JP7020357B2 - X線分析用信号処理装置 - Google Patents
X線分析用信号処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7020357B2 JP7020357B2 JP2018181631A JP2018181631A JP7020357B2 JP 7020357 B2 JP7020357 B2 JP 7020357B2 JP 2018181631 A JP2018181631 A JP 2018181631A JP 2018181631 A JP2018181631 A JP 2018181631A JP 7020357 B2 JP7020357 B2 JP 7020357B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wave
- differential wave
- pseudo
- differential
- time
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
上記X線分析用信号処理装置において好ましくは、デジタルフィルタおよびピーク検出器の間に配置され、デジタルフィルタから与えられる台形波または三角波の波高値を校正するための調整部をさらに備える。
最初に、従来の一般的なエネルギ分散型蛍光X線分析装置の構成およびその課題について説明する。
図11を参照して、従来のエネルギ分散型蛍光X線分析装置は、X線管球10と、エネルギ分散型分光器(以下、検出器とも称する)12と、プリアンプ14と、微分回路16と、アンプ18と、A/D変換器(以下、ADCとも称する)20と、CPU30と、X線分析用信号処理装置(以下、信号処理装置とも称する)40Aとを備える。
図1は、本実施の形態に係るエネルギ分散型蛍光X線分析装置の概略構成図である。
図2を参照して、擬似微分波挿入部42は、8サンプル遅延部60と、256サンプル遅延部62と、立上り検出部64と、(256-N)サンプル遅延部66と、微分波無期間計測部68と、論理積回路70と、微分波コア部72と、加算器74とを含む。
図3を参照して、微分波コア部72は、複数の微分波コア720を有する。図3の例では微分波コア720の個数を8個とするが、微分波コア720の個数は複数であれば、特に限定されない。複数の微分波コア720は、加算器74に対して互いに並列に接続されている。微分波コア720は、擬似微分波生成ROMテーブルを有する。擬似微分波生成ROMテーブルは、真正の微分波と同じ時定数を有する理想波を生成するために、予め作成されたものである。なお、擬似微分波生成ROMテーブルは、真正の微分波の時定数ごとに作成されている。微分波コア部72では、基本的に、パルス信号DMY_PLSを受けると、複数の微分波コア720のうちの1つが擬似微分波を加算器74に出力する。ただし、この1つの微分波コア720が擬似微分波を出力している期間に、次のパルス信号DMY_PLSを受けた場合には、残りの微分波コア720のうちの1つが次のパルス信号DMY_PLSに応答して擬似微分波を出力する。複数の微分波コア720を備えておくことで、パルス信号DMY_PLSに応答して、漏れなく擬似微分波を出力することができる。
Claims (6)
- X線検出器で検出された階段波を微分波に変換する微分回路と、
前記微分波を台形波または三角波に変換するデジタルフィルタと、
前記台形波または三角波におけるピークの波高値を計数するピーク検出器と、
前記微分回路および前記デジタルフィルタの間に配置され、前記微分回路から与えられる真正の微分波に対して擬似微分波を挿入するように構成された擬似微分波挿入部とを備える、X線分析用信号処理装置。 - 前記擬似微分波挿入部は、
前記真正の微分波の立上りを検出して検出信号を出力する立上り検出部と、
前記真正の微分波を第1の時間遅延させる第1の遅延部と、
前記検出信号を前記第1の時間よりも短い第2の時間遅延させる第2の遅延部と、
前記擬似微分波を発生する擬似微分波生成部とを含み、
前記擬似微分波生成部は、前記第2の時間内に前記立上り検出部にて次の真正の微分波の立上りが検出されない場合には、前記第2の遅延部から出力される前記検出信号をトリガとして前記擬似微分波を発生するように構成され、
前記擬似微分波挿入部はさらに、前記第1の遅延部にて遅延させた前記真正の微分波に、前記擬似微分波を加算する加算部を含む、請求項1に記載のX線分析用信号処理装置。 - 前記擬似微分波挿入部は、前記第2の遅延部から出力される前記検出信号をトリガとしてワンショットのパルス信号を発生するように構成され、
前記ピーク検出器は、前記パルス信号が入力されるタイミングでは、前記台形波または三角波におけるピークの波高値を計数しない、請求項2に記載のX線分析用信号処理装置。 - 前記デジタルフィルタおよび前記ピーク検出器の間に配置され、前記デジタルフィルタから与えられる前記台形波または三角波の波高値を校正するための調整部をさらに備える、請求項2または3に記載のX線分析用信号処理装置。
- 前記第1の時間は、1つの前記台形波が形成される時間を含むように設定され、
前記第2の時間は、前記第1の時間との時間差が、1つの前記台形波が形成される時間よりも短くなるように設定される、請求項2から4のいずれか1項に記載のX線分析用信号処理装置。 - 前記擬似微分波生成部は、前記加算部に対して互いに並列に接続された複数の擬似微分波生成器を有する、請求項2から5のいずれか1項に記載のX線分析用信号処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018181631A JP7020357B2 (ja) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | X線分析用信号処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018181631A JP7020357B2 (ja) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | X線分析用信号処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020051900A JP2020051900A (ja) | 2020-04-02 |
JP7020357B2 true JP7020357B2 (ja) | 2022-02-16 |
Family
ID=69996735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018181631A Active JP7020357B2 (ja) | 2018-09-27 | 2018-09-27 | X線分析用信号処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7020357B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4286837A1 (en) | 2021-01-27 | 2023-12-06 | Shimadzu Corporation | X-ray fluorescence analysis device |
JP7501680B2 (ja) | 2021-01-27 | 2024-06-18 | 株式会社島津製作所 | X線分析用信号処理装置 |
JP7452888B2 (ja) * | 2022-03-16 | 2024-03-19 | Necプラットフォームズ株式会社 | 補正装置、補正システム、補正方法およびプログラム |
WO2023210137A1 (ja) * | 2022-04-28 | 2023-11-02 | 株式会社島津製作所 | 蛍光x線分析方法および蛍光x線分析装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001337168A (ja) | 2000-05-29 | 2001-12-07 | Jeol Ltd | 放射線計測用ad変換装置 |
JP2002350545A (ja) | 2001-05-28 | 2002-12-04 | Hamamatsu Photonics Kk | エネルギー測定方法及び測定装置 |
JP2012098046A (ja) | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | 燃料集合体放射能測定装置および燃料集合体の放射能測定方法 |
JP2014219362A (ja) | 2013-05-10 | 2014-11-20 | 株式会社堀場製作所 | パルス波高検出装置、放射線検出装置、放射線分析装置、及びパルス波高検出方法 |
JP2015021957A (ja) | 2013-07-24 | 2015-02-02 | 株式会社島津製作所 | X線分析用信号処理装置 |
JP2016024102A (ja) | 2014-07-23 | 2016-02-08 | 株式会社リガク | X線検出信号処理装置およびそれを用いたx線分析装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
AU3975299A (en) * | 1998-05-09 | 1999-11-29 | Packard Bioscience Company | Digital pulse de-randomization for radiation spectroscopy |
-
2018
- 2018-09-27 JP JP2018181631A patent/JP7020357B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001337168A (ja) | 2000-05-29 | 2001-12-07 | Jeol Ltd | 放射線計測用ad変換装置 |
JP2002350545A (ja) | 2001-05-28 | 2002-12-04 | Hamamatsu Photonics Kk | エネルギー測定方法及び測定装置 |
JP2012098046A (ja) | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Hitachi-Ge Nuclear Energy Ltd | 燃料集合体放射能測定装置および燃料集合体の放射能測定方法 |
JP2014219362A (ja) | 2013-05-10 | 2014-11-20 | 株式会社堀場製作所 | パルス波高検出装置、放射線検出装置、放射線分析装置、及びパルス波高検出方法 |
JP2015021957A (ja) | 2013-07-24 | 2015-02-02 | 株式会社島津製作所 | X線分析用信号処理装置 |
JP2016024102A (ja) | 2014-07-23 | 2016-02-08 | 株式会社リガク | X線検出信号処理装置およびそれを用いたx線分析装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020051900A (ja) | 2020-04-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7020357B2 (ja) | X線分析用信号処理装置 | |
EP3279624B1 (en) | Light quantity detection device, and immunoanalysis device and charged particle beam device using same | |
US7741609B2 (en) | Adapting a high-performance pulse processor to an existing spectrometry system | |
Seah | Channel electron multipliers: quantitative intensity measurement—efficiency, gain, linearity and bias effects | |
JP6002890B2 (ja) | X線分析装置 | |
JP6009975B2 (ja) | 放射線検出装置および試料分析装置 | |
JP6267529B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び画像生成方法 | |
JP6003836B2 (ja) | X線分析用信号処理装置 | |
EP2853923B1 (en) | Radiation detector and sample analyzer | |
JP5945245B2 (ja) | 信号パルス検出装置、質量分析装置、および信号パルス検出方法 | |
JP2017204425A (ja) | 電子分光装置および測定方法 | |
JP6808693B2 (ja) | X線分析装置および計数率の補正方法 | |
US8374814B2 (en) | X-ray detection signal processing apparatus and method therefor | |
JP7400643B2 (ja) | X線分析装置、x線分析用信号処理装置およびx線分析方法 | |
EP3226037B1 (en) | An xrf analyzer with improved resolution by using micro-reset | |
JP7501680B2 (ja) | X線分析用信号処理装置 | |
JP2023019033A (ja) | X線分析装置およびx線分析方法 | |
JP6326347B2 (ja) | ライブタイム比演算回路、ライブタイム比演算方法、放射線検出装置、および試料分析装置 | |
JP7444294B2 (ja) | 蛍光x線分析装置 | |
US20230251215A1 (en) | X-ray fluorescence analyzer, data processing method, and recording medium | |
JP7234961B2 (ja) | X線分析装置 | |
WO2024128301A1 (ja) | 信号処理方法、信号処理装置、放射線検出装置、及びコンピュータプログラム | |
JPH03185386A (ja) | 放射線検出器を用いた放射線量の測定方法 | |
JP2005055399A (ja) | 蛍光x線分析用信号処理装置 | |
Zorraquino et al. | Online energy discrimination at DAQ front-end level on pixelated TOF-PET systems |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20181004 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210104 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20211210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220104 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220117 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7020357 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |