JP7140925B2 - 静電容量型隔膜真空計内の電子機器及び高温度センサ間の熱障壁 - Google Patents
静電容量型隔膜真空計内の電子機器及び高温度センサ間の熱障壁 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7140925B2 JP7140925B2 JP2021549950A JP2021549950A JP7140925B2 JP 7140925 B2 JP7140925 B2 JP 7140925B2 JP 2021549950 A JP2021549950 A JP 2021549950A JP 2021549950 A JP2021549950 A JP 2021549950A JP 7140925 B2 JP7140925 B2 JP 7140925B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermal barrier
- central
- interconnecting
- wall
- struts
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/04—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of resistance-strain gauges
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0041—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
- G01L9/0072—Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using variations in capacitance
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/0092—Pressure sensor associated with other sensors, e.g. for measuring acceleration or temperature
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/06—Means for preventing overload or deleterious influence of the measured medium on the measuring device or vice versa
- G01L19/0681—Protection against excessive heat
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/12—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor
- G01L9/125—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in capacitance, i.e. electric circuits therefor with temperature compensating means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
本出願は、2019年2月26日に出願された米国仮特許出願62/810,798の優先権を主張するものであり、この出願は参照されることにより、本出願に援用される。
110 円筒形の外殻
112 前面アンカープレート
114 後面プレート
120 圧力ポート、入口ポート
130 第1のコネクタ
132 第2のコネクタ
134 一対の取付ネジ
140 第1のLED
142 第2のLED
144 第3のLED
146 第1の埋込型押しボタンスイッチ
148 第2の埋込型押しボタンスイッチ
200 前部、圧力センサ部
202 後部、電子機器部
210 静電容量型隔膜真空計
212 入口管
214 断熱アダプタ
220 ダイアフラム
222 固定電極
224 隔膜真空計ハウジング、支持構造
226 同軸の導体
250 高温炉筐体、高温炉
252 第1の高温炉カバー
256 第2の高温炉カバー
260 中温炉筐体、中温炉
262 第1の中温炉カバー
264 第2の中温炉カバー
266 中央開口
300 入出力プリント回路基板
302 電力供給プリント回路基板
304 デジタル信号処理プリント回路基板
306 アナログプリント回路基板
310 プリント回路基板相互接続スタンドオフ
320 電子機器炉筐体
322 前後部相互接続スタンドオフ
330 プリント回路基板相互接続要素
500 圧力測定ユニット、圧力検出ユニット
510 前部、センサ部
512 後部、電子機器部
514 前部円筒形外部カバー
516 後部円筒形外部カバー
520 熱障壁
522 第1の表面、近位面
524 第2の表面、遠位面
530 近位取付部
532 530の遠位面
534 530の外周面
540 中間熱抑制及び換気部
550 遠位取付部
552 550の近位面
554 550の第1の外周面
556 550の第2の外周面
560 中央貫通孔
570 ネジ
572 ネジ
574 ネジ
600 入口管
610 高温炉筐体
612 610の遠位端
614 中央開口
616 610の近位端カバー
618 ネジ
630 円盤状アダプタ支持構造
640 断熱アダプタ
642 遠位基部
644 中間部
646 近位部
648 514の開口
650 アダプタネジ
652 アダプタネジ
700 円筒形断熱層
702 700の近位端
704 700の遠位端
710 第1の円盤状断熱層
712 中央開口
714 710の遠位面
716 710の近位面
720 第2の円盤状断熱層
730 第3の円盤状断熱層
740 第1の環状断熱層
750 第2の環状断熱層
770 ネジ
800 換気口
810 外側相互接続支柱
812 810のアーチ状の内表面
814 810のアーチ状の外表面
816 810の第1の半径方向面
818 810の第2の半径方向面
840 中央相互接続支柱
860 内側相互接続支柱
900 圧力測定ユニット
910 熱障壁筐体
911 円筒形側壁
912 第1の壁
913 第2の壁
914 中間熱抑制及び換気部
915 支柱
916 中央相互接続支柱
917 第2の相互接続支柱
918 第2の貫通孔
920 後部円筒形外部カバー
930 910の上部
931 910の下部
940 第1の円
941 支柱半径方向線
Claims (20)
- 第1の温度で動作する静電容量型隔膜真空計(CDG)及び第2の温度で動作する電子機器筐体を相互接続する熱障壁筐体であって、前記第1の温度は前記第2の温度よりも高く、前記熱障壁筐体が、
前記静電容量型隔膜真空計を囲む側壁と、
前記静電容量型隔膜真空計と機械的に係合するように構成された第1の壁と、
前記第1の壁から間隔をあけて配置され、前記電子機器筐体と係合するように構成された第2の壁と、
前記第1の壁及び前記第2の壁に接続された中央相互接続支柱と、
前記中央相互接続支柱を囲む複数の支柱を含み、前記第1の壁及び前記第2の壁を相互接続する中間熱抑制及び換気部と、
を含み、
前記中央相互接続支柱は、前記静電容量型隔膜真空計から伸びている同軸の導体が内部に配置される中央貫通孔を定義し、
前記同軸の導体を介して、前記電子機器筐体内の電子機器及び前記静電容量型隔膜真空計の間で信号が送信されることを特徴とする熱障壁筐体。 - 前記第1の壁は中央貫通孔を有し、前記複数の支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔から伸びている各々の支柱半径方向線に沿って配置されることを特徴とする請求項1に記載の熱障壁筐体。
- 前記第1の壁は中央貫通孔を有し、前記複数の支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔を中心とする第1の円に沿って配置されることを特徴とする請求項1に記載の熱障壁筐体。
- 前記複数の支柱は前記第1の壁及び前記第2の壁に接続されることを特徴とする請求項1に記載の熱障壁筐体。
- 前記中間熱抑制及び換気部は前記第1の壁及び前記第2の壁の間の総容積を有し、前記複数の支柱は支柱総容積を有し、前記支柱総容積は、前記総容積の約15%~約25%の範囲であることを特徴とする請求項1に記載の熱障壁筐体。
- 測定する圧力の供給源に接続可能であり、第1の温度で動作する静電容量型隔膜真空計(CDG)と、
前記静電容量型隔膜真空計に電気的に接続された電子機器を囲んでおり、前記第1の温度より低い第2の温度で動作する電子機器筐体と、
前記静電容量型隔膜真空計を収容し、前記静電容量型隔膜真空計及び前記電子機器筐体を相互接続する熱障壁筐体と、
を含む圧力検出システムであって、
前記熱障壁筐体が、
前記静電容量型隔膜真空計を囲む側壁と、
前記静電容量型隔膜真空計と機械的に係合するように構成された第1の壁と、
前記第1の壁から間隔をあけて配置され、前記電子機器筐体と係合するように構成された第2の壁と、
前記第1の壁及び前記第2の壁に接続された中央相互接続支柱と、
前記中央相互接続支柱を囲む複数の支柱を含み、前記第1の壁及び前記第2の壁を相互接続する中間熱抑制及び換気部と、
を含み、
前記中央相互接続支柱は、前記静電容量型隔膜真空計から伸びている同軸の導体が内部に配置される中央貫通孔を定義し、
前記同軸の導体を介して、前記電子機器筐体に囲まれた電子機器及び前記静電容量型隔膜真空計の間で信号が送信されることを特徴とする圧力検出システム。 - 前記第1の壁は中央貫通孔を有し、前記複数の支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔から伸びている各々の支柱半径方向線に沿って配置されることを特徴とする請求項6に記載の圧力検出システム。
- 前記第1の壁は中央貫通孔を有し、前記複数の支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔を中心とする第1の円に沿って配置されることを特徴とする請求項6に記載の圧力検出システム。
- 前記複数の支柱は前記第1の壁及び前記第2の壁に接続されることを特徴とする請求項6に記載の圧力検出システム。
- 前記中間熱抑制及び換気部は前記第1の壁及び前記第2の壁の間の総容積を有し、前記複数の支柱は支柱総容積を有し、前記支柱総容積は、前記総容積の約15%~約25%の範囲であることを特徴とする請求項6に記載の圧力検出システム。
- さらに、前記静電容量型隔膜真空計を囲む炉筐体を含むことを特徴とする請求項6に記載の圧力検出システム。
- さらに、前記熱障壁筐体の前記側壁と前記炉筐体の間の空間を埋める断熱層を含むことを特徴とする請求項11に記載の圧力検出システム。
- 第1の温度で動作する静電容量型隔膜真空計(CDG)及び第2の温度で動作する電子機器筐体を相互接続する熱障壁であって、前記第1の温度は前記第2の温度よりも高く、前記熱障壁が、
前記静電容量型隔膜真空計と機械的に係合するように構成された第1の取付境界面と、
