JP7145904B2

JP7145904B2 - 柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置

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Publication number: JP7145904B2
Application number: JP2020058381A
Authority: JP
Inventors: 良太倉橋; 祥弘佐藤; 貴史寺拝
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 2020-03-27
Filing date: 2020-03-27
Publication date: 2022-10-03
Anticipated expiration: 2040-03-27
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Description

本発明は柱状ハニカム構造体の検査方法及び検査装置に関する。

ディーゼルエンジン等の内燃機関から排出される排ガスには、環境汚染の原因となる炭素を主成分とするパティキュレート（粒子状物質）が多量に含まれている。そのため、一般的にディーゼルエンジン等の排気系には、パティキュレートを捕集するためのフィルタ（Diesel Particulate Filter：ＤＰＦ）が搭載されている。また近年ではガソリンエンジンから排出されるパティキュレートも問題視されており、ガソリンエンジンにもフィルタ（Gasoline Particulate Filter：ＧＰＦ）が搭載されるようになってきている。

フィルタとしては、外周側壁と、外周側壁よりも内周側に配置され、第一底面から第二底面まで高さ方向に延び、第一底面が開口して第二底面に目封止部を有する複数の第１セルと、外周側壁よりも内周側に配置され、第１セルに隔壁を挟んで隣接配置されている第２セルであって、第一底面から第二底面まで高さ方向に延び、第一底面に目封止部を有し第二底面が開口する複数の第２セルとを備えたウォールフロー型の柱状ハニカム構造体が知られている。

目封止部を有する柱状ハニカム構造体を備えたフィルタにおいて、目封止部は捕捉された粒子状物質がフィルタから漏れ出すのを防止する役割を果たしている。このため、目封止部が所定の位置に所定の深さで形成されていることがフィルタ性能を確保する上で重要となる。

そこで、特許文献１（米国特許第７，７０１，５７０号明細書）には目封止部を有する柱状ハニカム構造体のための検査方法及び検査装置が提案されている。当該文献には、目封止部を有する柱状ハニカム構造体の第一底面に光を照射し、柱状ハニカム構造体の第二底面に接触させた透光性の投影媒体で前記光を受光して、前記光が投影媒体上の光点として可視化されることを含む柱状ハニカム構造体の目封止部の欠陥を検出する方法が開示されている。

米国特許第７，７０１，５７０号明細書

特許文献１では、柱状ハニカム構造体の第一底面に光を照射し、第二底面から出てくる透過光のパターンをカメラで撮像することで、目封止部の欠陥を検出する方法を提案している。しかしながら、第一底面に照射した光及び／又は周囲の光が柱状ハニカム構造体の外周側壁から回り込むと、外周側壁に隣接するセルからの透過光の強度がそれよりも内周側のセルからの透過光の強度に比べて大きくなりやすい。また、光の回り込みを抑制するために外周側壁からの光を遮断すると、一般に、柱状ハニカム構造体の外周側壁は隔壁よりも厚いため、今度は逆に、外周側壁に隣接するセルからの透過光の強度がそれよりも内周側のセルからの透過光の強度に比べて小さくなりやすい。この場合、特に、目封止部が深く形成されている異常セルは透過光の強度が小さくなるので、検出精度が低下する。何れにせよ、両方のセルを同一の基準で検査すると、異常セルの検出精度が低下するという問題があることが分かった。

また、外周側壁に隣接するセルの位置が特定しやすい透過光の強度は、内周側のセルの位置が特定しやすい透過光の強度と異なる。このため、内周側のセルの位置を正確に行えるように透過光の強度を調整すると、外周側壁に隣接するセルからの透過光が、内周側のセルからの透過光に比べて強くなる場合及び弱くなる場合の何れであっても、外周側壁に隣接するセルの位置を特定する精度が低下するので、外周側壁に隣接するセルにおいて異常セルの検査精度が低下するという問題があることが分かった。

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、一実施形態において、目封止部を有する柱状ハニカム構造体に対する検査方法であって、異常セルの検出精度を高めることに寄与する検査方法を提供することを課題とする。また、本発明は別の一実施形態において、目封止部を有する柱状ハニカム構造体に対する検査装置であって、異常セルの検出精度を高めることに寄与する検査装置を提供することを課題とする。

本発明者は上記課題を解決するために鋭意検討したところ、柱状ハニカム構造体の底面に光を照射して当該底面からの反射光のパターンを撮像することで、外周側壁に隣接するセルの位置と、それよりも内周側のセルの位置を容易に区別することができることを見出した。その上で、外周側壁に隣接するセルとそれよりも内周側のセル（すなわち、外周側壁に隣接しないセル）とで異なる基準を採用し、当該底面からの透過光の強度を利用して異常セルの有無を検査することにより、異常セルの検出精度を高めることができることを見出した。本発明は上記知見に基づき完成されたものであり、以下に例示される。

［１］
柱状ハニカム構造体の検査方法であって、
柱状ハニカム構造体は、外周側壁と、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面が開口して第二底面に目封止部を有する複数の第１セルと、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面に目封止部を有し、第二底面が開口する複数の第２セルとを備え、複数の第１セルと複数の第２セルは隔壁を挟んで交互に隣接配置されており、
第二底面に対して第一の光を照射し、第１セル及び第２セルの各目封止部の配置に応じた第二底面からの反射光のパターンをカメラで撮像し、反射光のパターンの画像データを生成する工程と、
生成された反射光のパターンの画像データに基づいて外周側壁に隣接する第２セル及び外周側壁に隣接しない第２セルのそれぞれの位置情報を区別して記憶装置に格納する工程と、
第一底面に対して第二の光を照射し、第１セル及び第２セルの各目封止部の配置に応じた第二底面からの透過光のパターンをカメラで撮像し、透過光のパターンの画像データを生成する工程と、
生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置に格納されている前記位置情報に基づいて、外周側壁に隣接する第２セルからのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接する第２セルを識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第一の基準と当該透過光の強度を比較することにより、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接する第２セルを検出する工程と、
生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置に格納されている前記位置情報に基づいて、外周側壁に隣接しない第２セルからのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接しない第２セルを識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第二の基準と比較することにより、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接しない第２セルを検出する工程と、
を含む検査方法。
［２］
第一の基準は、異常な目封止部を有する第２セルであって外周側壁に隣接する第２セルを識別するための予め設定された透過光の強度に関する第一の基準、及び、前記測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する第一の基準の両方を有し、
第二の基準は、異常な目封止部を有する第２セルであって外周側壁に隣接しない第２セルを識別するための予め設定された透過光の強度に関する第二の基準、及び、前記測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する第二の基準の両方を有する、
［１］に記載の検査方法。
［３］
第一の光及び第二の光を異なる波長の光として、前記反射光のパターン及び前記透過光のパターンを同時にカメラで撮像する［１］又は［２］に記載の検査方法。
［４］
柱状ハニカム構造体の検査装置であって、
柱状ハニカム構造体は、外周側壁と、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面が開口して第二底面に目封止部を有する複数の第１セルと、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面に目封止部を有し、第二底面が開口する複数の第２セルとを備え、複数の第１セルと複数の第２セルは隔壁を挟んで交互に隣接配置されており、
第二底面に対して第一の光を照射するための光照射器と、
第一底面に対して第二の光を照射するための光照射器と、
第二底面からの反射光のパターン及び透過光のパターンを撮像するためのカメラと、
カメラによって撮像された反射光のパターンの画像データ及び透過光のパターンの画像データを生成することができ、
生成された反射光のパターンの画像データに基づいて外周側壁に隣接する第２セル及び外周側壁に隣接しない第２セルのそれぞれの位置情報を区別して記憶装置に格納することができ、
生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置に格納されている前記位置情報に基づいて、外周側壁に隣接する第２セルからのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接する第２セルを識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第一の基準と当該透過光の強度を比較することにより、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接する第２セルを検出することができ、且つ、
生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置に格納されている前記位置情報に基づいて、外周側壁に隣接しない第２セルからのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接しない第２セルを識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第二の基準と比較することにより、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接しない第２セルを検出することができる、
コンピュータと、
を備えた検査装置。
［５］
第一の基準は、異常な目封止部を有する第２セルであって外周側壁に隣接する第２セルを識別するための予め設定された透過光の強度に関する第一の基準、及び、前記測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する第一の基準の両方を有し、
第二の基準は、異常な目封止部を有する第２セルであって外周側壁に隣接しない第２セルを識別するための予め設定された透過光の強度に関する第二の基準、及び、前記測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する第二の基準の両方を有する、
［４］に記載の検査装置。
［６］
第一の光を照射するための光照射器は、第二の光を照射するための光照射器と異なる波長の光を照射可能である［４］又は［５］に記載の検査装置。

本発明の一実施形態によれば、目封止部を有する柱状ハニカム構造体を検査する際に、異常セルの検出精度を高めることが可能となる。

本発明の第一の実施形態に係る検査装置の構成を説明するための模式的な側面図である。本発明の第二の実施形態に係る検査装置の構成を説明するための模式的な側面図である。本発明の第二の実施形態に係る検査装置の別の構成を説明するための模式的な側面図である。本発明の第二の実施形態に係る検査装置の更に別の構成を説明するための模式的な側面図である。本発明の第一の実施形態に係る検査装置の別の構成を説明するための模式的な側面図である。ウォールフロー型のセラミックス焼成体を模式的に示す斜視図である。ウォールフロー型のセラミックス焼成体をセルの延びる方向に直交する方向から観察したときの模式的な断面図である。バルーンチャックの構造例を示す模式図である。透過光のパターンの画像例（左）及び反射光のパターンの画像例（右）である。

次に本発明の実施形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、適宜設計の変更、改良等が加えられることが理解されるべきである。

（１．柱状ハニカム構造体）
図２及び図３には、ウォールフロー型の自動車用排ガスフィルタ及び／又は触媒担体として適用可能な柱状ハニカム構造体（１００）の模式的な斜視図及び断面図がそれぞれ例示されている。この柱状ハニカム構造体（１００）は、外周側壁（１０２）の内周側に配置され、第一底面（１０４）から第二底面（１０６）まで延び、第一底面（１０４）が開口して第二底面（１０６）に目封止部（１０９）を有する複数の第１セル（１０８）と、外周側壁（１０２）の内周側に配置され、第一底面（１０４）から第二底面（１０６）まで延び、第一底面（１０４）に目封止部（１０９）を有し、第二底面（１０６）が開口する複数の第２セル（１１０）とを備える。この柱状ハニカム構造体（１００）においては、第１セル（１０８）及び第２セル（１１０）が隔壁（１１２）を挟んで交互に隣接配置されている。

第１セル（１０８）は、外周側壁（１０２）に隣接する第１セル（１０８ａ）及び外周側壁（１０２）に隣接しない第１セル（１０８ｂ）に分類可能である。同様に、第２セル（１１０）は、外周側壁（１０２）に隣接する第２セル（１１０ａ）及び外周側壁（１０２）に隣接しない第２セル（１１０ｂ）に分類可能である。

柱状ハニカム構造体（１００）の上流側の第一底面（１０４）にスス等の粒子状物質を含む排ガスが供給されると、排ガスは第１セル（１０８）に導入されて第１セル（１０８）内を下流に向かって進む。第１セル（１０８）は下流側の第二底面（１０６）が目封止されているため、排ガスは第１セル（１０８）と第２セル（１１０）を区画する多孔質の隔壁（１１２）を透過して第２セル（１１０）に流入する。粒子状物質は隔壁（１１２）を通過できないため、第１セル（１０８）内に捕集され、堆積する。粒子状物質が除去された後、第２セル（１１０）に流入した清浄な排ガスは第２セル（１１０）内を下流に向かって進み、下流側の第二底面（１０６）から流出する。

柱状ハニカム構造体の底面形状に制限はないが、例えば円形状、楕円形状、レーストラック形状、長円形状、三角形状、略三角形状、四角形状及び略四角形状等の多角形状や異形形状とすることができる。図示の柱状ハニカム構造体（１００）は、底面形状が円形状であり、全体として円柱状である。

セルの流路方向に垂直な断面におけるセルの形状に制限はないが、四角形、六角形、八角形、又はこれらの組み合わせであることが好ましい。これらのなかでも、正方形及び六角形が好ましい。セル形状をこのようにすることにより、ハニカム焼成体に流体を流したときの圧力損失が小さくなり、触媒の浄化性能が優れたものとなる。

セル密度（単位断面積当たりのセルの数）についても特に制限はなく、例えば６～２０００セル／平方インチ（０．９～３１１セル／ｃｍ²）とすることができる。ここで、セル密度は、一方の底面におけるセルの数（目封止されたセルも算入する。）を、外周側壁を除く当該底面の面積で割ることにより算出される。

