JP6982977B2 - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の第1実施形態を説明する。図3(a)に例示される導電性パターン500は、図1および図2に例示される固体撮像装置1001の配線層115、例えば周辺回路部104の配線層115に配置されうる。ここで、導電性パターン500は、複数の配線層115a〜115cのうち少なくとも最上の配線層115cに配置されうる。導電性パターン500は、固定電圧(例えば、電源電圧、接地電圧)が印加されるパターンでありうるが、信号ラインに適用されてもよい。
(b)複数の主ライン501が、第1辺11に重なる第1ラインと、第2辺12に重なる第2ラインと、第1ラインと第2ラインとの間に配置された少なくとも1つのラインとを含み、かつ、
(c)正方形の領域10が、少なくとも1つの補助ライン502を含む、
ように定義される。図3(a)に示された例では、例えば、主ライン501aが第1辺11に重なる第1ライン、主ライン501dが第2辺12に重なる第2ラインであり、主ライン501b、501cが第1ラインと第2ラインとの間に配置された第3ラインである。
以下、本発明の第2実施形態を説明する。なお、第2実施形態として言及しない事項は、第1実施形態に従いうる。図8には、補助ライン502の幅Wbが400nm以上かつ2000nm以下の条件の下で導電性パターン500の占有率αと拡散防止膜114cの剥がれるによる歩留まり低下との関係を評価した結果が示されている。図8より、補助ライン502を設けることによる歩留まりの低下を抑える上で、占有率αは、0.75以下であることが好ましく、0.73以下であることが更に好ましいことが分かる。また、導電性パターン500の抵抗値を低下させる観点において、占有率αの下限値は、より大きい値であることが好ましく、例えば、0.33、0.5、0.6または0.7とされうる。
第3実施形態は、導電性パターン500の構成が第1および第2実施形態と異なる。図9には、本発明の第3実施形態の導電性パターン500が示されている。なお、第3実施形態として言及しない事項は、第1又は第2実施形態に従いうる。
Claims (21)
- 複数の画素を有する画素アレイ部と、前記画素アレイ部の周辺に配置された周辺回路部とを含む固体撮像装置を製造する製造方法であって、
前記画素アレイ部を構成する素子および前記周辺回路部を構成する素子を有する半導体基板の上に配線構造を形成する工程と、
前記画素アレイ部における前記配線構造に複数の光導波路を形成するための複数の開口を形成する工程と、
前記複数の開口に光導波路材料が充填されるように前記画素アレイ部および前記周辺回路部に前記光導波路材料からなる膜を形成する工程と、
前記光導波路材料からなる前記膜を平坦化する工程と、
前記周辺回路部における平坦化された前記膜をエッチングする工程と、を含み、
前記配線構造は、層間絶縁膜の溝に配置された導電性パターンと、前記導電性パターンを覆う拡散防止膜とを含み、前記導電性パターンは、第1方向に平行な複数の主ラインと、前記複数の主ラインを相互に接続する複数の補助ラインとを含み、
前記第1方向に直交する第2方向における前記複数の主ラインの各々の幅は、250nm以上かつ2000nm以下であり、
前記複数の主ラインにおける隣り合う主ラインの間隔は、500nm以下であり、
前記第1方向における前記複数の補助ラインの各々の幅は、400nmより小さく、
前記複数の主ラインが、第1ラインと、第2ラインと、前記第1ラインと前記第2ラインとの間に配置された第3ラインと、を含み、
前記第1方向に平行で前記第1ラインに重なる第1辺、および、前記第1方向に平行で前記第2ラインに重なる第2辺を有する正方形の領域が、前記正方形の領域の中に前記複数の補助ラインの少なくとも1つを含むように定義され、
前記正方形の領域の中における前記導電性パターンの面積を前記正方形の領域の面積で除した値が0.9以下であり、これにより、前記膜の圧縮応力によって前記導電性パターンから前記拡散防止膜が剥がれることが抑制される、
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2方向における前記複数の主ラインの各々の幅は、前記第1方向における前記複数の補助ラインの各々の幅より大きい、
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 複数の画素を有する画素アレイ部と、前記画素アレイ部の周辺に配置された周辺回路部とを含む固体撮像装置を製造する製造方法であって、
前記画素アレイ部を構成する素子および前記周辺回路部を構成する素子を有する半導体基板の上に配線構造を形成する工程と、
前記画素アレイ部における前記配線構造に複数の光導波路を形成するための複数の開口を形成する工程と、
前記複数の開口に光導波路材料が充填されるように前記画素アレイ部および前記周辺回路部に前記光導波路材料からなる膜を形成する工程と、
前記光導波路材料からなる前記膜を平坦化する工程と、
前記周辺回路部における平坦化された前記膜をエッチングする工程と、を含み、
前記配線構造は、層間絶縁膜の溝に配置された導電性パターンと、前記導電性パターンを覆う拡散防止膜とを含み、前記導電性パターンは、第1方向に平行な複数の主ラインと、前記複数の主ラインを相互に接続する複数の補助ラインとを含み、前記第1方向に直交する第2方向における前記複数の主ラインの各々の幅は、前記第1方向における前記複数の補助ラインの各々の幅より大きく、
前記第2方向における前記複数の主ラインの各々の幅は、250nm以上かつ2000nm以下であり、
前記第1方向における前記複数の補助ラインの各々の幅は、400nm以上かつ2000nm以下であり、
前記複数の主ラインが、第1ラインと、第2ラインと、前記第1ラインと前記第2ラインとの間に配置された第3ラインと、を含み、
前記第1方向に平行で前記第1ラインに重なる第1辺、および、前記第1方向に平行で前記第2ラインに重なる第2辺を有する正方形の領域が、前記正方形の領域の中に前記複数の補助ラインの少なくとも1つを含むように定義され、
前記正方形の領域の中における前記導電性パターンの面積を前記正方形の領域の面積で除した値が0.75以下であり、これにより、前記膜の圧縮応力によって前記導電性パターンから前記拡散防止膜が剥がれることが抑制される、
ことを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記第2方向における前記複数の主ラインの各々の幅は、400nm以上である、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記複数の主ラインにおける隣り合う主ラインの間隔は、140nm以上かつ500nm以下である、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記複数の主ラインにおける隣り合う任意の主ラインと前記複数の補助ラインにおける隣り合う任意の補助ラインとによって囲まれる部分の面積が560000nm2以上かつ2000000nm2以下である、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記導電性パターンにおける前記複数の主ラインの数は、12以上である、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記配線構造は、複数の配線層を含み、前記導電性パターンは、前記複数の配線層のうち最上の配線層に配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記導電性パターンは、銅を主成分とする配線層である、
ことを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記拡散防止膜は、炭化シリコン(SiC)および酸化炭化シリコン(SiOC)の少なくとも一方を含む、
ことを特徴とする請求項9に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記配線構造は、前記拡散防止膜の上に絶縁膜を有し、前記絶縁膜は、500nm以下の厚さを有する、
ことを特徴とする請求項10に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記膜をエッチングする工程では、前記複数の光導波路と同一材料で構成され前記複数の光導波路から延びた部分が前記配線構造の上に残るように前記膜をエッチングする、
ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記配線構造は、前記周辺回路部に配置された光導波路を有しない、
ことを特徴とする請求項12に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記膜をエッチングする工程では、前記複数の光導波路から延びた前記部分が前記導電性パターンの上には存在しないように前記膜をエッチングする、
ことを特徴とする請求項12又は13に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記複数の光導波路は、窒化シリコンまたは酸化シリコンを含む、
ことを特徴とする請求項12乃至14のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記層間絶縁膜は、酸化シリコンまたは酸化炭化シリコンを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記導電性パターンは、前記複数の主ラインおよび前記複数の補助ラインのいずれかに接続されたプラグを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至16のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記複数の補助ラインは、前記複数の主ラインのうち少なくとも2つの主ラインを相互に接続し他の主ラインを接続しないように前記第2方向に平行に延びた補助ラインを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記複数の補助ラインは、前記複数の主ラインのうち第1グループを構成する主ラインを相互に接続する第1補助ラインと、前記複数の主ラインのうち第2グループを構成する主ラインを相互に接続する第2補助ラインとを含み、前記第1グループを構成する主ラインの少なくとも一部は、前記第2グループを構成する主ラインと異なり、前記第1方向における前記第1補助ラインの位置と、前記第1方向における前記第2補助ラインの位置とが互いに異なる、
ことを請求項1乃至17のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記導電性パターンは、固定電圧が印加されるパターンである、
ことを特徴とする請求項1乃至19のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記導電性パターンは、前記周辺回路部に配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至20のいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。
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