JP7015131B2 - リングフレーム搬送機構 - Google Patents
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
4:加工装置 400:装置基台 401:筐体 401a:側面 402:ステージ
40:保持テーブル 41:プッシュプル 42:洗浄手段 43:操作パネル
44,44A:移動手段 45,45A:昇降手段
10,10B,10C:リングフレーム搬送機構 11,11a:プレート
12:シャフト 13:吸盤 14:吸引路 15:開放バルブ 150:ローラ
16:保持維持バルブ 17:開放バルブ 170:プッシュボタン 18:継手
19:アーム
20:操作手段 21:移動機構 210:ベアリング 22:ストッパ 23:バネ
24a,24b:フック 25:突起部 26:操作部 27a,27b:バー
28:突起部
30:操作手段 31:移動機構 310:スライダベース 311:スライダ
32:ストッパ 33:バネ 34a,34b:フック 35:突起部 36:操作部
37a,37b:バー 38:突起部
Claims (2)
- リングフレームの一方の面を吸引保持する少なくとも3つの吸盤を備えたリングフレーム搬送機構であって、
該吸盤を吸引源に連通させる吸引路と、
該吸盤の近傍に配設され該吸引路を大気解放させる開放バルブと、該開放バルブを操作する操作手段と、を備え、
該操作手段は、該吸盤が配設されたプレートの面方向に該プレートの中心を軸に該プレートを回転移動または面方向にスライド移動させる移動機構と、
該プレートの原点位置を位置決めするストッパと、
該プレートを原点位置に向かって付勢するバネと、
該プレートを該原点位置から遠ざかる方向に移動させたときに該開放バルブを操作し該吸引路を大気開放する操作部と、を備え、
該吸盤が該リングフレームを吸引保持した状態で該操作部により操作した該開放バルブにより該吸引路を大気開放させ、該吸盤から該リングフレームを取り外すことを可能にするリングフレーム搬送機構。 - 前記吸引源は、バキュームポンプであって、
該バキュームポンプの動力源が遮断されたら前記吸引路を密閉して負圧を維持させるために前記開放バルブと該吸引源との間の該吸引路に保持維持バルブを備え、
前記吸盤が前記リングフレームを吸引保持した状態で該開放バルブにより該吸引路を大気開放させ、該吸盤から該リングフレームを取り外すことを可能にする請求項1記載のリングフレーム搬送機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017181139A JP7015131B2 (ja) | 2017-09-21 | 2017-09-21 | リングフレーム搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017181139A JP7015131B2 (ja) | 2017-09-21 | 2017-09-21 | リングフレーム搬送機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019057618A JP2019057618A (ja) | 2019-04-11 |
JP7015131B2 true JP7015131B2 (ja) | 2022-02-02 |
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ID=66107741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017181139A Active JP7015131B2 (ja) | 2017-09-21 | 2017-09-21 | リングフレーム搬送機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7015131B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023173132A (ja) | 2022-05-25 | 2023-12-07 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP2024030018A (ja) | 2022-08-23 | 2024-03-07 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
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JP2015233065A (ja) | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
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-
2017
- 2017-09-21 JP JP2017181139A patent/JP7015131B2/ja active Active
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JP2015103597A (ja) | 2013-11-22 | 2015-06-04 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
JP2015228488A (ja) | 2014-05-03 | 2015-12-17 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | フィルム状部材の支持装置 |
JP2015233065A (ja) | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社ディスコ | 搬送装置 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019057618A (ja) | 2019-04-11 |
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