JP7141120B2 - 厚み測定装置 - Google Patents
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Description
第2発明の厚み測定装置は、第1発明において、前記制御装置は、前記厚みデータから、あらかじめ定められた区間ごとに平均値を算出し、該平均値を圧縮データとすることを特徴とする。
第3発明の厚み測定装置は、第1発明または第2発明において、前記制御装置は、前記区間において測定不可と判定された測定不可データがある場合に、該測定不可データを除いて、前記厚みデータを圧縮することを特徴とする。
第4発明の厚み測定装置は、第1発明から第3発明のいずれかにおいて、前記制御装置は、前記被測定対象の前記ライン状の方向の端部の位置を、前記撮像装置により受光される受光量に基づいて決定することを特徴とする。
第5発明の厚み測定装置は、第1発明から第4発明のいずれかにおいて、前記制御装置は、前記被測定対象の前記ライン状の方向の端部の位置を、前記制御装置により算出される前記被測定対象の厚みに基づいて決定することを特徴とする。
第6発明の厚み測定装置は、第1発明から第5発明のいずれかにおいて、前記制御装置は、前記厚みデータが、あらかじめ定められた厚み範囲にない異常厚みデータである場合に、該異常厚みデータの厚み、位置および該異常厚みデータの周辺の厚み、位置を、前記圧縮データよりも細かい分解能で表示することを特徴とする。
第2発明によれば、区間ごとの平均値を圧縮データとすることにより、中央値または最頻値などを圧縮データとする場合と比較して、区間での厚み精度が向上する。
第3発明によれば、測定不可と判定された測定不可データを除いて、厚みデータを圧縮することにより、区間での厚み精度がより向上する。
第4発明によれば、制御装置が、被測定対象の幅方向の端部の位置を受光量に基づいて決定することにより、被測定対象が蛇行した場合でも、被測定対象の測定すべき範囲が明確になる。
第5発明によれば、制御装置が、被測定対象の幅方向の端部の位置を、厚みに基づいて決定することにより、被測定対象がコーティングである場合には被測定対象自体の蛇行、または被測定対象であるコーティングの蛇行のいずれに対しても、被測定対象の測定すべき範囲が明確になる。
第6発明によれば、制御装置が、異常厚みデータが現れた場合に、その周辺のデータを細かい分解能で表示するので、異常のない厚みデータについては圧縮することで被測定対象全体の膜厚の表示を高速に行いつつ、異常部分については詳細を把握することが可能となる。
図2には、本発明の第1実施形態に係る厚み測定装置10の平面図を、図3にはその側面図を示す。理解を容易にするために図2および図3では厚み測定装置10の主要部材のみを記載している。本発明に係る厚み測定装置10は、被測定対象を経由した測定光の分光特性を解析することで、被測定対象の厚みを測定することができる測定装置である。なお、本発明に係る厚み測定装置10は、被測定対象の表面から反射する反射光を受光する場合に加えて、被測定対象が透明の場合は、被測定対象を透過した透過光を受光する場合もあるが、第1実施形態としては反射光を受光する場合について説明する。なお、請求項における「被測定対象を経由して」との表現は、「被測定対象を透過して」、または「被測定対象で反射して」の表現の上位概念として使用している。
図7には、本実施形態に係る厚み測定装置10の第1動作フロー図を示す。この第1動作フロー図は、撮像装置20の二次元センサ26からの測定データを受けた制御装置12が、測定不可データがある場合に、その測定不可データを測定データから削除するフローである。
図6には、本発明の第2実施形態に係る厚み測定装置10の概略の側面図を示す。第1実施形態は、被測定対象から反射した測定光を撮像装置20が受光する構成であるのに対し、第2実施形態は、被測定対象を透過した測定光を撮像装置20が受光する構成である。図6に示すように、第2実施形態に係る厚み測定装置10は、被測定対象の下側に、被測定対象に対して測定光を照射する光源11と、被測定対象からの測定光を受光する撮像装置20と、この撮像装置20からの信号により厚みを算出する制御装置12とを備えている。本実施形態では、光源11と撮像装置20とを結ぶ線は、被測定対象に対して垂直に交わっている。
第5動作フローを実施して、異常厚みデータがある部分が特定された場合に、異常厚みデータがある部分について、圧縮後の膜厚分布表示上に、マーカーのように表示することも可能である。さらに、その表示がクリックされることで異常厚みデータの周辺の厚みデータを表示する機能を有することも可能である。加えて、圧縮後の膜厚分布表示上に異常厚みデータの部分の直接表示を行い、拡大を行うことで詳細を表示することも可能である。また、異常厚みデータの周辺の膜厚分布のみをリスト化し表示することも可能である。
11 光源
12 制御装置
13 表示装置
20 撮像装置
Claims (6)
- ライン状の光源、および該光源から照射される測定光を、被測定対象を経由して受光する撮像装置から構成される装置本体と、
前記撮像装置から得られる、前記測定光の分光特性を解析することで、前記被測定対象の厚みを算出する制御装置と、
前記制御装置で算出された厚みを表示する表示装置と、を備え、
前記撮像装置は、前記測定光を波長ごとに分光するグレーティング素子を有し、
前記制御装置は、前記装置本体または被測定対象のいずれかの、前記光源のライン状の方向に垂直な方向の動作に合わせて、前記グレーティング素子により分光された測定光の分光特性から前記被測定対象の厚みである厚みデータを算出して取得し、
該厚みデータを前記被測定対象のあらかじめ定められた区間ごとに圧縮し、圧縮データとし、
該圧縮データに基づいて、前記被測定対象の厚みを表示装置に表示する、
ことを特徴とする厚み測定装置。 - 前記制御装置は、前記厚みデータから、あらかじめ定められた区間ごとに平均値を算出し、該平均値を圧縮データとする、
ことを特徴とする請求項1に記載の厚み測定装置。 - 前記制御装置は、前記区間において測定不可と判定された測定不可データがある場合に、
該測定不可データを除いて、前記厚みデータを圧縮する、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の厚み測定装置。 - 前記制御装置は、
前記被測定対象の前記ライン状の方向の端部の位置を、
前記撮像装置により受光される受光量に基づいて決定する、
ことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の厚み測定装置。 - 前記制御装置は、
前記被測定対象の前記ライン状の方向の端部の位置を、
前記制御装置により算出される前記被測定対象の厚みに基づいて決定する、
ことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の厚み測定装置。 - 前記制御装置は、
前記厚みデータが、あらかじめ定められた厚み範囲にない異常厚みデータである場合に、
該異常厚みデータの厚み、位置および該異常厚みデータの周辺の厚み、位置を、前記圧縮データよりも細かい分解能で表示する、
ことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の厚み測定装置。
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イメージ分光方式を用いた超高速全面膜厚測定技術の開発,平成23年度戦略的基盤技術高度化支援事業「研究開発成果等報告書」,2012年03月 |
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