JP6973913B2 - 計測器及び加工装置 - Google Patents
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Description
4 装置基台
4a 開口
6 チャックテーブル
6a 保持面
8 X軸移動テーブル
10 搬入出領域
12 加工領域
14 研磨ユニット
16 支持部
18 Z軸ガイドレール
20 Z軸移動プレート
22 Z軸ボールねじ
24 Z軸パルスモータ
26 スピンドルハウジング
28 スピンドル
30 研磨ホイール
32 研磨パッド
34 噴出口
36 送液路
38 管路
38a 上流側
38b 下流側
40 供給源
42 計測器
44 切り替え部
46 超音波振動子
48 超音波伝導体
50 カバー部材
52 制御部
54 切り替え部
56 電源
58 増幅器
60 算出部
62 超音波伝播時間算出部
64 第1の超音波伝播速度算出部
66 第2の超音波伝播速度算出部
68 第1の関係登録部
70 第2の関係登録部
72 温度算出部
74 流速算出部
76 流量算出部
78 濃度算出部
80,80a,80b 超音波伝導体を経て伝播する超音波の波形
82,82a,82b 液体中を伝播する超音波の波形
84,84a,84b 第1の伝播時間
86,86a,86b 第2の伝播時間
88,88a,88b 第3の伝播時間
90b 第4の伝播時間
1 被加工物
3 保護テープ
Claims (6)
- 液体が流れる管路に配設される計測器であって、
該管路の上流側と、下流側と、にそれぞれ配設された2つの超音波振動子と、該2つの超音波振動子の間に配設され該液体に接する超音波伝導体と、該2つの超音波振動子に電気的に接続された制御部と、を有し、
該制御部は、
該超音波伝導体中の超音波の伝播速度と、該超音波伝導体の温度と、の関係が登録された第1の関係登録部と、
該液体の温度と、該液体中の超音波の伝播速度と、該液体に溶解又は混合された物質の濃度と、の関係が登録された第2の関係登録部と、
超音波伝播時間算出部と、第1の超音波伝播速度算出部と、第2の超音波伝播速度算出部と、温度算出部と、濃度算出部と、を有し、
該超音波伝播時間算出部は、
該2つの超音波振動子の一方で発生した該超音波を該2つの超音波振動子の他方で観測することで得られた第1の波形情報から、該超音波伝導体を経て伝播する該超音波の伝播時間を第1の伝播時間として算出するとともに該管路を流れる該液体中を伝播する該超音波の伝播時間を第2の伝播時間として算出し、
該2つの超音波振動子の該他方で発生し該管路を流れる該液体中を経て伝播する該超音波を該2つの超音波振動子の該一方で観測することで得られた第2の波形情報から、該液体中を伝播する該超音波の伝播時間を第3の伝播時間として算出し、
該第1の超音波伝播速度算出部は、該第1の伝播時間と、該超音波の伝播経路の長さと、を用いて該超音波伝導体中の超音波の伝播速度を算出し、
該第2の超音波伝播速度算出部は、該第2の伝播時間と、該第3の伝播時間と、該2つの超音波振動子間の距離と、から該液体中の超音波の伝播速度を算出し、
該温度算出部は、算出された該超音波伝導体中の超音波の伝播速度と、該第1の関係登録部に登録された該関係と、から該超音波伝導体の温度を算出することで該超音波伝導体に接する該液体の温度を導出し、
該濃度算出部は、該温度算出部で算出された該液体の温度と、該第2の超音波伝播速度算出部で算出された該液体中の超音波の伝播速度と、該第2の関係登録部に登録された該関係と、から該液体の該物質の濃度を算出し、
該超音波伝導体中の超音波の伝播速度は、該液体中の超音波の伝播速度よりも速い
ことを特徴とする計測器。 - 該超音波伝導体は、金属でなる部材であることを特徴とする請求項1に記載の計測器。
- 該制御部は、流速算出部と、流量算出部と、をさらに有し、
該流速算出部は、該第2の伝播時間と、該第3の伝播時間と、2つの超音波振動子間の距離と、を用いて該管路中の該液体の流速を算出し、
該流量算出部は、該流速算出部で算出された該管路中の該液体の流速と、該管路の断面積と、から該液体の流量を算出することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の計測器。 - 該超音波伝導体は、該2つの超音波振動子の間の該管路の内壁を構成する環状部材であり、
該環状部材は、該管路の設置された外部の雰囲気からの熱の伝わりが抑制されるカバー部材で覆われていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載の計測器。 - 該超音波伝導体は、該2つの超音波振動子の間で該管路中に延在する長尺部材であり、
該超音波伝導体は、表面が該液体と接触するように設置されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一に記載の計測器。 - 請求項1乃至5のいずれか一に記載の計測器と、チャックテーブルと、加工工具と、を備え、
該チャックテーブルで保持した被加工物に該液体を供給しつつ加工工具で該被加工物を加工する加工装置であって、
該計測器によって該液体の流量及び濃度が測定されることを特徴とする加工装置。
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