JP7112947B2 - 多軸レーザ干渉測長器 - Google Patents
多軸レーザ干渉測長器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7112947B2 JP7112947B2 JP2018221928A JP2018221928A JP7112947B2 JP 7112947 B2 JP7112947 B2 JP 7112947B2 JP 2018221928 A JP2018221928 A JP 2018221928A JP 2018221928 A JP2018221928 A JP 2018221928A JP 7112947 B2 JP7112947 B2 JP 7112947B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reference measurement
- measurement light
- light
- beam splitter
- retroreflector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Description
さらに、前記参照測定光は、前記ハーフミラー(44)で前記第3参照測定光と前記第2参照測定光とに分岐され、前記第3参照測定光は、前記リトロリフレクタ(54)で反射されることが望ましい。
11…第1受光部、12…第2受光部、13…第3受光部
21…第1偏光ビームスプリッタ
22…第2偏光ビームスプリッタ
23…第3偏光ビームスプリッタ
31、32、33…ミラー
41、42、43、44…ハーフミラー
51、52、53、54、71、72、81、82…リトロリフレクタ
60…参照測定光、61…基準測定光
62…第1参照測定光、63…第2参照測定光、64…第3参照測定光
Claims (9)
- 光源より射出されるレーザ光を光学系により分岐し、反射ターゲットでそれぞれ反射させて合流させることで干渉信号を得て、該干渉信号を光電変換して光路差を算出する多軸レーザ干渉測長器において、
前記光学系は、
前記光源より射出された前記レーザ光を基準測定光と参照測定光に分岐する偏光ビームスプリッタと、
分岐した前記参照測定光を第1、第2、…、第n参照測定光に分岐するハーフミラーと、
前記反射ターゲットとして可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記基準測定光及びn個の前記参照測定光を各々反射させるn+1個のリトロリフレクタと、
反射後の前記基準測定光をn個に分岐し、n個の前記参照測定光とそれぞれ合流させることで得られたそれぞれの前記干渉信号を光電変換するn個の受光器と、
を備えたことを特徴とする多軸レーザ干渉測長器。 - n個に分岐された反射後の前記基準測定光と、n個の前記参照測定光とをそれぞれ合流させるn個の偏光ビームスプリッタを設けたことを特徴とする請求項1に記載の多軸レーザ干渉測長器。
- 前記偏光ビームスプリッタは、前記光源より射出された前記レーザ光を前記基準測定光と前記参照測定光に分岐する第1偏光ビームスプリッタを有し、
前記ハーフミラーは、前記参照測定光を第1参照測定光と第2参照測定光に分岐する第1ハーフミラー(41)を有し、
前記リトロリフレクタは、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記基準測定光を反射する第1リトロリフレクタ(51)と、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記第1参照測定光を反射する第2リトロリフレクタ(52)と、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記第2参照測定光を反射する第3リトロリフレクタ(53)と、を有し、
前記ハーフミラーは、前記第1リトロリフレクタ(51)で反射された前記基準測定光を分岐する第2ハーフミラー(42)を有し、
前記第1偏光ビームスプリッタには、前記第2ハーフミラー(42)で分岐された前記基準測定光の一方、及び前記第2リトロリフレクタ(52)で反射した前記第1参照測定光が入射され、
前記偏光ビームスプリッタは、前記第2ハーフミラー(42)で分岐された前記基準測定光の他方、及び前記第3リトロリフレクタ(53)で反射した前記第2参照測定光が入射される第2偏光ビームスプリッタを有し、
前記第1偏光ビームスプリッタで得られた前記第1参照測定光と前記基準測定光との干渉信号を光電変換する第1受光部と、
前記第2偏光ビームスプリッタで得られた前記第2参照測定光と前記基準測定光との干渉信号を光電変換する第2受光部と、
を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の多軸レーザ干渉測長器。 - 前記第2リトロリフレクタ(52)で反射した前記第1参照測定光は、第1ミラー(31)で曲げられて前記第1偏光ビームスプリッタに入射することを特徴とする請求項3に記載の多軸レーザ干渉測長器。
- 前記第2参照測定光は、第2ミラー(32)及び第3ミラー(33)で曲げられて前記第3リトロリフレクタ(53)で反射されることを特徴とする請求項3又は4に記載の多軸レーザ干渉測長器。
- 前記光学系は、
前記光源より射出された前記レーザ光を前記基準測定光と前記参照測定光に分岐する第1偏光ビームスプリッタと、
前記参照測定光を第1参照測定光、第2参照測定光及び第3参照測定光に分岐するハーフミラー(41、44)と、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記基準測定光を反射するリトロリフレクタ(51)と、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記第1参照測定光を反射するリトロリフレクタ(52)と、
前記反射ターゲットとして前記可動テーブルの測定部に取り付けられ、前記第2参照測定光を反射するリトロリフレクタ(53)と、
前記第3参照測定光を反射するリトロリフレクタ(54)と、
前記リトロリフレクタ(51)で反射された前記基準測定光を分岐するハーフミラー(42、43)と、
分岐された前記基準測定光及び前記リトロリフレクタ(52)で反射した前記第1参照測定光が入射される第1偏光ビームスプリッタと、
分岐された前記基準測定光及び前記リトロリフレクタ(53)で反射した前記第2参照測定光が入射される第2偏光ビームスプリッタと、
分岐された前記基準測定光及び前記リトロリフレクタ(54)で反射した前記第3参照測定光が入射される第3偏光ビームスプリッタと、
前記第1偏光ビームスプリッタで得られた前記第1参照測定光と前記基準測定光との干渉信号を光電変換する第1受光部と、
前記第2偏光ビームスプリッタで得られた前記第2参照測定光と前記基準測定光との干渉信号を光電変換する第2受光部と、
前記第3偏光ビームスプリッタで得られた前記第3参照測定光と前記基準測定光との干渉信号を光電変換する第3受光部と、
を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の多軸レーザ干渉測長器。 - 前記リトロリフレクタ(51)で反射された前記基準測定光は、ハーフミラー(42、43)で分岐して、前記第1偏光ビームスプリッタ、前記第2偏光ビームスプリッタ、前記第3偏光ビームスプリッタ(23)に入射することを特徴とする請求項6に記載の多軸レーザ干渉測長器。
- 前記参照測定光は、前記ハーフミラー(41)で前記第1参照測定光が分岐され、ハーフミラー(44)で前記第3参照測定光と前記第2参照測定光とに分岐され、前記第2参照測定光は、ミラー(32、33)で曲げられて前記リトロリフレクタ(53)で反射されることを特徴とする請求項6又は7に記載の多軸レーザ干渉測長器。
- 前記参照測定光は、前記ハーフミラー(44)で前記第3参照測定光と前記第2参照測定光とに分岐され、前記第3参照測定光は、前記リトロリフレクタ(54)で反射されることを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか一項に記載の多軸レーザ干渉測長器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018221928A JP7112947B2 (ja) | 2018-11-28 | 2018-11-28 | 多軸レーザ干渉測長器 |
JP2022117360A JP7361166B2 (ja) | 2018-11-28 | 2022-07-22 | 多軸レーザ干渉測長器、及び、変位検出方法 |
JP2023168589A JP2023171867A (ja) | 2018-11-28 | 2023-09-28 | 多軸レーザ干渉測長器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018221928A JP7112947B2 (ja) | 2018-11-28 | 2018-11-28 | 多軸レーザ干渉測長器 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022117360A Division JP7361166B2 (ja) | 2018-11-28 | 2022-07-22 | 多軸レーザ干渉測長器、及び、変位検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020085704A JP2020085704A (ja) | 2020-06-04 |
JP7112947B2 true JP7112947B2 (ja) | 2022-08-04 |
Family
ID=70907581
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018221928A Active JP7112947B2 (ja) | 2018-11-28 | 2018-11-28 | 多軸レーザ干渉測長器 |
JP2022117360A Active JP7361166B2 (ja) | 2018-11-28 | 2022-07-22 | 多軸レーザ干渉測長器、及び、変位検出方法 |
JP2023168589A Pending JP2023171867A (ja) | 2018-11-28 | 2023-09-28 | 多軸レーザ干渉測長器 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022117360A Active JP7361166B2 (ja) | 2018-11-28 | 2022-07-22 | 多軸レーザ干渉測長器、及び、変位検出方法 |
JP2023168589A Pending JP2023171867A (ja) | 2018-11-28 | 2023-09-28 | 多軸レーザ干渉測長器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP7112947B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2022169301A (ja) | 2021-04-27 | 2022-11-09 | オークマ株式会社 | 工作機械の精度診断装置及び精度診断方法、精度調整予約システム |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004239905A (ja) | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Agilent Technol Inc | コンパクトな多軸干渉計 |
JP2005516203A (ja) | 2002-01-28 | 2005-06-02 | ザイゴ コーポレーション | 多軸干渉計 |
JP2007309884A (ja) | 2006-05-22 | 2007-11-29 | V Technology Co Ltd | 作業装置におけるテーブル位置決め方法およびその装置 |
JP4316312B2 (ja) | 2003-07-04 | 2009-08-19 | 株式会社東芝 | サーベイランス試験装置およびサーベイランス試験方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5064289A (en) * | 1989-02-23 | 1991-11-12 | Hewlett-Packard Company | Linear-and-angular measuring plane mirror interferometer |
