JP7113671B2 - 脱泡装置および脱泡方法 - Google Patents
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Description
実施形態に係る基板処理装置1について図1を参照し説明する。図1は、実施形態に係る基板処理装置1の概略構成を示す模式図である。
次に、脱泡装置50について、図3を参照し説明する。図3は、実施形態に係る脱泡装置50の概略構成を示す模式図である。
次に、実施形態に係る脱泡装置50における脱泡処理について説明する。
次に、本実施形態の変形例について説明する。
脱泡装置50は、基板処理に用いられた現像液(処理液の一例)を貯留するタンク80(貯留タンクの一例)と、タンク80に回転自在に取り付けられた回転羽根82と、タンク80に貯留された現像液をタンク80で循環させ、回転羽根82に向けて現像液を吐出するポンプ81とを備える。回転羽根82は、ポンプ81から吐出された現像液によって回転し、タンク80内で現像液の渦流を発生させる。
60 回収パン
50 脱泡装置
51 第1脱泡装置(脱泡フィルタタンク)
52 第2脱泡装置
62 接続配管(流入配管)
72 フィルタ
80 タンク(貯留タンク)
81 ポンプ
82 回転羽根
83 ヒータ(温度調整部)
84 ウォータージャケット(温度調整部)
87 吸入配管
88 吐出配管(配管)
89 供給配管(排出配管)
Claims (11)
- 基板処理に用いられた処理液を貯留する貯留タンクと、
前記貯留タンクに回転自在に取り付けられた回転羽根と、
前記貯留タンクに貯留された前記処理液を前記貯留タンクで循環させ、前記回転羽根に向けて前記処理液を吐出するポンプと、
を備え、
前記回転羽根は、
前記ポンプから吐出された前記処理液によって回転し、前記貯留タンク内で前記処理液の渦流を発生させ、
前記ポンプは、前記貯留タンクとの接続箇所から前記貯留タンクの接線方向に延びる吸入配管を介して前記処理液を吸入する
脱泡装置。 - 基板処理に用いられた処理液を貯留する貯留タンクと、
前記貯留タンクに回転自在に取り付けられた回転羽根と、
前記貯留タンクに貯留された前記処理液を前記貯留タンクで循環させ、前記回転羽根に向けて前記処理液を吐出するポンプと、
を備え、
前記回転羽根は、
前記ポンプから吐出された前記処理液によって回転し、前記貯留タンク内で前記処理液の渦流を発生させ、
前記回転羽根は、
前記ポンプから吐出された前記処理液を受けて回転する第1回転羽根と、
前記第1回転羽根と一体に回転し、前記処理液の渦流を発生させる第2回転羽根と
を備え、
前記第1回転羽根と、前記第2回転羽根との間には、上下方向に貫通する貫通孔が形成された仕切り板が設けられる
脱泡装置。 - 前記第2回転羽根は、
前記第1回転羽根よりも上方に設けられる
請求項2に記載の脱泡装置。 - 前記ポンプは、
前記回転羽根よりも上方から前記処理液を吸入する
請求項1~3のいずれか一つに記載の脱泡装置。 - 前記貯留タンクの下方側に接続され、前記基板処理に用いられる前記処理液を前記貯留タンクから排出する排出配管
を備える請求項1~4のいずれか一つに記載の脱泡装置。 - 前記処理液を前記渦流の流れに沿って前記貯留タンクに流入させる流入配管
を備える請求項1~5のいずれか一つに記載の脱泡装置。 - 前記貯留タンクの前記処理液の温度を調整する温度調整部
を備える請求項1~6のいずれか一つに記載の脱泡装置。 - 前記温度調整部は、
前記貯留タンクと前記ポンプとを接続する配管に設けられるヒータである
請求項7に記載の脱泡装置。 - 前記処理液から不純物、および泡の一部を除去する脱泡フィルタタンク
を備え、
前記貯留タンクには、前記脱泡フィルタタンクによって前記不純物、および前記泡の一部が除去された前記処理液が供給される
請求項1~8のいずれか一つに記載の脱泡装置。 - 基板処理に用いられ、貯留タンクに貯留された処理液をポンプによって前記貯留タンク内で循環させる工程と、
前記貯留タンクに回転自在に取り付けられた回転羽根を前記ポンプから吐出された前記処理液によって回転させて前記貯留タンク内で前記処理液の渦流を発生させる工程と
を有し、
前記ポンプには、前記貯留タンクとの接続箇所から前記貯留タンクの接線方向に延びる吸入配管を介して前記処理液が吸入される
脱泡方法。 - 基板処理に用いられ、貯留タンクに貯留された処理液をポンプによって前記貯留タンク内で循環させる工程と、
前記貯留タンクに回転自在に取り付けられた回転羽根を前記ポンプから吐出された前記処理液によって回転させて前記貯留タンク内で前記処理液の渦流を発生させる工程と
を有し、
前記回転羽根は、
前記ポンプから吐出された前記処理液を受けて回転する第1回転羽根と、
前記第1回転羽根と一体に回転し、前記処理液の渦流を発生させる第2回転羽根と
を備え、
前記第1回転羽根と、前記第2回転羽根との間に設けられる仕切り板には、上下方向に貫通する貫通孔が形成される
脱泡方法。
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