JP7068392B2 - スパッタリングターゲットの溶接方法 - Google Patents

スパッタリングターゲットの溶接方法 Download PDF

Info

Publication number
JP7068392B2
JP7068392B2 JP2020124079A JP2020124079A JP7068392B2 JP 7068392 B2 JP7068392 B2 JP 7068392B2 JP 2020124079 A JP2020124079 A JP 2020124079A JP 2020124079 A JP2020124079 A JP 2020124079A JP 7068392 B2 JP7068392 B2 JP 7068392B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
welding
backing plate
target
sputtering target
welding method
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2020124079A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2022001664A (ja
Inventor
姚科科
大岩一彦
廣田二郎
林智行
山田浩
Original Assignee
浙江最成半導体科技有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 浙江最成半導体科技有限公司 filed Critical 浙江最成半導体科技有限公司
Publication of JP2022001664A publication Critical patent/JP2022001664A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7068392B2 publication Critical patent/JP7068392B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
    • B23K20/12—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating the heat being generated by friction; Friction welding
    • B23K20/122—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating the heat being generated by friction; Friction welding using a non-consumable tool, e.g. friction stir welding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
    • B23K20/26—Auxiliary equipment

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Pressure Welding/Diffusion-Bonding (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
JP2020124079A 2020-06-22 2020-07-20 スパッタリングターゲットの溶接方法 Active JP7068392B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202010573673.1A CN111660003B (zh) 2020-06-22 2020-06-22 一种溅射靶材焊接方法
CN202010573673.1 2020-06-22

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2022001664A JP2022001664A (ja) 2022-01-06
JP7068392B2 true JP7068392B2 (ja) 2022-05-16

Family

ID=72389259

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2020124079A Active JP7068392B2 (ja) 2020-06-22 2020-07-20 スパッタリングターゲットの溶接方法

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP7068392B2 (zh)
KR (1) KR102336276B1 (zh)
CN (1) CN111660003B (zh)
TW (1) TW202200298A (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114273771B (zh) * 2022-01-11 2023-09-05 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种靶材组件的摩擦焊接方法
CN114351096A (zh) * 2022-01-26 2022-04-15 浙江最成半导体科技有限公司 溅射靶材、靶材组件及靶材组件的制作方法
CN114959618A (zh) * 2022-06-29 2022-08-30 浙江最成半导体科技有限公司 一种溅射靶材及其制备方法
CN115229324A (zh) * 2022-08-31 2022-10-25 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种铝合金背板的补焊方法
CN115283818A (zh) * 2022-09-06 2022-11-04 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种纯铝管状靶材与铝合金配件的搅拌摩擦焊方法
CN117966108B (zh) * 2024-04-01 2024-06-11 洛阳康耀电子有限公司 一种平面靶材绑定自动校平装置的操作方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010503771A (ja) 2006-09-12 2010-02-04 トーソー エスエムディー，インク． スパッタリングターゲットアセンブリとそれを製造する方法
JP2014193489A (ja) 2009-11-02 2014-10-09 Megastir Technologies Llc 心棒
JP2016049555A (ja) 2014-09-01 2016-04-11 株式会社日本製鋼所 低温靱性に優れた構造体およびその製造方法
JP2017070994A (ja) 2015-10-09 2017-04-13 株式会社Uacj 摩擦攪拌接合用工具及び摩擦攪拌接合方法
JP2018164913A (ja) 2017-03-28 2018-10-25 株式会社栗本鐵工所 金属薄板の接合方法及び金属薄板の接合構造
JP2019034313A (ja) 2017-08-10 2019-03-07 新日鐵住金株式会社 接合継手
JP2019155394A (ja) 2018-03-12 2019-09-19 国立大学法人大阪大学 摩擦攪拌接合方法及び摩擦攪拌接合装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3435555B2 (ja) * 1994-04-25 2003-08-11 フジオーゼックス株式会社 エンジンバルブの製造方法
JPH10193143A (ja) * 1997-01-17 1998-07-28 Showa Alum Corp 摩擦撹拌接合法
CN102554455B (zh) * 2011-12-31 2015-07-08 宁波江丰电子材料股份有限公司 钨钛合金靶材与铜合金背板扩散焊接方法
KR20140106906A (ko) * 2013-02-27 2014-09-04 한국알박(주) 스퍼터링 타겟 제조 방법
CN105473269B (zh) * 2013-08-13 2018-05-18 株式会社Uacj 搅拌摩擦焊接方法
CN207929893U (zh) * 2018-01-31 2018-10-02 成都宏明双新科技股份有限公司 一种控制薄材料毛刺高度的加工模具结构
CN108733912B (zh) * 2018-05-17 2021-08-03 南京理工大学 一种机器人旋转超声钻削cfrp/铝合金叠层结构出口毛刺高度预测方法
CN108994444A (zh) * 2018-10-08 2018-12-14 宁波顺奥精密机电有限公司 一种溅射靶材焊接方法
CN111037088A (zh) * 2019-12-31 2020-04-21 惠州市亿鹏能源科技有限公司 搅拌摩擦焊的焊接工艺

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010503771A (ja) 2006-09-12 2010-02-04 トーソー エスエムディー，インク． スパッタリングターゲットアセンブリとそれを製造する方法
JP2014193489A (ja) 2009-11-02 2014-10-09 Megastir Technologies Llc 心棒
JP2016049555A (ja) 2014-09-01 2016-04-11 株式会社日本製鋼所 低温靱性に優れた構造体およびその製造方法
JP2017070994A (ja) 2015-10-09 2017-04-13 株式会社Uacj 摩擦攪拌接合用工具及び摩擦攪拌接合方法
JP2018164913A (ja) 2017-03-28 2018-10-25 株式会社栗本鐵工所 金属薄板の接合方法及び金属薄板の接合構造
JP2019034313A (ja) 2017-08-10 2019-03-07 新日鐵住金株式会社 接合継手
JP2019155394A (ja) 2018-03-12 2019-09-19 国立大学法人大阪大学 摩擦攪拌接合方法及び摩擦攪拌接合装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN111660003A (zh) 2020-09-15
CN111660003B (zh) 2021-08-03
JP2022001664A (ja) 2022-01-06
TW202200298A (zh) 2022-01-01
KR102336276B1 (ko) 2021-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7068392B2 (ja) スパッタリングターゲットの溶接方法
JP5482020B2 (ja) 円筒形スパッタリングターゲット及びその製造方法
US5593082A (en) Methods of bonding targets to backing plate members using solder pastes and target/backing plate assemblies bonded thereby
JP4784602B2 (ja) スパッタリングターゲット及びその製造方法並びにこの方法を用いたスパッタリングターゲットの再生方法
US7652223B2 (en) Electron beam welding of sputtering target tiles
JP4422975B2 (ja) スパッタリングターゲットおよびその製造方法
WO2002040733A1 (fr) Cible de pulverisation produisant peu de particules, plaque support ou appareil de pulverisation, et procede de pulverisation produisant peu de particules
CN102430865B (zh) 靶材与背板的焊接方法及形成的靶材组件
CN112045309B (zh) 一种靶材用水路背板的制备方法
JP2000345326A (ja) 分割ｉｔｏスパッタリングターゲット
CN113996819A (zh) 一种圆形钼靶材组件的溅射弧面加工方法
CN106449890B (zh) 一种太阳能光伏焊带的制备方法
CN113042842A (zh) 一种钌靶材与背板焊接的方法
US20210140033A1 (en) Sputtering Apparatus
JP2004204253A (ja) ターゲット
CN108620813A (zh) 靶坯及其加工方法
JP2000144400A (ja) スパッタリングターゲットおよびその製造方法
CN113492248A (zh) 一种氩弧焊堆焊和随焊搅拌一体化的增材制造装置
CN211841488U (zh) 一种靶材辅助抛光装置
CN113458728B (zh) 一种靶材组件及其制备方法和用途
JP5233486B2 (ja) 無酸素銅スパッタリングターゲット材及び無酸素銅スパッタリングターゲット材の製造方法
JP5299049B2 (ja) スパッタリング装置およびスパッタリング方法
JP4312400B2 (ja) スパッタ装置
JP2000199055A (ja) Ｃｒタ―ゲット材およびその製造方法
JP5656995B2 (ja) スパッタリングターゲットおよびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20200720

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20210629

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20210929

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20211221

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20211229

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20220419

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20220428

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 7068392

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150