前記第1の取付境界面から間隔をあけて配置され、前記電子機器筐体と係合するように構成された第2の取付境界面と、
前記第1の取付境界面及び前記第2の取付境界面に接続された中央相互接続支柱と、
前記中央相互接続支柱を囲む複数の支柱を含み、前記第1の取付境界面及び前記第2の取付境界面を相互接続する中間熱抑制及び換気部と、
を含み、
前記中央相互接続支柱は、前記静電容量型隔膜真空計から伸びている同軸の導体が内部に配置される中央貫通孔を定義し、
前記同軸の導体を介して、前記電子機器筐体内の電子機器及び前記静電容量型隔膜真空計の間で信号が送信されることを特徴とする熱障壁。 - 前記中間熱抑制及び換気部は前記第1の取付境界面及び前記第2の取付境界面の間の総容積を有し、前記複数の支柱は支柱総容積を有し、前記支柱総容積は、前記総容積の約15%~約50%の範囲であることを特徴とする請求項13に記載の熱障壁。
- 前記支柱総容積は、前記総容積の約40%であることを特徴とする請求項14に記載の熱障壁。
- 前記複数の支柱が、
隣接する外側相互接続支柱の間に換気口を提供する為に間隔をあけて配置されている複数の外側相互接続支柱と、
空気流が前記中間熱抑制及び換気部を通ることを可能にする為に、前記換気口から間隔をあけて配置され、そして、互いに間隔をあけて配置された複数の内側相互接続支柱と、
を含むことを特徴とする請求項13に記載の熱障壁。 - 前記第1の取付境界面及び前記第2の取付境界面のそれぞれは、各々の中央貫通孔を有し、
前記複数の外側相互接続支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔から伸びている各々の外側相互接続支柱半径方向線に沿って配置され、
前記複数の内側相互接続支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔から伸びている各々の内側相互接続支柱半径方向線に沿って配置され、
前記各々の内側相互接続支柱半径方向線は、各々の第1の外側相互接続支柱半径方向線及び第2の外側相互接続支柱半径方向線の間に、実質的に等角度で配置されることを特徴とする請求項16に記載の熱障壁。 - 前記第1の取付境界面及び前記第2の取付境界面のそれぞれは、各々の中央貫通孔を有し、
前記複数の外側相互接続支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔を中心とする第1の円に沿って配置され、前記第1の円は第1の半径を有し、
前記複数の内側相互接続支柱のそれぞれは、前記中央貫通孔を中心とする第2の円に沿って配置され、前記第2の円は第2の半径を有し、前記第2の半径は前記第1の半径よりも小さいことを特徴とする請求項16に記載の熱障壁。 - さらに、前記中央相互接続支柱から間隔をあけて配置された1以上の第2の相互接続支柱を含み、前記1以上の第2の相互接続支柱は、1以上のヒータ、抵抗温度検出器(RTD)及びセンサの為に、前記静電容量型隔膜真空計から前記電子機器筐体内の電子機器まで伸びている導線が内部に配置される各々の第2の貫通孔を定義することを特徴とする請求項1に記載の熱障壁筐体。
- さらに、前記中央相互接続支柱から間隔をあけて配置された1以上の第2の相互接続支柱を含み、前記1以上の第2の相互接続支柱は、1以上のヒータ、抵抗温度検出器(RTD)及びセンサの為に、前記静電容量型隔膜真空計から前記電子機器筐体に囲まれた電子機器まで伸びている導線が内部に配置される各々の第2の貫通孔を定義することを特徴とする請求項6に記載の圧力検出システム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201962810798P | 2019-02-26 | 2019-02-26 | |
US62/810,798 | 2019-02-26 | ||
PCT/US2020/019688 WO2020176495A1 (en) | 2019-02-26 | 2020-02-25 | Thermal barrier between high-temperature sensor and electronics in a capacitance diaphragm gauge |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022522288A JP2022522288A (ja) | 2022-04-15 |
JP7140925B2 true JP7140925B2 (ja) | 2022-09-21 |
Family
ID=72239893
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021549950A Active JP7140925B2 (ja) | 2019-02-26 | 2020-02-25 | 静電容量型隔膜真空計内の電子機器及び高温度センサ間の熱障壁 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11768119B2 (ja) |
EP (1) | EP3931541A4 (ja) |
JP (1) | JP7140925B2 (ja) |
KR (1) | KR102539918B1 (ja) |
CN (1) | CN113260843B (ja) |
TW (1) | TWI741510B (ja) |
WO (1) | WO2020176495A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP1685892S (ja) * | 2020-10-01 | 2021-05-24 | ||
WO2023101715A1 (en) * | 2021-12-03 | 2023-06-08 | Sumitomo (Shi) Cryogenics Of America, Inc. | Thermal insulation system for a capacitance diaphragm gauge |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3100986B2 (ja) | 1996-01-16 | 2000-10-23 | エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 改善された加熱型圧力トランスジューサアセンブリ |
JP3334888B2 (ja) | 1996-07-15 | 2002-10-15 | エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 改善された加熱型圧力変換器アセンブリ |
JP4437336B2 (ja) | 1999-05-14 | 2010-03-24 | キヤノンアネルバ株式会社 | 静電容量型真空センサ |
JP4988732B2 (ja) | 2005-07-13 | 2012-08-01 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 加熱式圧力変換器用の熱取り付け板 |
JP5576331B2 (ja) | 2011-03-31 | 2014-08-20 | アズビル株式会社 | 圧力センサ装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5719646A (en) | 1980-07-09 | 1982-02-01 | Olympus Optical Co Ltd | Calibration method for electrolyte measurement in automatic biochemical analyzer with builtin type flame light photometer |
KR100858071B1 (ko) | 2000-08-11 | 2008-09-11 | 엠케이에스 인스트루먼츠 인코포레이티드 | 용량식 압력 센서 |
US6612176B2 (en) * | 2000-12-28 | 2003-09-02 | Mks Instruments, Inc. | Pressure transducer assembly with thermal shield |
US7201057B2 (en) * | 2004-09-30 | 2007-04-10 | Mks Instruments, Inc. | High-temperature reduced size manometer |
KR101292929B1 (ko) * | 2005-08-12 | 2013-08-02 | 인피콘 게엠베하 | 광학 간섭계 압력 센서 |
US7946178B2 (en) * | 2007-06-19 | 2011-05-24 | Inficon Gmbh | Vacuum measuring cell device having a heater |
CN100595022C (zh) | 2008-02-01 | 2010-03-24 | 黄崇贤 | 柱状散热器的制造方法 |
JP2014126503A (ja) | 2012-12-27 | 2014-07-07 | Azbil Corp | 静電容量型圧力センサ |
CN103929925A (zh) | 2013-01-16 | 2014-07-16 | 欧司朗有限公司 | 散热装置和包括该散热装置的电子装置和照明装置 |
CN203848247U (zh) | 2014-04-30 | 2014-09-24 | 佛山市朗士照明有限公司 | 一种散热器 |
-
2020
- 2020-02-25 WO PCT/US2020/019688 patent/WO2020176495A1/en unknown
- 2020-02-25 US US17/297,962 patent/US11768119B2/en active Active
- 2020-02-25 JP JP2021549950A patent/JP7140925B2/ja active Active
- 2020-02-25 EP EP20762781.1A patent/EP3931541A4/en active Pending
- 2020-02-25 CN CN202080007696.4A patent/CN113260843B/zh active Active
- 2020-02-25 KR KR1020217024595A patent/KR102539918B1/ko active IP Right Grant
- 2020-02-26 TW TW109106344A patent/TWI741510B/zh active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3100986B2 (ja) | 1996-01-16 | 2000-10-23 | エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 改善された加熱型圧力トランスジューサアセンブリ |
JP3334888B2 (ja) | 1996-07-15 | 2002-10-15 | エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 改善された加熱型圧力変換器アセンブリ |
JP4437336B2 (ja) | 1999-05-14 | 2010-03-24 | キヤノンアネルバ株式会社 | 静電容量型真空センサ |
JP4988732B2 (ja) | 2005-07-13 | 2012-08-01 | エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド | 加熱式圧力変換器用の熱取り付け板 |
JP5576331B2 (ja) | 2011-03-31 | 2014-08-20 | アズビル株式会社 | 圧力センサ装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20220090974A1 (en) | 2022-03-24 |
JP2022522288A (ja) | 2022-04-15 |
CN113260843A (zh) | 2021-08-13 |
KR102539918B1 (ko) | 2023-06-02 |
EP3931541A4 (en) | 2022-11-23 |
TW202102826A (zh) | 2021-01-16 |
US11768119B2 (en) | 2023-09-26 |
WO2020176495A1 (en) | 2020-09-03 |
CN113260843B (zh) | 2023-09-12 |
KR20210101328A (ko) | 2021-08-18 |
EP3931541A1 (en) | 2022-01-05 |
TWI741510B (zh) | 2021-10-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7140925B2 (ja) | 静電容量型隔膜真空計内の電子機器及び高温度センサ間の熱障壁 | |
US7824101B2 (en) | Sensor arrangement | |
JP4563312B2 (ja) | 静電容量式圧力センサ装置 | |
EP1216403A1 (en) | Thermal management in a pressure transmitter | |
JP2019168450A (ja) | 温度を検出するためのアセンブリ、およびそのような温度検出用アセンブリを有するコンタクトアセンブリ | |
TW202026633A (zh) | 在感測器環境中的液體檢測及其補救措施 | |
KR20170015255A (ko) | 압력 센서와 그 제조 공정 | |
CN111947882A (zh) | 一种瞬态热流传感器及其测试方法 | |
TWI471538B (zh) | Temperature sensor for wafer cups | |
JP4600778B2 (ja) | 目的物までの距離を静電的に測定する感知器 | |
WO2018122698A1 (en) | High accuracy pressure transducer with improved temperature stability | |
TWI709734B (zh) | 具有熱隔離的溫度檢測器探針 | |
US11346725B2 (en) | Temperature measurement | |
JPH03504277A (ja) | 圧力計 | |
SE461429B (sv) | Kontaktplugg till en mikrovaagsenhet | |
KR102565161B1 (ko) | 습도 산출용 측정 센서 | |
CN111397758A (zh) | 温度检测器 | |
GB2559987A (en) | Temperature measurement | |
JP3161803B2 (ja) | 示差走査熱量計 | |
JP2554207Y2 (ja) | 半導体式熱感知器 | |
JP7418248B2 (ja) | 真空計 | |
EP3367078A1 (en) | Temperature measurement | |
US20230175907A1 (en) | Thermal Insulation System for a Capacitance Diaphragm Gauge | |
US20210156748A1 (en) | Monitoring the state of a temperature sensor | |
JP2001153747A (ja) | 簡易交換型真空センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211026 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211026 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220817 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220823 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220908 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7140925 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |