JP7108424B2 - 保護膜形成装置 - Google Patents
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Description
本発明は、ウェーハの上面に保護膜を被覆する保護膜形成装置に関する。
分割予定ラインによって区画された領域にデバイスが形成されたウェーハの分割予定ラインに沿ってウェーハに対して吸収性を有する波長のパルスレーザビームを照射してウェーハを分割するアブレーション加工では、レーザビームの照射によってウェーハが溶融して生じたデブリがデバイスに付着するのを防止するため、レーザビームの照射前にウェーハの上面に水溶性保護膜を形成してデバイスを保護している。また、レーザビームの照射後は、水溶性保護膜に水を供給することにより、水溶性保護膜を、水溶性保護膜に付着したデブリとともに除去している。
ウェーハ上面への水溶性保護膜の形成時は、中央に開口部を有するリングフレームに当該開口部を閉塞するように貼着した粘着テープの粘着面にウェーハの下面を貼着することによりワークセットを形成してリングフレームによってウェーハを支持する。そして、ウェーハの上に適量の水溶性液状樹脂を滴下し、ワークセットをスピン回転させて水溶性液状樹脂を広げて乾燥させることにより、ウェーハの上面に水溶性保護膜を被覆している。
このように、ワークセットをスピン回転させて水溶性液状樹脂をウェーハ上面に被覆すると、リングフレームの上面にも水溶性樹脂が付着する。そして、リングフレームの上面に樹脂が付着していると、その水溶性樹脂が空気中の水分を吸収すること等によって粘着力を備えることがある。そのため、搬送手段がリングフレームを吸着して搬送しようとすると、水溶性樹脂が備えた粘着力によってリングフレームが搬送手段のパッドにくっつき、パッドからリングフレームを離すことができなくなるという問題がある。そこで、リングフレームに付着した水溶性樹脂に水をかけて水溶性樹脂を除去することも提案されている（例えば特許文献１参照）。
しかし、上記特許文献１に記載された発明では、ウェーハに保護膜を被覆して乾燥させた後に、リングフレームに水をかけ、その水を滞留させることによりリングフレームに付着した樹脂を溶解させ、エアの噴出によりリングフレームから樹脂を除去するため、樹脂の除去に時間を要するという問題がある。
本発明は、このような問題にかんがみなされたもので、テープを介してリングフレームに支持されたウェーハの上面に保護膜を形成する場合において、リングフレームの上面に付着した樹脂の除去を効率よく行うことを目的とする。
本発明は、リングフレームの開口を塞いで該リングフレームに貼着したテープにウェーハが貼着されて構成されるワークセットを保持する保持テーブルと、該保持テーブルの保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転手段と、該保持テーブルが保持したウェーハの上面に水溶性樹脂を供給する供給手段とを備え、該保持テーブルを回転させてウェーハの上面に水溶性保護膜を形成する保護膜形成装置であって、該供給手段は、該保持テーブルが保持したワークセットのウェーハの上面中央に水溶性樹脂を供給する樹脂ノズルと、該保持テーブルが保持したワークセットのリングフレームの上面に水を供給する水ノズルと、該保持テーブルが保持したワークセットの該リングフレームの上面にエアを供給するエアノズルと、を備え、該樹脂ノズルと該水ノズルと該エアノズルとは、該保持テーブルの保持面方向に延在するアームに配設され、該水ノズルより該保持テーブルの回転方向下流側に該エアノズルが配設され、該アームは、一端を軸として該保持面に平行な方向に旋回可能であり、該樹脂ノズルは、該アームを旋回させて該エアノズルからのエア及び該水ノズルからの水を該リングフレームの上面に供給する際に、該リングフレームの外側上方に位置するよう該アームに配設される。
本発明に係る保護膜形成装置は、リングフレームの開口を塞いで該リングフレームに貼着したテープにウェーハが貼着されて構成されるワークセットを保持する保持テーブルと、保持テーブルの保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転手段と、保持テーブルが保持したウェーハの上面に水溶性樹脂を供給する供給手段とを備え、供給手段は、保持テーブルが保持したワークセットのウェーハの上面中央に水溶性樹脂を供給する樹脂ノズルと、保持テーブルが保持したワークセットのリングフレームの上面に水を供給する水ノズルと、保持テーブルが保持したワークセットのリングフレームの上面にエアを供給するエアノズルとを備え、樹脂ノズルと水ノズルとエアノズルとは、保持テーブルの保持面方向に延在するアームに配設され、水ノズルより保持テーブルの回転方向下流側にエアノズルが配設されるため、ウェーハの上面に水溶性保護膜を形成するときに、リングフレームの上面も効率よく洗浄することができる。したがって、本発明によれば、リングフレームの上面に水溶性樹脂を残存させず、水溶性保護膜が形成されたワークセットを例えば搬送手段で加工テーブルに搬送するときに、搬送手段に水溶性樹脂が付着することがない。
図１に示すウェーハＷは、円形板状の基板を有する被加工物の一例であって、その上面には、格子状の分割予定ラインＳによって区画されたそれぞれの領域にデバイスＤが形成されている。中央が開口したリングフレームＦでウェーハＷを支持するために、リングフレームＦの開口を塞ぐようにリングフレームＦの下面にテープＴを貼着し、リングフレームＦの開口部分から露出したテープＴにウェーハＷを貼着して上面を上向きに露出させる。このようにして、リングフレームＦの開口を塞いで貼着したテープＴを介してウェーハＷを支持したワークセットＷＳを形成する。ワークセットＷＳの形態で、加工装置１に搬送され、ウェーハＷの上面に対して保護膜の形成とレーザー加工とが施される。
加工装置１は、装置ベース１０と、装置ベース１０のＹ軸方向後部側に立設されたコラム１１とを備えている。また、加工装置１は、装置ベース１０のＸ軸方向前部側でコラム１１に隣接配置された本発明に係る保護膜形成装置２と、ウェーハＷを吸引保持する保持面１２ａを有する加工テーブル１２と、加工テーブル１２を加工送り方向（Ｘ軸方向）に加工送りする加工送り手段１４と、加工テーブル１２を割り出し送り方向（Ｙ軸方向）に割り出し送りする割り出し送り手段１５と、加工テーブル１２と保護膜形成装置２との間でウェーハＷを搬送する搬送手段１６と、ワークセットＷＳを構成するウェーハＷにレーザービームを照射するレーザー加工手段１７と、各種駆動機構を制御する制御手段１８とを備えている。
保護膜形成装置２は、筒状の加工室２００を有しており、ワークセットＷＳを保持する保持テーブル２０と、保持テーブル２０の保持面２０ａの中心を軸に保持テーブル２０を回転させる回転手段２１と、保持テーブル２０の外周側に配設されリングフレームＦを保持するフレーム保持手段２２と、保持テーブル２０が保持するウェーハＷの上面に水溶性樹脂を供給する供給手段２３とを備えている。
保持テーブル２０の上面は、ウェーハＷを吸引保持する保持面２０ａとなっている。回転手段２１は、図示しないモータを備え、モータが駆動することにより、保持テーブル２０を所定の回転速度で回転させることができる。保持テーブル２０の外周側には、リングフレームＦを保持するための複数（図示の例では４つ）のフレーム保持手段２２が配設されている。フレーム保持手段２２は、リングフレームＦが載置されるフレーム載置台２２０と、フレーム載置台２２０に載置されたリングフレームＦをクランプするクランプ部２２１とを備えている。
図２に示すように、供給手段２３は、保持テーブル２０が保持したワークセットＷＳのウェーハＷの上面中央に水溶性樹脂を供給樹脂ノズル２４と、保持テーブル２０が保持したワークセットＷＳのリングフレームＦの上面に水を供給する水ノズル２５と、保持テーブル２０が保持したワークセットＷＳのリングフレームＦの上面にエアを供給するエアノズル２６とを備えている。樹脂ノズル２４と水ノズル２５とエアノズル２６とは、保持テーブル２０の保持面方向に延在するアーム２７に配設されている。
本実施形態に示すアーム２７は、第１アーム２７ａと第１アーム２７ａよりも短い第２アーム２７ｂとを含む構成となっている。第１アーム２７ａおよび第２アーム２７ｂの内部には、流体が流れる流路が形成されている。第１アーム２７ａは、その先端が保持テーブル２０の中央側まで位置づけられる程度の長さに形成されている。第１アーム２７ａの先端は下方に屈曲されており、かかる先端に樹脂ノズル２４が取り付けられている。樹脂ノズル２４には、樹脂供給源が接続されている。
第２アーム２７ｂは、その先端が保持テーブル２０の外周側に位置づけられる程度の長さに形成されている。第２アーム２７ｂの先端は下方に屈曲されており、かかる先端に水ノズル２５が取り付けられている。水ノズル２５には、水供給源が接続されている。水ノズル２５が配設された側と反対側の第１アーム２７ａの側方側にエアノズル２６が配設されている。エアノズル２６には、図３に示す複数の噴射口２６０が直線上に整列して形成されている。エアノズル２６には、エア供給源が接続されている。
アーム２７の他端には、鉛直方向の軸心を有する回転軸２８が接続されている。回転軸２８には、正転・逆転可能なモータが接続されている。モータの駆動により回転軸２８が回転すると、保持テーブル２０に保持されたウェーハＷの上方で、アーム２７が水平方向に旋回し、樹脂ノズル２４と水ノズル２５とエアノズル２６とを同時に移動させることができる。これにより、保持テーブル２０に保持されるワークセットＷＳの外周縁からウェーハＷの中央部分の半径領域を径方向に樹脂ノズル２４を往復移動させることができ、保持テーブル２０に保持されるワークセットＷＳのリングフレームＦの上方側で径方向に水ノズル２５とエアノズル２６とを往復移動させることができる。供給手段２３では、１つの駆動源で樹脂ノズル２４と水ノズル２５とエアノズル２６とを互いに干渉させることなく、所望の位置に移動させることができる。
また、供給手段２３では、水ノズル２５より保持テーブル２０の回転方向下流側にエアノズル２６が配設されている。そのため、リングフレームＦの上面に付着した水溶性樹脂を除去する際には、水ノズル２５から洗浄水をリングフレームＦの上面に供給しつつ、エアノズル２６からエアをリングフレームＦの上面に供給することにより、保持テーブル２０の回転方向下流側に流れてくる洗浄水をエアによってリングフレームＦの外側へ吹き飛ばすことができる。このように、供給手段２３によれば、ウェーハＷの上面に水溶性保護膜を形成すると同時に、リングフレームＦの上面に付着した水溶性樹脂を洗浄水によって溶解させて除去できることから、洗浄効率が向上する。
図１に示す搬送手段１６は、ワークセットＷＳを保持する保持部１６０と、Ｘ軸方向に延在するボールネジ１６１と、ボールネジ１６１の一端に接続されたモータ１６２と、ボールネジ１６１と平行に延在する一対のガイドレール１６３と、保持部１６０を支持しＸ軸方向に移動可能な移動部１６４とを備えている。移動部１６４には一対のガイドレール１６３が摺接し、移動部１６４の中央部に形成されたナットにはボールネジ１６１が螺合している。保持部１６０でワークセットＷＳを保持した状態で、モータ１６２によって駆動されたボールネジ１６１が回動することにより、移動部１６４がガイドレール１６３に沿ってＸ軸方向に移動し、加工テーブル１２と保持テーブル２０との間でワークセットＷＳを搬送することができる。加工テーブル１２の外周側には、リングフレームＦを保持するフレーム保持手段１３が複数配設されている。フレーム保持手段１３は、リングフレームＦが載置されるフレーム載置台１３０と、フレーム載置台１３０に載置されたリングフレームＦをクランプするクランプ部１３１とを備えている。
加工送り手段１４は、Ｘ軸方向に延在するボールネジ１４０と、ボールネジ１４０の一端に接続されたモータ１４１と、ボールネジ１４０と平行に延在する一対のガイドレール１４２と、Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸ベース１４３とを備えている。Ｘ軸ベース１４３の一方の面には加工テーブル１２が支持され、Ｘ軸ベース１４３の他方の面には一対のガイドレール１４２が摺接し、Ｘ軸ベース１４３の中央部に形成されたナットにはボールネジ１４０が螺合している。モータ１４１によって駆動されたボールネジ１４０が回動することにより、Ｘ軸ベース１４３がガイドレール１４２に沿ってＸ軸方向に移動し、加工テーブル１２をＸ軸方向に加工送りすることができる。
割り出し送り手段１５は、Ｙ軸方向に延在するボールネジ１５０と、ボールネジ１５０の一端に接続されたモータ１５１と、ボールネジ１５０と平行に延在する一対のガイドレール１５２と、Ｙ軸方向に移動可能なＹ軸ベース１５３とを備えている。Ｙ軸ベース１５３の一方の面には加工送り手段１４を介して加工テーブル１２が支持され、Ｙ軸ベース１５３の他方の面には一対のガイドレール１５２が摺接し、Ｙ軸ベース１５３の中央部に形成されたナットにはボールネジ１５０が螺合している。モータ１５１によって駆動されたボールネジ１５０が回動することにより、Ｙ軸ベース１５３がガイドレール１５２に沿ってＹ軸方向に移動し、加工テーブル１２をＹ軸方向に割り出し送りすることができる
レーザー加工手段１７は、Ｙ軸方向に延在するケーシング１７０と、ケーシング１７０の先端に配設された加工ヘッド１７１とを備えている。ケーシング１７０の内部には、水溶性樹脂に対して吸収性を有する波長のレーザービームを発振する発振器が収容されている。加工ヘッド１７１の内部には、発振器から発振されたレーザービームを集光するための集光レンズ（図示せず）が内蔵されている。
制御手段１８は、ＣＰＵ及びメモリなどの記憶素子を備えている。制御手段１８は、例えば、供給手段２３の樹脂ノズル２４，水ノズル２５及びエアノズル２６から同時に流体を噴射するように制御することができる。また、制御手段１８では、樹脂ノズル２４と水ノズル２５及びエアノズル２６とを別々のタイミングで流体を噴射するように制御することも可能となっている。また、制御手段１８のメモリには、水溶性保護膜の形成条件、レーザー加工条件、加工対象となるウェーハＷの情報等が記憶される。
次に、保護膜形成装置２の動作例について詳述する。ワークセットＷＳを準備したら、レーザー加工手段７でウェーハＷの上面にレーザー加工を実施するのに先立ってウェーハＷの上面に保護膜を形成する。まず、図１に示すように、保持テーブル２０にワークセットＷＳを載置して、図示しない吸引源が作動することによって、保持面２０ａでウェーハＷを吸引保持するとともに、フレーム保持手段２２によってリングフレームＦを保持する。
図２に示すように、モータによって回転軸２８が例えば反時計回り方向に回転することにより、アーム２７が保持テーブル２０の保持面２０ａに対して水平方向に旋回し、図３に示すように、供給手段２３を待機位置ＳＰから供給位置Ｐ１に移動させる。待機位置ＳＰは、樹脂ノズル２４，水ノズル２５及びエアノズル２６がいずれもワークセットＷＳの上方側から退避した位置である。供給位置Ｐ１は、樹脂ノズル２４がウェーハＷの中央の上方に位置づけられ、水ノズル２５及びエアノズル２６がリングフレームＦの上方に位置づけられた位置である。
図２に示した回転手段２１によって保持テーブル２０を回転させることにより、ワークセットＷＳを例えば矢印Ａ方向に回転させる。樹脂ノズル２４は、ウェーハＷの上面に向けて所定量の水溶性樹脂を滴下して塗布する。水溶性樹脂としては、例えばPVP（ポリビニルピロリドン）やPVA(ポリビニルアルコール)などの水溶性の液状樹脂を使用する。そして、保持テーブル２０に発生する遠心力によってウェーハＷの中央から外周縁にむけて水溶性樹脂を流動させてウェーハＷの上面の全面に拡散させる。
供給手段２３では、樹脂ノズル２４から所定量の水溶性樹脂を塗布してウェーハＷの上面に水溶性保護膜を形成すると同時に、水ノズル２５からリングフレームＦの上面に洗浄水を供給するとともに、エアノズル２６の複数の噴射口２６０からリングフレームＦの上面にエアを噴射する。これにより、リングフレームＦの上面に水溶性樹脂が付着したとしても、洗浄水によって除去されるとともに、保持テーブル２０の回転により発生する遠心力とエアとによってリングフレームＦの外側へ水溶性樹脂を含んだ洗浄水が吹き飛ばされる。
