JP7102758B2 - 両面研削装置 - Google Patents
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Description
なお、当然のことながら、図1およびその他の図面に示した右手系xyz座標は、構成要素の位置関係を説明するための便宜的なものである。通常、z軸正向きが鉛直上向き、xy平面が水平面であり、図面間で共通である。
被研削物50は、第1砥石面11と第2砥石面21とが対向する研削加工領域に配置されて研削される。図2に示すように、被研削物50の下面51は、第1砥石10の第1砥石面11に当接し、被研削物50の上面52は、第2砥石20の第2砥石面21に当接する。これにより、被研削物50の下面51は、第1砥石面11により研削され、被研削物50の上面52は、第2砥石面21により研削される。
また、制御部は、測定部40が検知した第1砥石面11の鉛直位置から、第1砥石10の摩耗量を算出する。また、制御部は、測定部40が検知した被研削物50の上面52の鉛直位置と第1砥石面11の鉛直位置との差から、第1砥石面11に載置された被研削物50の厚さを算出する。また、制御部は、測定部40が検知した第2砥石面21の鉛直位置から、第2砥石20の摩耗量を算出する。
その後、再びステップS1に戻る。具体的には、第1砥石面11が回転し、被研削物50を測定部40の近くに搬送する。
ステップS72に進んだ場合、制御部は、研削完了時における第1砥石面11と第2砥石面21との距離を所望の厚さに設定する。
h=(測定部40で測定された被研削物50の厚さ)-(所望の厚さ)・・・(1)
h’=(測定部40で測定された被研削物50の厚さ)-(所望の厚さ)
+(第2砥石20の鉛直位置の変化量) ・・・(2)
なお、式(2)において「第2砥石20の鉛直位置の変化量」とは、測定部40で測定された第2砥石20の鉛直位置と、その直前に測定部40で測定された第2砥石20の鉛直位置との差を指す。
10 第1砥石
11 第1砥石面
12 内孔
13 吸着孔
15 サンギア
20 第2砥石
21 第2砥石面
22 内孔
23 吸着孔
25 カウンタギア
26 カウンタギア回転軸
40 測定部
41 支持部材
42 第1変位センサ
43 第2変位センサ
50 被研削物
51 下面
52 上面
55 キャリアギア
C1 第1中心軸
C2 第2中心軸
Claims (3)
- 上面が第1砥石面であって、第1中心軸を回転軸として回転する第1砥石と、
下面が第2砥石面であって、前記第1中心軸に平行な第2中心軸を回転軸として回転する第2砥石と、
前記第1砥石面に載置された被研削物の上面の鉛直方向位置および前記第1砥石面の鉛直方向位置を検知することで前記被研削物の厚さを測定可能な測定部と、
前記被研削物を保持するキャリアギアと、を備え、
前記第1砥石面および前記第2砥石面は、前記被研削物を加工する研削加工領域において対向しており、
前記キャリアギアは前記研削加工領域に配置されており、
前記第2砥石は、前記キャリアギアを吸着する吸着孔を有し、
前記被研削物を加工する際、前記吸着孔による前記キャリアギアの吸着を止め、前記キャリアギアを前記第1砥石面上に降下させるとともに、前記キャリアギアが前記被研削物を保持した状態とし、
前記測定部で前記被研削物の厚さを測定する際、前記吸着孔を用いて前記キャリアギアを吸着させ、前記第1砥石上の前記被研削物を前記測定部が設けられている位置まで搬送し、前記測定部を用いて前記被研削物の厚さを測定し、
前記研削加工領域における前記第1砥石面と前記第2砥石面との距離は、前記測定部で測定された前記被研削物の厚さに基づいて決定される、
両面研削装置。 - 前記キャリアギアは、外周面に形成された複数の歯と、内部に形成され保持孔と、を備える歯車状の部材であり、
前記被研削物を加工する際、前記被研削物は前記保持孔に保持される、
請求項1に記載の両面研削装置。 - 前記第1砥石は、当該第1砥石の回転軸と同軸の回転軸を備えるサンギアを有し、
前記第2砥石は、当該第2砥石の回転軸と同軸の回転軸を備えるカウンタギアを有し、
前記キャリアギアは、前記被研削物を加工する際に、前記サンギアおよび前記カウンタギアと噛み合い、前記第1砥石面と前記第2砥石面との間で、前記第1砥石面に平行な面内で回転する、
請求項2に記載の両面研削装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018019360A JP7102758B2 (ja) | 2018-02-06 | 2018-02-06 | 両面研削装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018019360A JP7102758B2 (ja) | 2018-02-06 | 2018-02-06 | 両面研削装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019136783A JP2019136783A (ja) | 2019-08-22 |
JP7102758B2 true JP7102758B2 (ja) | 2022-07-20 |
Family
ID=67692761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018019360A Active JP7102758B2 (ja) | 2018-02-06 | 2018-02-06 | 両面研削装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7102758B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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KR102628016B1 (ko) * | 2022-09-05 | 2024-01-23 | 김재중 | 각각 회전하는 메인 트레이 및 보조 트레이를 포함하는 연마 장치를 운용 방법 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009072879A (ja) | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 端面研削方法および両面研削装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0740233A (ja) * | 1993-07-27 | 1995-02-10 | Speedfam Co Ltd | ワークの厚さ測定装置 |
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2018
- 2018-02-06 JP JP2018019360A patent/JP7102758B2/ja active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009072879A (ja) | 2007-09-21 | 2009-04-09 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | 端面研削方法および両面研削装置 |
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