JP6962640B2 - コイル部品及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、電子機器に適用されるコイル部品の例を概略的に示す。図面を参照すると、電子機器には、多様な種類の電子部品が使用されることが分かる。例えば、アプリケーションプロセッサを中心として、DC/DC、コミュニケーションプロセッサ、WLAN BT/WiFi FM GPS NFC、PMIC、バッテリー、SMBC、LCD AMOLED、オーディオコーデック、USB 2.0/3.0 HDMI(登録商標)、CAMなどが使用されることができる。この時、このような電子部品間には、ノイズ除去などを目的として多様な種類のコイル部品をその用途によって適宜に適用することができるが、例えば、パワーインダクター(Power Inductor)1、高周波インダクター(HF Inductor)2、通常のビード(General Bead)3、高周波用ビード(GHz Bead)4、共通モードフィルター(Common Mode Filter)5などが挙げられる。
以下では、本発明のコイル部品を説明する。便宜上、インダクター(Inductor)の構造を例として説明するが、上述したように、他の多様な用途のコイル部品にも本発明のコイル部品が適用可能なことは言うまでもない。また、以下で使用する側部は、便宜上、第1方向または第2方向に向かう方向の意味で使用し、上部は、便宜上、第3方向に向かう方向の意味で使用し、下部は、便宜上、第3方向の反対方向に向かう方向の意味で使用した。さらに、側部、上部、または下部に位置するということは、対象の構成要素が基準となる構成要素と当該方向に直接接触する場合だけでなく、当該方向に位置しても直接接触しない場合も含む概念として使用した。但し、これは、説明の便宜のために方向を定義したものであり、特許請求の範囲の権利範囲がこのような方向に対する記載により特に限定されるものではないことは言うまでもない。
[項目1]
平面スパイラル状のパターンを有する複数の導体層と、
上記複数の導体層間に配置された一つ以上の絶縁層と、
上記絶縁層を貫通し、上記複数の導体層を連結し、平面スパイラル状のパターンを有する一つ以上のビア層とを含む本体、及び、上記本体上に配置された電極を含む、コイル部品。
[項目2]
上記複数の導体層及び上記ビア層が連結され、同一方向に回転する一つのコイルを構成する、項目1に記載のコイル部品。
[項目3]
上記コイルは、アスペクト比が2以上である、項目2に記載のコイル部品。
[項目4]
上記コイルは、上記電極と連結された第1端子及び第2端子を有し、
上記第1端子は、上記コイルの側部に配置され、
上記第2端子は、上記コイルの上部または下部に配置された、項目2または3に記載のコイル部品。
[項目5]
上記本体は、上記複数の導体層を取り囲む複数の磁性層をさらに含む、項目1〜4の何れか1項に記載のコイル部品。
[項目6]
上記絶縁層及び磁性層は、絶縁樹脂及び磁性フィラーを含み、
上記絶縁層及び上記磁性層は、全て一体化された、項目5に記載のコイル部品。
[項目7]
上記複数の導体層は、シード層が除去されたものである、項目1〜6の何れか1項に記載のコイル部品。
[項目8]
上記ビア層は、金属間化合物(IMC)を含む、項目1〜7の何れか1項に記載のコイル部品。
[項目9]
各導体層の厚さは、上記絶縁層の厚さより厚い、項目1〜8の何れか1項に記載のコイル部品。
[項目10]
平面スパイラル状のパターンを有する複数の導体層と、
上記複数の導体層の間に配置され、上記複数の導体層を連結し、平面スパイラル状のパターンを有する一つ以上のビア層と、
上記複数の導体層及び上記ビア層を埋め込む電気絶縁性磁性体とを含む本体、及び上記本体上に配置された電極を含む、コイル部品。
[項目11]
上記複数の導体層及び上記ビア層が連結され、同一方向に回転する一つのコイルを構成する、項目10に記載のコイル部品。
[項目12]
上記コイルは、アスペクト比が2以上である、項目11に記載のコイル部品。
[項目13]
支持部材及び上記支持部材の少なくとも一面上に金属層が配置された一つ以上のコア基板を準備する段階と、
上記コア基板の金属層上に平面スパイラル状のパターンを有する導体層を形成する段階と、
上記支持部材から上記導体層を分離して複数の導体層を得る段階と、
上記導体層に残存する金属層を除去する段階と、
上記導体層のいずれか一つ以上に絶縁層を形成する段階と、
上記絶縁層に平面スパイラル状のパターンを有するビア層を形成する段階と、
上記段階を通じて形成された複数の導体層、一つ以上の絶縁層、及び一つ以上のビア層を含む本体前駆体を積層して本体を形成する段階と、
上記本体上に電極を形成する段階とを含むコイル部品の製造方法。
[項目14]
上記絶縁層を積層する段階前に上記導体層を取り囲む磁性層を形成する段階をさらに含む、項目13に記載のコイル部品の製造方法。
[項目15]
上記金属層は、上記支持部材の少なくとも一面上に配置された第1金属層及び上記第1金属層上に配置された第2金属層を含み、
上記導体層を分離する段階は、上記第1金属層及び上記第2金属層を分離させることである、項目13に記載のコイル部品の製造方法。
2 高周波インダクター
3 通常のビード
4 高周波用ビード
5 共通モードフィルター
100、100B コイル部品
10 本体
20 コイル
50 電極
11、12、13、14、15、16、17 第1から第7磁性層
18 電気絶縁性磁性体
21、22、23、24、25 第1から第5導体層
26 コイルパターンの一部
27a、27b 第1及び第2端子
31、32、33、34 第1から第4絶縁層
41、42、43、44 第1から第4ビア層
51、52 第1及び第2電極
200 コア基板
201 支持部材
202、203 金属層
210、220 ドライフィルム
Claims (14)
- 平面スパイラル状のパターンを有する複数の導体層と、
前記複数の導体層間に配置された一つ以上の絶縁層と、
前記絶縁層を貫通し、前記複数の導体層を連結し、平面スパイラル状のパターンを有し、前記複数の導体層と一つ以上のビア層とが接触する領域のそれぞれに存在する界面に形成された金属間化合物(IMC)を含む一つ以上のビア層とを含む本体、及び
前記本体上に配置された電極を含むコイル部品。 - 前記複数の導体層及び前記ビア層が連結され、同一方向に回転する一つのコイルを構成する、請求項1に記載のコイル部品。
- 前記コイルは、アスペクト比が2以上である、請求項2に記載のコイル部品。
- 前記コイルは、前記電極と連結された第1端子及び第2端子を有し、
前記第1端子は、前記コイルの側部に配置され、
前記第2端子は、前記コイルの上部または下部に配置された、請求項2または3に記載のコイル部品。 - 前記本体は、前記複数の導体層を取り囲む複数の磁性層をさらに含む、請求項1〜4の何れか1項に記載のコイル部品。
- 前記絶縁層及び磁性層は、絶縁樹脂及び磁性フィラーを含み、
前記絶縁層及び前記磁性層は、全て一体化された、請求項5に記載のコイル部品。 - 各導体層の厚さは、前記絶縁層の厚さより厚い、請求項1〜6の何れか1項に記載のコイル部品。
- 平面スパイラル状のパターンを有する複数の導体層と、
前記複数の導体層の間に配置され、前記複数の導体層を連結し、平面スパイラル状のパターンを有し、前記複数の導体層と一つ以上のビア層とが接触する領域のそれぞれに存在する界面に形成された金属間化合物(IMC)を含む一つ以上のビア層と、
前記複数の導体層及び前記ビア層を埋め込む電気絶縁性磁性体とを含む本体、及び
前記本体上に配置された電極を含むコイル部品。 - 前記複数の導体層及び前記ビア層が連結され、同一方向に回転する一つのコイルを構成する、請求項8に記載のコイル部品。
- 前記コイルは、アスペクト比が2以上である、請求項9に記載のコイル部品。
- 前記複数の導体層のうちの一の導体層と他の導体層とは、前記複数の導体層が積層される方向において、1つの前記ビア層により接続され、
前記複数の導体層が積層される方向における、1つの前記ビア層の一端において、前記金属間化合物(IMC)と前記一の導体層とが接し、
前記複数の導体層が積層される方向における、1つの前記ビア層の他端において、前記金属間化合物(IMC)と前記他の導体層とが接する、
請求項1〜10の何れか1項に記載のコイル部品。 - 支持部材及び前記支持部材の少なくとも一面上に金属層が配置された一つ以上のコア基板を準備する段階と、
前記コア基板の金属層上に平面スパイラル状のパターンを有する導体層を形成する段階と、
前記支持部材から前記導体層を分離して複数の導体層を得る段階と、
前記導体層に残存する金属層を除去する段階と、
前記導体層のいずれか一つ以上に絶縁層を形成する段階と、
前記絶縁層に平面スパイラル状のパターンを有するビア層を形成する段階と、
前記段階を通じて形成された複数の導体層、一つ以上の絶縁層、及び一つ以上のビア層を含む本体前駆体を積層して本体を形成する段階と、
前記本体上に電極を形成する段階とを含むコイル部品の製造方法。 - 前記絶縁層を積層する段階前に前記導体層を取り囲む磁性層を形成する段階をさらに含む、請求項12に記載のコイル部品の製造方法。
- 前記金属層は、前記支持部材の少なくとも一面上に配置された第1金属層及び前記第1金属層上に配置された第2金属層を含み、
前記導体層を分離する段階は、前記第1金属層及び前記第2金属層を分離させることである、請求項12に記載のコイル部品の製造方法。
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Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014063981A (ja) * | 2012-08-31 | 2014-04-10 | Murata Mfg Co Ltd | 配線基板およびその製造方法 |
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Cited By (1)
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---|---|---|---|---|
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