ウェーハＷの上面の全面を覆うように所望の水溶性保護膜を形成した後、図４に示すように、モータによって回転軸２８が例えば時計回りに回転することにより、アーム２７が保持テーブル２０の保持面２０ａに対して水平方向に旋回し、供給手段２３を供給位置Ｐ１から待機位置ＳＰに移動させる。その後、図１に示した搬送手段１６によって加工テーブル１２にワークセットＷＳが搬送され、レーザー加工手段１７によりウェーハＷの上面に所定のレーザー加工が施される。
このように、本発明に係る保護膜形成装置２では、供給手段２３が、保持テーブル２０が保持したワークセットＷＳのウェーハＷの上面中央に水溶性樹脂を供給する樹脂ノズル２４と、保持テーブル２０が保持したワークセットＷＳのリングフレームＦの上面に水を供給する水ノズル２５と、保持テーブル２０が保持したワークセットＷＳのリングフレームＦの上面にエアを供給するエアノズル２６とを備え、樹脂ノズル２４と水ノズル２５とエアノズル２６とは、保持テーブル２０の保持面方向に延在するアーム２７に配設され、水ノズル２５より保持テーブル２０の回転方向下流側にエアノズル２６が配設されるため、ウェーハＷの上面に水溶性保護膜を形成するときに、リングフレームＦの上面も効率よく洗浄することができる。したがって、リングフレームＦの上面に水溶性樹脂を残存させることがない。そして、水溶性保護膜が形成されたワークセットＷＳを搬送手段１６で加工テーブル１２に搬送するときに、搬送手段１６に水溶性樹脂が付着することがない。
上記した供給手段２３は、ウェーハＷの上面に対する保護膜形成とリングフレームＦの洗浄と同時に行うのに適した構成としたが、かかる構成に限定されない。例えば、図５に示す供給手段２３Ａは、上記した供給手段２３の変形例であり、保護膜形成とフレーム洗浄とを別々に行うことができる構成となっている。供給手段２３Ａは、供給手段２３と同様に、樹脂ノズル２４ａと水ノズル２５ａとエアノズル２６ａとを備え、樹脂ノズル２４ａと水ノズル２５ａとエアノズル２６ａとは、保持テーブル２０の保持面方向に延在するアーム２９に配設されている。
アーム２９の内部には流体が流れる流路が形成されている。アーム２９は、その先端が保持テーブル２０の中央側まで位置づけられる程度の長さに形成されている。樹脂ノズル２４ａは、アーム２９の先端に配設されている。水ノズル２５ａは、樹脂ノズル２４ａが配設された側と反対側のアーム２９の先端に配設されている。エアノズル２６ａは、水ノズル２５ａ側で、かつ、アーム２９の側方側に配設されている。アーム２９の他端には、上記した供給手段２３と同様に、鉛直方向の軸心を有する回転軸２８ａが接続されている。回転軸２８ａには、正転・逆転可能なモータ（図示せず）が接続されている。
供給手段２３Ａは、樹脂供給位置Ｐ２とリングフレーム洗浄位置Ｐ３と待機位置ＳＰとにそれぞれ移動することができる。樹脂供給位置Ｐ２は、樹脂ノズル２４がウェーハＷの中央の上方に位置づけられた位置であり、リングフレーム洗浄位置Ｐ３は、水ノズル２５及びエアノズル２６がリングフレームＦの上方に位置づけられた位置である。
供給手段２３Ａを用いてウェーハＷの上面に保護膜を形成する場合は、モータによって回転軸２８ａが例えば反時計回りに回転することにより、アーム２９が保持テーブル２０の保持面２０ａに対して水平方向に旋回し、供給手段２３Ａを待機位置ＳＰから樹脂供給位置Ｐ２に移動させる。図２に示した回転手段２１によって保持テーブル２０を回転させることにより、ワークセットＷＳを例えば矢印Ｂ方向に回転させる。樹脂ノズル２４ａは、ウェーハＷの上面に向けて所定量の水溶性樹脂を滴下して塗布する。そして、保持テーブル２０に発生する遠心力によってウェーハＷの中央から外周縁にむけて水溶性樹脂を流動させてウェーハＷの上面の全面に拡散させて、ウェーハＷの上面の全面を覆うように所望の水溶性保護膜を形成する。
ウェーハＷの上面に水溶性保護膜を形成するときに、図６に示すように、モータによって回転軸２８ａが例えば時計回りに回転することにより、アーム２９が保持テーブル２０の保持面２０ａに対して水平方向に旋回し、供給手段２３Ａを樹脂供給位置Ｐ２からリングフレーム洗浄位置Ｐ３に移動させる。水ノズル２５ａからリングフレームＦの上面に洗浄水を供給するとともに、エアノズル２６ａの複数の噴射口２６０からリングフレームＦの上面にエアを噴射する。これにより、リングフレームＦの上面に水溶性樹脂が付着したとしても、洗浄水によって除去されるとともに、保持テーブル２０の回転によって発生する遠心力とエアとによってリングフレームＦの外側へ水溶性樹脂を含んだ洗浄水が吹き飛ばされ乾燥される。
ウェーハＷの上面の全面を覆うように所望の水溶性保護膜を形成するとともにリングフレームＦの上面を洗浄した後、図７に示すように、モータによって回転軸２８がさらに時計回りに回転することにより、アーム２９が保持テーブル２０の保持面２０ａに対して水平方向に旋回し、供給手段２３Ａをリングフレーム洗浄位置Ｐ３から待機位置ＳＰに移動させる。その後、図１に示した搬送手段１６によって加工テーブル１２にワークセットＷＳが搬送され、レーザー加工手段１７によりウェーハＷの上面に所定のレーザー加工が施される。供給手段２３Ａにおいても、１つの駆動源で樹脂ノズル２４ａと水ノズル２５ａとエアノズル２６ａとを互いに干渉させることなく、所望の位置に移動させることができる。
上記実施形態に示した保護膜形成装置２は、加工装置１に組み込んで構成したが、加工装置１から独立した単体の構成でもよい。
１：加工装置 １０：装置ベース １１：コラム
１２：加工テーブル １３：フレーム保持手段
１４：加工送り手段 １４０：ボールネジ １４１：モータ １４２：ガイドレール
１４３：Ｘ軸ベース
１５：割り出し送り手段 １５０：ボールネジ １５１：モータ
１５２：ガイドレール １５３：Ｙ軸ベース
１６：搬送手段 １６０：保持部 １６１：ボールネジ １６２：モータ
１６３：ガイドレール １６４：移動部
１７：レーザー加工手段 １７０：ケーシング １７１：加工ヘッド
１８：制御手段
２：保護膜形成装置 ２００：加工室
２０：保持テーブル ２１：回転手段 ２２：フレーム保持手段
２３，２３Ａ：供給手段
２４，２４ａ：樹脂ノズル ２５，２５ａ：水ノズル ２６，２６ａ：エアノズル
２７：アーム ２７ａ：第１アーム ２７ｂ：第２アーム ２８：回転軸 ２９：アーム
１２：加工テーブル １３：フレーム保持手段
１４：加工送り手段 １４０：ボールネジ １４１：モータ １４２：ガイドレール
１４３：Ｘ軸ベース
１５：割り出し送り手段 １５０：ボールネジ １５１：モータ
１５２：ガイドレール １５３：Ｙ軸ベース
１６：搬送手段 １６０：保持部 １６１：ボールネジ １６２：モータ
１６３：ガイドレール １６４：移動部
１７：レーザー加工手段 １７０：ケーシング １７１：加工ヘッド
１８：制御手段
２：保護膜形成装置 ２００：加工室
２０：保持テーブル ２１：回転手段 ２２：フレーム保持手段
２３，２３Ａ：供給手段
２４，２４ａ：樹脂ノズル ２５，２５ａ：水ノズル ２６，２６ａ：エアノズル
２７：アーム ２７ａ：第１アーム ２７ｂ：第２アーム ２８：回転軸 ２９：アーム
Claims (1)
- リングフレームの開口を塞いで該リングフレームに貼着したテープにウェーハが貼着されて構成されるワークセットを保持する保持テーブルと、該保持テーブルの保持面の中心を軸に該保持テーブルを回転させる回転手段と、該保持テーブルが保持したウェーハの上面に水溶性樹脂を供給する供給手段とを備え、該保持テーブルを回転させてウェーハの上面に水溶性保護膜を形成する保護膜形成装置であって、
該供給手段は、該保持テーブルが保持したワークセットのウェーハの上面中央に水溶性樹脂を供給する樹脂ノズルと、
該保持テーブルが保持したワークセットのリングフレームの上面に水を供給する水ノズルと、
該保持テーブルが保持したワークセットの該リングフレームの上面にエアを供給するエアノズルと、を備え、
該樹脂ノズルと該水ノズルと該エアノズルとは、該保持テーブルの保持面方向に延在するアームに配設され、
該水ノズルより該保持テーブルの回転方向下流側に該エアノズルが配設され、
該アームは、一端を軸として該保持面に平行な方向に旋回可能であり、
該樹脂ノズルは、該アームを旋回させて該エアノズルからのエア及び該水ノズルからの水を該リングフレームの上面に供給する際に、該リングフレームの外側上方に位置するよう該アームに配設される
保護膜形成装置。
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