JP7066512B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
プラズマ処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7066512B2 JP7066512B2 JP2018092106A JP2018092106A JP7066512B2 JP 7066512 B2 JP7066512 B2 JP 7066512B2 JP 2018092106 A JP2018092106 A JP 2018092106A JP 2018092106 A JP2018092106 A JP 2018092106A JP 7066512 B2 JP7066512 B2 JP 7066512B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- members
- plasma processing
- chamber
- opening
- refrigerant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32458—Vessel
- H01J37/32477—Vessel characterised by the means for protecting vessels or internal parts, e.g. coatings
- H01J37/32495—Means for protecting the vessel against plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32458—Vessel
- H01J37/32522—Temperature
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32715—Workpiece holder
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32733—Means for moving the material to be treated
- H01J37/32743—Means for moving the material to be treated for introducing the material into processing chamber
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32798—Further details of plasma apparatus not provided for in groups H01J37/3244 - H01J37/32788; special provisions for cleaning or maintenance of the apparatus
- H01J37/32816—Pressure
- H01J37/32834—Exhausting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67063—Apparatus for fluid treatment for etching
- H01L21/67069—Apparatus for fluid treatment for etching for drying etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/002—Cooling arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
- H01J2237/334—Etching
Description
Claims (9)
- 減圧可能な内部空間の中でプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、
前記内部空間をその中に提供するチャンバと、
下部電極を有し、前記内部空間の中に設けられており、その上に載置される基板を支持するように構成された支持台と、
前記支持台の上方に設けられた上部電極であり、天板及び支持体を含み、該天板は、前記内部空間に接し、該支持体は、前記天板の上に設けられており、前記天板を支持し、その中で冷媒が流される流路を提供する、該上部電極と、
各々が、前記チャンバに含まれるか、前記チャンバとは別体である一つ以上の第1部材であり、各々の少なくとも一部が、前記内部空間を含む減圧環境に晒されるように設けられた、該一つ以上の第1部材と、
各々が、前記チャンバに含まれるか、前記チャンバとは別体である一つ以上の第2部材であり、各々が、前記一つ以上の第1部材のうち対応の第1部材に接し、各々の少なくとも一部が、大気圧環境下に配置された、該一つ以上の第2部材と、
各々が前記一つ以上の第2部材のうち対応の第2部材の中に設けられた空洞に冷媒を供給するように構成された一つ以上の供給器と、
を備え、
前記一つ以上の第1部材のうち一つの第1部材は、前記上部電極を囲むように延在しており、
前記上部電極と前記一つの第1部材との間には絶縁性の部材が介在しており、
前記一つ以上の第2部材のうち一つの第2部材は、前記一つの第1部材を囲むように延在している、
プラズマ処理装置。 - 前記一つ以上の供給器のうち一つの供給器は、前記一つの第2部材の中に設けられた前記空洞に、前記冷媒として冷却水を供給するように構成されている、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記空洞を提供する配管を更に備え、
前記配管は、前記一つの第2部材の中に形成された溝の中に設けられている、請求項1又は2に記載のプラズマ処理装置。 - 該プラズマ処理装置は、前記チャンバの側壁と前記支持台との間に設けられており、前記支持台を囲むように延在する筒状のシールドを更に備え、
前記チャンバの側壁には第1の開口が形成されており、
前記シールドには、前記第1の開口に対面する第2の開口が形成されており、
該プラズマ処理装置は、前記第2の開口を開閉するように構成されたシャッター機構を更に備え、
前記一つ以上の第1部材は、複数の第1部材であり、該複数の第1部材のうち別の一つの第1部材は、前記第2の開口を閉じるための前記シャッター機構の弁体であり、
前記一つ以上の第2部材は複数の第2部材であり、該複数の第2部材のうち別の一つの第2部材は、前記弁体に連結された軸体であり、該別の一つの第2部材の中に前記空洞が形成されている、
請求項1~3の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記一つ以上の供給器は複数の供給器であり、該複数の供給器のうち別の一つの供給器は、該別の一つの第2部材の中に形成された前記空洞に、前記冷媒としてエアを供給するように構成されている、請求項4に記載のプラズマ処理装置。
- 前記一つ以上の第1部材をそれぞれ加熱するための一つ以上のヒータを更に備える、請求項1~5の何れか一項に記載のプラズマ処理装置。
- 減圧可能な内部空間の中でプラズマ処理を行うプラズマ処理装置であって、
前記内部空間をその中に提供するチャンバであり、第1の開口が形成された側壁を含む、該チャンバと、
前記内部空間の中に設けられており、その上に載置される基板を支持するように構成された支持台と、
各々が、前記チャンバに含まれるか、前記チャンバとは別体である一つ以上の第1部材であり、各々の少なくとも一部が、前記内部空間を含む減圧環境に晒されるように設けられた、該一つ以上の第1部材と、
各々が、前記チャンバに含まれるか、前記チャンバとは別体である一つ以上の第2部材であり、各々が、前記一つ以上の第1部材のうち対応の第1部材に接し、各々の少なくとも一部が、大気圧環境下に配置された、該一つ以上の第2部材と、
各々が前記一つ以上の第2部材のうち対応の第2部材の中に設けられた空洞に冷媒を供給するように構成された一つ以上の供給器と、
前記チャンバの前記側壁と前記支持台との間に設けられており、前記支持台を囲むように延在する筒状のシールドであり、前記第1の開口に対面する第2の開口が形成された、該シールドと、
前記第2の開口を開閉するように構成されたシャッター機構と、
備え、
前記一つ以上の第1部材のうち一つの第1部材は、前記第2の開口を閉じるための前記シャッター機構の弁体であり、
前記一つ以上の第2部材のうち一つの第2部材は、前記弁体に連結された軸体であり、該一つの第2部材の中に前記空洞が形成されている、
プラズマ処理装置。 - 前記一つ以上の供給器のうち一つの供給器は、前記一つの第2部材の中に形成された前記空洞に、前記冷媒としてエアを供給するように構成されている、請求項7に記載のプラズマ処理装置。
- 前記一つ以上の第1部材をそれぞれ加熱するための一つ以上のヒータを更に備える、請求項7又は8に記載のプラズマ処理装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018092106A JP7066512B2 (ja) | 2018-05-11 | 2018-05-11 | プラズマ処理装置 |
CN201910385178.5A CN110473761B (zh) | 2018-05-11 | 2019-05-09 | 等离子体处理装置 |
KR1020190054307A KR20190129744A (ko) | 2018-05-11 | 2019-05-09 | 플라즈마 처리 장치 |
US16/409,347 US11715630B2 (en) | 2018-05-11 | 2019-05-10 | Plasma processing apparatus |
US18/209,030 US20230326724A1 (en) | 2018-05-11 | 2023-06-13 | Plasma processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018092106A JP7066512B2 (ja) | 2018-05-11 | 2018-05-11 | プラズマ処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019197849A JP2019197849A (ja) | 2019-11-14 |
JP7066512B2 true JP7066512B2 (ja) | 2022-05-13 |
Family
ID=68464891
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018092106A Active JP7066512B2 (ja) | 2018-05-11 | 2018-05-11 | プラズマ処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11715630B2 (ja) |
JP (1) | JP7066512B2 (ja) |
KR (1) | KR20190129744A (ja) |
CN (1) | CN110473761B (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11532461B2 (en) * | 2018-10-23 | 2022-12-20 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus |
US11488806B2 (en) | 2020-05-08 | 2022-11-01 | Applied Materials, Inc. | L-motion slit door for substrate processing chamber |
TW202203319A (zh) | 2020-06-24 | 2022-01-16 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 基板處理裝置 |
TW202232644A (zh) | 2020-10-19 | 2022-08-16 | 日商東京威力科創股份有限公司 | 基板處理裝置、基板處理系統、及維修方法 |
CN115775717A (zh) | 2021-09-06 | 2023-03-10 | 东京毅力科创株式会社 | 基片处理装置和基片处理装置的维护方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000075972A1 (fr) | 1999-06-02 | 2000-12-14 | Tokyo Electron Limited | Appareil de traitement sous vide |
JP2007142363A (ja) | 2005-10-18 | 2007-06-07 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5759718A (en) | 1980-09-26 | 1982-04-10 | Unitika Ltd | Preparation of biaxially orented composite film |
JP2607381B2 (ja) * | 1988-04-28 | 1997-05-07 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング装置 |
KR100276093B1 (ko) * | 1992-10-19 | 2000-12-15 | 히가시 데쓰로 | 플라스마 에칭방법 |
US20040149214A1 (en) * | 1999-06-02 | 2004-08-05 | Tokyo Electron Limited | Vacuum processing apparatus |
US6902623B2 (en) * | 2001-06-07 | 2005-06-07 | Veeco Instruments Inc. | Reactor having a movable shutter |
KR100901892B1 (ko) * | 2003-09-03 | 2009-06-10 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 가스 처리 장치 및 처리 가스 토출 구조체 |
JP4513329B2 (ja) * | 2004-01-16 | 2010-07-28 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置 |
US7883579B2 (en) * | 2005-12-14 | 2011-02-08 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus and lid supporting apparatus for the substrate processing apparatus |
KR101170006B1 (ko) * | 2008-07-04 | 2012-07-31 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 플라즈마 처리 장치, 플라즈마 처리 방법 및 유전체창의 온도 조절 기구 |
JP5759718B2 (ja) | 2010-12-27 | 2015-08-05 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP5710318B2 (ja) * | 2011-03-03 | 2015-04-30 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置 |
JP6324717B2 (ja) * | 2013-12-27 | 2018-05-16 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、シャッタ機構およびプラズマ処理装置 |
-
2018
- 2018-05-11 JP JP2018092106A patent/JP7066512B2/ja active Active
-
2019
- 2019-05-09 KR KR1020190054307A patent/KR20190129744A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-05-09 CN CN201910385178.5A patent/CN110473761B/zh active Active
- 2019-05-10 US US16/409,347 patent/US11715630B2/en active Active
-
2023
- 2023-06-13 US US18/209,030 patent/US20230326724A1/en active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2000075972A1 (fr) | 1999-06-02 | 2000-12-14 | Tokyo Electron Limited | Appareil de traitement sous vide |
JP2007142363A (ja) | 2005-10-18 | 2007-06-07 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20190129744A (ko) | 2019-11-20 |
CN110473761A (zh) | 2019-11-19 |
US11715630B2 (en) | 2023-08-01 |
US20230326724A1 (en) | 2023-10-12 |
CN110473761B (zh) | 2024-04-16 |
US20190348262A1 (en) | 2019-11-14 |
JP2019197849A (ja) | 2019-11-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7066512B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
TWI803539B (zh) | 支持組件及支持組件之組裝方法 | |
JP2024012608A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP7340938B2 (ja) | 載置台及び基板処理装置 | |
CN112585729B (zh) | 等离子体处理装置 | |
US11705302B2 (en) | Substrate support and plasma processing apparatus | |
US10734205B2 (en) | Cleaning method and plasma processing apparatus | |
JP7333712B2 (ja) | 静電チャック、支持台及びプラズマ処理装置 | |
WO2020050071A1 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP7374016B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP2021013011A (ja) | 基板処理装置 | |
JP7274347B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR20210004845A (ko) | 기판 처리 장치 | |
US11984300B2 (en) | Plasma processing apparatus | |
JP7394556B2 (ja) | 載置台及び基板処理装置 | |
JP2019216163A (ja) | 静電チャック、フォーカスリング、支持台、プラズマ処理装置、及びプラズマ処理方法 | |
JP7394661B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP7113733B2 (ja) | 基板処理装置用構造物及び基板処理装置 | |
US20210090864A1 (en) | Dielectric member, structure, and substrate processing apparatus | |
CN112103166A (zh) | 基板处理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210106 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211125 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211130 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220121 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220405 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220427 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7066512 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |