JP7024162B2 - 真空パッド - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態に係る真空パッド10について、図1~図4を参照しながら説明する。
次に、本発明の第2実施形態に係る真空パッド54について、図6を参照しながら説明する。第2実施形態は、規制部材56の構造が第1実施形態と異なっている。なお、第2実施形態に係る真空パッド54において、上述した真空パッド10と同一または同等の構成には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。
次に、本発明の第3実施形態に係る真空パッド60について、図7および図8を参照しながら説明する。第3実施形態は、規制部材62の構造が第1実施形態と異なっている。なお、第3実施形態に係る真空パッド60において、上述した真空パッド10と同一または同等の構成には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。
次に、本発明の第4実施形態に係る真空パッド80について、図9を参照しながら説明する。第4実施形態は、規制部材82の構造が第1実施形態と異なる。なお、第4実施形態に係る真空パッド80において、上述した真空パッド10と同一または同等の構成には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。
次に、本発明の第5実施形態に係る真空パッド100について、図10~図12を参照しながら説明する。第5実施形態は、規制部材102の構造が第1実施形態と異なる。なお、第5実施形態に係る真空パッド100において、上述した真空パッド10と同一または同等の構成には同一の参照符号を付し、詳細な説明を省略する。
12…支持部材
14…ベローズ
16、56、62、82、102…規制部材
20…真空通路
22、38、68…テーパ面
32a、32b…インナーリング
34、57、64、104…筒部
36、58、86…フランジ部
40、70、106…縦孔
108…溝
110…貫通孔
W…ワーク
Claims (10)
- 真空圧を利用してワークを吸着する真空パッドであって、
内部に真空通路を有する支持部材と、前記支持部材に固定されるベローズと、前記ベローズの内側に取り付けられる規制部材とを有し、前記ベローズの収縮時に前記規制部材が前記真空通路に入り込み、
前記ベローズの収縮時には前記支持部材に対する前記規制部材の傾斜が阻止され、前記ベローズの非収縮時には前記支持部材に対する前記規制部材の傾斜が許容される
ことを特徴とする真空パッド。 - 請求項1記載の真空パッドにおいて、
前記ベローズの内壁にはインナーリングが取り付けられている
ことを特徴とする真空パッド。 - 請求項1記載の真空パッドにおいて、
前記規制部材は、前記真空通路に嵌入可能な筒部と、前記筒部の一端部から外向きに延びるフランジ部とを有し、前記フランジ部の先端は前記ベローズの内壁に係止する
ことを特徴とする真空パッド。 - 請求項3記載の真空パッドにおいて、
前記筒部の他端部は先細りのテーパ面となっており、前記真空通路の端部は拡径するテーパ面となっている
ことを特徴とする真空パッド。 - 請求項4記載の真空パッドにおいて、
前記ベローズの非収縮時において、前記筒部のテーパ面が所定の隙間を隔てて前記真空通路のテーパ面と対向している
ことを特徴とする真空パッド。 - 請求項4記載の真空パッドにおいて、
前記ベローズの非収縮時において、前記規制部材は前記支持部材から軸方向に離間している
ことを特徴とする真空パッド。 - 請求項3記載の真空パッドにおいて、
前記筒部には、軸方向に貫通する縦孔と、前記縦孔に連通するとともに前記筒部の側面に開口する横孔とが設けられている
ことを特徴とする真空パッド。 - 請求項3記載の真空パッドにおいて、
前記筒部には軸方向に貫通する縦孔が設けられ、前記筒部の外周面には軸方向に延びるスリット状の溝が設けられ、前記フランジ部には厚み方向に貫通し前記溝と繋がる貫通孔が設けられている
ことを特徴とする真空パッド。 - 請求項3記載の真空パッドにおいて、
前記フランジ部は前記ベローズの下端部を覆う形状である
ことを特徴とする真空パッド。 - 請求項9記載の真空パッドにおいて、
前記規制部材は金属材料または導電性樹脂材料からなる
ことを特徴とする真空パッド。
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