NL9100215A (nl) * | 1991-02-07 | 1992-09-01 | Asm Lithography Bv | Inrichting voor het repeterend afbeelden van een maskerpatroon op een substraat. |
JP3618450B2 (ja) * | 1995-11-15 | 2005-02-09 | 株式会社ソキア | 多軸レーザ干渉測長機 |
-
2018
- 2018-11-28 JP JP2018221928A patent/JP7112947B2/ja active Active
-
2022
- 2022-07-22 JP JP2022117360A patent/JP7361166B2/ja active Active
-
2023
- 2023-09-28 JP JP2023168589A patent/JP2023171867A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005516203A (ja) | 2002-01-28 | 2005-06-02 | ザイゴ コーポレーション | 多軸干渉計 |
JP2004239905A (ja) | 2003-02-05 | 2004-08-26 | Agilent Technol Inc | コンパクトな多軸干渉計 |
JP4316312B2 (ja) | 2003-07-04 | 2009-08-19 | 株式会社東芝 | サーベイランス試験装置およびサーベイランス試験方法 |
JP2007309884A (ja) | 2006-05-22 | 2007-11-29 | V Technology Co Ltd | 作業装置におけるテーブル位置決め方法およびその装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023171867A (ja) | 2023-12-05 |
JP2022145717A (ja) | 2022-10-04 |
JP2020085704A (ja) | 2020-06-04 |
JP7361166B2 (ja) | 2023-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8928891B2 (en) | Optical distance sensor with tilt error correction | |
WO2018103268A1 (zh) | 用于测量转轴六自由度几何误差的激光测量***及方法 | |
Gao et al. | Precision measurement of two-axis positions and tilt motions using a surface encoder | |
US20180202796A1 (en) | Measuring device and method for measuring at least one length measurand | |
CN106461372A (zh) | 单根光纤耦合双频激光六自由度误差同时测量*** | |
JP5784150B2 (ja) | 表面を高精度で測定する方法及び装置 | |
JP5430472B2 (ja) | 面形状計測装置 | |
KR101959341B1 (ko) | 위치 측정 장치와 복수의 위치 측정 장치를 구비하는 시스템 | |
US9115973B2 (en) | Profile measuring instrument | |
JP2023171867A (ja) | 多軸レーザ干渉測長器 | |
US4538911A (en) | Three-dimensional interferometric length-measuring apparatus | |
JP2000266524A (ja) | 3次元形状測定機およびその測定方法 | |
KR20100041024A (ko) | 2차원 회절 격자를 이용한 6 자유도 측정 장치 | |
JP5517062B2 (ja) | 法線ベクトル追跡型超精密形状測定方法 | |
Ren et al. | A novel enhanced roll-angle measurement system based on a transmission grating autocollimator | |
Kuang et al. | A novel method to enhance the sensitivity for two-degrees-of-freedom straightness measurement | |
WO2009090771A1 (ja) | レーザ干渉計、及びそれを用いた測定装置 | |
JP3532347B2 (ja) | 形状測定装置 | |
NL2032613B1 (en) | Position detection system using laser light interferometry. | |
JP3045567B2 (ja) | 移動***置測定装置 | |
JP5149085B2 (ja) | 変位計 | |
JP5135183B2 (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JPH10281720A (ja) | ステージ装置およびそれを用いた波面収差測定装置 | |
JP2023100358A (ja) | レーザ干渉装置 | |
CN115077417A (zh) | 一种集成式干涉测量头及一种干涉测量*** |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210827 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220622 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220628 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220725 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7112947 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |