JP7121416B2 - 多段ルーツ型ドライ真空ポンプ - Google Patents
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 47
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 41
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 34
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 34
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 34
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 18
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 15
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 14
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 12
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 11
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 8
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 4
- 230000009347 mechanical transmission Effects 0.000 description 4
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 4
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 3
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2/00—Rotary-piston machines or pumps
- F04C2/08—Rotary-piston machines or pumps of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C2/12—Rotary-piston machines or pumps of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C2/126—Rotary-piston machines or pumps of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F01—MACHINES OR ENGINES IN GENERAL; ENGINE PLANTS IN GENERAL; STEAM ENGINES
- F01C—ROTARY-PISTON OR OSCILLATING-PISTON MACHINES OR ENGINES
- F01C21/00—Component parts, details or accessories not provided for in groups F01C1/00 - F01C20/00
- F01C21/007—General arrangements of parts; Frames and supporting elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/02—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
- F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/02—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids specially adapted for several pumps connected in series or in parallel
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- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0042—Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
- F04C29/005—Means for transmitting movement from the prime mover to driven parts of the pump, e.g. clutches, couplings, transmissions
- F04C29/0064—Magnetic couplings
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0042—Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
- F04C29/0078—Fixing rotors on shafts, e.g. by clamping together hub and shaft
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0042—Driving elements, brakes, couplings, transmissions specially adapted for pumps
- F04C29/0085—Prime movers
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
- F04C2240/40—Electric motor
- F04C2240/402—Plurality of electronically synchronised motors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2240/00—Components
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
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- F05B2210/00—Working fluid
- F05B2210/10—Kind or type
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Description
ポンプ本体と電気駆動機構とを含み、前記ポンプ本体は、一段のルーツシステムを少なくとも含み、前記ルーツシステムは、一段のルーツ作業ユニットを少なくとも含み、前記ルーツ作業ユニットには1対のルーツロータ及びルーツ回転軸が設けられ、前記電気駆動機構は、ルーツ回転軸に伝動接続される多段ルーツ型ドライ真空ポンプ。
各段のルーツ作業ユニットはそれぞれ独立した作業ユニットであり、1対のルーツロータ及び1対のルーツ回転軸は、いずれも独立してルーツ作業ユニット内に設けられる。
本発明では、各対のルーツロータは独立するので、互いに干渉することがなく、設計製造の最適化に広いスペースを提供する。また、各対のルーツロータに対する独立した電気駆動により、機械的伝動の長さが減少され、機械製造の精度に対する要求が低くなり、騒音が減少され、寿命が長くなる。磁気歯車による伝動、磁気カップリングによる接続により、潤滑及び騒音が減少される。動的シールの代わりに静的シールを使用することにより、密封状態が改善され、使用性能及び設備寿命が向上する。本発明は、構造が合理的で、設計が巧みで、経済的で実用的で、効率的で環境にやさしく、使用寿命が長く、生産コストが低いという特徴を有する。
図1-2に示すように、本実施例の1対のロータ回転軸が独立した大気へ直接排気する多段ルーツ型ドライ真空ポンプは、ポンプ本体1、ルーツシステム(図示せず)、ルーツ作業ユニット2、駆動ルーツロータ3、従動ルーツロータ4、主伝動歯車5、副伝動歯車6、気流通路7、総合電気駆動制御室8、電気駆動端蓋9、電気駆動ステータ10、駆動端磁気ギャップの静的シールスリーブ11、軸受12、電気駆動ロータ13、シールリング14、電気駆動端仕切板16、ポンプ本体シールリング17、右仕切板18、磁気カップリング内盤19、磁気カップリング磁気ギャップの静的シールスリーブ20、磁気カップリング外盤21、伝動歯車軸受22、歯車カバー23を含む。ルーツロータは、駆動ルーツロータ3及び従動ルーツロータ4を含む。噛合機構として設けられた伝動歯車は、主伝動歯車5、副伝動歯車6、伝動歯車軸受22及び歯車カバー23を含む。電気駆動機構は、電気駆動端蓋9、電気駆動ステータ10、駆動端磁気ギャップ静のシールスリーブ11及び電気駆動ロータ13を含む。磁気カップリングは、磁気カップリング内盤19、磁気カップリング磁気ギャップの静的シールスリーブ20及び磁気カップリング外盤21を含む。本発明は、主にポンプ本体部品、各ルーツ作業ユニット2、主副伝動歯車5、6、総合電気駆動制御システム8から構成される。ポンプ本体部品は、1つのポンプ本体1(複数の真空チャンバのルーツ作業ユニット2、気流通路7、吸気・排気口などを含む)、複数対のルーツロータ3、4、1つの電気駆動端仕切板16及び軸受12、1つの右仕切板18及び軸受12、複数のポンプ本体シールリング17などから構成される。各ルーツ作業ユニット2、ルーツロータが噛み合う駆動・従動伝動歯車5、6は、複数対の磁気伝動歯車5、6、複数対の磁気ギャップの静的シールスリーブ20付き磁気カップリング、複数のシールリング14、1つの歯車カバー23などから構成される。総合電気駆動制御システム8は、1つのデジタル電気駆動制御室、1つのマンマシン対話インターフェース、複数の電気駆動機構(励起ステータ、磁気ギャップシールスリーブ、電気駆動ロータ及びシールリングを含む)及び制御ボックスなどから構成される。システム全体は、インテリジェント全体であり、完全な静的シールであり、放熱が良好で、騒音が小さい。
Claims (6)
- ポンプ本体と電気駆動機構と噛合機構とを含み、
前記ポンプ本体は、一段のルーツシステムを少なくとも含み、前記ルーツシステムは、一段のルーツ作業ユニットを少なくとも含み、前記ルーツ作業ユニットには1対のルーツロータ及びルーツ回転軸が設けられ、前記電気駆動機構は、前記ルーツ回転軸に直接接続され、前記ポンプ本体内における同じ段又は異なる段の前記ルーツ作業ユニットにおいて、各前記ルーツ作業ユニットを並列管路又は直列管路により吸気口から排気口まで順に連通させ、前記噛合機構は、磁気カップリングによりルーツ回転軸に接続され、電気駆動機構によりルーツロータと連動して真空作業を行い、
前記噛合機構は、主伝動歯車と副伝動歯車とを含み、前記主伝動歯車と前記副伝動歯車の回転方向は互い反対である、ことを特徴とする多段ルーツ型ドライ真空ポンプ。 - 前記主伝動歯車と前記副伝動歯車は、磁気伝動歯車であることを特徴とする請求項1に記載の多段ルーツ型ドライ真空ポンプ。
- 前記電気駆動機構は、電気駆動ロータと電気駆動ステータを含み、
前記電気駆動ロータは、前記ルーツ回転軸に取り付けられ、前記電気駆動ロータと前記電気駆動ステータの磁気ギャップの間にシールスリーブが設けられることを特徴とする請求項1に記載の多段ルーツ型ドライ真空ポンプ。 - 前記ルーツシステムは、複数段のルーツ作業ユニットを含み、
各前記ルーツ作業ユニットはそれぞれ独立した作業ユニットであり、
1対の前記ルーツロータ及び前記ルーツ回転軸は、いずれも独立して前記ルーツ作業ユニット内に設けられることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の多段ルーツ型ドライ真空ポンプ。 - 前記ルーツロータは、駆動ルーツロータと従動ルーツロータを含み、
前記ルーツ回転軸は、駆動ルーツ回転軸と従動ルーツ回転軸を含み、
前記駆動ルーツロータは、前記駆動ルーツ回転軸に設けられ、前記従動ルーツロータは、前記従動ルーツ回転軸に設けられることを特徴とする請求項4に記載の多段ルーツ型ドライ真空ポンプ。 - デジタル化総合電気駆動システムをさらに含み、
前記総合電気駆動システムは、前記電気駆動機構に電気的に接続され、電気駆動、速度調整、起動・停止及びインターロックの統合制御を行うものであることを特徴とする請求項4に記載の多段ルーツ型ドライ真空ポンプ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201810106097.2A CN108194353B (zh) | 2018-02-02 | 2018-02-02 | 一种成对转子转轴独立的直排大气的多级罗茨干式真空泵 |
CN201810106097.2 | 2018-02-02 | ||
PCT/CN2018/118358 WO2019148954A1 (zh) | 2018-02-02 | 2018-11-30 | 一种多级罗茨干式真空泵 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021513023A JP2021513023A (ja) | 2021-05-20 |
JP7121416B2 true JP7121416B2 (ja) | 2022-08-18 |
Family
ID=62592019
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020542261A Active JP7121416B2 (ja) | 2018-02-02 | 2018-11-30 | 多段ルーツ型ドライ真空ポンプ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11415133B2 (ja) |
EP (1) | EP3748166A4 (ja) |
JP (1) | JP7121416B2 (ja) |
KR (1) | KR102561552B1 (ja) |
CN (1) | CN108194353B (ja) |
AU (1) | AU2018406349B2 (ja) |
WO (1) | WO2019148954A1 (ja) |
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-
2018
- 2018-02-02 CN CN201810106097.2A patent/CN108194353B/zh active Active
- 2018-11-30 AU AU2018406349A patent/AU2018406349B2/en active Active
- 2018-11-30 EP EP18903580.1A patent/EP3748166A4/en not_active Withdrawn
- 2018-11-30 WO PCT/CN2018/118358 patent/WO2019148954A1/zh unknown
- 2018-11-30 KR KR1020207025266A patent/KR102561552B1/ko active IP Right Grant
- 2018-11-30 JP JP2020542261A patent/JP7121416B2/ja active Active
-
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- 2020-07-31 US US16/945,254 patent/US11415133B2/en active Active
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CN104632629A (zh) | 2013-11-13 | 2015-05-20 | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 | 用于高效抽除小分子量气体的真空*** |
CN106438365A (zh) | 2015-08-27 | 2017-02-22 | 上海伊莱茨真空技术有限公司 | 一种模块一体式多级多驱动腔部分非共轴干式真空单泵 |
WO2017031807A1 (zh) | 2015-08-27 | 2017-03-02 | 上海伊莱茨真空技术有限公司 | 一种多驱动腔非共轴真空泵 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210054841A1 (en) | 2021-02-25 |
KR102561552B1 (ko) | 2023-07-28 |
CN108194353B (zh) | 2019-12-13 |
AU2018406349B2 (en) | 2021-11-18 |
KR20200115629A (ko) | 2020-10-07 |
EP3748166A4 (en) | 2021-11-03 |
EP3748166A1 (en) | 2020-12-09 |
JP2021513023A (ja) | 2021-05-20 |
AU2018406349A1 (en) | 2020-09-24 |
US11415133B2 (en) | 2022-08-16 |
CN108194353A (zh) | 2018-06-22 |
WO2019148954A1 (zh) | 2019-08-08 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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