JP7126146B2 - 非破壊試験方法 - Google Patents
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- 238000010998 test method Methods 0.000 title description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 125
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 33
- 238000009659 non-destructive testing Methods 0.000 claims description 28
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 12
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 10
- LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H lead(2+);trioxido(oxo)-$l^{5}-arsane Chemical compound [Pb+2].[Pb+2].[Pb+2].[O-][As]([O-])([O-])=O.[O-][As]([O-])([O-])=O LFEUVBZXUFMACD-UHFFFAOYSA-H 0.000 claims description 6
- 238000001931 thermography Methods 0.000 description 4
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 3
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N Lithium ion Chemical compound [Li+] HBBGRARXTFLTSG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910001416 lithium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- CVOFKRWYWCSDMA-UHFFFAOYSA-N 2-chloro-n-(2,6-diethylphenyl)-n-(methoxymethyl)acetamide;2,6-dinitro-n,n-dipropyl-4-(trifluoromethyl)aniline Chemical compound CCC1=CC=CC(CC)=C1N(COC)C(=O)CCl.CCCN(CCC)C1=C([N+]([O-])=O)C=C(C(F)(F)F)C=C1[N+]([O-])=O CVOFKRWYWCSDMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000003550 marker Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 230000007847 structural defect Effects 0.000 description 1
Images
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
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- A61—MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
- A61B—DIAGNOSIS; SURGERY; IDENTIFICATION
- A61B6/00—Apparatus or devices for radiation diagnosis; Apparatus or devices for radiation diagnosis combined with radiation therapy equipment
- A61B6/48—Diagnostic techniques
- A61B6/484—Diagnostic techniques involving phase contrast X-ray imaging
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/48—Thermography; Techniques using wholly visual means
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/06—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption
- G01N23/083—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and measuring the absorption the radiation being X-rays
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/72—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables
- G01N27/82—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws
- G01N27/83—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating magnetic variables for investigating the presence of flaws by investigating stray magnetic fields
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- G01N3/00—Investigating strength properties of solid materials by application of mechanical stress
- G01N3/40—Investigating hardness or rebound hardness
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B42/00—Obtaining records using waves other than optical waves; Visualisation of such records by using optical means
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- H—ELECTRICITY
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- H01M10/00—Secondary cells; Manufacture thereof
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- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B42/00—Obtaining records using waves other than optical waves; Visualisation of such records by using optical means
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
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Description
実際に試験する上では、それぞれの結果単独ではなく、両方の試験結果を組み合わせて多角的に判断する必要がある。例えば、X線撮影により異物が見つかったとしても、それがリークに繋がっていなければ、問題ない場合も考えられる。あるいはリークがあった場合、その部分のX線撮影により何が原因なのかを把握することができるなど、両方の試験結果を組み合わせて多角的に判断することができる場合がある。
また、LIBのようにラミネート包装されている場合、包装の外部に印をつけても内部の電極等との位置関係がずれてしまうという問題もある。
しかしながら、LIBのようにラミネート包装されている試験対象は、外形的特徴が安定しておらず、先の試験から後の試験の間に外形が変化してしまうおそれがある。また、特許文献1に記載の発明にあっては、いずれの試験も試験に先立ってカメラで画像を撮影するなどして光学的な探索を行っており、試験前に位置特定のための工程を要するとともに、上述したようにカメラ等を追加することで装置が大掛かりになるという課題がある。
前記X線撮影手段と前記磁場分布測定手段のいずれでも検出可能な共通のマークを前記試験対象上に固定的に形成した後、
前記X線撮影手段と前記磁場分布測定手段のそれぞれにより前記マークを含めて前記試験対象を試験し、
前記マークを位置基準にして、前記X線撮影手段と前記磁場分布測定手段による試験結果同士を対照する非破壊試験方法である。
例えば、試験AとしてX線撮影装置により試験を行い、試験Bとして磁場分布測定装置により試験を行う。この場合、マークを構成する素材としては、X線透過性の低い物質及び磁性体が含まれているものを適用する。例えばマークの印刷においてX線を透過しにくい重金属と磁性体を含んだインクを適用する。X線撮影装置としてX線タルボ撮影装置(特許文献2参照)を適用することができる。X線タルボ撮影装置によると、通常のX線検査より高コントラストであるので、X線透過性の低い物質と磁性体とを同一物質とすることができる。但し、一般的にはX線透過性の低い物質と磁性体とは別々の物質にした方が、それぞれの性質の高い物質を選択でき、それぞれの検出性を高めることができる。したがって、X線タルボ撮影装置を適用する場合も、X線透過性の低い物質と磁性体とは別々の物質にしてもよい。
なお、磁場分布測定装置に搭載される磁気センサとしては、MRセンサ、MIセンサ、TMRセンサ(トンネル型磁気抵抗センサ)などが適用される。より高感度なTMRセンサ(トンネル型磁気抵抗センサ)を適用することが好ましい。
以上により、種類の異なる複数の試験間で試験対象上の同一箇所を正確に把握、比較することができ、不良の原因解析や出荷検査を効率的に行うことができる。
例えば試験AでX線撮影装置により試験対象の全面を試験した結果から特定した特異箇所e1,e2,e3を、試験Bで磁場分布測定装置により細かく測定する方法が考えられる。X線撮影は全面を一度に撮影でき短時間で試験できるのに対して、磁場分布測定は測定ヘッドを走査しながら測定する方式など、試験対象の面積が広いと時間を要する場合がある。このような場合に、X線撮影で見つかった特異箇所だけを磁場分布測定装置で細かく試験する方法であれば試験時間を短縮することができる。
以上の実施形態においては、異なる非破壊試験装置により各試験を順に行ったが、複数の非破壊試験手段による試験対象の試験を同時に行ったり、それらの手段を備えた同一の複合装置により試験対象の移動なしに試験を行ったりしても、それらの試験結果に含まれるマークを位置基準にして試験結果同士を対照することができる。したがって、複数の非破壊試験手段の手段を備えた同一の複合装置を構成したとしても、各非破壊試験手段の座標の校正を行う手間が省ける。したがって、本発明は、種類の異なる複数の非破壊試験手段が別装置に構成される場合や、各試験を時系列に行う場合に限定されるものではない。
e1,e2,e3 特異箇所
f1,f2 特異箇所
m1,m2,m3 マーク
Claims (5)
- X線撮影手段と磁場分布測定手段を用いて試験対象を試験するにあたり、
前記X線撮影手段と前記磁場分布測定手段のいずれでも検出可能な共通のマークを前記試験対象上に固定的に形成した後、
前記X線撮影手段と前記磁場分布測定手段のそれぞれにより前記マークを含めて前記試験対象を試験し、
前記マークを位置基準にして、前記X線撮影手段と前記磁場分布測定手段による試験結果同士を対照する非破壊試験方法。 - 前記X線撮影手段による試験結果に基づき特異箇所を特定した後、前記磁場分布測定手段により当該特異箇所を集中的に試験する請求項1に記載の非破壊試験方法。
- 前記マークに位置基準以外の情報が記録されており、当該情報を前記X線撮影手段と前記磁場分布測定手段の試験結果から読み取る請求項1又は請求項2に記載の非破壊試験方法。
- 前記X線撮影手段としてX線タルボ撮影装置が含まれる請求項1から請求項3のいずれかに記載の非破壊試験方法。
- 前記マークを構成する素材には、X線透過性の低い物質及び磁性体が含まれている請求項1から請求項4のいずれかに記載の非破壊試験方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017178497 | 2017-09-19 | ||
JP2017178497 | 2017-09-19 | ||
PCT/JP2018/033165 WO2019058993A1 (ja) | 2017-09-19 | 2018-09-07 | 非破壊検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019058993A1 JPWO2019058993A1 (ja) | 2020-11-05 |
JP7126146B2 true JP7126146B2 (ja) | 2022-08-26 |
Family
ID=65809666
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019543548A Active JP7126146B2 (ja) | 2017-09-19 | 2018-09-07 | 非破壊試験方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20200229782A1 (ja) |
JP (1) | JP7126146B2 (ja) |
CN (1) | CN111108370A (ja) |
WO (1) | WO2019058993A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020187951A (ja) * | 2019-05-16 | 2020-11-19 | トヨタ自動車株式会社 | 電池の検査方法、電池の検査装置および電池 |
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JP2010249533A (ja) * | 2009-04-10 | 2010-11-04 | Canon Inc | タルボ・ロー干渉計用の線源格子 |
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-
2018
- 2018-09-07 JP JP2019543548A patent/JP7126146B2/ja active Active
- 2018-09-07 US US16/647,107 patent/US20200229782A1/en not_active Abandoned
- 2018-09-07 WO PCT/JP2018/033165 patent/WO2019058993A1/ja active Application Filing
- 2018-09-07 CN CN201880060661.XA patent/CN111108370A/zh active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2019058993A1 (ja) | 2019-03-28 |
US20200229782A1 (en) | 2020-07-23 |
JPWO2019058993A1 (ja) | 2020-11-05 |
CN111108370A (zh) | 2020-05-05 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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