JP7163106B2 - 基板処理装置、基板処理方法、及びコンピュータープログラム - Google Patents
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Description
55 通信部
57 操作部
59 検出部
61 設定部
63 スケジューラー
65 実行部
100 基板処理装置
TA、LPD1、LPD2、CHB1~CHB3、ONB1~ONB3 槽
CV 搬送機構
W 基板
ES 退避制御情報
FE 第1制御情報
SE 第2制御情報
A1 第1内容(待機可)
A2 第2内容(待機不可)
A3 第3内容(退避場所)
A4 第4内容(非退避場所)
Claims (19)
- 複数の基板を一括して処理する基板処理装置であって、
基板を処理する複数の槽と、
前記複数の槽に対して基板を搬入及び搬出する搬送機構と、
前記複数の槽及び前記搬送機構を制御する制御部と
を備え、
前記制御部は、
前記複数の槽の各々に対して、基板の退避に関する退避制御情報を設定する設定部と、
基板を処理するときの前記複数の槽の使用タイミング及び前記搬送機構の動作タイミングを規定するスケジュールを、前記退避制御情報に基づいて作成するスケジューラーと、
前記搬送機構及び前記複数の槽に、前記スケジュールに従って基板の処理を実行させる実行部と
を含み、
前記退避制御情報は、
槽に基板を待機させることが可能か否かを示す第1制御情報と、
槽が他の槽に収容された基板を退避するための場所であるか否かを示す第2制御情報と
を含み、
前記第1制御情報は、第1内容及び第2内容のうちのいずれかを示し、
前記第1内容は、槽に基板を待機させることが可能であることを示し、
前記第2内容は、槽に基板を待機させることが不可能であることを示し、
前記スケジューラーは、前記槽に対して設定された前記第1制御情報が前記第1内容を示している場合、前記槽が並行して使用されることが許容される前記スケジュールを作成し、
前記スケジューラーは、前記槽に対して設定された前記第1制御情報が前記第2内容を示している場合、前記槽が並行して使用されることが規制される前記スケジュールを作成し、
前記退避制御情報が変更された場合、前記スケジューラーは、変更後の前記退避制御情報に基づいて前記スケジュールを変更し、
前記実行部は、変更後の前記スケジュールに従って前記搬送機構及び前記複数の槽に基板の処理を実行させる、基板処理装置。 - 基板を槽から退避させるための退避トリガーの発生前に、前記設定部は、少なくとも1つの前記第1制御情報の内容を前記第1内容から前記第2内容に変更する、請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記複数の槽は、燐酸液を収容する燐酸槽を含み、
前記退避トリガーの発生前に、前記設定部は、前記燐酸槽に対して設定された前記第1制御情報の内容を前記第1内容から前記第2内容に変更する、請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記第1制御情報は、環境情報に対応して、前記第1内容及び前記第2内容のうちのいずれかを示し、
前記環境情報は、前記基板処理装置が置かれた環境を表す情報、又は、前記基板処理装置の状態を表す情報を含む、請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記設定部は、前記環境情報を取得して、前記環境情報に基づいて前記第1制御情報の内容を前記第1内容及び前記第2内容のうちのいずれかに設定する、請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記設定部は、前記環境情報を検出する検出部から前記環境情報を取得して、前記環境情報に基づいて前記第1制御情報の内容を前記第1内容及び前記第2内容のうちのいずれかに設定する、請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記基板処理装置の外部からネットワークを介して前記環境情報を受信する通信部をさらに備え、
前記設定部は、前記通信部から前記環境情報を取得して、前記環境情報に基づいて前記第1制御情報の内容を前記第1内容及び前記第2内容のうちのいずれかに設定する、請求項5に記載の基板処理装置。 - 前記実行部は、
処理途中の基板に対して変更前の前記スケジュールを適用して、変更前の前記スケジュールに従って前記搬送機構及び前記複数の槽に処理途中の前記基板の処理を続行させ、