隔壁（１１２）の厚みについても特に制限はないが、例えば５０μｍ～３３０μｍとすることができる。

柱状ハニカム構造体の高さ（第一底面から第二底面までの長さ）についても特に制限はないが、例えば４０ｍｍ～３００ｍｍとすることができる。

目封止部を有する柱状ハニカム構造体は、公知の作製方法によって作製可能であるが以下に例示的に説明する。まず、セラミックス原料、分散媒、造孔剤及びバインダーを含有する原料組成物を混練して坏土を形成した後、坏土を押出成形することにより所望の柱状ハニカム構造体に成形する。柱状ハニカム構造体を乾燥した後、柱状ハニカム構造体の両底面に目封止部を形成した上で目封止部を乾燥し、目封止部を有する柱状ハニカム構造体を得る。柱状ハニカム構造体はこの後、脱脂及び焼成を実施することでセラミックス焼成体として提供されるのが通常である。目封止部に対する検査は、焼成前の柱状ハニカム構造体に対して実施してもよいし、焼成後の柱状ハニカム構造体に対して実施してもよい。

（２．第一の実施形態）
図１Ａには、本発明の第一の実施形態に係る検査装置（１０）の構成を説明するための模式的な側面図が示されている。
検査装置（１０）は、
第二底面（１０６）に対して第一の光を照射するための光照射器（１２ａ）と、
第一底面（１０４）に対して第二の光を照射するための光照射器（１２ｂ）と、
第二底面（１０６）からの反射光のパターン及び透過光のパターンを撮像するためのカメラ（１６）と、
を備える。

また、検査装置（１０）は、画像処理部（３０１）、記憶装置（３０２）、演算部（３０３）、及び表示部（３０４）を有するコンピュータ（３００）を備える。

画像処理部（３０１）は、カメラ（１６）によって撮像された反射光のパターンの画像データ及び透過光のパターンの画像データを生成することができる。

記憶装置（３０２）は、生成された反射光のパターンの画像データに基づいて外周側壁（１０２）に隣接する第２セル（１１０ａ）及び外周側壁（１０２）に隣接しない第２セル（１１０ｂ）のそれぞれの位置情報を区別して格納することができる。

演算部（３０３）は、生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置（３０２）に格納されている前記位置情報に基づいて、外周側壁（１０２）に隣接する第２セル（１１０ａ）からのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部（１０９）を有する第２セルであって外周側壁（１０２）に隣接する第２セル（１１０ａ）を識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第一の基準と当該透過光の強度を比較することにより、異常な目封止部（１０９）を有する第２セル（１１０ａ）であって外周側壁（１０２）に隣接する第２セル（１１０ａ）を検出することができる。

また、演算部（３０３）は、生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置（３０２）に格納されている前記位置情報に基づいて、外周側壁（１０２）に隣接しない第２セル（１１０ｂ）からのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部（１０９）を有する第２セルであって外周側壁（１０２）に隣接しない第２セル（１１０ｂ）を識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第二の基準と比較することにより、異常な目封止部（１０９）を有する第２セルであって外周側壁（１０２）に隣接しない第２セル（１１０ｂ）を検出することができる。

表示部（３０４）は、画像処理部（３０１）によって生成された反射光のパターンの画像データ及び透過光のパターンの画像データに基づき、反射光のパターンの画像及び透過光のパターンの画像を表示することができる。表示部はＬＣＤや有機ＥＬ等のディスプレイで構成することができる。

一実施形態において、検査装置（１０）は、光照射器（１２ａ、１２ｂ）、カメラ（１６）、及び柱状ハニカム構造体（１００）を収容するための筐体（１３）を備えることができる。筐体（１３）は外部からの光を遮断できるように構成することができる。これにより、暗い環境下で検査を行うことができ、検査精度を高めることができる。

光照射器（１２ａ）は、柱状ハニカム構造体（１００）の第二底面（１０６）に対して第一の光を照射することができる位置に設置されている。図示の実施形態に係る検査装置（１０）においては、光照射器（１２ａ）は、柱状ハニカム構造体（１００）の第二底面（１０６）よりも上方に設置されており、下向きに第一の光を照射することができるように構成されている。光照射器（１２ａ）からの光は、第二底面（１０６）に対して等方的に照射されることが好ましい。このため、例えば、光照射器（１２ａ）としてリング照明又は同軸照明等を用いて、第二底面（１０６）の直上から光を照射する方法、及び、図示するように一対以上の光照射器（１２ａ）を用いて、柱状ハニカム構造体（１００）の中心軸を対称中心として第二底面に対称的に光を照射する方法が好ましい。

光照射器（１２ｂ）は、柱状ハニカム構造体（１００）の第一底面（１０４）に対して第二の光を照射することができる位置に設置されている。図示の実施形態に係る検査装置（１０）においては、光照射器（１２ｂ）は上向きに第二の光を照射することができるように構成されている。そして、柱状ハニカム構造体（１００）は、第一底面（１０４）が下側に位置するようにして、光照射器（１２ｂ）の光源の直上に配置することができるように構成されている。光源については、光源からの光の拡散角度と第一底面（１０４）からの距離にも依存するが、第一底面（１０４）に対して均一に光を照射するという観点から、第一底面（１０４）に対向する光源が、第一底面（１０４）よりも大きな面積範囲で広がっていることが好ましい。例えば、第一底面（１０４）の照度が１０，０００ｌｘ以上となるような出力で光を照射することができる。

光照射器（１２ａ、１２ｂ）の光源としては、特に制限はないが、ＬＥＤ、白熱電球、ハロゲンランプ等が挙げられる。これらの光源は一般的に拡散光を照射可能である。照射する光の波長についても、カメラが受光感度を有する波長であれば特に制限はない。従って、白色光を照射することも可能である。照射する光の出力についても特に制限はないが、柱状ハニカム構造体（１００）の高さが大きい場合、及び、目封止部が深い場合でも短い露光時間で透過光強度を確保できたり、外乱の影響を緩和できたりするため、強い方が好ましい。

特許文献１においてはコリメート光が得られるようにコリメータレンズを光照射器（１２ｂ）と柱状ハニカム構造体（１００）の間に配置しているが、本実施形態においてはコリメート光を使用する必要はない。従って、本発明の一実施形態においては、コリメータレンズが光照射器（１２ｂ）と柱状ハニカム構造体（１００）の間には配置されない。従って、一実施形態において、柱状ハニカム構造体（１００）は光照射器（１２ｂ）に接触するように載置してもよい（図１Ａ～図１Ｄ参照）。柱状ハニカム構造体（１００）を光源に接触させることは、透過光の強度及び光の均一性の観点で有利である。

また、別の一実施形態において、柱状ハニカム構造体（１００）は光照射器（１２ｂ）に接触させないように例えば、両者の間に透光性基板（２０）を挟んで、配置してもよい（図１Ｅ参照）。透光性基板（２０）としては、透明基板及び半透明基板が挙げられるが、光源からの光の不均一性を解消するため、すりガラス等の半透明基板が好ましい。第一底面（１０４）への光照射は、柱状ハニカム構造体（１００）を透光性基板（２０）に載置した状態で行うことができる。また、透光性基板（２０）を通過した光がハニカム構造体（１００）の外周側壁（１０２）を照らすのを防止するため、ハニカム構造体（１００）の外周側壁（１０２）からはみ出した透光性基板（２０）の外周部を取り囲むリング状の遮光部材（２１）を設置してもよい。遮光部材（２１）は後述するバルーンチャックのような遮光性環状部材（１５）の有無に関わらず有効である。

後述するように、反射光のパターン及び透過光のパターンを同時にカメラ（１６）で撮像する場合がある。この場合、カメラ（１６）が両者を区別して認識できるように、第一の光及び第二の光を異なる波長の光とすることが好ましい。カメラ側の感度がどの波長帯にあるか、照射する光の波長が色毎の画像に干渉しないかによっても異なるが、ＲＧＢカメラ等のカラーカメラを使用する場合、一方の光を赤色４００～５００ｎｍとし、他方の光を青色６００～８００ｎｍすることが可視光の範囲では実現が容易な組み合わせである。

カメラ（１６）は、反射光のパターンを撮像することができる位置に配置されている。カメラ（１６）は、柱状ハニカム構造体（１００）の第二底面（１０６）に対して光照射器（１２ａ）から第一の光が照射されているときに、第１セル（１０８）及び第２セル（１１０）の各目封止部（１０９）の配置に応じた第二底面（１０６）からの反射光のパターンを撮像することができる。図示の実施形態に係る検査装置（１０）においては、カメラ（１６）は、柱状ハニカム構造体（１００）の第二底面（１０６）の上方に、好ましくは直上に配置されており、レンズ（１７）を第二底面（１０６）に、すなわち下方に向けている。反射光のパターンを撮像するためのカメラ（１６）は、エリアカメラ及びラインカメラの何れでもよいが、撮像タクトが速い、照明幅が広い、及び設備サイズを小さくできる等の理由により、エリアカメラが好ましい。検査精度を高めるという観点から、反射光のパターンを撮像するためのカメラは、４０μｍ／ｐｉｘ以下の画素分解能（一画素の水平方向及び垂直方向の長さが４０μｍであるか又はそれよりも細かい）を有することが好ましく、典型的には２０～４０μｍ／ｐｉｘの画素分解能を有することができる。

カメラ（１６）による撮像結果に基づき、コンピュータ（３００）は、反射光のパターンの画像データを生成することができる。生成された反射光のパターンの画像の例を図５に示す。次いで、コンピュータ（３００）は、当該画像データに基づいて外周側壁（１０２）に隣接する第２セル（１１０ａ）及び外周側壁（１０２）に隣接しない第２セル（１１０ｂ）のそれぞれの位置情報を区別して記憶装置に格納する。位置情報は、例えば、各第２セルの輪郭を構成する二次元座標の情報を含むことができ、これにより、各第２セルの位置、形状及び大きさを特定することが可能である。

また、カメラ（１６）は、透過光のパターンを撮像することができる位置に配置されている。カメラ（１６）は、柱状ハニカム構造体（１００）の第一底面（１０４）に対して光照射器（１２ｂ）から第二の光が照射されているときに、第１セル（１０８）及び第２セル（１１０）の各目封止部（１０９）の配置に応じた第二底面（１０６）からの透過光のパターンを撮像することができる。図示の実施形態に係る検査装置（１０）においては、カメラ（１６）は、柱状ハニカム構造体（１００）の第二底面（１０６）の上方に、好ましくは直上に配置されており、レンズ（１７）を第二底面（１０６）に、すなわち下方に向けている。透過光のパターンを撮像するためのカメラは、エリアカメラ及びラインカメラの何れでもよいが、撮像タクトが速い、照明幅が広い、及び設備サイズを小さくできる等の理由により、エリアカメラが好ましい。検査精度を高めるという観点から、透過光のパターンを撮像するためのカメラは、４０μｍ／ｐｉｘ以下の画素分解能（一画素の水平方向及び垂直方向の長さが４０μｍであるか又はそれよりも細かい）を有することが好ましく、典型的には２０～４０μｍ／ｐｉｘの画素分解能を有することができる。

透過光のパターンを撮像するカメラは、反射光のパターンを撮像するカメラと同一でもよいし、異なっていてもよい。但し、透過光のパターンを撮像するカメラと反射光のパターンを撮像するカメラを切り替える場合において、両カメラのアングルが異なる場合は、両カメラによって認識されたセル位置が一致するように画像処理によって位置補正する必要がある。図示の実施形態に係る検査装置においては、透過光のパターンを撮像するカメラは、反射光のパターンを撮像するカメラと同一である。

カメラ（１６）による撮像結果に基づき、コンピュータ（３００）は、透過光のパターンの画像データを生成することができる。生成された透過光のパターンの画像の例を図５に示す。

コンピュータ（３００）は、生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置（３０２）に格納されている各第２セルの前記位置情報に基づいて、外周側壁（１０２）に隣接する第２セル（１１０ａ）からのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部（１０９）を有する第２セルであって外周側壁（１０２）に隣接する第２セル（１１０ａ）を識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第一の基準と当該透過光の強度を比較することにより、異常な目封止部（１０９）を有する第２セルであって外周側壁（１０２）に隣接する第２セル（１１０ａ）を検出する。

また、コンピュータ（３００）は、生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置（３０２）に格納されている各第２セルの前記位置情報に基づいて、外周側壁（１０２）に隣接しない第２セル（１１０ｂ）からのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部（１０９）を有する第２セルであって外周側壁（１０２）に隣接しない第２セル（１１０ｂ）を識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第二の基準と比較することにより、異常な目封止部（１０９）を有する第２セルであって外周側壁に隣接しない第２セル（１１０ｂ）を検出する。

第一又は第二の基準と比較すべき各第２セルからの透過光の強度は、当該第２セルの透過光の強度を代表する値であれば特に制限はない。例えば、生成された透過光のパターンの画像上で各第２セル内にあるピクセルの輝度の平均値を当該第２セルの透過光の強度とすることができる。別法として、生成された透過光のパターンの画像上で各第２セル内にあるピクセルの輝度の総和を当該第２セルの透過光の強度とすることもできる。

外周側壁（１０２）に隣接する第２セル（１１０ａ）からの透過光の強度と、外周側壁（１０２）に隣接しない第２セル（１１０ｂ）からの透過光の強度は、両者に同じ深さの目封止部（１０９）が形成されていたとしても、違いが生じやすい。このため、外周側壁（１０２）に隣接する第２セル（１１０ａ）について異常な目封止部（１０９）の有無を判断する第一の基準と、外周側壁（１０２）に隣接しない第２セル（１１０ｂ）について異常な目封止部（１０９）の有無を判断する第二の基準を変えて、それぞれに適した基準を採用することで、異常な目封止部（１０９）の検出精度を高めることが可能である。

第２セル（１１０）の目封止部（１０９）（すなわち、第一底面（１０４）の側に位置する目封止部）に穴が開いていたり、深さが不足していたりする欠陥（以下、「浅目封止部」と呼ぶ。）があると、透過光のパターンの画像上において、当該欠陥をもつ第２セル（１１０）は正常な目封止部（１０９）をもつ第２セル（１１０）に比べて輝度が高くなる。逆に、目封止部（１０９）が過度に深く形成されている第２セル（１１０）は、正常な目封止部（１０９）をもつ第２セル（１１０）に比べて輝度が低くなる。従って、正常な目封止部（１０９）をもつ第２セル（１１０）における輝度の基準（例えば特定の輝度範囲）を予め設定しておき、それを満たさない第２セル（１１０）は異常な目封止部（１０９）を有すると判断することができる。

透過光の強度に関する第一の基準及び第二の基準はそれぞれ、異常セルの検出精度が高くなるように経験則に基づいて適宜設定すればよい。また、機械学習によってコンピュータに学習させた結果に基づいてもよい。第一の基準及び第二の基準はそれぞれ、一つの基準を有することができ、又は、複数の基準を有することができる。

以下では、浅目封止部をもつ異常セルの有無を検査する場合の基準の設定方法について例示的に説明する。異常セルの検出モードの一つとして、検査対象である柱状ハニカム構造体が有する第２セル同士の透過光の強度を比較することで異常を検知する第一の検査モードが挙げられる。

第一の検査モードに従って、外周側壁に隣接する第２セルのうち、異常な目封止部を有する第２セルを検出する場合、検査対象である柱状ハニカム構造体が有する外周側壁に隣接する第２セルの透過光の強度の測定結果に基づいて第一の基準を定め、異常な目封止部を有する第２セルを検出する。例示的には、外周側壁に隣接する第２セルの所定数（例：互いに隣り合う１０個以上）の透過光の強度の平均値を算出し、当該平均値に基づき第一の基準を設定することができる。また、外周側壁に隣接する第２セルの半分以上、又は３／４以上、又は、全部の透過光の強度の平均値を算出し、当該平均値に基づき第一の基準を設定することができる。例えば、外周側壁に隣接する特定の第２セルからの透過光の強度が、透過光の強度の平均値よりも予め定めた許容範囲を超えて大きい（所定の閾値を超える）場合に、この第２セルは浅目封止部をもつ異常セルであると判断することができる。

同様に、第一の検査モードに従って、外周側壁に隣接しない第２セルのうち、異常な目封止部を有する第２セルを検出する場合、検査対象である柱状ハニカム構造体が有する外周側壁に隣接しない第２セルの透過光の強度の測定結果に基づいて第二の基準を定め、異常な目封止部を有する第２セルを検出する。例示的には、外周側壁に隣接しない第２セルの所定数（例：２０００個以上）の透過光の強度の平均値を算出し、当該平均値に基づき第二の基準を設定することができる。また、外周側壁に隣接しない第２セルの半分以上、又は３／４以上、又は全部の透過光の強度の平均値を算出し、当該平均値に基づき第二の基準を設定することもできる。例えば、外周側壁に隣接しない特定の第２セルからの透過光の強度が、透過光の強度の平均値よりも予め定めた許容範囲を超えて大きい（所定の閾値を超える）場合に、この第２セルは浅目封止部をもつ異常セルであると判断することができる。

第一の検査モードは、平均値が正常な第２セルを代表している場合、言い換えれば異常な目封止部を有する第２セルが少ない場合に有効である。しかしながら、異常な目封止部を有する第２セルが多い場合には検査精度が低下する可能性がある。そこで、異常セルの別の検出モードとして、検査対象である柱状ハニカム構造体が有する第２セルの透過光の強度を、検査対象とは異なる少なくとも一つ、好ましくは複数の別の柱状ハニカム構造体が有する第２セルの透過光の強度と比較することで異常を検知する第二の検査モードを、上述した第一の検査モードに代えて又は第一の検査モードに加えて実施することが好ましい。

第二の検査モードの手順を例示的に説明する。まず、検査対象とは異なる柱状ハニカム構造体を用いて、外周側壁に隣接する第２セルについて、所定条件で第二の光を照射したときの正常な目封止部をもつ第２セルからの透過光の強度を測定する。この測定結果に基づき、予め第一の基準を設定しておく。具体的には、正常な目封止部をもつ第２セルからの透過光の強度の許容範囲又は閾値を、外周側壁に隣接する第２セルについて予め定めておく。この許容範囲又は閾値は、例えば、正常な目封止部をもつ第２セルからの透過光の強度の平均値に基づいて定めることができる。

同様に、検査対象とは異なる柱状ハニカム構造体を用いて、外周側壁に隣接しない第２セルについて、所定条件で第二の光を照射したときの正常な目封止部をもつ第２セルからの透過光の強度を測定する。この測定結果に基づき、予め第二の基準を設定しておく。具体的には、正常な目封止部をもつ第２セルからの透過光の強度の許容範囲又は閾値を、外周側壁に隣接しない第２セルについて予め定めておく。この許容範囲又は閾値は、例えば、正常な目封止部をもつ第２セルからの透過光の強度の平均値に基づいて定めることができる。

次いで、上記と同じ条件で第二の光を照射し、検査対象である柱状ハニカム構造体が有する外周側壁に隣接する第２セル及び外周側壁に隣接しない第２セルのそれぞれの透過光の強度を測定する。そして、第２セルのそれぞれの透過光の強度が、上記で予め定めた許容範囲又は閾値を超えるか否かを判定する。透過光の強度が予め定めた許容範囲又は閾値を超えて大きい（所定の閾値を超える）第２セルは浅目封止部をもつ異常セルであると判断することができる。

第二の検査モードは、異常な目封止部を有する第２セルが多い場合に高い精度で異常な目封止部をもつ第２セルを検出できるという点で有利である。しかしながら、正常な目封止部を有する柱状ハニカム構造体に対して同一条件で第二の光を照射したとしても製品同士で透過光の強度にはばらつきが生じる可能性がある。工業的に製造される柱状ハニカム構造体には寸法誤差が存在するところ、直角度が変化することにより透過光の強度にはばらつきが生じ得る。このため、第二の検査モードで設定される目封止部の有無を判別するための基準も万能ではない。

従って、検査精度を高めるという観点からは、第一の検査モード及び第二の検査モードを組み合わせることが好ましい。第一の検査モード及び第二の検査モードを組み合わせる場合は、第一の基準は、第一の検査モードにおける第一の基準と第二の検査モードにおける第一の基準の二つが存在する。第二の基準も、第一の検査モードにおける第二の基準と第二の検査モードにおける第二の基準の二つが存在する。従って、外周側壁に隣接する各第２セルは、第一の検査モードにおける第一の基準と第二の検査モードにおける第一の基準の二つを満たすときに正常な目封止部をもつ第２セルであると判断される。同様に、外周側壁に隣接しない各第２セルは、第一の検査モードにおける第二の基準と第二の検査モードにおける第二の基準の二つを満たすときに正常な目封止部をもつ第２セルであると判断される。

このように、第一の検査モードと第二の検査モードを組み合わせることで、異常な目封止部を有する第２セルが局所的に存在する場合及び全体的に存在する場合の何れにおいても高い精度で検査を実施することが可能となる。

反射光のパターン及び透過光のパターンを撮像する順序は、例えば、先に反射光のパターンを撮像し、次いで、透過光のパターンを撮像する方法と、先に透過光のパターンを撮像し、次いで、反射光のパターンを撮像する方法と、反射光のパターン及び透過光のパターンを同時に撮像する方法が考えられる。検査速度を向上させる観点からは、反射光のパターン及び透過光のパターンを同時にカメラで撮像することが望ましい。但し、その場合は、先述したように、カメラが反射光のパターンと透過光のパターンを区別して認識できるように、第一の光及び第二の光を異なる波長の光とすることが好ましい。

第二底面（１０６）からの透過光のパターンをカメラ（１６）で撮像するとき、光照射器（１２ｂ）からの光によって、又は、検査装置外部からの光によって、柱状ハニカム構造体（１００）の外周側面（１０２）が照らされると、外周側面（１０２）近傍の目封止部の輝度が明るくなりやすく、検査精度が低下するおそれがある。そこで、第二底面（１０６）からの透過光のパターンをカメラ（１６）で撮像する際に、柱状ハニカム構造体（１００）の外周側面（１０２）を遮光性環状部材（１５）で周回被覆することが好ましい。遮光性環状部材（１５）は柱状ハニカム構造体（１００）の大きさに柔軟に対応できるようにゴム及びエラストマー等の弾性材料で構成されていることが好ましい。

遮光性環状部材（１５）としては、バルーンチャックが好適に使用可能である。バルーンチャックを用いると、バルーンからの押圧力が柱状ハニカム構造体（１００）との接触面全体に分散しやく、局所的に大きな圧力がかかりにくいので、固定時に柱状ハニカム構造体（１００）が破損しにくくなる。図４には、バルーンチャック（２００）の構造例が示されている。バルーンチャック（２００）は、第一開口（２１０）、第二開口（２２０）、第一開口（２１０）と第二開口（２２０）の間の中空部（２３０）、及び、中空部（２３０）の周囲に設置されたバルーン（２４０）を備える。バルーン（２４０）は、中空部（２３０）を周回するように設置されており、必要に応じて複数設置することもできる。

図示の実施形態に係るバルーンチャック（２００）においては、バルーン（２４０）の外周側に複数の貫通孔（２６０）が設けられた側壁（２７０）が設けられており、更にその外周側には、流体ポート（２８０）を通って出入可能な流体（典型的には空気等のガス）の流路（２９０）が形成されている。

バルーンチャック（２００）の使用方法について説明する。柱状ハニカム構造体（１００）を第一開口（２１０）又は第二開口（２２０）から中空部（２３０）へ挿入する。次いで、流体（典型的には空気等のガス）を流体ポート（２８０）から流路（２９０）に供給すると、流体は貫通孔（２６０）を通ってバルーン（２４０）に注入される。これにより、バルーン（２４０）が中空部（２３０）に挿入されている柱状ハニカム構造体（１００）に向かって膨張すると、柱状ハニカム構造体（１００）は、バルーン（２４０）からの押圧力によってバルーンチャック（２００）に固定される。

遮光性を高めるという観点から、遮光性環状部材（１５）は、柱状ハニカム構造体（１００）の高さ（第一底面から第二底面までの長さ）方向に座標軸を取り、第二底面（１０６）の座標値を０とし、第一底面（１０４）の座標値を１００とすると、少なくとも０～５０の何れかの座標値、好ましくは少なくとも０～２０の何れかの座標値、より好ましくは少なくとも０～１０の何れかの座標値において外周側面（１０２）を周回被覆することが望ましい。第二底面（１０６）に近い側の外周側面（１０２）を遮光性環状部材（１５）で周回被覆することにより、第二底面（１０６）からの透過光のパターンをカメラ（１６）で撮像する際に、光照射器（１２ｂ）からの光の回り込みを効果的に抑制可能である。これに加えて、遮光性環状部材（１５）は少なくとも５０～１００の何れかの座標値、好ましくは少なくとも８０～１００の何れかの座標値、より好ましくは少なくとも９０～１００の何れかの座標値で外周側面（１０２）を周回被覆することがより望ましい。なお、本明細書において遮光性というのは減光性を含む概念であるが、遮光性環状部材（１５）は、ＪＩＳＬ１０５５：２００９で規定される遮光率が６０％以上であることが好ましく、８０％以上であることがより好ましく、９９％以上であることが更により好ましい。

なお、柱状ハニカム構造体（１００）の外周側面（１０２）を遮光性環状部材（１５）で周回被覆した状態で、第二底面（１０６）からの反射光のパターンをカメラ（１６）で撮像してもよいが、特に必要はない。

上述した方法により、本発明の第一の実施形態に係る検査装置（１０）を用いて、柱状ハニカム構造体（１００）の一方の底面における目封止部（１０９）の検査を行うことができる。他方の底面における目封止部（１０９）の検査を実施するためには、柱状ハニカム構造体（１００）を上下逆さにして同様の検査を行えばよい。

（３．第二の実施形態）
図１Ｂ～図１Ｄには、本発明の第二の実施形態に係る検査装置（２０）の構成を説明するための模式的な側面図が示されている。第二の実施形態に係る検査装置（２０）が、第一の実施形態に係る検査装置（１０）と異なる点は、前者が、第二底面（１０６）と平行に配置するための光拡散フィルム（１４）を更に備える点である。その他、第一の実施形態と同一の符号で表される構成要素は、既に説明した通りであるので重複する説明を省略する。

光拡散フィルム（１４）は、柱状ハニカム構造体（１００）の第一底面（１０４）に対して光照射器（１２ｂ）から第二の光を照射して、第１セル（１０８）及び第２セル（１１０）の各目封止部（１０９）の配置に応じた第二底面（１０６）からの透過光のパターンをカメラ（１６）で撮像するときに利用される。光拡散フィルム（１４）を介して第二底面（１０６）からの透過光のパターンを撮像することで、寸法誤差の影響により、柱状ハニカム構造体（１００）の直角度が悪い、すなわち、第一底面（１０４）とセル（１０８、１１０）の延びる方向が直角ではない、第二底面（１０６）とセル（１０８、１１０）の延びる方向が直角ではない、又は、セルの延びる方向が直線状ではなく曲がっている）場合であっても目封止部（１０９）の欠陥を検出しやすいという利点が得られる。

光拡散フィルム（１４）を介して、第二底面（１０６）からの反射光のパターンをカメラ（１６）で撮像することは困難である。このため、反射光のパターンを撮像する際は、撮像の邪魔にならないように、光拡散フィルム（１４）を第二底面（１０６）から避けておくことが望ましい。従って、光拡散フィルム（１４）を利用する場合は、反射光のパターンと透過光のパターンは別々に撮像されるのが通常である。

第二の実施形態において、光拡散フィルム（１４）は、柱状ハニカム構造体（１００）の第二底面（１０６）と非接触の状態で、第二底面（１０６）に平行に配置可能に構成されている。光拡散フィルム（１４）は第二底面（１０６）と接触させてもよいが、非接触の状態で配置されると、第二底面（１０６）との接触により拡散フィルム（１４）が傷つかないので好ましい。光拡散フィルム（１４）が第二底面（１０６）に“平行”に配置されるというのは、数学的な厳密な平行のみならず、検査精度に実質的な影響のない範囲での略平行も含まれる概念である。例示的には、光拡散フィルム（１４）と第二底面（１０６）のなす平均角度が０°～５°の場合はここでいう平行の概念に含まれる。

光拡散フィルム（１４）は、第二底面（１０６）全体を被覆するように配置することが検査効率を高めるという観点から好ましい。このため、一実施形態において、光拡散フィルム（１４）の主表面の面積は、柱状ハニカム構造体（１００）の第二底面（１０６）の面積よりも大きい。

光拡散フィルム（１４）と第二底面（１０６）の間の距離には特に制限はないが、近すぎると振動などによって接触するおそれがあるので、当該距離の下限は１ｍｍ以上であることが好ましく、２ｍｍ以上であることがより好ましく、３ｍｍ以上であることが更により好ましい。また、光拡散フィルム（１４）と第二底面（１０６）の間の距離が遠すぎると、隣り合うセルの透過光が重なって検査精度が低下するため、当該距離の上限は１００ｍｍ以下であることが好ましく、３０ｍｍ以下であることがより好ましく、１５ｍｍ以下であることが更により好ましい。本明細書において、光拡散フィルム（１４）と第二底面（１０６）の間の距離は、第二底面（１０６）の重心から法線方向に延ばした直線が光拡散フィルム（１４）に接触するまでの長さを指す。

光拡散フィルム（１４）の拡散角度は、検査を容易化するという観点から、１０°～９０°であることが好ましく、２０°～６０°であることがより好ましく、２０°～３０°であることが更により好ましい。光拡散フィルム（１４）の拡散角度は、例えば、フィルム内部に光散乱媒質を添加する方法、表面粗さを調整する方法などにより調整可能である。本明細書において、光拡散フィルム（１４）の拡散角度は、白色光をフィルム表面に垂直に照射した際に、最大の明るさ（照度）を示す方向（フィルム表面の法線方向）に対して、明るさ（照度）が半減する角度として定義される。明るさ（照度）が半減する角度は、白色光の照射範囲よりも十分に小さいピンホールを前方に備えた照度計を用いて、光拡散フィルム（１４）への白色光の照射位置及び測定距離を同じにして明るさが半減する角度を探すことで特定可能である。。

光拡散フィルム（１４）の厚みには特に制限はないが、厚過ぎると隣り合うセルの透過光が重なって検査精度が低下するため、５０ｍｍ以下であることが好ましく、３ｍｍ以下であることがより好ましく、１ｍｍ以下あることが更により好ましい。光拡散フィルム（１４）の厚みは、薄過ぎると強度が不足してシワや撓みが生じたり破損したりし易いため、０．２ｍｍ以上であることが好ましく、０．５ｍｍ以上であることがより好ましい。

光拡散フィルム（１４）の材質は、特に制限はないが、シワや撓みが生じないように硬質材料であることが安定した検査を実施する観点から好ましい。例えば、ガラス、プラスチック（ポリカーボネート等）等が挙げられる。

光拡散フィルム（１４）を安定して装置内に固定するため、検査装置は一実施形態において以下の（ａ）～（ｃ）の少なくとも一つの器具を備えることができる。
（ａ）光拡散フィルムに引張応力を加えるための、少なくとも一対の把持部を有する引張装置。
（ｂ）光拡散フィルムを挟むための二枚の透明板。
（ｃ）光拡散フィルムを貼り付けるための透明板。

図１Ｂに記載の実施形態においては、検査装置（２０）は、一対の把持部（１８ａ）を有する引張装置（１８）を備える。例えば、引張装置（１８）は、一対の把持部（１８ａ）が光拡散フィルム（１４）の対向する端部を挟み、互いに反対方向に引っ張ることができるように構成することができる。光拡散フィルム（１４）に引張応力を与えることで光拡散フィルム（１４）が薄い又は軟質の場合でもシワや撓みが発生するのを防止することができるので安定した検査を実施することができるようになる。また、引張装置（１８）は、一対の把持部（１８ａ）による引っ張り方向に直交する面内方向にも同時に引っ張ることができるように、更に一対の把持部（１８ａ）を備えることもできる。これにより、光拡散フィルム（１４）は四方向に引っ張られるので、光拡散フィルム（１４）をより安定して保持することができるようになる。

図１Ｂに示す実施形態において、各把持部（１８ａ）は、互いに対向する一対の把持板を上下に備えたクランプ機構を有する。一実施形態において、引張装置（１８）は、光拡散フィルム（１４）を把持するための押圧力及び光拡散フィルム（１４）を外方側に引張るための引張応力を把持部（１８ａ）に伝達する駆動手段を備えることができる。駆動手段としては、公知の任意の手段を採用すればよいが、例えば押圧力を伝達する駆動手段としてはスプリング又は電動シリンダ等を使用することができ、引張応力を伝達する駆動手段としてはターンバックル又は電動シリンダ等を使用することができる。

図１Ｃに示す実施形態において、光拡散フィルム（１４）は、二枚の透明板（１９）によって上下から挟まれている。光拡散フィルム（１４）を二枚の透明板（１９）によって挟むことにより、光拡散フィルム（１４）が薄い又は軟質の場合でもシワや撓みが発生するのを防止することができる。透明板（１９）としては、特に制限はないが、例えば透明ガラス板、透明プラスチック板（透明ポリカーボネート板等）等が挙げられる。透明板（１９）の厚みは、一般に光拡散フィルムよりも厚く、例えば、０．５～１５ｍｍとすることができる。透明板（１９）の拡散角度は一般には５°以下であり、典型的には１°以下である。

図１Ｄに示す実施形態において、光拡散フィルム（１４）は、透明板（１９）に貼り付けられている。光拡散フィルム（１４）を透明板（１９）に貼り付けることにより、光拡散フィルム（１４）が薄い又は軟質の場合でもシワや撓みが発生するのを防止することができる。光拡散フィルム（１４）を透明板（１９）に貼り付ける方法としては、例えば透明な接着剤を使用する方法が挙げられる。また、光拡散フィルム（１４）に強度があり保形性が確保できる場合には接着剤を使用することなく、光拡散フィルム（１４）及び透明板（１９）を貼り合わせた状態でこれらの端部をホルダーで挟むなど、外力を加えて透明板（１９）に押さえ付けるだけでもよい。なお、図１Ｄに示す実施形態においては、透明板（１９）が光拡散フィルムの下側に配置されているが、透明板（１９）が光拡散フィルム（１４）の上側に配置されていてもよい。

１０、２０検査装置
１２ａ、１２ｂ光照射器
１３筐体
１４光拡散フィルム
１５遮光性環状部材
１６カメラ
１７レンズ
１８引張装置
１８ａ把持部
１９透明板
２１遮光部材
１００柱状ハニカム構造体
１０２外周側壁
１０４第一底面
１０６第二底面
１０８第１セル
１０９目封止部
１１０第２セル
１１２隔壁
２００バルーンチャック
２１０第一開口
２２０第二開口
２３０中空部
２４０バルーン
２６０貫通孔
２７０側壁
２８０流体ポート
２９０流路
３００コンピュータ
３０１画像処理部
３０２記憶装置
３０３演算部
３０４表示部

Claims

柱状ハニカム構造体の検査方法であって、
柱状ハニカム構造体は、外周側壁と、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面が開口して第二底面に目封止部を有する複数の第１セルと、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面に目封止部を有し、第二底面が開口する複数の第２セルとを備え、複数の第１セルと複数の第２セルは隔壁を挟んで交互に隣接配置されており、
第二底面に対して第一の光を照射し、第１セル及び第２セルの各目封止部の配置に応じた第二底面からの反射光のパターンをカメラで撮像し、反射光のパターンの画像データを生成する工程と、
生成された反射光のパターンの画像データに基づいて外周側壁に隣接する第２セル及び外周側壁に隣接しない第２セルのそれぞれの位置情報を区別して記憶装置に格納する工程と、
第一底面に対して第二の光を照射し、第１セル及び第２セルの各目封止部の配置に応じた第二底面からの透過光のパターンをカメラで撮像し、透過光のパターンの画像データを生成する工程と、
生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置に格納されている前記位置情報に基づいて、外周側壁に隣接する第２セルからのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接する第２セルを識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第一の基準と当該透過光の強度を比較することにより、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接する第２セルを検出する工程と、
生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置に格納されている前記位置情報に基づいて、外周側壁に隣接しない第２セルからのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接しない第２セルを識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第二の基準と比較することにより、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接しない第２セルを検出する工程と、
を含む検査方法。
第一の基準は、異常な目封止部を有する第２セルであって外周側壁に隣接する第２セルを識別するための予め設定された透過光の強度に関する第一の基準、及び、前記測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する第一の基準の両方を有し、
第二の基準は、異常な目封止部を有する第２セルであって外周側壁に隣接しない第２セルを識別するための予め設定された透過光の強度に関する第二の基準、及び、前記測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する第二の基準の両方を有する、
請求項１に記載の検査方法。
第一の光及び第二の光を異なる波長の光として、前記反射光のパターン及び前記透過光のパターンを同時にカメラで撮像する請求項１又は２に記載の検査方法。
柱状ハニカム構造体の検査装置であって、
柱状ハニカム構造体は、外周側壁と、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面が開口して第二底面に目封止部を有する複数の第１セルと、外周側壁の内周側に配置され、第一底面から第二底面まで延び、第一底面に目封止部を有し、第二底面が開口する複数の第２セルとを備え、複数の第１セルと複数の第２セルは隔壁を挟んで交互に隣接配置されており、
第二底面に対して第一の光を照射するための光照射器と、
第一底面に対して第二の光を照射するための光照射器と、
第二底面からの反射光のパターン及び透過光のパターンを撮像するためのカメラと、
カメラによって撮像された反射光のパターンの画像データ及び透過光のパターンの画像データを生成することができ、
生成された反射光のパターンの画像データに基づいて外周側壁に隣接する第２セル及び外周側壁に隣接しない第２セルのそれぞれの位置情報を区別して記憶装置に格納することができ、
生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置に格納されている前記位置情報に基づいて、外周側壁に隣接する第２セルからのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接する第２セルを識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第一の基準と当該透過光の強度を比較することにより、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接する第２セルを検出することができ、且つ、
生成された透過光のパターンの画像データ及び記憶装置に格納されている前記位置情報に基づいて、外周側壁に隣接しない第２セルからのそれぞれの透過光の強度を測定し、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接しない第２セルを識別するための予め設定された又は当該測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する少なくとも一つの第二の基準と比較することにより、異常な目封止部を有する外周側壁に隣接しない第２セルを検出することができる、
コンピュータと、
を備えた検査装置。
第一の基準は、異常な目封止部を有する第２セルであって外周側壁に隣接する第２セルを識別するための予め設定された透過光の強度に関する第一の基準、及び、前記測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する第一の基準の両方を有し、
第二の基準は、異常な目封止部を有する第２セルであって外周側壁に隣接しない第２セルを識別するための予め設定された透過光の強度に関する第二の基準、及び、前記測定結果に基づいて決定される透過光の強度に関する第二の基準の両方を有する、
請求項４に記載の検査装置。
第一の光を照射するための光照射器は、第二の光を照射するための光照射器と異なる波長の光を照射可能である請求項４又は５に記載の検査装置。