JP7083039B2 - 回路形成方法 - Google Patents

回路形成方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7083039B2
JP7083039B2 JP2020551625A JP2020551625A JP7083039B2 JP 7083039 B2 JP7083039 B2 JP 7083039B2 JP 2020551625 A JP2020551625 A JP 2020551625A JP 2020551625 A JP2020551625 A JP 2020551625A JP 7083039 B2 JP7083039 B2 JP 7083039B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
protrusion
electrode
wiring
base
metal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020551625A
Other languages
English (en)
Other versions
JPWO2020079744A1 (ja
Inventor
謙磁 塚田
亮二郎 富永
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of JPWO2020079744A1 publication Critical patent/JPWO2020079744A1/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7083039B2 publication Critical patent/JP7083039B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1241Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1241Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing
    • H05K3/125Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns by ink-jet printing or drawing by dispensing by ink-jet printing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/18Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using precipitation techniques to apply the conductive material
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/28Applying non-metallic protective coatings
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/4007Surface contacts, e.g. bumps
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/09Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
    • H05K1/092Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/09Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
    • H05K1/092Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
    • H05K1/095Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks for polymer thick films, i.e. having a permanent organic polymeric binder
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/02Fillers; Particles; Fibers; Reinforcement materials
    • H05K2201/0203Fillers and particles
    • H05K2201/0242Shape of an individual particle
    • H05K2201/0257Nanoparticles
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/01Tools for processing; Objects used during processing
    • H05K2203/0104Tools for processing; Objects used during processing for patterning or coating
    • H05K2203/013Inkjet printing, e.g. for printing insulating material or resist
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/05Patterning and lithography; Masks; Details of resist
    • H05K2203/0502Patterning and lithography
    • H05K2203/0545Pattern for applying drops or paste; Applying a pattern made of drops or paste
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/10Using electric, magnetic and electromagnetic fields; Using laser light
    • H05K2203/107Using laser light
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/14Related to the order of processing steps
    • H05K2203/1461Applying or finishing the circuit pattern after another process, e.g. after filling of vias with conductive paste, after making printed resistors
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/10Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern
    • H05K3/12Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which conductive material is applied to the insulating support in such a manner as to form the desired conductive pattern using thick film techniques, e.g. printing techniques to apply the conductive material or similar techniques for applying conductive paste or ink patterns
    • H05K3/1283After-treatment of the printed patterns, e.g. sintering or curing methods
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/303Surface mounted components, e.g. affixing before soldering, aligning means, spacing means
    • H05K3/305Affixing by adhesive
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/30Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor
    • H05K3/32Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits
    • H05K3/321Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives
    • H05K3/323Assembling printed circuits with electric components, e.g. with resistor electrically connecting electric components or wires to printed circuits by conductive adhesives by applying an anisotropic conductive adhesive layer over an array of pads

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Structure Of Printed Boards (AREA)

Description

本発明は、金属含有液の吐出により形成された配線と、その配線の上に塗布された樹脂ペーストを介して、配線に電極が接触するように載置された部品とにより構成される回路の回路形成方法に関する。
下記特許文献に記載されているような回路を、金属含有液のベース上への吐出によりオンデマンドで形成する技術が、近年、開発されている。
特開2003-347715号公報
金属含有液のベース上への吐出により形成される回路では、金属含有液の焼成により配線が形成され、その配線と接触するように金属粒子を含む樹脂ペーストが塗布される。そして、電極を有する部品が、樹脂ペーストと電極とが接触するように載置されることで、回路が形成される。本発明は、このような手法により回路を好適に形成することを課題とする。
上記課題を解決するために、本明細書は、硬化性粘性流体をベース上に塗布し、前記硬化性粘性流体を硬化させることで突起部を形成する突起部形成工程と、金属粒子を含有する金属含有液を前記ベース上に塗布し、その金属含有液を導電化することで、前記突起部に向かって延び出す配線を形成する配線形成工程と、前記金属含有液と異なる金属粒子を含有する樹脂ペーストを、前記突起部と前記配線とを接続するように、前記突起部と前記配線との上に塗布するペースト塗布工程と、電極を有する部品を、前記突起部の上に塗布された前記樹脂ペーストに前記電極が接触するように、前記ベースの上に載置する部品載置工程とを含み、前記配線形成工程は、前記金属含有液を前記突起部に接近するように前記ベース上に塗布し、その金属含有液を焼成することで、前記突起部に接続されない状態で前記突起部に向かって延び出す配線を形成する回路形成方法を開示する。
本開示によれば、硬化性粘性流体がベース上に塗布され、硬化することで突起部が形成され、金属含有液の塗布および導電化により、その突起部に向かって延び出す配線が形成される。そして、金属粒子を含有する樹脂ペーストが、突起部と配線とを接続するように、突起部と配線との上に塗布された後に、電極を有する部品が、樹脂ペーストと電極とが接触するように載置される。これにより、部品が載置された際に、電極と突起部との間に樹脂ペーストが入り込むことで、電極と配線との接続が担保され、好適に回路を形成することができる。
回路形成装置を示す図である。 制御装置を示すブロック図である。 樹脂積層体が形成された状態の回路を示す断面図である。 樹脂積層体の上に配線が形成された状態の回路を示す断面図である。 配線の上に導電性樹脂ペーストが塗布された状態の回路を示す断面図である。 電子部品が装着された状態の回路を示す断面図である。 短絡した状態の回路を示す断面図である。 樹脂積層体のうえに電極対応突起部及び電極非対応突起部が形成された状態の回路を示す断面図である。 樹脂積層体のうえに電極対応突起部及び電極非対応突起部が形成された状態の回路を示す平面図である。 電極対応突起部と接触する配線が形成された状態の回路を示す断面図である。 電極対応突起部と接触する配線が形成された状態の回路を示す平面図である。 電極対応突起部の上に導電性樹脂ペーストが塗布された状態の回路を示す断面図である。 電子部品が装着された状態の回路を示す断面図である。 変形例の配線が形成された状態の回路を示す平面図である。
図1に回路形成装置10を示す。回路形成装置10は、搬送装置20と、第1造形ユニット22と、第2造形ユニット24と、第3造形ユニット26と、装着ユニット27と、制御装置(図2参照)28とを備える。それら搬送装置20と第1造形ユニット22と第2造形ユニット24と第3造形ユニット26と装着ユニット27とは、回路形成装置10のベース29の上に配置されている。ベース29は、概して長方形状をなしており、以下の説明では、ベース29の長手方向をX軸方向、ベース29の短手方向をY軸方向、X軸方向及びY軸方向の両方に直交する方向をZ軸方向と称して説明する。
搬送装置20は、X軸スライド機構30と、Y軸スライド機構32とを備えている。そのX軸スライド機構30は、X軸スライドレール34とX軸スライダ36とを有している。X軸スライドレール34は、X軸方向に延びるように、ベース29の上に配設されている。X軸スライダ36は、X軸スライドレール34によって、X軸方向にスライド可能に保持されている。さらに、X軸スライド機構30は、電磁モータ(図2参照)38を有しており、電磁モータ38の駆動により、X軸スライダ36がX軸方向の任意の位置に移動する。また、Y軸スライド機構32は、Y軸スライドレール50とステージ52とを有している。Y軸スライドレール50は、Y軸方向に延びるように、ベース29の上に配設されており、X軸方向に移動可能とされている。そして、Y軸スライドレール50の一端部が、X軸スライダ36に連結されている。そのY軸スライドレール50には、ステージ52が、Y軸方向にスライド可能に保持されている。さらに、Y軸スライド機構32は、電磁モータ(図2参照)56を有しており、電磁モータ56の駆動により、ステージ52がY軸方向の任意の位置に移動する。これにより、ステージ52は、X軸スライド機構30及びY軸スライド機構32の駆動により、ベース29上の任意の位置に移動する。
ステージ52は、基台60と、保持装置62と、昇降装置64とを有している。基台60は、平板状に形成され、上面に基板が載置される。保持装置62は、基台60のX軸方向の両側部に設けられている。そして、基台60に載置された基板のX軸方向の両縁部が、保持装置62によって挟まれることで、基板が固定的に保持される。また、昇降装置64は、基台60の下方に配設されており、基台60を昇降させる。
第1造形ユニット22は、ステージ52の基台60に載置された基板の上に配線を造形するユニットであり、第1印刷部72と、焼成部74とを有している。第1印刷部72は、インクジェットヘッド(図2参照)76を有しており、インクジェットヘッド76が金属インクを線状に吐出する。金属インクは、ナノメートルサイズの金属の微粒子が溶剤中に分散されたものである。なお、金属微粒子の表面は分散剤によりコーティングされており、溶剤中での凝集が防止されている。また、インクジェットヘッド76は、例えば、圧電素子を用いたピエゾ方式によって複数のノズルから金属インクを吐出する。
焼成部74は、レーザ照射装置(図2参照)78を有している。レーザ照射装置78は、吐出された金属インクにレーザを照射する装置であり、レーザが照射された金属インクは焼成し、配線が形成される。なお、金属インクの焼成とは、エネルギーを付与することによって、溶媒の気化や金属微粒子の保護膜、つまり、分散剤の分解等が行われ、金属微粒子が接触または融着をすることで、導電率が高くなる現象である。そして、金属インクが焼成することで、金属製の配線が形成される。
また、第2造形ユニット24は、ステージ52の基台60に載置された基板の上に樹脂層を造形するユニットであり、第2印刷部84と、硬化部86とを有している。第2印刷部84は、インクジェットヘッド(図2参照)88を有しており、インクジェットヘッド88は紫外線硬化樹脂を吐出する。紫外線硬化樹脂は、紫外線の照射により硬化する樹脂である。なお、インクジェットヘッド88は、例えば、圧電素子を用いたピエゾ方式でもよく、樹脂を加熱して気泡を発生させ複数のノズルから吐出するサーマル方式でもよい。
硬化部86は、平坦化装置(図2参照)90と照射装置(図2参照)92とを有している。平坦化装置90は、インクジェットヘッド88によって吐出された紫外線硬化樹脂の上面を平坦化するものであり、例えば、紫外線硬化樹脂の表面を均しながら余剰分の樹脂を、ローラもしくはブレードによって掻き取ることで、紫外線硬化樹脂の厚みを均一させる。また、照射装置92は、光源として水銀ランプもしくはLEDを備えており、吐出された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。これにより、吐出された紫外線硬化樹脂が硬化し、樹脂層が形成される。
第3造形ユニット26は、ステージ52の基台60に載置された基板の上に電子部品の電極と配線との接続部を造形するユニットであり、第3印刷部100と、加熱部102とを有している。第3印刷部100は、転写装置(図2参照)106を有しており、転写装置106は導電性樹脂ペーストを転写する。詳しくは、転写装置106は、導電性樹脂ペーストを貯留するトレイ(図示省略)と、転写ピン(図示省略)とにより構成されている。そして、転写ピンの先端部がトレイに浸漬されることで、転写ピンの先端部に導電性樹脂ペーストが付着し、その転写ピンの先端部を任意の位置に接触させることで、その任意の位置に導電性樹脂ペーストが転写される。なお、導電性樹脂ペーストは、加熱により硬化する樹脂に、マイクロメートルサイズの金属粒子が分散されたものである。ちなみに、金属粒子は、フレーク状とされている。なお、導電性樹脂ペーストの粘度は、比較的高いため、転写装置106により好適に導電性樹脂ペーストを転写することができる。ただし、転写量が不均一になり易い。
加熱部102は、ヒータ(図2参照)108を有している。ヒータ108は、吐出された導電性樹脂ペーストを加熱する装置であり、加熱された導電性樹脂ペーストでは、樹脂が硬化する。この際、導電性樹脂ペーストでは、硬化した樹脂が収縮し、その樹脂に分散されたフレーク状の金属粒子が接触する。これにより、導電性樹脂ペーストが導電性を発揮する。
また、装着ユニット27は、ステージ52の基台60に載置された基板の上に電子部品を装着するユニットであり、供給部110と、装着部112とを有している。供給部110は、テーピング化された電子部品を1つずつ送り出すテープフィーダ(図2参照)114を複数有しており、供給位置において、電子部品を供給する。なお、供給部110は、テープフィーダ114に限らず、トレイから電子部品をピックアップして供給するトレイ型の供給装置でもよい。また、供給部110は、テープ型とトレイ型との両方、あるいはそれ以外の供給装置を備えた構成でもよい。
装着部112は、装着ヘッド(図2参照)116と、移動装置(図2参照)118とを有している。装着ヘッド116は、電子部品を吸着保持するための吸着ノズル(図示省略)を有する。吸着ノズルは、正負圧供給装置(図示省略)から負圧が供給されることで、エアの吸引により電子部品を吸着保持する。そして、正負圧供給装置から僅かな正圧が供給されることで、電子部品を離脱する。また、移動装置118は、テープフィーダ114による電子部品の供給位置と、基台60に載置された基板との間で、装着ヘッド116を移動させる。これにより、装着部112では、テープフィーダ114から供給された電子部品が、吸着ノズルにより保持され、その吸着ノズルによって保持された電子部品が、基板に装着される。
また、制御装置28は、図2に示すように、コントローラ120と、複数の駆動回路122とを備えている。複数の駆動回路122は、上記電磁モータ38,56、保持装置62、昇降装置64、インクジェットヘッド76、レーザ照射装置78、インクジェットヘッド88、平坦化装置90、照射装置92、転写装置106、ヒータ108、テープフィーダ114、装着ヘッド116、移動装置118に接続されている。コントローラ120は、CPU,ROM,RAM等を備え、コンピュータを主体とするものであり、複数の駆動回路122に接続されている。これにより、搬送装置20、第1造形ユニット22、第2造形ユニット24、第3造形ユニット26、装着ユニット27の作動が、コントローラ120によって制御される。
回路形成装置10では、上述した構成によって、基板(図3参照)70の上に樹脂積層体が形成され、その樹脂積層体の上面に配線が形成される。そして、樹脂ペーストを介して、電子部品の電極が配線に接続されるが、この際、樹脂ペーストの量に応じて、短絡,接続不良などが生じる虞がある。
具体的には、ステージ52の基台60に基板70がセットされ、そのステージ52が、第2造形ユニット24の下方に移動される。そして、第2造形ユニット24において、図3に示すように、基板70の上に樹脂積層体130が形成される。樹脂積層体130は、インクジェットヘッド88からの紫外線硬化樹脂の吐出と、吐出された紫外線硬化樹脂への照射装置92による紫外線の照射とが繰り返されることにより形成される。
詳しくは、第2造形ユニット24の第2印刷部84において、インクジェットヘッド88が、基板70の上面に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。続いて、紫外線硬化樹脂が薄膜状に吐出されると、硬化部86において、紫外線硬化樹脂の膜厚が均一となるように、紫外線硬化樹脂が平坦化装置90によって平坦化される。そして、照射装置92が、その薄膜状の紫外線硬化樹脂に紫外線を照射する。これにより、基板70の上に薄膜状の樹脂層132が形成される。
続いて、インクジェットヘッド88が、その薄膜状の樹脂層132の上に紫外線硬化樹脂を薄膜状に吐出する。そして、平坦化装置90によって薄膜状の紫外線硬化樹脂が平坦化され、照射装置92が、その薄膜状に吐出された紫外線硬化樹脂に紫外線を照射することで、薄膜状の樹脂層132の上に薄膜状の樹脂層132が積層される。このように、薄膜状の樹脂層132の上への紫外線硬化樹脂の吐出と、紫外線の照射とが繰り返され、複数の樹脂層132が積層されることで、樹脂積層体130が形成される。
上述した手順により樹脂積層体130が形成されると、ステージ52が第1造形ユニット22の下方に移動される。そして、第1造形ユニット22の第1印刷部72において、インクジェットヘッド76が、図4に示すように、樹脂積層体130の上面に金属インク134を、回路パターンに応じて線状に吐出する。続いて、回路パターンに応じて吐出された金属インク134に、第1造形ユニット22の焼成部74において、レーザ照射装置78がレーザを照射する。これにより、金属インク134が焼成し、樹脂積層体130の上に配線136が形成される。
続いて、樹脂積層体130の上に配線136が形成されると、ステージ52が第3造形ユニット26の下方に移動される。そして、第3造形ユニット26の第3印刷部100において、転写装置106が、図5に示すように、配線136の端部の上に導電性樹脂ペースト137を転写する。つまり、転写ピンの先端部に、トレイにおいて導電性樹脂ペースト137が付着され、その転写ピンの先端部に付着した導電性樹脂ペースト137が配線136の上に転写される。
このように、導電性樹脂ペースト137が配線136の上に吐出されると、ステージ52が装着ユニット27の下方に移動される。装着ユニット27では、テープフィーダ114により電子部品138が供給され、その電子部品138が装着ヘッド116の吸着ノズルによって、保持される。なお、電子部品138は、部品本体139と、部品本体139の下面に配設された2個の電極140とにより構成されている。そして、装着ヘッド116が、移動装置118によって移動され、吸着ノズルにより保持された電子部品138が、図6に示すように、樹脂積層体130の上面に装着される。この際、電子部品138の電極140が、配線136の上に転写された導電性樹脂ペースト137に接触するように、電子部品138は樹脂積層体130の上面に装着される。なお、電極140の下面は、部品本体139の下面より下方に突出しているため、電極140は、導電性樹脂ペースト137に好適に接触する。そして、導電性樹脂ペースト137が加熱され、導電性を発揮することで、電極140が導電性樹脂ペースト137を介して配線136と導通し、回路が形成される。
しかしながら、電子部品138が樹脂積層体130に装着される際に、導電性樹脂ペースト137との密着性を高めるべく、電子部品138が樹脂積層体130に向かって押し付けられる。この際、上述したように、導電性樹脂ペーストの転写量は不均一であるため、導電性樹脂ペーストの転写量が多い場合には、電子部品138の押し付けにより、図7に示すように、導電性樹脂ペースト137が押しつぶされて、左右方向に広がる虞がある。このため、2個の電極140のうちの一方の電極140に対応する配線に転写された導電性樹脂ペースト137と、他方の電極140に対応する配線に転写された導電性樹脂ペースト137とが接触し、電極間で短絡する虞がある。一方で、導電性樹脂ペーストの転写量が少ない場合には、電極140と配線136との接続不良が生じる虞がある。
このようなことに鑑みて、回路形成装置10では、樹脂積層体130の上に突起部が形成され、その突起部において、配線136と電極140とが、導電性樹脂ペースト137を介して接続される。詳しくは、樹脂積層体130が形成されると、配線136が形成される前に、樹脂積層体130の上面に、紫外線硬化樹脂の吐出により、2種類の突起部が形成される。2種類の突起部のうちの一方の突起部(以下、「電極対応突起部」と記載する)150は、図8及び図9に示すように、電子部品138の電極140の配設予定位置と重なるように、樹脂積層体130の上面に形成される。つまり、電子部品138は、2個の電極140を有しているため、2個の電極対応突起部150が形成される。なお、図8は、樹脂積層体130の側方からの視点において示す図であり、図9は、樹脂積層体130の上方からの視点において示す図である。また、図7及び図8での電子部品138は、電極140の配設予定位置を示すべく、点線で記されたものであり、図7及び図8での作業時において、電子部品138は存在しない。
2種類の突起部のうちの他方の突起部(以下、「電極非対応突起部」と記載する)152は、電子部品138の配設予定位置と重なるが、電極140の配設予定位置と重ならないように、樹脂積層体130の上面に形成される。この際、電極非対応突起部152は、2個の電極対応突起部150を結ぶ線の中央を挟んで対称的に2個形成される。つまり、2個の電極対応突起部150を結ぶ線と、2個の電極非対応突起部152を結ぶ線とが、互いの線の中央で直行するように、電極非対応突起部152が形成される。これにより、2個の電極対応突起部150と2個の電極非対応突起部152とが、概ね4等配の位置に形成される。なお、図8において、電極非対応突起部152は1個のみ記されている。また、電極対応突起部150及び電極非対応突起部152は、第2造形ユニット24において、紫外線硬化樹脂の吐出及び硬化により形成されるが、その形成手法は、樹脂積層体130の形成手法と同じであるため、説明を省略する。
また、電極対応突起部150及び電極非対応突起部152の形状は、概ね円錐形状とされており、中央に向かうほど外径が小さくされている。別の言い方をすれば、電極対応突起部150及び電極非対応突起部152の形状は、山型形状とされており、中央に向かうほど高さ寸法が高くされている。なお、電極対応突起部150及び電極非対応突起部152の上端は尖っておらず、緩やかな上端とされている。また、電極対応突起部150及び電極非対応突起部152の高さ寸法は、導電性樹脂ペースト137に含まれる金属粒子の最大寸法に相当するものとされている。ただし、電極対応突起部150と電極非対応突起部152とは、異なる高さとされており、電極対応突起部150は、電極非対応突起部152より僅かに低くされている。ちなみに、電極対応突起部150の高さ寸法と電極非対応突起部152の高さ寸法との差は、電子部品138の部品本体139の下面と電極140の下面との間の距離に相当するものとされている。