未処理の基板に対して変更後の前記スケジュールを適用して、変更後の前記スケジュールに従って前記搬送機構及び前記複数の槽に未処理の前記基板の処理を実行させる、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の基板処理装置。 - ユーザーによって操作され、前記ユーザーから前記退避制御情報を変更する入力を受け付ける操作部をさらに備え、
前記退避制御情報を変更する入力を前記操作部が受け付けたことに応答して、前記設定部は、前記退避制御情報の内容を変更する、請求項8に記載の基板処理装置。 - 複数の基板を一括して処理する基板処理装置が実行する基板処理方法であって、
前記基板処理装置は、
基板を処理する複数の槽と、
前記複数の槽に対して基板を搬入及び搬出する搬送機構と
を備え、
前記複数の槽の各々に対して、基板の退避に関する退避制御情報を設定するステップと、
基板を処理するときの前記複数の槽の使用タイミング及び前記搬送機構の動作タイミングを規定するスケジュールを、前記退避制御情報に基づいて作成するステップと、
前記搬送機構及び前記複数の槽に、前記スケジュールに従って基板の処理を実行させるステップと、
前記退避制御情報が変更された場合、変更後の前記退避制御情報に基づいて前記スケジュールを変更するステップと、
変更後の前記スケジュールに従って前記搬送機構及び前記複数の槽に基板の処理を実行させるステップと
を含み、
前記退避制御情報は、
槽に基板を待機させることが可能か否かを示す第1制御情報と、
槽が他の槽に収容された基板を退避するための場所であるか否かを示す第2制御情報と
を含み、
前記第1制御情報は、第1内容及び第2内容のうちのいずれかを示し、
前記第1内容は、槽に基板を待機させることが可能であることを示し、
前記第2内容は、槽に基板を待機させることが不可能であることを示し、
前記スケジュールを作成する前記ステップでは、
前記槽に対して設定された前記第1制御情報が前記第1内容を示している場合、前記槽が並行して使用されることが許容される前記スケジュールを作成し、
前記槽に対して設定された前記第1制御情報が前記第2内容を示している場合、前記槽が並行して使用されることが規制される前記スケジュールを作成する、基板処理方法。 - 基板を槽から退避させるための退避トリガーの発生前に、少なくとも1つの前記第1制御情報の内容が前記第1内容から前記第2内容に変更される、請求項10に記載の基板処理方法。
- 前記複数の槽は、燐酸液を収容する燐酸槽を含み、
前記退避トリガーの発生前に、前記燐酸槽に対して設定された前記第1制御情報の内容が前記第1内容から前記第2内容に変更される、請求項11に記載の基板処理方法。 - 前記第1制御情報は、環境情報に対応して、前記第1内容及び前記第2内容のうちのいずれかを示し、
前記環境情報は、前記基板処理装置が置かれた環境を表す情報、又は、前記基板処理装置の状態を表す情報を含む、請求項10に記載の基板処理方法。 - 前記環境情報を取得して、前記環境情報に基づいて前記第1制御情報の内容が前記第1内容及び前記第2内容のうちのいずれかに設定される、請求項13に記載の基板処理方法。
- 前記環境情報を検出する検出部から前記環境情報を取得して、前記環境情報に基づいて前記第1制御情報の内容が前記第1内容及び前記第2内容のうちのいずれかに設定される、請求項14に記載の基板処理方法。
- 前記基板処理装置の外部からネットワークを介して前記環境情報を取得して、前記環境情報に基づいて前記第1制御情報の内容が前記第1内容及び前記第2内容のうちのいずれかに設定される、請求項14に記載の基板処理方法。
- 処理途中の基板に対して変更前の前記スケジュールを適用して、変更前の前記スケジュールに従って前記搬送機構及び前記複数の槽に処理途中の前記基板の処理を続行させ、
未処理の基板に対して変更後の前記スケジュールを適用して、変更後の前記スケジュールに従って前記搬送機構及び前記複数の槽に未処理の前記基板の処理を実行させる、請求項10から請求項16のいずれか1項に記載の基板処理方法。 - 前記退避制御情報を変更する入力を操作部が受け付けたことに応答して、前記退避制御情報の内容が変更される、請求項17に記載の基板処理方法。
- コンピューターに請求項10から請求項18のいずれか1項に記載の基板処理方法を実行させるためのコンピュータープログラム。
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