数の略長方形の組み合わせで構成された形状であり、
前記第2支柱は、前記略長方形のうち長手方向の長さが最も長い最長略長方形の内側に、前記最長略長方形の長手方向に沿って、前記最長略長方形の中心点を通る位置に設けられており、
前記最長略長方形の長手方向における前記第2支柱の長さ寸法は、前記最長略長方形の長さ寸法の30%以上であり、
前記第2支柱の少なくとも一部が、多孔質である、ことを特徴とするベーパーチャンバー。 - 加熱を伴う接合により外縁が接合された対向する第1シート及び第2シートから構成される筐体と、
前記筐体内に封入された作動液と、
前記第1シート及び/又は前記第2シートの内壁面に設けられたウィックと、
前記第1シート及び/又は前記第2シートの内壁面に設けられた支柱と、を備えるベーパーチャンバーであって、
前記支柱は、前記筐体内に空洞を形成するための第1支柱と、前記第1シート及び前記第2シートを接合する際の加熱による前記筐体の反りを抑制するための第2支柱とを備え、
前記ベーパーチャンバーを平面視した際の外形形状が、略長方形、又は、複数の略長方形の組み合わせで構成された形状であり、
前記第2支柱は、前記略長方形のうち長手方向の長さが最も長い最長略長方形の内側に、前記最長略長方形の長手方向に沿って、前記最長略長方形の中心点を通る位置に設けられており、
前記最長略長方形の長手方向における前記第2支柱の長さ寸法は、前記最長略長方形の長さ寸法の30%以上であり、
前記第2支柱の少なくとも一部が、中空状である、ことを特徴とするベーパーチャンバー。 - 前記最長略長方形の長手方向における前記第2支柱の長さ寸法は、前記最長略長方形の長さ寸法の70%以下である、請求項1~5のいずれかに記載のベーパーチャンバー。
- 前記第1シート及び前記第2シートの外縁が、溶接、ろう接、又は拡散接合によって接合されている請求項1~6のいずれかに記載のベーパーチャンバー。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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WO2018116951A1 (ja) | 2016-12-20 | 2018-06-28 | 株式会社フジクラ | 放熱モジュール |
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