そして、樹脂積層体130の上に、電極対応突起部150及び電極非対応突起部152が形成されると、ステージ52が第1造形ユニット22の下方に移動される。この際、第1造形ユニット22の第1印刷部72では、インクジェットヘッド76が、図10及び図11に示すように、電極対応突起部150に向かって延び出すように、電極対応突起部150に至るまで、金属インク134を吐出する。なお、金属インク134は、電極対応突起部150の上端まで至らず、電極対応突起部150の側面の中央部に至るまで吐出される。そして、第1造形ユニット22の焼成部74において、レーザ照射装置78が、金属インク134にレーザを照射する。これにより、金属インクが焼成し、電極対応突起部150に接続された状態の配線136が形成される。
次に、電極対応突起部150に接続された状態の配線136が形成されると、ステージ52が第3造形ユニット26の下方に移動される。そして、第3造形ユニット26の第3印刷部100において、転写装置106が、図12に示すように、電極対応突起部150の上端を覆うように、電極対応突起部150の上に導電性樹脂ペースト137を転写する。この際、配線136と電極対応突起部150とを接続するように、配線136と電極対応突起部150との上に、導電性樹脂ペースト137が転写される。
このように、導電性樹脂ペースト137が電極対応突起部150の上に吐出されると、ステージ52が装着ユニット27の下方に移動される。装着ユニット27では、テープフィーダ114により供給された電子部品138が装着ヘッド116の吸着ノズルによって、保持される。そして、装着ヘッド116が、移動装置118によって移動され、吸着ノズルにより保持された電子部品138が、図13に示すように、樹脂積層体130の上面に装着される。この際、電子部品138の電極140が、電極対応突起部150の上に転写された導電性樹脂ペースト137に接触するように、電子部品138は装着される。そして、導電性樹脂ペースト137との密着性を高めるべく、電子部品138が部品本体139に向かって押し付けられる。
このように、電子部品138が押し付けられると、毛細管現象により、電極対応突起部150と電極140との間に、導電性樹脂ペースト137が入り込み、短絡,接続不良等が防止される。詳しくは、電子部品138が押し付けられると、電極140と電極対応突起部150との間が狭くなる。また、毛細管現象とは、細い管状の物体、例えば、毛細管の内側の流体が管の中を上昇する現象であり、流体は、狭い隙間に入り込む傾向にある。このため、電極140と電極対応突起部150との間が狭くなると、その電極140と電極対応突起部150との間に、導電性樹脂ペースト137が入り込む。また、電極対応突起部150は、概ね円錐形状とされているため、電子部品138が押し付けられても、電極140と電極対応突起部150との隙間は、ある程度確保される。この際、例えば、導電性樹脂ペーストの転写量が多い場合であっても、電子部品138の押し付けにより電子部品138と電極対応突起部150との間が狭くなることで、その隙間に導電性樹脂ペースト137が入り込み、導電性樹脂ペースト137の左右方向への広がりが抑制される。これにより、電極間の短絡を防止することができる。
また、上述した毛細管現象ではなく、導電性樹脂ペースト137の体積を示す数式を用いて、導電性樹脂ペースト137の左右方向への広がりの抑制を説明することもできる。具体的には、電子部品138の押し付けにより電極140と電極対応突起部150とが接近すると、電極対応突起部150の上端と電極140とが接触し、その周辺に導電性樹脂ペースト137が入り込む。このため、導電性樹脂ペースト137は、概して円環形状となる。ただし、数式の簡略化を図るため、導電性樹脂ペースト137が円筒形状となっていると仮定すると、導電性樹脂ペースト137の体積Vは下記式により示される。
V=πr
そして、電子部品138の押し付けにより、円筒形状の導電性樹脂ペースト137の高さがΔhに相当する距離、低くなり、円筒形状の導電性樹脂ペースト137の半径がΔrに相当する距離、広くなると、導電性樹脂ペースト137の体積Vは下記式により示される。
V=π(r+Δr)(h-Δh)
次に、その式を展開し、整理すると、下記式が成立する。
1-(Δh/h)={1/(1+Δr/r)}
そして、その式に基づいて下記の関係式が導き出される。
Δh/h≒2(Δr/r)
この関係式におけるΔh/hは、円筒形状の導電性樹脂ペースト137の元の高さに対する導電性樹脂ペースト137の高さの減少量である。つまり、Δh/hは、円筒形状の導電性樹脂ペースト137の高さの減少率である。一方、Δr/rは、円筒形状の導電性樹脂ペースト137の元の半径に対する導電性樹脂ペースト137の半径の増加量である。つまり、Δr/rは、円筒形状の導電性樹脂ペースト137の半径の増加率である。このことから、円筒形状の導電性樹脂ペースト137の半径の増加率は、円筒形状の導電性樹脂ペースト137の高さの減少率の半分であることが解る。つまり、例えば、円筒形状の導電性樹脂ペースト137の高さが元の高さの2割に相当する距離、低くなっても、円筒形状の導電性樹脂ペースト137の半径は元の半径の1割に相当する距離しか広くならない。これにより、電子部品138が押し付けられた際の導電性樹脂ペースト137の左右方向への広がりが抑制される。このように、導電性樹脂ペースト137の体積を示す数式を用いて、導電性樹脂ペースト137の左右方向への広がりの抑制を説明することができる。
このように、導電性樹脂ペーストの転写量が多い場合には、導電性樹脂ペースト137が電極140と電極対応突起部150との間に入り込むことで、導電性樹脂ペースト137の左右方向への広がりが抑制され、短絡が防止される。一方で、導電性樹脂ペーストの転写量が少ない場合には、その少ない量の導電性樹脂ペースト137が、導電性樹脂ペースト137が電極140と電極対応突起部150との間に入り込むことで、電極140と配線136との接続不良が防止される。これにより、回路形成時における短絡,接続不良の発生を防止することができる。
また、電子部品138が押し付けられると、電子部品138は、電極140の下面において電極対応突起部150によって支えられ、部品本体139の下面において電極非対応突起部152によって支えられる。つまり、図9に示すように、電子部品138は、概ね4等配の位置において、1対の電極対応突起部150と1対の電極非対応突起部152とによって支えられる。これにより、電子部品138をバランス良く支えることが可能となる。特に、部品本体139の下面は、電極140の下面より僅かに高くされているが、電極非対応突起部152は電極対応突起部150より、部品本体139の下面と電極140の下面との差に相当する距離、高くされている。これにより、電子部品138を、電極対応突起部150と電極非対応突起部152とによってガタツキなく支えることが可能となる。
また、電極対応突起部150の高さ寸法は、導電性樹脂ペースト137に含まれる金属粒子の最大寸法に相当するものとされている。これにより、電子部品138が押し付けられた際に電極140と電極対応突起部150との間に導電性樹脂ペースト137が入り込むことを、適切に担保することができる。
また、配線136の形成時において、上述したように、金属インク134は、電極対応突起部150の上端まで至らず、電極対応突起部150の側面の中央部に至るまで吐出される。これにより、配線136は、電極対応突起部150の上端において形成されず、電極対応突起部150の下端から側面の中央部にかけて電極対応突起部150の上に形成される。これは、電極対応突起部150の上端に配線136が形成されると、電極対応突起部150の上端に形成された配線136は剥離し易いためである。これにより、配線136の剥離を抑制することが可能となる。
さらに言えば、電極対応突起部150及び電極非対応突起部152は、樹脂積層体130の素材と同じ紫外線硬化樹脂により形成される。これにより、電極対応突起部150及び電極非対応突起部152と樹脂積層体130との親和性が高くなり、強度の高い回路を形成することが可能となる。
また、制御装置28のコントローラ120は、図2に示すように、ベース形成部160と突起部形成部162と配線形成部164とペースト塗布部166と部品載置部168とを有している。ベース形成部160は、樹脂積層体130を形成するための機能部である。突起部形成部162は、電極対応突起部150及び電極非対応突起部152を形成するための機能部である。配線形成部164は、配線136を形成するための機能部である。ペースト塗布部166は、電極対応突起部150の上に導電性樹脂ペースト137と転写するための機能部である。部品載置部168は、電極対応突起部150と電極140とが重なるように、電子部品138を載置するための機能部である。
なお、上記実施例において、樹脂積層体130は、ベースの一例である。樹脂層132は、樹脂層の一例である。金属インク134は、金属含有液の一例である。配線136は、配線の一例である。導電性樹脂ペースト137は、樹脂ペーストの一例である。電子部品138は、部品の一例である。電極140は、電極の一例である。電極対応突起部150は、突起部及び接触突起部の一例である。電極非対応突起部152は、非接触突起部の一例である。紫外線硬化樹脂は、硬化性粘性流体の一例である。ベース形成部160により実行される工程は、ベース形成工程の一例である。突起部形成部162により実行される工程は、突起部形成工程の一例である。配線形成部164により実行される工程は、配線形成工程の一例である。ペースト塗布部166により実行される工程は、ペースト塗布工程の一例である。部品載置部168により実行される工程は、部品載置工程の一例である。
なお、本発明は、上記実施例に限定されるものではなく、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した種々の態様で実施することが可能である。例えば、上記実施例では、電極対応突起部150及び電極非対応突起部152が、紫外線硬化樹脂により形成されているが、金属インク134,導電性樹脂ペースト137などの硬化性粘性流体を採用することが可能である。また、上記実施例では、金属インク134がレーザ照射により焼成されているが、加熱などの他の手法により焼成されてもよい。
また、上記実施例では、配線136が金属インク134により形成されているが、導電性樹脂ペースト137により配線136が形成されてもよい。ただし、配線136が導電性樹脂ペースト137により形成される場合には、導電性樹脂ペースト137と異なる種類の樹脂ペーストを、電極対応突起部150の上に塗布するペーストとして採用する必要がある。
また、上記実施例では、配線136が電極対応突起部150に至るまで形成され、電極対応突起部150に接続されているが、配線136が電極対応突起部150に接続されない状態で電極対応突起部150に向かって延び出すように形成されてもよい。例えば、図14に示すように、金属インク134が、電極対応突起部150に接近するように吐出される。この際、金属インク134は電極対応突起部150の上に吐出されない。そして、金属インク134が、電極対応突起部150の外縁と僅かな隙間を空けた状態で、電極対応突起部150の周囲を囲むように吐出される。これにより、配線136が、電極対応突起部150に接続されない状態で電極対応突起部150に向かって延び出すようにして形成される。そして、配線136と電極対応突起部150とを接続するように、配線136と電極対応突起部150との上に、導電性樹脂ペースト137が塗布される。これにより、上記実施例と同様の効果を奏することが可能となる。
また、上記実施例では、電極対応突起部150及び電極非対応突起部152は、概ね円錐形状とされているが、その形状に限られず、柱形状,筒形状等、種々の形状を採用することが可能である。ただし、電子部品138が押し付けられた際の電極140と電極対応突起部150との隙間を確保するべく、電極対応突起部150の上面において、傾斜部,段差部などの上下方向での高さの異なる部分があることが好ましい。
また、上記実施例では、導電性樹脂ペースト137は、転写装置106により転写されているが、ディスペンスヘッドにより吐出されてもよい。また、スクリーン印刷により、導電性樹脂ペースト137が印刷されてもよい。
130:樹脂積層体(ベース) 132:樹脂層 134:金属インク(金属含有液) 136:配線 137:導電性樹脂ペースト(樹脂ペースト) 138:電子部品(部品) 140:電極 150:電極対応突起部(突起部)(接触突起部) 152:電極非対応突起部(非接触突起部) 160:ベース形成部(ベース形成工程) 162:突起部形成部(突起部形成工程) 164:配線形成部(配線形成工程) 166:ペースト塗布部(ペースト塗布工程) 168:部品載置部(部品載置工程)

Claims (7)

  1. 硬化性粘性流体をベース上に塗布し、前記硬化性粘性流体を硬化させることで突起部を形成する突起部形成工程と、
    金属粒子を含有する金属含有液を前記ベース上に塗布し、その金属含有液を導電化することで、前記突起部に向かって延び出す配線を形成する配線形成工程と、
    前記金属含有液と異なる金属粒子を含有する樹脂ペーストを、前記突起部と前記配線とを接続するように、前記突起部と前記配線との上に塗布するペースト塗布工程と、
    電極を有する部品を、前記突起部の上に塗布された前記樹脂ペーストに前記電極が接触するように、前記ベースの上に載置する部品載置工程と
    を含み、
    前記配線形成工程は、
    前記金属含有液を前記突起部に接近するように前記ベース上に塗布し、その金属含有液を焼成することで、前記突起部に接続されない状態で前記突起部に向かって延び出す配線を形成する回路形成方法。
  2. 前記突起部形成工程は、
    硬化性樹脂を、前記硬化性粘性流体として前記ベース上に塗布し、前記硬化性樹脂を硬化させることで前記突起部を形成する請求項1に記載の回路形成方法。
  3. 前記硬化性樹脂を薄膜状に塗布することで樹脂層を形成し、前記樹脂層を積層させることで、前記ベースを形成するベース形成工程を、更に含む請求項2に記載の回路形成方法。
  4. 前記突起部形成工程は、
    前記部品載置工程において載置される前記部品の前記電極の載置予定位置の前記ベース上に、前記硬化性粘性流体を塗布し、前記硬化性粘性流体を硬化させることで、前記突起部として接触突起部を形成し、前記部品載置工程において載置される前記部品の前記電極の載置予定位置以外の位置の前記ベース上に、前記硬化性粘性流体を塗布し、前記硬化性粘性流体を硬化させることで、非接触突起部を形成する請求項1ないし請求項3のいずれか1つに記載の回路形成方法。
  5. 前記突起部形成工程は、
    前記接触突起部と前記非接触突起部とを異なる高さで形成する請求項4に記載の回路形成方法。
  6. 前記突起部形成工程は、
    前記樹脂ペーストに含まれる金属粒子の最大寸法に相当する高さの前記突起部を形成する請求項1ないし請求項5のいずれか1つに記載の回路形成方法。
  7. 前記金属含有液は、ナノメートルサイズの金属微粒子を含有するものであり、
    前記樹脂ペーストは、マイクロメートルサイズの金属粒子を含有するものである請求項1ないし請求項6のいずれか1つに記載の回路形成方法。
JP2020551625A 2018-10-16 2018-10-16 回路形成方法 Active JP7083039B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2018/038426 WO2020079744A1 (ja) 2018-10-16 2018-10-16 回路形成方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPWO2020079744A1 JPWO2020079744A1 (ja) 2021-03-18
JP7083039B2 true JP7083039B2 (ja) 2022-06-09

