JP7090066B2 - モジュール式ダイ取扱いシステム - Google Patents
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Description
本出願は、2016年7月13日に出願された米国特許仮出願第62/361,790号、名称「WAFER DIE HANDLING SYSTEM WITH A MODULAR EXPANSION SUBSYSTEM」の優先権および利益を主張し、上記仮出願の内容は参照することにより本出願に組み込まれる。
本明細書の主題はダイ取り扱いシステムに関し、さらに具体的にはモジュール式ウエハ取扱いサブシステムを備えたダイ取り扱いシステムに関する。
現在利用可能な、ウエハおよびダイを取り扱うためのシステムは、専用の固定されたフレームサイズを有する拡張または伸張メカニズムから成る。これらのシステムは、プログラム可能、調整可能な、ウエハの拡張または伸張距離に対応している。しかしながら、これらのウエハ取扱いシステムは、通常、1回に1つだけのウエハサイズを処理する。異なるウエハサイズの処理が必要な場合、現在利用可能なウエハ取扱いシステムは、第1ウエハを伸張解除プロセスを通過させ、その第1ウエハをプレゼンテーション領域に戻し、システムを第2ウエハサイズを使用するように構成し、次いで、ウエハの第2セットに対する伸張プロセスを繰り返さなければならない。
図面を参照すると、図1は、ダイ取扱いシステム100の或る実施形態を示す。いくつかの実施形態において、システム100は、一緒に連結された複数のサブシステムおよび/またはモジュールとして構築されてよい。システム100をサブシステムまたはモジュールのグループとして構築することによって、ユーザが望めば、システム100に1つ以上のサブシステムまたはモジュールを追加したり、またはこれから除去することが可能である。図1に示されるように、ダイ取扱いシステム100は、ダイハンドラ150およびウエハ取扱いシステム101を含むことができる。ウエハ取扱いシステム101は、さらなるサブシステムおよびモジュール、例えば、ウエハストレージモジュール300、拡張モジュール400、およびエレベータモジュール130に分けることが可能である。
図面を参照すると、図10は、1つ以上のダイを処理する逐次式方法で動作できるダイ取扱いシステムによって使用が可能な方法900の或る実施形態を示す。ダイ取扱いシステム100と違って、方法900の方法を実装しているシステムは、並行式のウエハ取扱いシステム101を備えていない。それどころか、割り付け、拡張、およびダイ摘出は逐次的に行われる。ウエハ拡張およびダイ摘出は逐次に行われ、同時並行に行うことはできない。
Claims (18)
- 第1構成のウエハを含む準備済みウエハを格納するように構成された第1カセットと、
前記第1構成の前記ウエハを第1予備拡張ウエハに拡張するように構成されたエキスパンダと、
前記エキスパンダから受け取った前記第1予備拡張ウエハを格納するように構成された第1予備拡張ウエハ保持デバイスと、
前記第1予備拡張ウエハから1つ以上のダイを抜き取るように構成されたピックヘッドを含むダイハンドラと、
第2構成のウエハを含む第2準備済みウエハを格納するように構成された第2カセットであって、前記第2構成の特性は前記第1構成の特性とは異なる、第2カセットと、
前記エキスパンダから第2予備拡張ウエハを受け取るように構成された第2予備拡張ウエハ保持デバイスと、
を含む、ダイ取扱いシステム。 - 前記第1予備拡張ウエハは、第1カートリッジの上部プレートと底部プレートとの間に配置された前記第1構成の前記ウエハを含む前記第1カートリッジ内に維持される、請求項1に記載のダイ取扱いシステム。
- 前記第1予備拡張ウエハおよび前記第2予備拡張ウエハは、前記第1予備拡張ウエハ保持デバイスまたは第2予備拡張ウエハ保持デバイス内に事前配向された位置で格納される、請求項1に記載のダイ取扱いシステム。
- 前記第1予備拡張ウエハ保持デバイスに取付けられた第1エレベータと、
前記第2予備拡張ウエハ保持デバイスに取付けられた第2エレベータと、
をさらに含み、
前記ダイハンドラが前記第1エレベータおよび前記第2エレベータの両方に連結される、
請求項1に記載のダイ取扱いシステム。 - 前記エキスパンダが前記第2構成の前記ウエハを前記第2予備拡張ウエハに拡張している間に、前記ダイハンドラの前記ピックヘッドが前記第1予備拡張ウエハから1つ以上のダイを同時並行に抜き取る、請求項1に記載のダイ取扱いシステム。
- 前記ダイハンドラに取付けられたカメラをさらに含み、前記カメラは、前記第1予備拡張ウエハの各々の抜き取られたダイの3次元視を有する、請求項1に記載のダイ取扱いシステム。
- 前記カメラの前記3次元視は、前記第1予備拡張ウエハから抜き取られた前記1つ以上のダイの側面視および端面視を可能にする、請求項6に記載のダイ取扱いシステム。
- 前記ピックヘッドは回転可能である、請求項1に記載のダイ取扱いシステム。
- 前記ピックヘッドは、回転して、前記第1予備拡張ウエハの各々の抜き取られたダイを前記カメラに提示する、請求項6に記載のダイ取扱いシステム。
- 第1構成のウエハを含む準備済みウエハをカセットからエキスパンダに引き出すステップと、
前記ウエハを第1予備拡張ウエハに拡張するステップと、
前記第1予備拡張ウエハを予備拡張ウエハ保持デバイス内に格納するステップと、
前記第1予備拡張ウエハを、前記予備拡張ウエハ保持デバイスからダイハンドラのテーブルに引き出すステップと、
前記第1予備拡張ウエハから1つ以上のダイを抜き取るステップと、
第2構成の第2ウエハを含む第2準備済みウエハを、第2カセットから前記エキスパンダに引き出すステップであって、前記第2ウエハは前記第1構成の前記ウエハとは異なる構成を有する、ステップと、
前記第2ウエハを第2予備拡張ウエハに拡張するステップと、
を含む、ダイ取扱い方法。 - 前記第2予備拡張ウエハを第2予備拡張ウエハ保持デバイス内に格納するステップと、
前記第2予備拡張ウエハを、前記第2予備拡張ウエハ保持デバイスから前記ダイハンドラに引き出すステップと、
をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記準備済みウエハを第1予備拡張ウエハに拡張する前記ステップは、
上部プレート、底部プレート、および前記準備済みウエハを含むカートリッジを用意するステップと、
前記準備済みウエハを、前記カートリッジの前記上部プレートと底部プレートとの間に層状にするステップと、
前記上部プレートおよび底部プレートを一緒に圧縮することによって前記ウエハを拡張するステップと、
前記上部プレートおよび底部プレートを一緒に固定して、前記第1予備拡張ウエハを生成するステップと、
をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記第1予備拡張ウエハの1つ以上のダイを抜き取る前記ステップと、前記第2準備済みウエハを第2予備拡張ウエハに拡張する前記ステップとが同時に行われる、請求項10に記載の方法。
- 前記ダイハンドラに装着された視覚システムによって、前記第1予備拡張ウエハから抜き取られた前記1つ以上のダイを検査するステップをさらに含む、請求項10に記載の方法。
- 前記視覚システムは、前記第1予備拡張ウエハから抜き取られた前記1つ以上のダイの3次元視を提供する、請求項14に記載の方法。
- 前記検査するステップは、前記視覚システムのカメラによって、前記第1予備拡張ウエハから抜き取られた前記1つ以上のダイの側面視または端面視を検視するステップを含む、請求項14に記載の方法。
- 前記第1予備拡張ウエハを予備拡張ウエハ保持デバイスに格納する前記ステップは、
前記第1予備拡張ウエハを事前配向された位置に回転するステップと、
前記第1予備拡張ウエハを前記事前配向された位置で前記予備拡張ウエハ保持デバイス内に配置するステップと、
をさらに含む、請求項10に記載の方法。 - 前記第2予備拡張ウエハを第2予備拡張ウエハ保持デバイスに格納するステップと、
前記第2予備拡張ウエハを、前記第2予備拡張ウエハ保持デバイスから前記ダイハンドラのテーブルに引き出すステップと、
前記第1予備拡張ウエハから1つ以上のダイを同時並行に抜き取りながら、前記第2予備拡張ウエハから1つ以上のダイを抜き取るステップと、
をさらに含む、請求項10に記載の方法。
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