JP7134565B2 - 加工装置及び被加工物の加工方法 - Google Patents
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Description
4 基台
4a 開口
6 支持構造
8 X軸移動機構
8a X軸移動テーブル
10 防塵防滴カバー
12 操作パネル
14 チャックテーブル
14a 保持面
14b 溝
14c 貫通孔
16 Z軸移動機構
18 Z軸ガイドレール
20 Z軸移動プレート
22 Z軸ボールネジ
24 Z軸パルスモータ
26 支持具
28 加工ユニット
30 スピンドルハウジング
32 スピンドル
34 ホイールマウント
36 バイトホイール
38 ホイール基台
40 バイト工具
40a 切り刃
50 吸引領域
50a 吸引面
50b 支持ピン
50c 底部
52 外周領域
54 吸引路
56 バルブ
58 吸引源
60 シールユニット
62 チューブ
62a 開口部
62b 閉塞部
64 チューブ形状制御ユニット
66 流路
68 バルブ
70 バルブ
11 被加工物
13 基板
13a 表面
13b 裏面
15 樹脂層(モールド樹脂)
Claims (2)
- 被加工物を保持面で保持するチャックテーブルと、該保持面で保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、を備える加工装置であって、
該チャックテーブルは、
該保持面で該被加工物を吸引する吸引面と、
該保持面と該被加工物の外周部との隙間を埋めるシールユニットと、を有し、
該シールユニットは、
該吸引面を囲繞し該被加工物の外周部に対応して該チャックテーブルの該保持面側に形成された溝にはめ込まれたチューブと、
該チューブの内部の圧力を制御することにより該チューブの形状を制御し、該チューブの上端が該溝から突出した状態と、該チューブが該溝に埋没した状態と、を切り替えるチューブ形状制御ユニットと、を備え、
該チューブが該溝に埋没した状態で該保持面を該加工ユニットで削り、該保持面の形状を該吸引面の高さが均一になるように修正し、
該チューブの上端が該溝から突出した状態で該被加工物を該保持面で保持し、該被加工物を該加工ユニットで加工する ことを特徴とする加工装置。 - 請求項1記載の加工装置を用いて反りを有する被加工物の表面を加工する被加工物の加工方法であって、
該チューブの内部に負圧を作用させて該チューブを該溝に埋没させるチューブ変形ステップと、
チューブ変形ステップの実施後、該保持面を該加工ユニットで削って該保持面の形状を該吸引面の高さが均一になるように修正する保持面修正ステップと、
該保持面修正ステップの実施後、該チューブの内部を大気開放し該チューブの変形を解除するチューブ変形解除ステップと、
該チューブ変形解除ステップの実施後、該保持面の形状が修正された該チャックテーブルによって、該被加工物の反りを矯正しつつ該保持面で該被加工物を吸引保持する保持ステップと、
該保持ステップの実施後、該チャックテーブルによって保持された該被加工物の表面を該加工ユニットで削る加工ステップと、を備えることを特徴とする被加工物の加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018167891A JP7134565B2 (ja) | 2018-09-07 | 2018-09-07 | 加工装置及び被加工物の加工方法 |
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JP2020040139A JP2020040139A (ja) | 2020-03-19 |
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JP (1) | JP7134565B2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004237405A (ja) | 2003-02-07 | 2004-08-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄板保持装置および薄板保持方法並びに基板の製造方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2768867B2 (ja) * | 1991-03-29 | 1998-06-25 | 株式会社日立製作所 | 真空チャック装置 |
US6080050A (en) * | 1997-12-31 | 2000-06-27 | Applied Materials, Inc. | Carrier head including a flexible membrane and a compliant backing member for a chemical mechanical polishing apparatus |
US7033252B2 (en) * | 2004-03-05 | 2006-04-25 | Strasbaugh | Wafer carrier with pressurized membrane and retaining ring actuator |
-
2018
- 2018-09-07 JP JP2018167891A patent/JP7134565B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004237405A (ja) | 2003-02-07 | 2004-08-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 薄板保持装置および薄板保持方法並びに基板の製造方法 |
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Publication number | Publication date |
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JP2020040139A (ja) | 2020-03-19 |
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