Family

ID=70282920

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020551625A Active JP7083039B2 (ja) 2018-10-16 2018-10-16 回路形成方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US11849545B2 (ja)
JP (1) JP7083039B2 (ja)
CN (1) CN112868273B (ja)
WO (1) WO2020079744A1 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000011760A (ja) 1998-06-29 2000-01-14 Kyoritsu Kagaku Sangyo Kk 異方導電性組成物及びそれを用いた異方導電部材の製造方法
JP2004289083A (ja) 2003-03-25 2004-10-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品実装用の基板および電子部品実装方法
JP2005123380A (ja) 2003-10-16 2005-05-12 Seiko Epson Corp 電気光学装置用基板とその実装方法、電気光学装置及び電子機器
JP2006332592A (ja) 2005-04-28 2006-12-07 Ricoh Co Ltd 電気部品、導電パターンの形成方法、およびインクジェットヘッド
JP2009278121A (ja) 2009-07-10 2009-11-26 Suzuka Fuji Xerox Co Ltd プリント配線基板装置
WO2016189577A1 (ja) 2015-05-22 2016-12-01 富士機械製造株式会社 配線形成方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3024900B2 (ja) * 1994-05-20 2000-03-27 松下電器産業株式会社 半導体装置およびその製造方法
JPH0918121A (ja) * 1995-06-27 1997-01-17 S I I R D Center:Kk 電子部品実装体及びその製造方法
JPH1116950A (ja) * 1997-06-26 1999-01-22 Matsushita Electric Ind Co Ltd チップの実装構造
JP2000294689A (ja) * 1999-04-01 2000-10-20 Sony Corp 半導体素子の実装用配線基板及び半導体素子の実装方法
JP4288912B2 (ja) * 2002-08-08 2009-07-01 日立化成工業株式会社 配線板、半導体パッケージ用基板、半導体パッケージ及びそれらの製造方法
JP2003347715A (ja) 2002-05-28 2003-12-05 Yamanashi Matsushita Electric Works Ltd バンプ付きプリント配線板及びその製造方法
JP2004051755A (ja) * 2002-07-18 2004-02-19 Ricoh Co Ltd 弾性導電樹脂及び弾性導電接合構造
JP4056424B2 (ja) * 2003-05-16 2008-03-05 シャープ株式会社 半導体装置の製造方法
JP4366647B2 (ja) * 2003-12-18 2009-11-18 日立化成工業株式会社 配線部材の製造方法
US7213739B2 (en) * 2004-04-02 2007-05-08 Fry's Metals, Inc. Underfill fluxing curative
JP4692544B2 (ja) * 2005-04-14 2011-06-01 パナソニック株式会社 電子回路装置およびその製造方法
JP4483738B2 (ja) * 2005-08-19 2010-06-16 セイコーエプソン株式会社 デバイス実装構造、デバイス実装方法、電子装置、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置
JP4432949B2 (ja) * 2006-09-15 2010-03-17 パナソニック株式会社 電気部品の接続方法
JP2008118056A (ja) * 2006-11-07 2008-05-22 Seiko Epson Corp 配線基板の製造方法および電子機器
JP5363886B2 (ja) * 2009-06-22 2013-12-11 京セラ株式会社 配線基板の製造方法
JP2011119655A (ja) * 2009-10-30 2011-06-16 Kyocer Slc Technologies Corp 配線基板およびその製造方法
EP2747411A4 (en) * 2011-08-19 2015-04-15 Fujifilm Corp IMAGING ELEMENT MODULE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR
JP2014229784A (ja) * 2013-05-23 2014-12-08 パナソニック株式会社 電子部品実装方法
EP3076771B1 (en) * 2013-11-28 2018-08-08 Toyo Aluminium Kabushiki Kaisha Method for manufacturing circuit board and circuit board

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000011760A (ja) 1998-06-29 2000-01-14 Kyoritsu Kagaku Sangyo Kk 異方導電性組成物及びそれを用いた異方導電部材の製造方法
JP2004289083A (ja) 2003-03-25 2004-10-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 電子部品実装用の基板および電子部品実装方法
JP2005123380A (ja) 2003-10-16 2005-05-12 Seiko Epson Corp 電気光学装置用基板とその実装方法、電気光学装置及び電子機器
JP2006332592A (ja) 2005-04-28 2006-12-07 Ricoh Co Ltd 電気部品、導電パターンの形成方法、およびインクジェットヘッド
JP2009278121A (ja) 2009-07-10 2009-11-26 Suzuka Fuji Xerox Co Ltd プリント配線基板装置
WO2016189577A1 (ja) 2015-05-22 2016-12-01 富士機械製造株式会社 配線形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN112868273A (zh) 2021-05-28
CN112868273B (zh) 2023-08-29
WO2020079744A1 (ja) 2020-04-23
JPWO2020079744A1 (ja) 2021-03-18
US20220039263A1 (en) 2022-02-03
US11849545B2 (en) 2023-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7053832B2 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
JP6714109B2 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
JP6811770B2 (ja) 回路形成方法
JPWO2019193644A1 (ja) 3次元構造物形成方法、および3次元構造物形成装置
JP7083039B2 (ja) 回路形成方法
WO2017009922A1 (ja) 配線形成方法および配線形成装置
JP7282906B2 (ja) 部品装着方法、および部品装着装置
WO2022113186A1 (ja) 電気回路形成方法
WO2021214813A1 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
JP6987972B2 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
WO2022101965A1 (ja) 回路形成方法
JP7055897B2 (ja) 回路形成方法
WO2021199421A1 (ja) 回路形成方法および回路形成装置
WO2024062605A1 (ja) 回路形成装置、および回路形成方法
JP7411452B2 (ja) 回路形成方法
WO2023079607A1 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
WO2022201231A1 (ja) 判定装置、造形方法、および造形装置
JP7358614B2 (ja) 配線形成方法
JP7238206B2 (ja) 造形方法
WO2023195175A1 (ja) 電気回路形成方法、および電気回路形成装置
WO2021166139A1 (ja) 回路形成方法
WO2023095184A1 (ja) 回路形成方法、および回路形成装置
WO2023157111A1 (ja) 電気回路形成方法、および電気回路形成装置
JP2023166848A (ja) 電気回路形成方法、および電気回路形成装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200929

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211102

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211223

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220524

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220530

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7083039

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150